JPH05231493A - Xyステージ装置 - Google Patents
Xyステージ装置Info
- Publication number
- JPH05231493A JPH05231493A JP3114592A JP3114592A JPH05231493A JP H05231493 A JPH05231493 A JP H05231493A JP 3114592 A JP3114592 A JP 3114592A JP 3114592 A JP3114592 A JP 3114592A JP H05231493 A JPH05231493 A JP H05231493A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- directions
- joystick
- moves
- reverse directions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Control Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ジョイスティックを傾かせることによりステ
ージを互いに直交するXY方向のそれぞれの正方向と逆
方向に移動させるXYステージ装置において、ステージ
がX方向についてはジョイスティックの傾きと逆向きに
移動し、Y方向については同じ向きに移動するようにす
る。 【構成】 ベース5上にステージ4が+X、−X方向に
可動に設けられ、その上にステージ3が+Y、−Y方向
に可動に設けられ、その上にステージ2が+Y、−Y方
向に可動に設けられ、ステージ2に対しジョイスティッ
ク1が固定された支点部6を支点として任意の方向に傾
けられるように結合される。ステージ3は、スティック
1の+X、−X方向の傾きに対しステージ2と一体的に
−X、+X方向に移動し、スティック1の+Y、−Y方
向の傾きに対しギア7を介しステージ2と逆向きに+
Y、−Y方向に移動する。
ージを互いに直交するXY方向のそれぞれの正方向と逆
方向に移動させるXYステージ装置において、ステージ
がX方向についてはジョイスティックの傾きと逆向きに
移動し、Y方向については同じ向きに移動するようにす
る。 【構成】 ベース5上にステージ4が+X、−X方向に
可動に設けられ、その上にステージ3が+Y、−Y方向
に可動に設けられ、その上にステージ2が+Y、−Y方
向に可動に設けられ、ステージ2に対しジョイスティッ
ク1が固定された支点部6を支点として任意の方向に傾
けられるように結合される。ステージ3は、スティック
1の+X、−X方向の傾きに対しステージ2と一体的に
−X、+X方向に移動し、スティック1の+Y、−Y方
向の傾きに対しギア7を介しステージ2と逆向きに+
Y、−Y方向に移動する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はXYステージ装置に関
し、特にジョイスティックを傾かせることによりステー
ジを互いに直交するXY方向のそれぞれの正方向と逆方
向に移動させるXYステージ装置に関するものである。
し、特にジョイスティックを傾かせることによりステー
ジを互いに直交するXY方向のそれぞれの正方向と逆方
向に移動させるXYステージ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種のXYステージ装置では、任意の
方向に傾かせることのできるジョイスティックと、互い
に直交するXY方向のそれぞれの正方向と逆方向に可動
なステージが設けられ、操作者がジョイスティックを任
意の方向に傾かせることにより、その傾きに応じてステ
ージがXY方向のそれぞれの逆方向と正方向に移動する
ようになっている。
方向に傾かせることのできるジョイスティックと、互い
に直交するXY方向のそれぞれの正方向と逆方向に可動
なステージが設けられ、操作者がジョイスティックを任
意の方向に傾かせることにより、その傾きに応じてステ
ージがXY方向のそれぞれの逆方向と正方向に移動する
ようになっている。
【0003】従来のXYステージ装置では、ジョイステ
ィックの傾き方向とステージの移動する方向とが逆方向
であった。即ち、ジョイスティックのX方向の正方向と
逆方向、Y方向の正方向と逆方向のそれぞれの傾きに対
応してステージがX方向の逆方向と正方向、Y方向の逆
方向と正方向のそれぞれに移動するようになっていた。
ィックの傾き方向とステージの移動する方向とが逆方向
であった。即ち、ジョイスティックのX方向の正方向と
逆方向、Y方向の正方向と逆方向のそれぞれの傾きに対
応してステージがX方向の逆方向と正方向、Y方向の逆
方向と正方向のそれぞれに移動するようになっていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のX
Yステージ装置では通常の使用には問題はない。しか
し、XY方向のうち片方のみ、例えばX方向についてジ
ョイスティックのX方向の正方向と逆方向の傾きに対し
てステージをX方向の正方向と逆方向に移動させるとい
うように、ステージをジョイスティックの傾きと同じ向
きに移動させることが必要な場合がある。このことは従
