JPH0517219A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
- Publication number
- JPH0517219A JPH0517219A JP3188042A JP18804291A JPH0517219A JP H0517219 A JPH0517219 A JP H0517219A JP 3188042 A JP3188042 A JP 3188042A JP 18804291 A JP18804291 A JP 18804291A JP H0517219 A JPH0517219 A JP H0517219A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- heat resistance
- electromechanical coupling
- piezoelectric ceramic
- resonance frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気機械結合係数及び耐熱性が高く、しかも
経時変化が小さい圧電性材料を得ることを目的とする。 【構成】 ａＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 −ｂＰｂ
（Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 −ｃＰｂＴｉＯ3 −ｄＰｂＺｒ
Ｏ3 （ただし、０．０１≦ａ≦０．２０， ０．０１≦ｂ≦
０．２００≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９
８， ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１）で表される圧電性磁器組成
物。
経時変化が小さい圧電性材料を得ることを目的とする。 【構成】 ａＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 −ｂＰｂ
（Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 −ｃＰｂＴｉＯ3 −ｄＰｂＺｒ
Ｏ3 （ただし、０．０１≦ａ≦０．２０， ０．０１≦ｂ≦
０．２００≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９
８， ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１）で表される圧電性磁器組成
物。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電磁器組成物に関
し、特に、セラミックフィルタ、セラミック発振子、セ
ラミックディスクリミネータ、表面弾性波素子などに用
いる圧電磁器組成物に関するものである。
し、特に、セラミックフィルタ、セラミック発振子、セ
ラミックディスクリミネータ、表面弾性波素子などに用
いる圧電磁器組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電磁器組成物としては、二
元系のＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3 （ＰＺＴ）にＢｉ2
Ｏ3 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ，ＭｎＯ2 ，ＺｎＯ等の添加物を加え
て、圧電特性の改善を図ることが試みられている。その
他、三元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｎ
1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 系、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −
Ｐｂ（Ｍｇ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 系等の圧電磁器組成物も
開発されている。また、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3
−ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系組成物も提案されてい
る（特公昭４５−３７９０７号公報等参照）。
元系のＰｂＴｉＯ3−ＰｂＺｒＯ3 （ＰＺＴ）にＢｉ2
Ｏ3 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ，ＭｎＯ2 ，ＺｎＯ等の添加物を加え
て、圧電特性の改善を図ることが試みられている。その
他、三元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｎ
1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 系、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −
Ｐｂ（Ｍｇ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 系等の圧電磁器組成物も
開発されている。また、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3
−ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系組成物も提案されてい
