JPH03123088A - 固体アクチュエータ - Google Patents
固体アクチュエータInfo
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- JPH03123088A JPH03123088A JP1260067A JP26006789A JPH03123088A JP H03123088 A JPH03123088 A JP H03123088A JP 1260067 A JP1260067 A JP 1260067A JP 26006789 A JP26006789 A JP 26006789A JP H03123088 A JPH03123088 A JP H03123088A
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、光ディスク、磁気ディスク等を高速、高精度
位置決めするための固体アクチュエータに関するもので
ある。
位置決めするための固体アクチュエータに関するもので
ある。
(従来の技術)
従来、機械的信号と電気的信号を変換する固体素子の一
つとしてチタン酸デルコン酸鉛系セラミックス(PZT
)があり、超音波工学において振動体としての高出力化
、遅延素子としての小型化を目標とした研究が進められ
ている。
つとしてチタン酸デルコン酸鉛系セラミックス(PZT
)があり、超音波工学において振動体としての高出力化
、遅延素子としての小型化を目標とした研究が進められ
ている。
一方、最近の半導体製造装置や光ディスク、磁気ディス
ク等の情報機器の分野、精密加工技術の分野等において
位置決め技術の高精度化の研究が盛んである。この内、
圧電(電歪)効果を利用した固体アクチュエータは、電
圧を制御するだけでサブミクロンオーダの微小位置決め
を行うことが可能である等の特長をもっており最近注目
されている。
ク等の情報機器の分野、精密加工技術の分野等において
位置決め技術の高精度化の研究が盛んである。この内、
圧電(電歪)効果を利用した固体アクチュエータは、電
圧を制御するだけでサブミクロンオーダの微小位置決め
を行うことが可能である等の特長をもっており最近注目
されている。
上記固体アクチュエータの駆動源として利用される圧電
体は、圧電縦効果型と圧電横効果型の二つの型式に分け
られる。
体は、圧電縦効果型と圧電横効果型の二つの型式に分け
られる。
前者の場合、セラミックスの分極軸に平行な方向の歪又
は力が利用される。発生することができる変位量はわず
かであるが、発生力は大きくその応答も高速である。後
者の場合、セラミックスの分極軸に直角な方向の歪又は
力が利用される。この横効果利用を発展させたバイモル
フ型のものは、発生力は小さいが比較的大きな変位が得
られる。
は力が利用される。発生することができる変位量はわず
かであるが、発生力は大きくその応答も高速である。後
者の場合、セラミックスの分極軸に直角な方向の歪又は
力が利用される。この横効果利用を発展させたバイモル
フ型のものは、発生力は小さいが比較的大きな変位が得
られる。
上記圧電体を固体アクチュエータとして利用する場合、
圧電縦効果型のものは圧電定数dや圧電率g、電気機械
結合係数にの値が大きく、最も効果的である。しかし、
圧電縦効果を利用したアクチュエータは、一般に機械的
インピーダンスが相当に高いため応用機器に合わせたイ
ンピーダンスマツチング用メカニズムが必要となり、そ
の分機構が複雑となる。
圧電縦効果型のものは圧電定数dや圧電率g、電気機械
結合係数にの値が大きく、最も効果的である。しかし、
圧電縦効果を利用したアクチュエータは、一般に機械的
インピーダンスが相当に高いため応用機器に合わせたイ
ンピーダンスマツチング用メカニズムが必要となり、そ
の分機構が複雑となる。
一方、圧電横効果を利用したバイモルフ型アクチュエー
タは、電気機械結合係数にの値はかなり小さくなるが、
上述したようなインピーダンスマツチング用メカニズム
は不要であり、機構も簡素であって利用価値は高い。
タは、電気機械結合係数にの値はかなり小さくなるが、
上述したようなインピーダンスマツチング用メカニズム
