JPH02165066A

JPH02165066A - 液晶表示パネル検査装置および検査方法

Info

Publication number: JPH02165066A
Application number: JP63321018A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Takahara; 博司高原
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-12-19
Filing date: 1988-12-19
Publication date: 1990-06-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は主としてアクティブマトリックス型液晶表示パ
ネルまたはアレイの検査をこおなう液晶表示パネル検査
装置および検査方法に関するものである。

従来の技術近年、液晶表示装置の給糸数増大に伴って、走査線数が
増え、従来から用いられている単純マトリックス型液晶
表示パネルでは表示コントラストや応答速度が低下する
ため各給糸にスイッチング素子を配置したアクティブマ
トリックス型液晶表示パネルが利用されつつある。前記
液晶表示パネルには数万個以上のスイッチング素子とし
ての薄膜トランジスタ（以後、ＴＰＴと呼ぶ。）を形成
する必要がある。現在の技術では前記ＴＰＴをすべて無
欠陥で形成することは困難である。そこで、液晶表示パ
ネル形成後検査をおこない良否の判定をおこなう必要が
ある。したがって高速に検査が可能な検査装置および検
査方法が待ち望まれている。

以下、図面を参照しながら従来の液晶表示パネルの検査
装置について説明する。第５図は従来の液晶表示パネル
の検査装置（以後、検査装置と呼ぶ。）のブロック図で
ある。第５図において、１７は液晶表示パネル、７は液
晶表示パネルを積載する台（以後、積載台と呼ぶ。）　
、２１．２０は液晶表示パネルのゲート信号線またはソ
ース信号線と接続をとるためのプローブ、１９．２０は
前記プローブを任意の信号線と電気的接続をとるために
位置決めをおこなう位置決め手段、２３はプローブ２１
と２２間の抵抗値を測定するための抵抗値測定手段、１
８は位置決め手段１９．２０および抵抗値測定手段２３
を制御するための制御手段である。

以後、従来の検査装置の動作について説明する。

位置決め手段１９．２０は制御手段工８からの位置決め
開始信号に基づき移動をおこない、プローブ２１および
２２を所定のゲートまたはソース信号線に圧接・位置決
めをおこなう。位置決めが完了すると位置決め手段は位
置決め完了信号を制御手段１８に転送する。次に制御手
段は抵抗計からなる抵抗値測定手段２３に対し測定開始
信号を送る。前記信号に基づき、抵抗値測定手段２３は
プローブ２１と２２間の抵抗値を測定し、前記抵抗値を
制御手段１８に転送する。制御手段１８は前記抵抗値の
大きさによりプローブ２１．２２が圧接している信号線
に欠陥が発生しているかどうかを比較・判断をおこなう
。以上の動作を位置決め手段１９．２０を用いて、すべ
ての信号線にプローブ２１．２０を圧接していくことに
より欠陥検出をおこなう。

以下、従来の検査装置を用いての液晶表示パネルの検査
方法（以後、検査方法と呼ぶ。）について説明する。第
６図は従来の検査方法の説明図である。第６図において
、Ｇ、〜Ｇ、はゲート信号線、Ｓ、〜Ｓ１゜はソース信
号線、ＴＭ、〜ＴＭ、。

はＴＦＴ、Ｐ、、−Ｐ、９は絵系電極、２４はゲート信
号線Ｇ３とソース信号線Ｓ３の交点部に発生した短絡欠
陥（以後、クロスショートと呼ぶ。）である。なお、第
６図の液晶表示パネルはｌ給糸に１つのＴＰＴを形成し
たものを示している。まず、プローブ２１をソース信号
線Ｓ、に圧接し、またプローブ２２をゲート信号線Ｇ、
に圧接する。次に抵抗値測定手段２３を用いて、ゲート
信号線Ｇ、とソース信号線Ｓ、の交点部の抵抗値を測定
する。、正常な場合、抵抗値は無限大に、クロスショー
トが発生している場合、はぼ信号線の配線抵抗分が測定
される。以上の動作をプローブ２２を移動させ順次すべ
てのゲート信号線に対しておこなう。また同様にプロー
ブ２１をソース信号線Ｓ２に圧接し、プローブ２２を順
次移動させてソース信号線Ｓ２とゲート信号線間の交点
部の抵抗値を測定していく。