る（特公昭４５−３７９０７号公報等参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の圧電磁器組成物は耐熱性、経時変化特性等に大きな
問題を有していた。従来の圧電磁器組成物からなる圧電
素子、例えば、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 −ＰｂＴ
ｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系のＰｂ｛（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）
0.09Ｔｉ0.47Ｚｒ0.46｝Ｏ3 からなる素子の耐熱性にお
いて、圧電素子を加熱していくと、図１の破線で示すよ
うに、キュリー点よりも１００℃以上低い温度の２００
℃位から徐々に熱による脱分極を起こし、圧電特性に関
する電気機械結合係数の劣化が始まる。このため圧電素
子の使用上限温度はキュリー点よりはるかに低い２００
℃付近に限定されていた。この原因としては第３成分の
固溶によってキュリー点が低下してしまうことと、材料
が本質的に脱分極を起こし易いことが上げられる。一方
で、近年電子部品のチップ化が進み、小型の表面実装が
可能な圧電素子すなわちセラミックフィルタ、セラミッ
ク発振子、ディスクリミネータ、トラップ等が開発され
ている。従来のリード付樹脂モールド素子や金属ケース
に封入された素子では、はんだ付け実装時に圧電セラミ
ックスの温度上昇は２００℃程度に抑えられていたが、
これらのチップ素子でははんだ付けの時に圧電セラミッ
クスも３００℃程度の高温にさらされるようになった。
従って、従来の圧電磁器組成物からは耐熱性において信
頼性の高いチップ部品を作ることは不可能であった。
来の圧電磁器組成物は耐熱性、経時変化特性等に大きな
問題を有していた。従来の圧電磁器組成物からなる圧電
素子、例えば、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 −ＰｂＴ
ｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系のＰｂ｛（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）
0.09Ｔｉ0.47Ｚｒ0.46｝Ｏ3 からなる素子の耐熱性にお
いて、圧電素子を加熱していくと、図１の破線で示すよ
うに、キュリー点よりも１００℃以上低い温度の２００
℃位から徐々に熱による脱分極を起こし、圧電特性に関
する電気機械結合係数の劣化が始まる。このため圧電素
子の使用上限温度はキュリー点よりはるかに低い２００
℃付近に限定されていた。この原因としては第３成分の
固溶によってキュリー点が低下してしまうことと、材料
が本質的に脱分極を起こし易いことが上げられる。一方
で、近年電子部品のチップ化が進み、小型の表面実装が
可能な圧電素子すなわちセラミックフィルタ、セラミッ
ク発振子、ディスクリミネータ、トラップ等が開発され
ている。従来のリード付樹脂モールド素子や金属ケース
に封入された素子では、はんだ付け実装時に圧電セラミ
ックスの温度上昇は２００℃程度に抑えられていたが、
これらのチップ素子でははんだ付けの時に圧電セラミッ
クスも３００℃程度の高温にさらされるようになった。
従って、従来の圧電磁器組成物からは耐熱性において信
頼性の高いチップ部品を作ることは不可能であった。
【０００４】また、共振周波数の経時変化にも大きな問
題がある。圧電セラミックスを分極処理してからの経過
時間を横軸に対数目盛りでとり、共振周波数の変化率を
縦軸にとり、図２に破線で示した。この例からわかるよ
うに、従来の材料は０．５％／time decade 程度の経時
変化を示している。この現象は、フィルターや発振子と
して加工した後でその周波数が初期の値から大きく変動
してしまうため、大きな問題となっていた。
題がある。圧電セラミックスを分極処理してからの経過
時間を横軸に対数目盛りでとり、共振周波数の変化率を
縦軸にとり、図２に破線で示した。この例からわかるよ
うに、従来の材料は０．５％／time decade 程度の経時
変化を示している。この現象は、フィルターや発振子と
して加工した後でその周波数が初期の値から大きく変動
してしまうため、大きな問題となっていた。
【０００５】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、電気機械結合係数及
び耐熱性が高く、しかも経時変化が小さい圧電性材料を
得ることができる圧電磁器組成物を提供することにあ
る。
もので、その目的とするところは、電気機械結合係数及
び耐熱性が高く、しかも経時変化が小さい圧電性材料を
得ることができる圧電磁器組成物を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る圧電磁器組
成物は、 ａＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 −ｂＰｂ（Ｍｇ1/2 Ｗ
1/2 ）Ｏ3 −ｃＰｂＴｉＯ3 −ｄＰｂＺｒＯ3 （ただし、０．０１≦ａ≦０．２０， ０．０１≦ｂ≦
０．２０ ０≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９８ ａ＋
ｂ＋ｃ＋ｄ＝１）で表されることを特徴とする。
成物は、 ａＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 −ｂＰｂ（Ｍｇ1/2 Ｗ
