JPH05119099A - プリント基板の検査方法 - Google Patents
プリント基板の検査方法Info
- Publication number
- JPH05119099A JPH05119099A JP3282896A JP28289691A JPH05119099A JP H05119099 A JPH05119099 A JP H05119099A JP 3282896 A JP3282896 A JP 3282896A JP 28289691 A JP28289691 A JP 28289691A JP H05119099 A JPH05119099 A JP H05119099A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor circuit
- sections
- section
- circuit board
- printed circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 導体回路部に傷をつけることなく、容易にし
かも確実に、プリント基板の導体回路部の断線箇所を見
出すことのできるプリント基板の検査方法を提供する。 【構成】 導体回路部に電位をかけた状態で、プリント
基板の導体回路部を走査型電子顕微鏡で観察して得られ
る導体回路部の画像の明暗の違いから導体回路部の断線
箇所を見出すプリント基板の検査方法。
かも確実に、プリント基板の導体回路部の断線箇所を見
出すことのできるプリント基板の検査方法を提供する。 【構成】 導体回路部に電位をかけた状態で、プリント
基板の導体回路部を走査型電子顕微鏡で観察して得られ
る導体回路部の画像の明暗の違いから導体回路部の断線
箇所を見出すプリント基板の検査方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板の導体回
路部の断線箇所を見出すためのプリント基板の検査方法
に関する。
路部の断線箇所を見出すためのプリント基板の検査方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板の導体回路部は細線化の傾
向にあり、この傾向にともない断線によるトラブルの発
生も増大する傾向がある。従来、この断線についての検
査は、機械的触針により、電気的導通の有無を判定して
いる。そして、断線箇所の異常部を特定する方法として
は、機械的触針を導体回路部の途中部分で行い、これを
何回も繰り返すことによって特定するのが一般的であ
る。しかし、この機械的触針の方法では導体回路部に傷
をつける欠点があり、また、複雑な回路になった場合に
は断線部分を見つけ出すには長時間を要するという欠点
があった。また、断線箇所の異常部を特定する方法とし
て、機械的触針の方法以外に、良品の導体回路部の画像
パターンと断線不良品の画像パターンとを比較して、異
常部を発見する方法も知られているが、この方法では、
ゴミ、汚れなども異常として検出され、断線箇所を見出
すための方法としては不十分であるのが現状である。
向にあり、この傾向にともない断線によるトラブルの発
生も増大する傾向がある。従来、この断線についての検
査は、機械的触針により、電気的導通の有無を判定して
いる。そして、断線箇所の異常部を特定する方法として
は、機械的触針を導体回路部の途中部分で行い、これを
何回も繰り返すことによって特定するのが一般的であ
る。しかし、この機械的触針の方法では導体回路部に傷
をつける欠点があり、また、複雑な回路になった場合に
は断線部分を見つけ出すには長時間を要するという欠点
があった。また、断線箇所の異常部を特定する方法とし
て、機械的触針の方法以外に、良品の導体回路部の画像
パターンと断線不良品の画像パターンとを比較して、異
常部を発見する方法も知られているが、この方法では、
ゴミ、汚れなども異常として検出され、断線箇所を見出
すための方法としては不十分であるのが現状である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の事情に鑑み、本
発明は導体回路部に傷をつけることなく、容易にしかも
確実に、プリント基板の導体回路部の断線箇所を見出す
ことのできるプリント基板の検査方法を提供することを
目的とする。
発明は導体回路部に傷をつけることなく、容易にしかも
確実に、プリント基板の導体回路部の断線箇所を見出す
ことのできるプリント基板の検査方法を提供することを
目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は導体回路部に電
位をかけた状態で、プリント基板の導体回路部を走査型
電子顕微鏡で観察して得られる導体回路部の画像の明暗
の違いから導体回路部の断線箇所を見出すプリント基板
の検査方法である。
位をかけた状態で、プリント基板の導体回路部を走査型
電子顕微鏡で観察して得られる導体回路部の画像の明暗
の違いから導体回路部の断線箇所を見出すプリント基板
の検査方法である。
【０００５】
【作用】本発明では、電位のかかっている部分に走査型
電子顕微鏡の電子ビームを当てると、電位が正であれば
照射された電子は外部に放出されにくく、一方、電位が
負であれば照射された電子は外部に多く放出されるとい
う原理を応用するものである。すなわち、導体回路部に
電位をかけた状態で、プリント基板の導体回路部を走査
型電子顕微鏡で観察して得られる導体回路部の画像は、
電位が正であれば画像では黒くなり、電位が負であれば
画像では白くなり、電位の違いが明暗の違いとなって画
像に表れる。そこで、導体回路部に断線箇所があると、
その箇所を境界として一方は黒く、もう一方は白く画像
に表れるので、この明暗の違いから導体回路部の断線箇
所を見出すことができる。
電子顕微鏡の電子ビームを当てると、電位が正であれば
照射された電子は外部に放出されにくく、一方、電位が
負であれば照射された電子は外部に多く放出されるとい
う原理を応用するものである。すなわち、導体回路部に
電位をかけた状態で、プリント基板の導体回路部を走査
型電子顕微鏡で観察して得られる導体回路部の画像は、
電位が正であれば画像では黒くなり、電位が負であれば
画像では白くなり、電位の違いが明暗の違いとなって画
像に表れる。そこで、導体回路部に断線箇所があると、
その箇所を境界として一方は黒く、もう一方は白く画像
に表れるので、この明暗の違いから導体回路部の断線箇
