JPH0356692Y2 - - Google Patents
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- JPH0356692Y2 JPH0356692Y2 JP12641287U JP12641287U JPH0356692Y2 JP H0356692 Y2 JPH0356692 Y2 JP H0356692Y2 JP 12641287 U JP12641287 U JP 12641287U JP 12641287 U JP12641287 U JP 12641287U JP H0356692 Y2 JPH0356692 Y2 JP H0356692Y2
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Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本考案は、たとえば真空ポンプの回転部のシー
ル等に用いられる磁性流体シール装置に関する。
ル等に用いられる磁性流体シール装置に関する。
(従来の技術)
従来、この種の磁性流体シール装置としては、
たとえば第5図および第6図に示すようなものが
ある。すなわち第5図において、100は磁性体
製の軸であり、この軸100はハウジング101
内周に回転自在に支承されている。ハウジング1
01内周には、軸方向に所定間隔だけ離間して配
設されてハウジング101内部を区分する一対の
磁極としての環状のポールピース102,103
が嵌着されている。そしてポールピース102,
103の外周側には磁力源としての永久磁石10
4が介装されており、この永久磁石104と両ポ
ールピース102,103および磁性体製の軸1
00の間に磁気回路H′を形成し、ポールピース
102,103の内周側端面と軸100の間に形
成される微小間隙g′1,g′2内に磁性流体F′が磁気
吸着されていた。
たとえば第5図および第6図に示すようなものが
ある。すなわち第5図において、100は磁性体
製の軸であり、この軸100はハウジング101
内周に回転自在に支承されている。ハウジング1
01内周には、軸方向に所定間隔だけ離間して配
設されてハウジング101内部を区分する一対の
磁極としての環状のポールピース102,103
が嵌着されている。そしてポールピース102,
103の外周側には磁力源としての永久磁石10
4が介装されており、この永久磁石104と両ポ
ールピース102,103および磁性体製の軸1
00の間に磁気回路H′を形成し、ポールピース
102,103の内周側端面と軸100の間に形
成される微小間隙g′1,g′2内に磁性流体F′が磁気
吸着されていた。
また、第6図は、ポールピース102,103
および永久磁石104を軸100に取付けた例
で、この場合には、ハウジング101を磁性体製
としてポールピース102,103、永久磁石1
04およびハウジング101の間に磁気回路
H′を形成し、ハウジング101とポールピース
102,103との微小間隙g′1,g′2内に磁性流
体F′を磁気吸着するものである。
および永久磁石104を軸100に取付けた例
で、この場合には、ハウジング101を磁性体製
としてポールピース102,103、永久磁石1
04およびハウジング101の間に磁気回路
H′を形成し、ハウジング101とポールピース
102,103との微小間隙g′1,g′2内に磁性流
体F′を磁気吸着するものである。
そして従来の磁性流体の注入作業は次の2つの
方法によつてなされていた。第1の方法として
は、第5図の装置を例にとつて説明すると、ハウ
ジング101内周にポールピース102,103
および永久磁石104を組み込み、軸100をポ
ールピース102,103間に挿入して取付けた
後、ポールピース102,103と軸100の間
の微小間隙g′1,g′2内に磁性流体F′を注入するも
のである。また、第2の方法は、第6図の装置を
例にとると第7図に示すように予めポールピース
102,103の間に磁性流体F′を保持しておい
て、その後に軸100をハウジング101内に挿
入して組付け、ポールピース102,103とハ
ウジング101との間の磁束の増大によつて永久
磁石104内周側に磁気吸着されている磁性流体
F′を微小間隙g′1,g′2側に移動させるものであつ