は不要であり、機構も簡素であって利用価値は高い。
第4図は上記アクチュエータの動作を示す図、第4図(
A)は圧電縦効果を利用したアクチュエータの動作図、
第4図(B)は圧電横効果を利用したアクチュエータの
動作図である。
A)は圧電縦効果を利用したアクチュエータの動作図、
第4図(B)は圧電横効果を利用したアクチュエータの
動作図である。
第4図(A)において、圧電縦効果の場合、固体素子1
は両面が金、銀等の良導体を使って電極面8とされ、画
電極面8に直角な図中矢印Pで示す方向に分極軸が形成
される。そして、リード線23を介して固体素子1に電
VjJA13から電圧■、が印加されると、矢印Qで示
した方向に力又は変位が生じ、それを利用することがで
きる。
は両面が金、銀等の良導体を使って電極面8とされ、画
電極面8に直角な図中矢印Pで示す方向に分極軸が形成
される。そして、リード線23を介して固体素子1に電
VjJA13から電圧■、が印加されると、矢印Qで示
した方向に力又は変位が生じ、それを利用することがで
きる。
すなわち、固体素子1への入力エネルギは、W、=C,
V、l”/2 固体素子1の単位体積当たりに蓄えられる歪エネルギは
、 W、 −S z”72 S 33 電気容量は、 Cs =ab ε33” / 1 で表わされる。ただし、 ε33T:応力が一定の場合の分極軸方向の誘電率S:
++E:電界強度が一定の場合の分極軸方向の弾性コン
プライアンス S3 :分極軸方向の歪 である。この時効率は、 ζs=Wい/W。
V、l”/2 固体素子1の単位体積当たりに蓄えられる歪エネルギは
、 W、 −S z”72 S 33 電気容量は、 Cs =ab ε33” / 1 で表わされる。ただし、 ε33T:応力が一定の場合の分極軸方向の誘電率S:
++E:電界強度が一定の場合の分極軸方向の弾性コン
プライアンス S3 :分極軸方向の歪 である。この時効率は、 ζs=Wい/W。
=S 22/ S zzEC3V 3”=Ss”/ab
ff 333Eεs3” E32ここで、電界強度は、 E3 = V3 /1 である。
ff 333Eεs3” E32ここで、電界強度は、 E3 = V3 /1 である。
一方、第4図(B)において、圧電極横効果の場合、電
源13から電圧V1が印加されると、固体素子1への入
力エネルギは、 Wll=C,V、”/2 固体素子1の単位体積当たりに蓄えられる歪エネルギは
、 W惰−3+”/2s口 電気容量は、 C,1= 616 s、l” / a で表わされる。ただし、 ε33T:応力が一定の場合の分極軸方向の誘電率S1
.E:電界強度が一定の場合の分極軸に直角な方向の弾
性コンプライアンス Sl :分極軸に直角な方向の歪 である。この時効率は、 ζ、=Wい/W。
源13から電圧V1が印加されると、固体素子1への入
力エネルギは、 Wll=C,V、”/2 固体素子1の単位体積当たりに蓄えられる歪エネルギは
、 W惰−3+”/2s口 電気容量は、 C,1= 616 s、l” / a で表わされる。ただし、 ε33T:応力が一定の場合の分極軸方向の誘電率S1
.E:電界強度が一定の場合の分極軸に直角な方向の弾
性コンプライアンス Sl :分極軸に直角な方向の歪 である。この時効率は、 ζ、=Wい/W。
= S I”/ S 11’ C1V 1”−3+”/
a bj2 S++’ esy丁 E、!ここで
電界強度は、 E+=V+/a である。
a bj2 S++’ esy丁 E、!ここで
電界強度は、 E+=V+/a である。
上記圧電縦効果の効率ζ3と圧電横効果の効率ζ1を比
較すると、 ζ3/ζ、=s、−(S3E、)” /s 33E(31E3 )” となる。
較すると、 ζ3/ζ、=s、−(S3E、)” /s 33E(31E3 )” となる。
ここで、計算を簡略化するために、a=b=l。
E+=E、lとする。固体素子1を上記PZTで構成し
たときの各定数から S 、”= 533):/ (1,2〜1.5)S、≧
(2〜2.5) S 。
たときの各定数から S 、”= 533):/ (1,2〜1.5)S、≧
(2〜2.5) S 。
であるからζ3/ζ1 は、
ζ3/ぐ、= (2〜2.5)2/(1,2〜1.5)