以上の方法によりプローブ２１．２２を用いて、すべて
の液晶表示パネルのゲート信号線とソース信号線間の交
点の抵抗値を測定することにより検査をおこなう。第６
図の液晶表示パネルではプローブ２１をソース信号線Ｓ
４に圧接し、プローブ２２をゲ−ト信号線Ｇ３に圧接し
て、その抵抗値を測定した場合、通常よりも低い抵抗値
が測定されるため、クロスショート２４を検出すること
ができる。

発明が解決しようとする課題従来の検査装置および検査方法では、プローブを液晶表
示パネルの各信号線に圧接していくため、位置決め時間
に非常に長時間を要する。たとえばゲート信号線が２０
０本、ソース信号線が２００本とし、−点あたりの位置
決め時間が１秒とすると４万秒となり、１パネルあたり
１０時間以上の長時間を要し、とても製造工程としては
用いることができない。

また、プローブを信号線に圧接していくため、プローブ
の接触不良およびプローブによる液晶表示パネルの破損
が生じやすいという課題があった。

その上、ゲート信号線およびソース信号線を周辺部に形
成されたショートリングから個々に分離して液晶表示パ
ネルの検査をおこなうため、液晶表示パネルが静電気に
対して弱くなる。したがって検査工程時に液晶表示パネ
ルの各信号線に静電気が飛びこみ、ＴＰＴなどを静電破
壊するという課題があった。

課題を解決するための手段本発明の検査装置は、液晶表示パネルのソース信号線と
電気的に接続を取るための第１および第２の接続手段と
、前記接続手段を取り付けられた位置決め手段と、前記
第１の接続手段に接続されかつ任意のソース信号線に電
圧または電流を印加できるように構成された信号印加手
続と、前記第２の接続手段に接続されかつ任意のソース
信号線上の電圧または電流を検出測定できる信号検出手
段と、複数本短絡したソース信号線を個々にレーザ光な
どを用いて短絡部を焼失させることにより分離できる印
加手段と、゛ゲート信号線に前記ゲート信号線に接続さ
れたＴＰＴを動作状態にする信号（以後、オン電圧と呼
ぶ。）またはＴＰＴを動作しない状態にする信号（以後
、オフ電圧と呼ぶ、）を印加・制御するゲート信号線制
御手段を具備するものである。

また、本発明の検査方法は液晶表示パネルのゲート信号
線にオン電圧またはオフ電圧を印加し、かつソース信号
線に複数本共通にした状態で、前記ソース信号線に重畳
される信号線を検出・測定する。信号が検出された場合
、前記ソース信号線を個々に分離していき、欠陥位置を
検出していくものである。

作用本発明の検査装置および検査方法では、液晶表示パネル
のゲート信号線にゲート駆動用ＩＣ（以後、ゲートＩＣ
と呼ぶ。）を接続し、前記ゲートＩＣを動作させ、ゲー
ト信号線にオン電圧またはオフ電圧を印加する。したが
ってゲート信号線にはプローブなどの接続手段を用いて
電気的接続を取る必要がない。また、ソース信号線は１
０本以上周辺部で短絡・共通にし、前記共通部などにプ
ローブなどを圧接し、液晶表示パネルの欠陥箇所を通じ
て流れる電圧または電流（以後、欠陥信号と呼ぶ。）を
検出する。欠陥信号が検出された場合は、レーザ光など
を用い、各ソース信号線を分離し、どの信号線に欠陥信
号が発生しているのかを検出する。