た。
方法によつてなされていた。第1の方法として
は、第5図の装置を例にとつて説明すると、ハウ
ジング101内周にポールピース102,103
および永久磁石104を組み込み、軸100をポ
ールピース102,103間に挿入して取付けた
後、ポールピース102,103と軸100の間
の微小間隙g′1,g′2内に磁性流体F′を注入するも
のである。また、第2の方法は、第6図の装置を
例にとると第7図に示すように予めポールピース
102,103の間に磁性流体F′を保持しておい
て、その後に軸100をハウジング101内に挿
入して組付け、ポールピース102,103とハ
ウジング101との間の磁束の増大によつて永久
磁石104内周側に磁気吸着されている磁性流体
F′を微小間隙g′1,g′2側に移動させるものであつ
た。
(考案が解決しようとする問題点)
しかし斯かる従来技術にあつては、まづ第1の
方法による磁性流体F′の充填作業によると、軸1
00をハウジング101に取付けた後に磁性流体
F′を注入するので、場合によつては磁性流体F′を
片側のポールピース103と軸100の間の微小
間隙g′2にしか注入することができず、そのため
耐圧性が低下してしまうという問題があつた。ま
た注入量を正確に制御することができず、注入量
が多すぎた場合には磁性流体が微小間隙g′2から
あふれて周囲を汚すおそれがあつた。
方法による磁性流体F′の充填作業によると、軸1
00をハウジング101に取付けた後に磁性流体
F′を注入するので、場合によつては磁性流体F′を
片側のポールピース103と軸100の間の微小
間隙g′2にしか注入することができず、そのため
耐圧性が低下してしまうという問題があつた。ま
た注入量を正確に制御することができず、注入量
が多すぎた場合には磁性流体が微小間隙g′2から
あふれて周囲を汚すおそれがあつた。
一方、磁性流体F′を軸100を取付ける前に予
め永久磁石104の外周側のポールピース10
2,103間に注入しておく方法をとる場合に
は、軸100挿入時にハウジング101に対して
ポールピース102,103が所定位置に達する
前に磁気回路H′が形成され、この磁気回路H′形
成と同時に磁性流体F′がハウジング101内周側
に移動してハウジング101内周に付着してしま
う。この位置からさらに軸100を奥まで移動さ
せると、磁性流体F′がポールピース102,10
3とハウジング101間の磁束によつて拘束され
た状態でハウジング101内周に沿つて移動する
ことになるが、その際に磁性流体F′がハウジング
101内周の各ポールピース102,103の通
過領域に付着して残り、ポールピース102,1
03が所定位置に達した時点では微小間隙g′1,
g′2に保持される磁性流体F′の量が減少してしま
い、磁性流体F′の充填量を正確に設定することが
できなかつた。
め永久磁石104の外周側のポールピース10
2,103間に注入しておく方法をとる場合に
は、軸100挿入時にハウジング101に対して
ポールピース102,103が所定位置に達する
前に磁気回路H′が形成され、この磁気回路H′形
成と同時に磁性流体F′がハウジング101内周側
に移動してハウジング101内周に付着してしま
う。この位置からさらに軸100を奥まで移動さ
せると、磁性流体F′がポールピース102,10
3とハウジング101間の磁束によつて拘束され
た状態でハウジング101内周に沿つて移動する
ことになるが、その際に磁性流体F′がハウジング
101内周の各ポールピース102,103の通
過領域に付着して残り、ポールピース102,1
03が所定位置に達した時点では微小間隙g′1,
g′2に保持される磁性流体F′の量が減少してしま
い、磁性流体F′の充填量を正確に設定することが
できなかつた。
本考案は上記した従来技術の問題点を解決する
ためになされたもので、その目的とするところ
は、磁性流体の充填作業を容易にでき、しかも充
填量を正確に設定し得る磁性流体シール装置を提
供することにある。
ためになされたもので、その目的とするところ
は、磁性流体の充填作業を容易にでき、しかも充
填量を正確に設定し得る磁性流体シール装置を提
供することにある。
(問題点を解決するための手段)
上記目的を達成するために、本考案にあつては、
磁性体製のハウジング内周に回転自在に支承され