1/2 ）Ｏ3 −ｃＰｂＴｉＯ3 −ｄＰｂＺｒＯ3 （ただし、０．０１≦ａ≦０．２０， ０．０１≦ｂ≦
０．２０ ０≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９８ ａ＋
ｂ＋ｃ＋ｄ＝１）で表されることを特徴とする。
【０００７】本発明において、圧電磁器組成物の組成を
上記範囲に限定した理由は次の通りである。Ｐｂ（Ｙｂ
1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 が０．０１（モル分率、以下同じ）
未満では所望の高い電気機械結合係数が得られない。ま
た、０．２０を超えると、かえって耐熱性が低下する。
そのため、０．０１≦ａ≦０．２０とした。Ｐｂ（Ｍｇ
1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 が０．０１未満では所望の高い機械的
品質係数が得られない。また、０．２０を超えると耐熱
性が低下する。そのため、０．０１≦ｂ≦０．２０とし
た。ＰｂＴｉＯ3 が０．７０を超えると所望の高い電気
機械結合係数が得られないので、ｃを０．７以下とし
た。ＰｂＺｒＯ3 が０．２８未満では所望の高い電気機
械結合係数が得られない。また、０．９８を超えると、
ａ又はｂが０．０１未満となり、第３成分、及び第４成
分のＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 及びＰｂ（Ｍｇ1/2
Ｗ1/2 ）Ｏ3 を添加する効果が出ず、共振周波数の経時
変化と耐熱性の向上が図れない。そのため、ＰｂＺｒＯ
3 を０．２８≦ｄ≦０．９８とした。
上記範囲に限定した理由は次の通りである。Ｐｂ（Ｙｂ
1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 が０．０１（モル分率、以下同じ）
未満では所望の高い電気機械結合係数が得られない。ま
た、０．２０を超えると、かえって耐熱性が低下する。
そのため、０．０１≦ａ≦０．２０とした。Ｐｂ（Ｍｇ
1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 が０．０１未満では所望の高い機械的
品質係数が得られない。また、０．２０を超えると耐熱
性が低下する。そのため、０．０１≦ｂ≦０．２０とし
た。ＰｂＴｉＯ3 が０．７０を超えると所望の高い電気
機械結合係数が得られないので、ｃを０．７以下とし
た。ＰｂＺｒＯ3 が０．２８未満では所望の高い電気機
械結合係数が得られない。また、０．９８を超えると、
ａ又はｂが０．０１未満となり、第３成分、及び第４成
分のＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 及びＰｂ（Ｍｇ1/2
Ｗ1/2 ）Ｏ3 を添加する効果が出ず、共振周波数の経時
変化と耐熱性の向上が図れない。そのため、ＰｂＺｒＯ
3 を０．２８≦ｄ≦０．９８とした。
【０００８】
【作用】本発明に係る圧電磁器組成物は、上記のように
第３成分、及び第４成分のＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ
3 及びＰｂ（Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 を含ませて構成した
ので、これらの成分の相互作用により、キュリー点が、
従来組成のように大きく低下することがなく、３００℃
程度のキュリー点を有し、しかもキュリー点直下まで電
気機械結合係数が大きく劣化することがなく、高い耐熱
性を持っている。また共振周波数の経時変化について
も、０．１％／time decade以下の高安定な圧電素子を
得ることができる。しかも、組成比を選ぶことによりＫ
ｐ＞６０％、εｒ＞１０００の優れた圧電材料を実現す
ることができる。本発明に係る圧電磁器組成物から、上
記のように共振周波数の経時変化と耐熱性を向上させる
ので、圧電特性にすぐれ、耐熱性が高く、しかも経時変
化が小さい圧電材料を得ることができる。
第３成分、及び第４成分のＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ
3 及びＰｂ（Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 を含ませて構成した
ので、これらの成分の相互作用により、キュリー点が、
従来組成のように大きく低下することがなく、３００℃
程度のキュリー点を有し、しかもキュリー点直下まで電
気機械結合係数が大きく劣化することがなく、高い耐熱
性を持っている。また共振周波数の経時変化について
も、０．１％／time decade以下の高安定な圧電素子を
得ることができる。しかも、組成比を選ぶことによりＫ
ｐ＞６０％、εｒ＞１０００の優れた圧電材料を実現す
ることができる。本発明に係る圧電磁器組成物から、上
記のように共振周波数の経時変化と耐熱性を向上させる
ので、圧電特性にすぐれ、耐熱性が高く、しかも経時変
化が小さい圧電材料を得ることができる。
【０００９】
【実施例】次に本発明を実施例により詳しく説明する。
出発原料として、ＰｂＯ，Ｙｂ2 Ｏ3 ，Ｎｂ2 Ｏ5 ，Ｍ
ｇＯ，ＷＯ3 ，ＴｉＯ2 及びＺｒＯ2 を使用し、これら
の粉末を表１に示す組成になるように秤量した。この原
料粉末を湿式混合して乾燥した後、７００〜９００℃で
仮焼した。次いで有機系バインダーを加え、湿式粉砕し
て整粒した後、成形圧１ton ／ｃｍ2 で成形した。成形
体を１０００〜１２５０℃で焼成した。焼成により得ら
れた磁器の両主面に焼付け電極を形成し、５０〜８０℃