−2,7〜4.2 となり、縦効果を利用する方が横効果を利用するより効
率が数倍良い。計算上、分極軸方向の歪S3が分極軸に
直角な方向の歪SIの2〜2゜5倍であるのは、各方向
に関する圧電歪定数dがdss≧(2〜2.5) d
31 の関係にあるためである。
−2,7〜4.2 となり、縦効果を利用する方が横効果を利用するより効
率が数倍良い。計算上、分極軸方向の歪S3が分極軸に
直角な方向の歪SIの2〜2゜5倍であるのは、各方向
に関する圧電歪定数dがdss≧(2〜2.5) d
31 の関係にあるためである。
上記固体素子1の歪を直接外部に取り出してアクチュエ
ータとして利用する場合、固体素子1は1にν/mmを
越える高い電界のもとに置かれるのが普通であり、汎用
的な電源手段を使ってこのような高い電界強度のもとに
置くためには、固体素子1自体の電極間距離を少なくと
も0.2〜0.3 mm程度にしなくてはならない。つ
まり、0.2〜0.3+++m程度に薄く焼成された固
体素子1でない限り、実用上1kv/mmを越える電界
のもとに置くことは不可能である。圧電横効果を利用し
たバイモルフ型のアクチュエータにおいては、構成上は
ぼ0.2〜0.311II11の厚さの固体素子1の長
手方向(分極軸に直角な方向)の歪が利用される。そこ
で、長手方向に長さを大きくとれば、実用上数十ミリの
変位を取り出すことが可能であり、この形式のアクチュ
エータを簡単に製造することができる。
ータとして利用する場合、固体素子1は1にν/mmを
越える高い電界のもとに置かれるのが普通であり、汎用
的な電源手段を使ってこのような高い電界強度のもとに
置くためには、固体素子1自体の電極間距離を少なくと
も0.2〜0.3 mm程度にしなくてはならない。つ
まり、0.2〜0.3+++m程度に薄く焼成された固
体素子1でない限り、実用上1kv/mmを越える電界
のもとに置くことは不可能である。圧電横効果を利用し
たバイモルフ型のアクチュエータにおいては、構成上は
ぼ0.2〜0.311II11の厚さの固体素子1の長
手方向(分極軸に直角な方向)の歪が利用される。そこ
で、長手方向に長さを大きくとれば、実用上数十ミリの
変位を取り出すことが可能であり、この形式のアクチュ
エータを簡単に製造することができる。
一方、縦効果を利用した場合、横効果を利用した場合よ
りエネルギ効率は良いが上述したように固体素子1を薄
くしなければならない。ところが、固体素子1が薄けれ
ば固体素子1自身が保有できるエネルギ量はその体積に
比例して小さくなるから固体素子lが外部に対して行う
ことができる仕事量も小さく、結局実用に供するアクチ
ュエータを第4図(A)のような単独の構造で得ること
は不可能に近い。
りエネルギ効率は良いが上述したように固体素子1を薄
くしなければならない。ところが、固体素子1が薄けれ
ば固体素子1自身が保有できるエネルギ量はその体積に
比例して小さくなるから固体素子lが外部に対して行う
ことができる仕事量も小さく、結局実用に供するアクチ
ュエータを第4図(A)のような単独の構造で得ること
は不可能に近い。
そこで、多層配線基板、チップコンデンサ等の製造技術
を応用して製造された積層型のアクチュエータが提供さ
れている。
を応用して製造された積層型のアクチュエータが提供さ
れている。
第5図は上記積層型のアクチュエータの斜視図である。
図において、薄板状に積層された固体素子1が導体21
.22等を介して電源13に電気的に並列接続され、駆
動電圧が下げられ矢印Qで示す方向において直列的に得
られる機械的変位が利用される。
.22等を介して電源13に電気的に並列接続され、駆
動電圧が下げられ矢印Qで示す方向において直列的に得
られる機械的変位が利用される。
個々の固体素子lは0.2〜0.3胴程度の厚さに焼成
されているため、それぞれを低い電源電圧でほぼlkv
の電界強度のもとに置くことが可能であり、50枚程度
積層した場合、100νの電源電圧で5μm程度の変位
を得ることができる。
されているため、それぞれを低い電源電圧でほぼlkv
の電界強度のもとに置くことが可能であり、50枚程度
積層した場合、100νの電源電圧で5μm程度の変位