る回転部材の外周にハウジング内部を軸方向に所
定間隔でもつて区分する一対の磁極を設けると共
に、該磁極の内周側に磁石を介在させて磁石、磁
極およびハウジングの間に磁気回路を形成し、上
記磁極の外径側端面とハウジング内周面との間に
形成した微小間隙内に磁性流体を磁気吸着させる
磁性流体シール装置において、前記磁石の外周
に、磁性流体を磁石内部を通る磁束によつて拘束
保持する貯溜凹所を設け、回転部材の回転により
生じる遠心力によつて上記貯溜凹所内に保持した
磁性流体を磁極とハウジング間の微小間隙に移動
せしめて成ることを特徴とする。
磁性体製のハウジング内周に回転自在に支承され
る回転部材の外周にハウジング内部を軸方向に所
定間隔でもつて区分する一対の磁極を設けると共
に、該磁極の内周側に磁石を介在させて磁石、磁
極およびハウジングの間に磁気回路を形成し、上
記磁極の外径側端面とハウジング内周面との間に
形成した微小間隙内に磁性流体を磁気吸着させる
磁性流体シール装置において、前記磁石の外周
に、磁性流体を磁石内部を通る磁束によつて拘束
保持する貯溜凹所を設け、回転部材の回転により
生じる遠心力によつて上記貯溜凹所内に保持した
磁性流体を磁極とハウジング間の微小間隙に移動
せしめて成ることを特徴とする。
(作用)
而して、回転部材とハウジングとの組付前に、
予め回転部材に設けた磁石の貯溜凹所内に所定量
の磁性流体を貯溜しておく。つぎに磁性流体を貯
溜した状態で回転部材をハウジング内周に組付け
る。そして回転部材が回転すると、貯溜凹所内に
貯溜された磁性流体に遠心力が作用し、磁性流体
が凹所から外部に流出して半径方向外方に移動
し、磁極とハウジングとの間に形成された微小間
隙内に磁性流体が自動的に磁気吸着される。
予め回転部材に設けた磁石の貯溜凹所内に所定量
の磁性流体を貯溜しておく。つぎに磁性流体を貯
溜した状態で回転部材をハウジング内周に組付け
る。そして回転部材が回転すると、貯溜凹所内に
貯溜された磁性流体に遠心力が作用し、磁性流体
が凹所から外部に流出して半径方向外方に移動
し、磁極とハウジングとの間に形成された微小間
隙内に磁性流体が自動的に磁気吸着される。
(実施例)
以下に本考案を図示の実施例に基づいて説明す
る。本考案の一実施例に係る磁性流体シール装置
を示す第1図乃至第3図において、1は回転部材
としての回転軸であり、図示しない軸受を介して
磁性体製のハウジング2内周に回転自在に支承さ
れている。この回転軸1の外周には磁極として1
対の環状のポールピース3,4が軸方向に所定間
隔だけ離間して嵌着されており、ハウジング2内
部を軸方向に区分している。このポールピース
3,4は磁性体製で、その外周面とハウジング2
内周面との間に環状の微小間隙g1,g2が形成され
ている。
る。本考案の一実施例に係る磁性流体シール装置
を示す第1図乃至第3図において、1は回転部材
としての回転軸であり、図示しない軸受を介して
磁性体製のハウジング2内周に回転自在に支承さ
れている。この回転軸1の外周には磁極として1
対の環状のポールピース3,4が軸方向に所定間
隔だけ離間して嵌着されており、ハウジング2内
部を軸方向に区分している。このポールピース
3,4は磁性体製で、その外周面とハウジング2
内周面との間に環状の微小間隙g1,g2が形成され
ている。
一方、このポールピース3,4の間には永久磁
石5が介装されている。磁石としては永久磁石に
限らず電磁石を用いてもよい。この永久磁石5は
円筒形状で、その内周面が回転軸1外周に嵌着さ
れており、外径寸法はポールピース3,4の外径
寸法より小さい。また永久磁石5の軸方向の両端
面はポールピース3,4と密接して一体化されて
おり、永久磁石5、ポールピース3,4および磁
性体製のハウジング2との間に磁気回路Hが形成
されている。このポールピース3,4は、たとえ
ば第4図に示すように永久磁石5によつて一体に
形成してもよい。そしてポールピース3,4とハ
ウジング2内周の間に形成された微小間隙g1,g2
を通る磁束によつて磁性流体Fを拘束し微小間隙
g1,g2内に磁気吸着している。
石5が介装されている。磁石としては永久磁石に
限らず電磁石を用いてもよい。この永久磁石5は
円筒形状で、その内周面が回転軸1外周に嵌着さ
れており、外径寸法はポールピース3,4の外径