の絶縁油中において２〜３ＫＶ／ｍｍの電圧で３０分間
分極処理した。
出発原料として、ＰｂＯ，Ｙｂ2 Ｏ3 ，Ｎｂ2 Ｏ5 ，Ｍ
ｇＯ，ＷＯ3 ，ＴｉＯ2 及びＺｒＯ2 を使用し、これら
の粉末を表１に示す組成になるように秤量した。この原
料粉末を湿式混合して乾燥した後、７００〜９００℃で
仮焼した。次いで有機系バインダーを加え、湿式粉砕し
て整粒した後、成形圧１ton ／ｃｍ2 で成形した。成形
体を１０００〜１２５０℃で焼成した。焼成により得ら
れた磁器の両主面に焼付け電極を形成し、５０〜８０℃
の絶縁油中において２〜３ＫＶ／ｍｍの電圧で３０分間
分極処理した。
【００１０】分極処理により得られた圧電性材料につい
て、それぞれ誘電率（εｒ）、径方向の電気機械結合係
数（Ｋｐ）、及び機械的品質係数（Ｑｍ）を測定した。
また、耐熱温度は試料を３分間保持してＫｐの値が初期
値に対して９０％以上の値を示す温度の中での最高温度
である。測定の結果を表２に示すとともに、図１に、試
料Ｎｏ．１の組成物の温度と電気機械結合係数の関係を
実線で示し、図２に、試料Ｎｏ．１の組成物の共振周波
数の経時変化の関係を実線で示した。この結果から明ら
かなように、キュリー点が従来組成物のように大きく低
下することがなく、３００℃程度のキュリー点を有し、
しかもキュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく劣
化することがなく、高い耐熱性を持っている。また、共
振周波数の経時変化についても、０．１％／time decad
e 以下の高安定である。しかも、Ｋｐ＞６０％、εｒ＞
１０００の優れた圧電性材料を得ることができる。な
お、表中の試料Ｎｏ．欄の＊は、本発明の範囲外の組成
であることを示す。圧電特性はインピーダンス測定機に
より共振周波数及び***振周波数を測定し、計算により
求めた。
て、それぞれ誘電率（εｒ）、径方向の電気機械結合係
数（Ｋｐ）、及び機械的品質係数（Ｑｍ）を測定した。
また、耐熱温度は試料を３分間保持してＫｐの値が初期
値に対して９０％以上の値を示す温度の中での最高温度
である。測定の結果を表２に示すとともに、図１に、試
料Ｎｏ．１の組成物の温度と電気機械結合係数の関係を
実線で示し、図２に、試料Ｎｏ．１の組成物の共振周波
数の経時変化の関係を実線で示した。この結果から明ら
かなように、キュリー点が従来組成物のように大きく低
下することがなく、３００℃程度のキュリー点を有し、
しかもキュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく劣
化することがなく、高い耐熱性を持っている。また、共
振周波数の経時変化についても、０．１％／time decad
e 以下の高安定である。しかも、Ｋｐ＞６０％、εｒ＞
１０００の優れた圧電性材料を得ることができる。な
お、表中の試料Ｎｏ．欄の＊は、本発明の範囲外の組成
であることを示す。圧電特性はインピーダンス測定機に
より共振周波数及び***振周波数を測定し、計算により
求めた。
【００１１】
【表１】
【００１２】
【表２】
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る圧電磁器組成物からなる圧電性材料は、キュリー
点が従来組成のように大きく低下することがなく、３０
０℃程度のキュリー点を有し、しかもキュリー点直下ま
で電気機械結合係数が大きく劣化することがなく、高い
耐熱性を持っている。また、共振周波数の経時変化につ
いても、０．１％／time decade 以下の高安定な圧電素
子を得ることができる。しかも、組成比を選ぶことによ
りＫｐ＞６０％、εｒ＞１０００の優れた圧電性材料を
実現することができる。このように本発明による圧電磁
器組成物を用いた圧電材料は、大きな電気機械結合係
数、高い耐熱性、及び小さな経時変化を有する。
に係る圧電磁器組成物からなる圧電性材料は、キュリー
点が従来組成のように大きく低下することがなく、３０
０℃程度のキュリー点を有し、しかもキュリー点直下ま
で電気機械結合係数が大きく劣化することがなく、高い
耐熱性を持っている。また、共振周波数の経時変化につ
いても、０．１％／time decade 以下の高安定な圧電素
子を得ることができる。しかも、組成比を選ぶことによ
りＫｐ＞６０％、εｒ＞１０００の優れた圧電性材料を
実現することができる。このように本発明による圧電磁
器組成物を用いた圧電材料は、大きな電気機械結合係
数、高い耐熱性、及び小さな経時変化を有する。
【図１】本発明に係る圧電磁器組成物と従来例の耐熱特
性を比較するグラフである。
性を比較するグラフである。
【図２】本発明に係る圧電磁器組成物と従来例の共振周
波数の変化率を比較するグラフである。
波数の変化率を比較するグラフである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】ａＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 −ｂＰｂ
（Ｍｇ1/2 Ｗ1/2 ）Ｏ3 −ｃＰｂＴｉＯ3 −ｄＰｂＺｒ
Ｏ3 （ただし、０．０１≦ａ≦０．２０， ０．０１≦ｂ≦
０．２０ ０≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９８， ａ＋
ｂ＋ｃ＋ｄ＝１）で表される圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188042A JP2910339B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188042A JP2910339B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0517219A true JPH0517219A (ja) | 1993-01-26 |