を得ることができる。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記構成の固体アクチュエータにおいて
、固体素子1が燻焼セラミツツク粉末、バインダー、可
塑剤、溶剤等を混合し、成膜焼成されるため、固体素子
1の内部に無数のボア(空孔)が存在する。したがって
、固体素子1の絶縁耐圧はこのボアの大きさ、数の影響
を受けて空気の絶縁耐圧以上に高くすることは不可能と
なる。
、固体素子1が燻焼セラミツツク粉末、バインダー、可
塑剤、溶剤等を混合し、成膜焼成されるため、固体素子
1の内部に無数のボア(空孔)が存在する。したがって
、固体素子1の絶縁耐圧はこのボアの大きさ、数の影響
を受けて空気の絶縁耐圧以上に高くすることは不可能と
なる。
そして、該ボアが源となり固体素子1に絶縁破壊が生じ
ると、破壊部分が炭化して両型極面8を短絡させ、アク
チュエータとしての機能を果たさなくなる。
ると、破壊部分が炭化して両型極面8を短絡させ、アク
チュエータとしての機能を果たさなくなる。
本発明は、上記従来の固体アクチュエータの問題点を解
決して、固体素子に印加される電界の強度を下げるとと
もに電源電圧も下げ、しかも大きな歪を発生することの
できる固体アクチュエータを提供することを目的とする
。
決して、固体素子に印加される電界の強度を下げるとと
もに電源電圧も下げ、しかも大きな歪を発生することの
できる固体アクチュエータを提供することを目的とする
。
(課題を解決するための手段)
そのために、本発明の固体アクチュ土−夕においては、
圧電縦効果を利用した固体素子を複数個積層して積層振
動体を形成し、各固体素子を電源に並列に接続し、上記
積層振動体をその厚み方向において弾性板に接合しであ
る。
圧電縦効果を利用した固体素子を複数個積層して積層振
動体を形成し、各固体素子を電源に並列に接続し、上記
積層振動体をその厚み方向において弾性板に接合しであ
る。
また、該積層振動体をその厚み方向に延びる結合面で2
組結合し、一方の積層振動体に正の歪が、他方の積層振
動体に負の歪が発生するように各固体素子を電源に接続
するようにしてもよい。
組結合し、一方の積層振動体に正の歪が、他方の積層振
動体に負の歪が発生するように各固体素子を電源に接続
するようにしてもよい。
(作用)
本発明によれば、上記のように圧電縦効果を利用し7た
固体素子を複数個積層して積層振動体を形成し、各固体
素子を電源に並列に接続し、上記積層振動体をその厚み
方向において弾性板に接合し0 ているので、各固体素子に発生した歪みを弾性板に加え
て大きい変位を得ることができる。
固体素子を複数個積層して積層振動体を形成し、各固体
素子を電源に並列に接続し、上記積層振動体をその厚み
方向において弾性板に接合し0 ているので、各固体素子に発生した歪みを弾性板に加え
て大きい変位を得ることができる。
また、該積層振動体をその厚み方向に延びる結合面で2
組結合し、一方の積層振動体に正の歪が、他方の積層振
動体に負の歪が発生するように各固体素子を電源に接続
すると、それぞれの積層振動体による歪みを増幅するこ
とができる。
組結合し、一方の積層振動体に正の歪が、他方の積層振
動体に負の歪が発生するように各固体素子を電源に接続
すると、それぞれの積層振動体による歪みを増幅するこ
とができる。
(実施例)
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第1図は本発明の固体アクチュエータの実施例を示す図
、第1図(A)は同斜視図、第1図(B)は同断面図、
第1図(C)は同屈曲状態図ある。
、第1図(A)は同斜視図、第1図(B)は同断面図、
第1図(C)は同屈曲状態図ある。
図において、積層振動体10を一組使用してユニモルフ
型の固体アクチュエータが形成される。上述したように
、燗焼セラミック粉末、バインダー可塑剤、溶剤等が混
合されて成膜されて固体素子1が形成される。そして、
固体素子1は内部電極が印刷された後に積層、焼成され
、カッティングされる。該積層振動体10は、2点鎖線
で示す幅方向の両側面において導体21.22によって
電極接合される。上述したように導体2L22は並列に