実施例以下、本発明の検査装置の一実施例について図面を参照
しながら説明する。第１区は本発明の検査装置のブロッ
ク図である。第１図において、１７は液晶表示パネルま
たは対向電極などが形成されていないアレイ（以後、パ
ネルと呼ぶ。）、７はパネルを積載する台、４はパネル
上に形成されたゲート信号線、２はゲートＩＣを制御す
るためのゲー）ＩＣ制御手段（以後、ゲート制御「手段
と呼ぶ。）、５．６は複数本がパネルの周辺部で短絡共
通にされたソース信号線、８，９はパネルのソース信号
線と電気的に接続をとるためのプローブなどの接続手段
（以後、プローブと呼ぶ。）、１０はプローブ８に接続
され、直流電圧などを発生できる信号印加手段、１１．
１２にはプローブ８，９を任意のソース信号線に位置決
めおよび圧接するための位置決め手段、１３はレーザ光
などの光学的手段を用いて、金属薄膜などを溶解・蒸発
させることができる加工手段、１４は前記加工手段１３
が発生させるレーザ光などを所定の加工箇所に照射され
るように位置決めをおこなう位置決め手段、１５はプロ
ーブ９に接続され、プローブ９に印加される電圧または
電流を検出・測定するための信号検出手段、１６はレー
ザ光などの光線、■は各位置決め手段などの制御をおこ
なう制御手段である。なお、各位置決め手段は積載台が
ＸＹステージなどで構成され、位置決め機能がそなわっ
ている場合、必要がないことは明らかである。

以下、本発明の検査装置の動作について説明する。パネ
ルは積載台に積載され、エアーチャック方法あるいはパ
ネルの周辺部を固定することにより固定される。制御手
段１はゲート制御手段２に対して制御信号を転送する。

ゲート制御手段２はパネルのゲート信号線に所定のオン
電圧またはオフ電圧が印加されるようにゲート駆動ＩＣ
の制御をおこなう。位置決め手段１１．１２は制御手段
１からの座標値データなどの位置決め信号に基づき、移
動をおこない、各所定位置にプローブを圧接・位置決め
をおこなう。加工手段は制御手段１からのレーザ照射信
号にもとづき、内部に具備するＱスイッチあるいは励起
ランプを制御し、レーザ光照射のオン・オフをおこなう
。位置決め手段１４は、制御手段１からの位置決め信号
にもとづき、内部に具備するガルバノメータまたはりニ
アモータを動作させて、所定箇所に光線１６が照射され
るように制御をおこなう。信号検出手段は制御手段１か
らの測定開始信号にもとづき、各ソース信号線に印加さ
れる欠陥信号を検出・測定する。また信号印加手段は主
として直流電圧を発生させ、所定のソース信号線に前記
電圧を印加する。本発明の検査装置の基本的な動作とし
ては、ゲート制御手段２を制御して、ゲート信号線４に
所定のオン・オフ電圧を印加する。次にプローブ９と必
要に応じてプローブ８を各複数本共通にされたソース信
号線に圧接し電気的接続をとる。次に信号検出手段１５
により欠陥信号を検出・測定し、欠陥信号が検出された
場合、加工手段１３を用いて、ソース信号線を個々に分
離していき、前記ソース信号線にプローブ９を圧接する
。そして信号検出手段１５で欠陥信号を検出・測定し、
欠陥信号が検出されると、ゲート制御手段２を制御し、
オン・オフ電圧の印加位置を可変させて、欠陥モード・
欠陥位置を検出する。

以後、図面を参照しながら、本発明の検査方法について
説明する。第２図、第３図および第４図は本発明の検査
方法の説明図である。第２図〜第４図において、Ｇ、−
Ｇ、はゲート信号線、Ｓ１〜Ｓ、。はソース信号線、Ｔ
Ｓ、、−ＴＳ、、、ＴＭ、。

〜Ｔ　Ｍ　４ｑはＴＦＴ、Ｐ、、〜Ｐ４９は給糸電橋、
２４はクロスショート、２５はＴＦＴのＴＳ４ｚのゲー
ト・ドレイン間に発生した短絡欠陥（以後、Ｇ−Ｄショ
ートと呼ぶ。）、２６はＴＦＴのＴ　Ｍ　３　ｇのソー
ス・ドレイン間に発生した短絡欠陥（以後、Ｓ−Ｄショ
ートと呼ぶ。）である。第２図〜第４図であきらかなよ
うに、パネルは１絵系に２つのＴＰＴを形成し、一方が
不良の場合、他方のＴＰＴで正常表示がおこなえるよう
に冗長構成をとっている。