来のXYステージ装置をどのように組み合わせても実現
できなかった。
Yステージ装置では通常の使用には問題はない。しか
し、XY方向のうち片方のみ、例えばX方向についてジ
ョイスティックのX方向の正方向と逆方向の傾きに対し
てステージをX方向の正方向と逆方向に移動させるとい
うように、ステージをジョイスティックの傾きと同じ向
きに移動させることが必要な場合がある。このことは従
来のXYステージ装置をどのように組み合わせても実現
できなかった。
【0005】そこで、本発明の課題は、XY方向の片方
のみステージをジョイスティックの傾きと同じ向きに移
動させることができるXYステージ装置を提供すること
にある。
のみステージをジョイスティックの傾きと同じ向きに移
動させることができるXYステージ装置を提供すること
にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明のXYステージ装置によれば、XYステージ
装置のベース上でX方向の正逆方向に可動に設けられた
第1のステージと、該第1のステージ上でX方向と直交
するY方向の正逆方向に可動に設けられた第2のステー
ジと、該第2のステージ上でY方向の正逆方向に可動に
設けられた第3のステージと、前記第1のステージに固
定された軸に回転可能に軸受され、前記第3のステージ
のY方向の正逆方向の移動力を前記第2のステージに逆
向きに伝達するギアと、前記ベースに対して固定された
位置関係にある支点部を支点として任意の方向に傾ける
ことができ、前記第3のステージに回動可能に結合され
たジョイスティックを有し、該ジョイスティックを傾か
せることにより該傾きの逆方向に前記第3のステージが
移動され、該移動に対し前記第2のステージはX方向に
ついては第3のステージと一体的に移動し、Y方向につ
いては前記ギアを介し第3のステージと逆向きに移動す
る構造を採用した。
め、本発明のXYステージ装置によれば、XYステージ
装置のベース上でX方向の正逆方向に可動に設けられた
第1のステージと、該第1のステージ上でX方向と直交
するY方向の正逆方向に可動に設けられた第2のステー
ジと、該第2のステージ上でY方向の正逆方向に可動に
設けられた第3のステージと、前記第1のステージに固
定された軸に回転可能に軸受され、前記第3のステージ
のY方向の正逆方向の移動力を前記第2のステージに逆
向きに伝達するギアと、前記ベースに対して固定された
位置関係にある支点部を支点として任意の方向に傾ける
ことができ、前記第3のステージに回動可能に結合され
たジョイスティックを有し、該ジョイスティックを傾か
せることにより該傾きの逆方向に前記第3のステージが
移動され、該移動に対し前記第2のステージはX方向に
ついては第3のステージと一体的に移動し、Y方向につ
いては前記ギアを介し第3のステージと逆向きに移動す
る構造を採用した。
【0007】
【作用】このような構造によれば、ジョイスティックを
X方向の正逆方向に傾けると、第2のステージはX方向
でジョイスティックの傾きと逆向きに移動する。またジ
ョイスティックをY方向の正逆方向に傾けると、第2の
ステージはY方向でジョイスティックの傾きと同じ向き
に移動する。
X方向の正逆方向に傾けると、第2のステージはX方向
でジョイスティックの傾きと逆向きに移動する。またジ
ョイスティックをY方向の正逆方向に傾けると、第2の
ステージはY方向でジョイスティックの傾きと同じ向き
に移動する。
【0008】
【実施例】以下、図1を参照して本発明の実施例を説明
する。図1は実施例のXYステージ装置の構造を示し、
(a)はX方向から見た断面、(b)はY方向から見た
断面を示す。同図中でX方向の正方向と逆方向を+X、
−Xの符号、Y方向の正方向と逆方向を+Y、−Yの符
号で示してある。
する。図1は実施例のXYステージ装置の構造を示し、
(a)はX方向から見た断面、(b)はY方向から見た
断面を示す。同図中でX方向の正方向と逆方向を+X、
−Xの符号、Y方向の正方向と逆方向を+Y、−Yの符
号で示してある。
【0009】図1(a)、(b)において符号5は装置
のベースであり、このベース5上に第1のステージ4が
コロ9を介して+X、−X方向に可動に設けられてい
る。ステージ4上には図中斜線を付した第2のステージ
3がコロ10を介して+Y、−Y方向に可動に設けられ
ている。さらに、ステージ3上には第3のステージ2が
コロ11を介して+Y、−Y方向に可動に設けられてい
る。
のベースであり、このベース5上に第1のステージ4が
コロ9を介して+X、−X方向に可動に設けられてい
る。ステージ4上には図中斜線を付した第2のステージ
3がコロ10を介して+Y、−Y方向に可動に設けられ
ている。さらに、ステージ3上には第3のステージ2が
コロ11を介して+Y、−Y方向に可動に設けられてい
る。
【0010】一方、ステージ4のY方向に沿った両側面
の両端部のそれぞれには、上方へ向かってコの字形に屈
曲した軸8が固定されており、軸8のそれぞれの先端部
にはゴムなどからなる摩擦ギア7が回転可能に軸受さ
れ、ステージ2、3間に挟まれるように合計4個設けら
れている。この摩擦ギア7により後述のようにステージ
2の+Y、−Y方向の移動力がステージ3に逆向きに伝