接続されているので、低い駆動電圧で各固体素子1の電
界強度を高めることが可能である。
型の固体アクチュエータが形成される。上述したように
、燗焼セラミック粉末、バインダー可塑剤、溶剤等が混
合されて成膜されて固体素子1が形成される。そして、
固体素子1は内部電極が印刷された後に積層、焼成され
、カッティングされる。該積層振動体10は、2点鎖線
で示す幅方向の両側面において導体21.22によって
電極接合される。上述したように導体2L22は並列に
接続されているので、低い駆動電圧で各固体素子1の電
界強度を高めることが可能である。
上記構成の積層振動体10はその厚み方向において接着
剤3によって弾性板4に接合され、ユニモルフ型の固体
アクチュエータを形成している。そして、電圧が印加さ
れると各固体素子1の分極軸方向とその電界の方向によ
って伸縮歪が発生し、積層振動体10としては、低い駆
動電圧で大きな歪を発生ずることができる。
剤3によって弾性板4に接合され、ユニモルフ型の固体
アクチュエータを形成している。そして、電圧が印加さ
れると各固体素子1の分極軸方向とその電界の方向によ
って伸縮歪が発生し、積層振動体10としては、低い駆
動電圧で大きな歪を発生ずることができる。
上記積層振動体10と弾性板4を接合している接着剤3
の厚さが積層振動体10や弾性板4の厚さに比べて小さ
ければ、接着剤層3の剪断変形は無視することができ、
固体素子1、弾性板4内に発生する歪は固体アクチュエ
ータの厚み方向に連続して一時的に分布するため、第1
図(C)に示すように固体アクチュエータはある曲率で
屈曲する。
の厚さが積層振動体10や弾性板4の厚さに比べて小さ
ければ、接着剤層3の剪断変形は無視することができ、
固体素子1、弾性板4内に発生する歪は固体アクチュエ
ータの厚み方向に連続して一時的に分布するため、第1
図(C)に示すように固体アクチュエータはある曲率で
屈曲する。
第2図は本発明の固体アクチュエータの第2の実施例を
示す図、第2図(A)は同斜視図、第2図(1 B)は同断面図、第2図(C)は同屈曲状態図である。
示す図、第2図(A)は同斜視図、第2図(1 B)は同断面図、第2図(C)は同屈曲状態図である。
図において、積層振動体10L102を二組使用してバ
イモルフ型固体アクチュエータが形成される。
イモルフ型固体アクチュエータが形成される。
この場合、各積層振動体101,102はそれぞれ固体
素子1を積層して構成され、その厚み方向に延びる結合
面5で結合されている。そして、一方の積層振動体10
1の各固体素子1と他方の積層振動体102の各固体素
子1は電極面が相互に半ピツチずれている。
素子1を積層して構成され、その厚み方向に延びる結合
面5で結合されている。そして、一方の積層振動体10
1の各固体素子1と他方の積層振動体102の各固体素
子1は電極面が相互に半ピツチずれている。
すなわち、電極面をa−a、b−bとし、各固体素子1
の分極軸方向Pを電極面b−bから電極面a−a方向に
とると、上述したように個々の固体素子1は半ピツチず
れているため、各固体素子1間で電極面a−a、b−b
が電気的に短絡していることになる。外観上では図の2
点鎖線で囲まれた部分で導体21.22により電極接合
されている。
の分極軸方向Pを電極面b−bから電極面a−a方向に
とると、上述したように個々の固体素子1は半ピツチず
れているため、各固体素子1間で電極面a−a、b−b
が電気的に短絡していることになる。外観上では図の2
点鎖線で囲まれた部分で導体21.22により電極接合
されている。
上記固体アクチュエータは、電圧が印加されると、両積
層振動体101.102の歪は逆符号になるので第2図
(C)に示すような屈曲運動を励起するこ2 とができる。
層振動体101.102の歪は逆符号になるので第2図
(C)に示すような屈曲運動を励起するこ2 とができる。
第3図は本発明の固体アクチュエータの第3の実施例を
示す図、第3図(A)は同斜視図、第3図(B)は同断
面図、第3図(C)は同屈曲状態図である。
示す図、第3図(A)は同斜視図、第3図(B)は同断
面図、第3図(C)は同屈曲状態図である。
図において、2つの積層振動体101,102の各固体