前述の冗長構成のパネルは欠陥位置を検出することが特
に重要である。なお、ソース信号線は１本おきに複数本
共通に短絡されて形成されており、図面では共通本数は
非常に少なく描かれているが、通常１０数本以上の信号
線が共通にされる。またゲート信号線およびソース信号
線の本数は図面を簡略するため非常に少なく描かれてい
る。

まず、第２図を用いてパネルのクロスショートの検出方
法および検査方法について説明する。まず、ゲート制御
手段２によりゲート駆動ＩＣ３を制御し、すべてのゲー
ト信号線にオフ電圧を印加する。なお、ここではオフ電
圧を負電圧、オン電圧を正電圧として説明する。すると
、すべてのＴＰＴはオフ状態となる。次にプローブ９を
ａ端子に位置決めおよび圧接し、電気的接続をとる。こ
の時、信号検出手段を動作させ、欠陥信号が重畳されて
いないかを検出する。なお、前記欠陥信号としては、負
電圧または負極性の電流である。以上の動作をす、ｃ、
ｄ・・・・・・端子に対しておこなう。

今、クロスショート２４が発生しているため、プローブ
９をｂ端子に圧接した際、欠陥信号が検出される。した
がってゲート信号線とソース信号線ＳＺ＋Ｓ４からなる
ブロックとの交点にクロスショートが発生していること
を検出できる。次にプローブ９はｂ端子に位置決めした
ままで、加工手段１３を用いて、ア点で切断しソース信
号線Ｓ２をｂ端子で切り離す。その後、信号検出手段で
、欠陥信号を測定する。欠陥信号が検出されればクロス
ショートは、ソース信号線Ｓ４に、検出されなくなれば
、前記切り離したソース信号線に欠陥が発生していたこ
とがわかる。以上の手続きにより、欠陥発生箇所を複数
本共通にされたソース信号線のうちから１本に限定する
ことができる。次にゲート制御手段２によりゲート駆動
ＩＣ３を制御し、ゲート信号線Ｇ、のみにオン電圧を印
加し、前記オン電圧印加位置をＧｔ、Ｇｓ・・・・・・
とシフトさせる。

各状態で、欠陥信号を信号検出手段１５を用いて測定す
る。オン電圧印加位置をゲート信号線Ｇ３に印加したと
き、信号検出手段１５はオン電圧が検出される。したが
って、前記オン電圧印加したゲート信号線とプローブを
位置決めしたソース信号線から、ゲート信号線Ｇ３とソ
ース信号線Ｓ４の交点にクロスジａ　−トが発生してい
ることを検出できる。以上の方法をパネルのすべてにお
こなうことによりクロスショート検査はおこなわれる。

次に第３図を用いてパネルのＧ−Ｄショートの検出方法
および検査方法について説明する。まず、ゲート制御手
段２によりゲート駆動ＩＣ３を制御し、−給糸の２つの
ＴＰＴのうち一方をオン状態、他方をオフ状態となるよ
うにオン・オフ電圧を印加する。今、ここでは奇数番目
のゲート信号線にオフ電圧を、偶数番目のゲート信号線
にオン電圧を印加したとして説明する。次にプローブ９
をａ。

ｂ、ｃ、ｄ・・・・・・端子に順次位置決めをおこない
、各状態で信号検出手段１５に欠陥信号が検出されない
かを測定する。今、Ｇ−Ｄショート２５が発生し、また
ＴＦＴのＴＳ４３がオン状態になっているため、Ｇ、→
Ｇ−Ｄショート２５→ＴＳ４３→Ｓ３なる電流経路が生
じるため、プローブ９をａ端子に圧接したとき欠陥信号
が検出される。したがって、ａ端子に接続されたソース
信号線上のＴＰＴに欠陥が発生していることがわかる。