寸法より小さい。また永久磁石5の軸方向の両端
面はポールピース3,4と密接して一体化されて
おり、永久磁石5、ポールピース3,4および磁
性体製のハウジング2との間に磁気回路Hが形成
されている。このポールピース3,4は、たとえ
ば第4図に示すように永久磁石5によつて一体に
形成してもよい。そしてポールピース3,4とハ
ウジング2内周の間に形成された微小間隙g1,g2
を通る磁束によつて磁性流体Fを拘束し微小間隙
g1,g2内に磁気吸着している。
上記永久磁石5の外周面には磁性流体Fを貯溜
保持する貯溜凹所としての1条の貯溜溝6が設け
られている。貯溜溝6は本実施例では断面矩形状
で永久磁石5の全周にわたつて刻設しており、貯
溜溝6内を通る磁束によつて磁性流体Fを貯溜溝
6内に拘束保持するようになつている。そして貯
溜溝6は半径方向外方に向つて開口しており、回
転軸1の回転により作用する遠心力によつて貯溜
溝6内に貯溜された磁性流体Fを貯溜溝6内から
流出させるようになつている。この貯溜溝6の位
置は遠心力によつて磁性流体Fが容易に流出し得
るように磁束密度の低い磁石5外周面の中央部に
設けることが好ましい。
保持する貯溜凹所としての1条の貯溜溝6が設け
られている。貯溜溝6は本実施例では断面矩形状
で永久磁石5の全周にわたつて刻設しており、貯
溜溝6内を通る磁束によつて磁性流体Fを貯溜溝
6内に拘束保持するようになつている。そして貯
溜溝6は半径方向外方に向つて開口しており、回
転軸1の回転により作用する遠心力によつて貯溜
溝6内に貯溜された磁性流体Fを貯溜溝6内から
流出させるようになつている。この貯溜溝6の位
置は遠心力によつて磁性流体Fが容易に流出し得
るように磁束密度の低い磁石5外周面の中央部に
設けることが好ましい。
また貯溜溝6の断面形状としては、本実施例で
は断面矩形状に形成したが、矩形状に限らず、た
とえば三角形状、台形状、半円形状、楕円形状等
任意の形状を選択することができる。また貯溜溝
6は一条だけでなく複数条形成してもよく、永久
磁石5の全周にわたつて連続した環状溝とする必
要はなく、部分的に形成したものでもよい。
は断面矩形状に形成したが、矩形状に限らず、た
とえば三角形状、台形状、半円形状、楕円形状等
任意の形状を選択することができる。また貯溜溝
6は一条だけでなく複数条形成してもよく、永久
磁石5の全周にわたつて連続した環状溝とする必
要はなく、部分的に形成したものでもよい。
もつとも貯溜溝6の断面形状としては溝部の幅
を狭めて、回転軸1組付時において磁性流体Fが
容易に流出しないようにすることが好ましい。す
なわち、貯溜溝6の形状は、回転軸一組付時にお
いては磁性流体Fの流出を可及的に防止できる形
状を選択し、一方貯溜溝6の形成位置は磁束密度
の低い永久磁石5外周面中央部に設けてポールピ
ース3,4に集中した磁力により磁性流体Fが貯
溜溝6から流れ出すのを防ぐとともに、回転軸1
回転時における磁性流体Fの流出を助長させるよ
うに配置してある。
を狭めて、回転軸1組付時において磁性流体Fが
容易に流出しないようにすることが好ましい。す
なわち、貯溜溝6の形状は、回転軸一組付時にお
いては磁性流体Fの流出を可及的に防止できる形
状を選択し、一方貯溜溝6の形成位置は磁束密度
の低い永久磁石5外周面中央部に設けてポールピ
ース3,4に集中した磁力により磁性流体Fが貯
溜溝6から流れ出すのを防ぐとともに、回転軸1
回転時における磁性流体Fの流出を助長させるよ
うに配置してある。
上記構成の磁性流体シール装置にあつては、組
付作業は次のようにして行なう。まづ第2図に示
すように永久磁石5外周面に設けた貯溜溝6内に
所定量の磁性流体Fを注入しておく。磁性流体F
は貯溜溝6内を通る磁束によつて貯溜溝6内に拘
束保持される。つぎに第3図イに示すように、磁
性流体Fを貯溜溝6内に貯溜した状態で、回転軸
1をハウジング2内に挿入する。回転軸1をハウ
ジング2内に挿入していくと、まづ回転軸1に嵌
着したポールピース3,4のうち一方のポールピ
ース4がハウジング2内周と対向し、その後他方
のポールピース3がハウジング2内周と対向して
ポールピース3,4、永久磁石5およびハウジン
グ2との間に磁気回路Hが形成される。この時点
でポールピース3,4とハウジング2との微小間
隙g1,g2内を通る磁束密度が高くなるが、貯溜溝