素子1間は、第2図の例と異なり固体素子1を半ピツチ
ずつずらして電気的に短絡させるのではなく、接続手段
23で電気的に短絡させている。動作上は第2図の例と
同じく固体アクチュエータに電圧が印加されると両積層
振動体101,102の歪は逆符号になるので、アクチ
ュエータは第3図(C)に示すような屈曲運動を励起す
る。
素子1間は、第2図の例と異なり固体素子1を半ピツチ
ずつずらして電気的に短絡させるのではなく、接続手段
23で電気的に短絡させている。動作上は第2図の例と
同じく固体アクチュエータに電圧が印加されると両積層
振動体101,102の歪は逆符号になるので、アクチ
ュエータは第3図(C)に示すような屈曲運動を励起す
る。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
(発明の効果)
以上、詳細に説明したように本発明によれば、圧電縦効
果を利用した団体素子を複数個積層して3 4 積層振動体を形成し、各固体素子を電源に並列に接続し
、上記積層振動体をその厚み方向において弾性板に接合
し、又は該積層振動体をその厚み方向に延びる結合面で
2組結合し、一方の積層振動体に正の歪が、他方の積層
振動体に負の歪が発生するように各固体素子を電源に接
続するようにしている。
果を利用した団体素子を複数個積層して3 4 積層振動体を形成し、各固体素子を電源に並列に接続し
、上記積層振動体をその厚み方向において弾性板に接合
し、又は該積層振動体をその厚み方向に延びる結合面で
2組結合し、一方の積層振動体に正の歪が、他方の積層
振動体に負の歪が発生するように各固体素子を電源に接
続するようにしている。
したがって、圧電横効果を利用した従来のユニモルフ型
又はバイモルフ型の固体アクチュエータに比較して数倍
高いエネルギ効率を持つアクチュエータを提供すること
が可能となり、大きな変位を出力することができるだけ
でなく、低い電圧での駆動が可能となり、汎用電源を使
用することができる。
又はバイモルフ型の固体アクチュエータに比較して数倍
高いエネルギ効率を持つアクチュエータを提供すること
が可能となり、大きな変位を出力することができるだけ
でなく、低い電圧での駆動が可能となり、汎用電源を使
用することができる。
また、圧電縦効果を利用した従来のアクチュエータでは
、機械的インピーダンスが相当に高く、応用機器に対応
したインピーダンスマツチング用メカニズムを準備する
必要があり、そのために機構も複雑となるが、本発明の
固体アクチュエータにおいては、インピーダンスマツチ
ング用メカニズムは不要であり、機構も簡素である。
、機械的インピーダンスが相当に高く、応用機器に対応
したインピーダンスマツチング用メカニズムを準備する
必要があり、そのために機構も複雑となるが、本発明の
固体アクチュエータにおいては、インピーダンスマツチ
ング用メカニズムは不要であり、機構も簡素である。
第1図は本発明の固体アクチュエータの実施例を示す図
、第1図(A)は同斜視図、第1図(B)は同断面図、
第1図(C)は同屈曲状態図、第2図は本発明の固体ア
クチュエータの第2の実施例を示す図、第2図(八)は
同斜視図、第2図(B)は同断面図、第2図(C)は同
屈曲状態図、第3図は本発明の固体アクチュエータの第
3の実施例を示す図、第3図(A)は同斜視図、第3図
(B)は同断面図、第3図(C)は同屈曲状態図、第4
図はアクチュエータの動作を示す図、第4図(A)は圧
電縦効果を利用したアクチュエータの動作図、第4図(
B)は圧電横効果を利用したアクチュエータの動作図、
第5図は積層型のアクチュエータの斜視図である。 1・・・固体素子、8・・・電極面、13・・・電源、
2L22・・・導体、23・・・リード線、101,1
02・・・積層振動体。
、第1図(A)は同斜視図、第1図(B)は同断面図、
第1図(C)は同屈曲状態図、第2図は本発明の固体ア
クチュエータの第2の実施例を示す図、第2図(八)は
同斜視図、第2図(B)は同断面図、第2図(C)は同
屈曲状態図、第3図は本発明の固体アクチュエータの第
3の実施例を示す図、第3図(A)は同斜視図、第3図
(B)は同断面図、第3図(C)は同屈曲状態図、第4