所を見出すことができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を図面を参照して説明する。図
１は本発明の方法を用いてプリント基板を検査している
状況を示す模式図であり、図２は図１に示すプリント基
板の検査において得られる、導体回路部の走査型電子顕
微鏡による画像を示す模式図である。
１は本発明の方法を用いてプリント基板を検査している
状況を示す模式図であり、図２は図１に示すプリント基
板の検査において得られる、導体回路部の走査型電子顕
微鏡による画像を示す模式図である。
【０００７】図１において、プリント基板３は第１の導
体回路部１と第２の導体回路部２とを有している。本来
は第１の導体回路部１と第２の導体回路部２とは導通し
ていたものを試験のために、断線部分６をわざと設け、
第１の導体回路部１と第２の導体回路部２とが断線状態
となるように構成されている。そして、この第１の導体
回路部１と第２の導体回路部２とに通電回路５により電
位をかける。すなわち、第１の導体回路部１に通電回路
５の電池の陽極を接続し、第２の導体回路部２に通電回
路５の電池の陰極をそれぞれ接続する。次に、この通電
状態において、走査型電子顕微鏡により電子ビーム４を
第１の導体回路部１と第２の導体回路部２とに照射し、
画像を得るようにする。このようにして、得られる走査
型電子顕微鏡による画像を示すのが図２であり、図２に
示すように、画像では第１の導体回路部１は黒く、そし
て、第２の導体回路部２は白く表れる。従って、明暗の
差が生じている境界点が断線箇所であると特定すること
ができる。
体回路部１と第２の導体回路部２とを有している。本来
は第１の導体回路部１と第２の導体回路部２とは導通し
ていたものを試験のために、断線部分６をわざと設け、
第１の導体回路部１と第２の導体回路部２とが断線状態
となるように構成されている。そして、この第１の導体
回路部１と第２の導体回路部２とに通電回路５により電
位をかける。すなわち、第１の導体回路部１に通電回路
５の電池の陽極を接続し、第２の導体回路部２に通電回
路５の電池の陰極をそれぞれ接続する。次に、この通電
状態において、走査型電子顕微鏡により電子ビーム４を
第１の導体回路部１と第２の導体回路部２とに照射し、
画像を得るようにする。このようにして、得られる走査
型電子顕微鏡による画像を示すのが図２であり、図２に
示すように、画像では第１の導体回路部１は黒く、そし
て、第２の導体回路部２は白く表れる。従って、明暗の
差が生じている境界点が断線箇所であると特定すること
ができる。
【０００８】
【発明の効果】本発明は導体回路部に電位をかけた状態
で、プリント基板の導体回路部を走査型電子顕微鏡で観
察して得られる導体回路部の画像の明暗の違いから導体
回路部の断線箇所を見出すプリント基板の検査方法であ
るので、導体回路部に傷をつけることなく、容易にしか
も確実に、プリント基板の導体回路部の断線箇所を見出
すことができる。
で、プリント基板の導体回路部を走査型電子顕微鏡で観
察して得られる導体回路部の画像の明暗の違いから導体
回路部の断線箇所を見出すプリント基板の検査方法であ
るので、導体回路部に傷をつけることなく、容易にしか
も確実に、プリント基板の導体回路部の断線箇所を見出
すことができる。
【図１】図１は本発明の方法を用いてプリント基板を検
査している状況を示す模式図である。
査している状況を示す模式図である。
【図２】図２はプリント基板の検査において得られる、
導体回路部の走査型電子顕微鏡による画像を示す模式図
である。
導体回路部の走査型電子顕微鏡による画像を示す模式図
である。
１ 第１の導体回路部 ２ 第２の導体回路部 ３ プリント基板 ４ 電子ビーム ５ 通電回路 ６ 断線部分
Claims (1)
- 【請求項１】 導体回路部に電位をかけた状態で、プリ
ント基板の導体回路部を走査型電子顕微鏡で観察して得
られる導体回路部の画像の明暗の違いから導体回路部の
断線箇所を見出すプリント基板の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3282896A JPH05119099A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント基板の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3282896A JPH05119099A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント基板の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05119099A true JPH05119099A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17658510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3282896A Pending JPH05119099A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | プリント基板の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05119099A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014092541A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 非接触式電気検査装置及び電気検査方法 |
-
1991
- 1991-10-29 JP JP3282896A patent/JPH05119099A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014092541A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 非接触式電気検査装置及び電気検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081121 |
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