6内に貯溜された磁性流体Fは貯溜溝6内を通る
磁束によつて拘束保持された状態を保つ。
付作業は次のようにして行なう。まづ第2図に示
すように永久磁石5外周面に設けた貯溜溝6内に
所定量の磁性流体Fを注入しておく。磁性流体F
は貯溜溝6内を通る磁束によつて貯溜溝6内に拘
束保持される。つぎに第3図イに示すように、磁
性流体Fを貯溜溝6内に貯溜した状態で、回転軸
1をハウジング2内に挿入する。回転軸1をハウ
ジング2内に挿入していくと、まづ回転軸1に嵌
着したポールピース3,4のうち一方のポールピ
ース4がハウジング2内周と対向し、その後他方
のポールピース3がハウジング2内周と対向して
ポールピース3,4、永久磁石5およびハウジン
グ2との間に磁気回路Hが形成される。この時点
でポールピース3,4とハウジング2との微小間
隙g1,g2内を通る磁束密度が高くなるが、貯溜溝
6内に貯溜された磁性流体Fは貯溜溝6内を通る
磁束によつて拘束保持された状態を保つ。
つぎに回転軸1とハウジング2との組付が完了
した後、回転軸1が回転すると、第3図ロに示す
ように永久磁石5に設けた貯溜溝6内にその磁束
によつて拘束保持された磁性流体Fに遠心力fcが
作用する。この遠心力fcが、磁性流体Fを拘束す
る磁気吸着力より大きくなると、磁性流体Fは貯
溜溝6より流出して半径方向外方に吹き飛ばさ
れ、ハウジング2内周面にぶつかると共に磁束密
度の極めて高いポールピース3,4とハウジング
2間の微小間隙g1,g2側に磁気吸引されて移動
し、微小間隙g1,g2内に所定量の磁性流体Fが自
動的に注入充填されることになる。このように微
小間隙g1,g2内に磁気吸着された磁性流体によつ
て微小間隙g1,g2がシールされる。この微小間隙
g1,g2に保持される磁性流体Fの量は正確に一定
量に限定できるので所期の安定したシール性能を
維持できる。
した後、回転軸1が回転すると、第3図ロに示す
ように永久磁石5に設けた貯溜溝6内にその磁束
によつて拘束保持された磁性流体Fに遠心力fcが
作用する。この遠心力fcが、磁性流体Fを拘束す
る磁気吸着力より大きくなると、磁性流体Fは貯
溜溝6より流出して半径方向外方に吹き飛ばさ
れ、ハウジング2内周面にぶつかると共に磁束密
度の極めて高いポールピース3,4とハウジング
2間の微小間隙g1,g2側に磁気吸引されて移動
し、微小間隙g1,g2内に所定量の磁性流体Fが自
動的に注入充填されることになる。このように微
小間隙g1,g2内に磁気吸着された磁性流体によつ
て微小間隙g1,g2がシールされる。この微小間隙
g1,g2に保持される磁性流体Fの量は正確に一定
量に限定できるので所期の安定したシール性能を
維持できる。
(考案の効果)
本考案は以上の構成および作用から成るもの
で、回転部材に設けた磁石の貯溜凹所内に予め磁
性流体を注入しておけば、回転部材が回転した際
に磁性流体に作用する遠心力によつて凹所内に貯
溜された磁性流体は凹所から流出して磁極とハウ
ジング間の微小間隙内に自動的に磁気吸着され、
回転部材とハウジングとを組付けた後に磁性流体
の充填作業を行なう必要はなく充填作業の作業性
を向上させることができる。また、回転部材をハ
ウジングに組付ける際に、磁石の貯溜凹所内に磁
性流体が保持されるので、遠心力により磁極とハ
ウジングとの微小間隙に移動する磁性流体の量を
正確に設定することができ、シール特性の安定化
を図ることができる。
で、回転部材に設けた磁石の貯溜凹所内に予め磁
性流体を注入しておけば、回転部材が回転した際
に磁性流体に作用する遠心力によつて凹所内に貯
溜された磁性流体は凹所から流出して磁極とハウ
ジング間の微小間隙内に自動的に磁気吸着され、
回転部材とハウジングとを組付けた後に磁性流体
の充填作業を行なう必要はなく充填作業の作業性
を向上させることができる。また、回転部材をハ
ウジングに組付ける際に、磁石の貯溜凹所内に磁
性流体が保持されるので、遠心力により磁極とハ
ウジングとの微小間隙に移動する磁性流体の量を
正確に設定することができ、シール特性の安定化
を図ることができる。
第1図は本考案の一実施例に係る磁性流体シー
ル装置の要部縦断面図、第2図は第1図のシール
装置の永久磁石およびポールピースと回転軸との
組付前の状態を示す要部縦断面図、第3図は第1
図のシール装置の磁性流体の注入状態を示してお