達される。
の両端部のそれぞれには、上方へ向かってコの字形に屈
曲した軸8が固定されており、軸8のそれぞれの先端部
にはゴムなどからなる摩擦ギア7が回転可能に軸受さ
れ、ステージ2、3間に挟まれるように合計4個設けら
れている。この摩擦ギア7により後述のようにステージ
2の+Y、−Y方向の移動力がステージ3に逆向きに伝
達される。
【0011】また、ステージ2の上面側にはジョイステ
ィック1が球形の下端部の部分で回動可能に結合されて
いる。ジョイスティック1はベース5に対し固定された
位置関係にある支点部6を支点として任意の方向に傾け
られるようになっている。
ィック1が球形の下端部の部分で回動可能に結合されて
いる。ジョイスティック1はベース5に対し固定された
位置関係にある支点部6を支点として任意の方向に傾け
られるようになっている。
【0012】次に動作を説明する。ジョイスティック1
を手動操作で+X方向へ傾けると、ステージ2が逆の−
X方向に押される。ここでステージ2〜4は互いに対し
X方向の両方向には可動でないように結合されており、
ステージ4はベース5に対しX方向に可動であるので、
ステージ2〜4は一体的に−X方向に移動する。また、
逆にジョイスティック1を−X方向へ傾けるとステージ
2〜4は+X方向に移動する。
を手動操作で+X方向へ傾けると、ステージ2が逆の−
X方向に押される。ここでステージ2〜4は互いに対し
X方向の両方向には可動でないように結合されており、
ステージ4はベース5に対しX方向に可動であるので、
ステージ2〜4は一体的に−X方向に移動する。また、
逆にジョイスティック1を−X方向へ傾けるとステージ
2〜4は+X方向に移動する。
【0013】一方、ジョイスティック1を+Y方向へ傾
けると、ステージ2が−Y方向へ押されて移動し、摩擦
ギア7がステージ2との摩擦により図1(a)中で反時
計方向に回転し、それによりステージ3が+Y方向に移
動される。なお、ここでステージ4が+Y、−Y方向へ
は動かず軸8が+Y、−Y方向に動かないことにより、
前記の摩擦ギア7を介したステージ2から3への逆方向
の力の伝達が可能になる。
けると、ステージ2が−Y方向へ押されて移動し、摩擦
ギア7がステージ2との摩擦により図1(a)中で反時
計方向に回転し、それによりステージ3が+Y方向に移
動される。なお、ここでステージ4が+Y、−Y方向へ
は動かず軸8が+Y、−Y方向に動かないことにより、
前記の摩擦ギア7を介したステージ2から3への逆方向
の力の伝達が可能になる。
【0014】また、ジョイスティック1を−Y方向へ傾
けると、上記と逆にステージ2が+Y方向に移動し、摩
擦ギア7を介しステージ3が−Y方向に移動する。
けると、上記と逆にステージ2が+Y方向に移動し、摩
擦ギア7を介しステージ3が−Y方向に移動する。
【0015】このようにして、ジョイスティック1の傾
きによるステージ3の移動方向は、X方向についてはジ
ョイスティック1の傾き方向と逆方向になり、Y方向に
ついてはジョイスティック1の傾き方向と同方向にな
る。なお、XY方向の設定は相対的なものであり、図1
中のX方向をY方向とし、Y方向をX方向と設定しても
よいことは勿論である。
きによるステージ3の移動方向は、X方向についてはジ
ョイスティック1の傾き方向と逆方向になり、Y方向に
ついてはジョイスティック1の傾き方向と同方向にな
る。なお、XY方向の設定は相対的なものであり、図1
中のX方向をY方向とし、Y方向をX方向と設定しても
よいことは勿論である。
【0016】以上のように本実施例によれば、ステージ
3をXY方向の片方についてはジョイスティック1の傾
きと逆向きに移動させ、XY方向の他方についてはジョ
イスティック1の傾きと同じ向きに移動させることがで
きる。
3をXY方向の片方についてはジョイスティック1の傾
きと逆向きに移動させ、XY方向の他方についてはジョ
イスティック1の傾きと同じ向きに移動させることがで
きる。
【0017】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のXYステージ装置によれば、XYステージ装置のベー
ス上でX方向の正逆方向に可動に設けられた第1のステ
ージと、該第1のステージ上でX方向と直交するY方向
の正逆方向に可動に設けられた第2のステージと、該第
2のステージ上でY方向の正逆方向に可動に設けられた
第3のステージと、前記第1のステージに固定された軸
に回転可能に軸受され、前記第3のステージのY方向の
正逆方向の移動力を前記第2のステージに逆向きに伝達
するギアと、前記ベースに対して固定された位置関係に
ある支点部を支点として任意の方向に傾けることがで
き、前記第3のステージに回動可能に結合されたジョイ
スティックを有し、該ジョイスティックを傾かせること
により該傾きの逆方向に前記第3のステージが移動さ
れ、該移動に対し前記第2のステージはX方向について
は第3のステージと一体的に移動し、Y方向については
前記ギアを介し第3のステージと逆向きに移動する構造
を採用したので、ジョイスティックの傾きによる第2の
ステージの移動は、X方向についてはジョイスティック
の傾きと逆向きで、Y方向については同じ向きになり、
従来では実現できなかったステージの移動が可能である