図はアクチュエータの動作を示す図、第4図(A)は圧
電縦効果を利用したアクチュエータの動作図、第4図(
B)は圧電横効果を利用したアクチュエータの動作図、
第5図は積層型のアクチュエータの斜視図である。 1・・・固体素子、8・・・電極面、13・・・電源、
2L22・・・導体、23・・・リード線、101,1
02・・・積層振動体。
Claims (2)
- (1)(a)圧電縦効果を利用した固体素子を複数個積
層して積層振動体を形成し、 (b)各固体素子を電源に並列に接続し、 (c)上記積層振動体をその厚み方向において弾性板に
接合したことを特徴とする固体アクチュエータ。 - (2)(a)該積層振動体をその厚み方向に延びる結合
面で2組結合し、 (b)一方の積層振動体に正の歪が、他方の積層振動体
に負の歪が発生するように各固体素子を電源に接続した
ことを特徴とする請求項1記載の固体アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1260067A JPH03123088A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 固体アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1260067A JPH03123088A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 固体アクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03123088A true JPH03123088A (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=17342851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1260067A Pending JPH03123088A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 固体アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03123088A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6903498B2 (en) | 2001-08-28 | 2005-06-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric device, ladder type filter, and method of producing the piezoelectric device |
JP2011199206A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Canon Inc | 振動装置に用いられる圧電素子、振動装置、及び振動装置を有する塵埃除去装置 |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP1260067A patent/JPH03123088A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6903498B2 (en) | 2001-08-28 | 2005-06-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric device, ladder type filter, and method of producing the piezoelectric device |
JP2011199206A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Canon Inc | 振動装置に用いられる圧電素子、振動装置、及び振動装置を有する塵埃除去装置 |
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