| JP2910339B2 JP2910339B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=16216664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3188042A Expired - Lifetime JP2910339B2 (ja) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2910339B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527481A (en) * | 1993-12-27 | 1996-06-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
-
1991
- 1991-07-01 JP JP3188042A patent/JP2910339B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527481A (en) * | 1993-12-27 | 1996-06-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2910339B2 (ja) | 1999-06-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100282598B1 (ko) | 압전 세라믹 조성물 | |
| JPH0782024A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2000103674A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JPH11349380A (ja) | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 | |
| JPH06263535A (ja) | 圧電磁器 | |
| JP3097217B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2910338B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP2910340B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3097216B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP2910339B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP3106507B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3106508B2 (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JP3508244B2 (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JP3111564B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JP2737451B2 (ja) | 圧電磁器材料 | |
| JPH05139824A (ja) | 圧電性磁器組成物 | |
| JPH11209176A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JP3003087B2 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH11322420A (ja) | 圧電磁器組成物およびその製造方法 | |
| JPH06252468A (ja) | 圧電磁器 | |
| JP2874495B2 (ja) | 圧電磁器材料 | |
| JPH06256061A (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH05221717A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| JPH061657A (ja) | 圧電磁器 | |
| JPH061655A (ja) | 圧電磁器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090409 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090409 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100409 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110409 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110409 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120409 Year of fee payment: 13 |