という優れた効果が得られる。
のXYステージ装置によれば、XYステージ装置のベー
ス上でX方向の正逆方向に可動に設けられた第1のステ
ージと、該第1のステージ上でX方向と直交するY方向
の正逆方向に可動に設けられた第2のステージと、該第
2のステージ上でY方向の正逆方向に可動に設けられた
第3のステージと、前記第1のステージに固定された軸
に回転可能に軸受され、前記第3のステージのY方向の
正逆方向の移動力を前記第2のステージに逆向きに伝達
するギアと、前記ベースに対して固定された位置関係に
ある支点部を支点として任意の方向に傾けることがで
き、前記第3のステージに回動可能に結合されたジョイ
スティックを有し、該ジョイスティックを傾かせること
により該傾きの逆方向に前記第3のステージが移動さ
れ、該移動に対し前記第2のステージはX方向について
は第3のステージと一体的に移動し、Y方向については
前記ギアを介し第3のステージと逆向きに移動する構造
を採用したので、ジョイスティックの傾きによる第2の
ステージの移動は、X方向についてはジョイスティック
の傾きと逆向きで、Y方向については同じ向きになり、
従来では実現できなかったステージの移動が可能である
という優れた効果が得られる。
【図1】本発明の実施例によるXYテーブル装置の構造
を示す断面図である。
を示す断面図である。
1 ジョイスティック 2〜4 ステージ 5 ベース 6 支点部 7 摩擦ギア 8 軸 9〜11 コロ
Claims (1)
- 【請求項1】 XYステージ装置のベース上でX方向の
正逆方向に可動に設けられた第1のステージと、 該第1のステージ上でX方向と直交するY方向の正逆方
向に可動に設けられた第2のステージと、 該第2のステージ上でY方向の正逆方向に可動に設けら
れた第3のステージと、 前記第1のステージに固定された軸に回転可能に軸受さ
れ、前記第3のステージのY方向の正逆方向の移動力を
前記第2のステージに逆向きに伝達するギアと、 前記ベースに対して固定された位置関係にある支点部を
支点として任意の方向に傾けることができ、前記第3の
ステージに回動可能に結合されたジョイスティックを有
し、 該ジョイスティックを傾かせることにより該傾きの逆方
向に前記第3のステージが移動され、該移動に対し前記
第2のステージはX方向については第3のステージと一
体的に移動し、Y方向については前記ギアを介し第3の
ステージと逆向きに移動することを特徴とするXYステ
ージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3114592A JPH05231493A (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | Xyステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3114592A JPH05231493A (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | Xyステージ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05231493A true JPH05231493A (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=12323275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3114592A Pending JPH05231493A (ja) | 1992-02-19 | 1992-02-19 | Xyステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05231493A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008126235A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Pioneer Corporation | 駆動装置 |
EP3553626A1 (de) * | 2018-04-13 | 2019-10-16 | Dr. Schneider Kunststoffwerke GmbH | Bedieneinrichtung |
-
1992
- 1992-02-19 JP JP3114592A patent/JPH05231493A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008126235A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Pioneer Corporation | 駆動装置 |
EP3553626A1 (de) * | 2018-04-13 | 2019-10-16 | Dr. Schneider Kunststoffwerke GmbH | Bedieneinrichtung |
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