り、第3図イは回転軸の回転前の要部縦断面図、
第3図ロは回転軸が回転して磁性流体が移動する
状態を示す要部縦断面図、第4図は第1図のシー
ル装置のポールピースを永久磁石により一体に成
形した状態を示す要部縦断面図、第5図および第
6図は従来の磁性流体シール装置の要部縦断面
図、第7図は第6図の装置の磁性流体の注入作業
状態を示しており、第7図イは軸の組付前の要部
縦断面図、第7図ロは軸組付後の要部縦断面図で
ある。 符号の説明、1……回転軸(回転部材)、2…
…ハウジング、3,4……ポールピース(磁極)、
5……永久磁石(磁石)、6……貯溜溝(貯溜凹
所)、g1,g2……微小間隙、F……磁性流体、H
……磁気回路。
ル装置の要部縦断面図、第2図は第1図のシール
装置の永久磁石およびポールピースと回転軸との
組付前の状態を示す要部縦断面図、第3図は第1
図のシール装置の磁性流体の注入状態を示してお
り、第3図イは回転軸の回転前の要部縦断面図、
第3図ロは回転軸が回転して磁性流体が移動する
状態を示す要部縦断面図、第4図は第1図のシー
ル装置のポールピースを永久磁石により一体に成
形した状態を示す要部縦断面図、第5図および第
6図は従来の磁性流体シール装置の要部縦断面
図、第7図は第6図の装置の磁性流体の注入作業
状態を示しており、第7図イは軸の組付前の要部
縦断面図、第7図ロは軸組付後の要部縦断面図で
ある。 符号の説明、1……回転軸(回転部材)、2…
…ハウジング、3,4……ポールピース(磁極)、
5……永久磁石(磁石)、6……貯溜溝(貯溜凹
所)、g1,g2……微小間隙、F……磁性流体、H
……磁気回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 磁性体製のハウジング内周に回転自在に支承さ
れる回転部材の外周にハウジング内部を軸方向に
所定間隔でもつて区分する一対の磁極を設けると
共に、該磁極の内周側に磁石を介在させて該磁
石、磁極およびハウジングの間に磁気回路を形成
し、上記磁極の外周面とハウジング内周面との間
に形成した微小間隙内に磁性流体を磁気吸着させ
る磁性流体シール装置において、 前記磁石の外周に、磁性流体を磁石内部を通る
磁束によつて拘束保持する貯溜凹所を設け、回転
部材の回転により生じる遠心力によつて上記貯溜
凹所内に保持した磁性流体を前記磁極とハウジン
グ間の微小間隙に移動せしめて成ることを特徴と
する磁性流体シール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12641287U JPH0356692Y2 (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12641287U JPH0356692Y2 (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6431260U JPS6431260U (ja) | 1989-02-27 |
JPH0356692Y2 true JPH0356692Y2 (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=31377912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12641287U Expired JPH0356692Y2 (ja) | 1987-08-21 | 1987-08-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0356692Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2501892Y2 (ja) * | 1990-02-07 | 1996-06-19 | 日本精工株式会社 | 磁性流体シ―ル装置 |
-
1987
- 1987-08-21 JP JP12641287U patent/JPH0356692Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6431260U (ja) | 1989-02-27 |
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