次に加工手段、３を用いて、ア箇所より順にａ端子から
ソース信号線を切断していく。今、ア箇所を切断しても
信号検出手段１５に欠陥信号が検出される。イ箇所を切
断したとき欠陥信号が検出されなくなることにより、ソ
ース信号線Ｓ３に接続されたＴＰＴに欠陥が発生してい
ることがわかる。次にプローブ９をソース信号線Ｓ３に
圧接する。また、ゲート駆動ＩＣ３を制御し、ゲート信
号線Ｇ、のみにオン電圧を印加し、前記オン電圧印加位
置を順次シフトさせながら、各状態で欠陥信号が検出さ
れるかを測定する。今、ゲート信号線Ｇ４にオン電圧を
印加したとき、前述の経路により、欠陥信号が検出され
ることにより欠陥発生箇所を検出できる。

ただし、この場合、ＴＰＴのＴＭ３．にＧ−Ｄ欠陥が発
生していてもＧ４→Ｇ−Ｄ欠陥→ＴＭｆｆ□→Ｓ。

なる経路が発生するため、どちらかを判定するためにプ
ローブ９をｂ端子に圧接した上で、工箇所を加工手段１
３で切断する。次にゲート信号線Ｇ。

にオン電圧を印加したとき、信号検出手段１５に欠陥信
号が検出された場合、ＴＦＴのＴＳ、、のＧ−Ｄショー
ト、検出されない場合、ＴＦＴのＴＭ、□のＧ−Ｄショ
ートと限定・検出することができる。

以上の方法にパネルのＧ−Ｄショートを検出・検査する
ことができる。

次に第４図を用いてパネルのＳ−Ｄショートの検出方法
および検査方法について説明する。まず、ゲート制御手
段２によりゲート駆動ＩＣ３を制御し、−給糸の２つの
ＴＰＴのうち一方をオン状態、他方をオフ状態となるよ
うに、それぞれのゲート信号線にオン・オフ電圧を印加
する。今、ここでは奇数番目のゲート信号線にオン電圧
を、偶数番目のゲート信号線にオフ電圧を印加したとし
て説明する。次にプローブ日をｂ端子に、プローブ９を
ａ端子に圧接する。また同様の方法により、プローブ８
をｄ端子に、プローブ８をＣ端子に圧接するというふう
に、測定ブロック内で１本とばしのソース信号線に信号
印加手段１０からの信号が、前記ソース信号線に隣接し
たソース信号線が信号検出手段１５に接続されるように
順次プローブ８゜９の移動をして検査を１テなう。通常
信号印加手段１０から印加される信号としては正電圧の
直流電圧が印加される。プローブ８をｂ端子に、プロー
ブ９をａ端子に圧接して、信号印加手段１ｏがら電圧を
印加したとき、ＴＰＴのＴＳ３□がオン状態がっＳ−Ｄ
ショート２６が発生しているため、Ｓ　ｚ　−Ｔ　Ｓ　
ｓｚ＝　Ｐ　’ｒｚ”　Ｓ　　Ｄシミ　　　）２６→Ｓ
３なる電流経路が生じ、信号検出手段１５に欠陥信号が
検出される。次にこの測定ブロック内のどのソース信号
線に欠陥が発生しているかを検出するために、加工手段
１３を用いて、ア箇所にレーザ光を照射し、ａ端子から
切断する。今、ア箇所を切断しても信号検出手段１５に
欠陥信号が検出されるため、イ箇所を切断する。すると
欠陥信号が検出されなくなる。次にプローブ９をソース
信号線Ｓ。

のみに圧接する。また、ゲート駆動ＩＣ３を制御し、ゲ
ート信号線Ｇ、のみにオン電圧を印加し、前記オン電圧
印加位置を順次シフトさせながら、各状態で欠陥信号が
検出されるかを測定する。今、ゲート信号線Ｇ３にオン
電圧を印加したとき、前述の経路により欠陥信号が検出
されることにより欠陥発生箇所を検出できる。以上の方
法によりパネルのＳ−Ｄ：＞ボートを検出・検査するこ
とができる。

なお、本発明の検査装置および検査方法では対象を液晶
表示パネルとしたが、これに限定されるものではなく、
液晶注入前の液晶表示アレイと考えても同様の効果が得
られることは明らかである。

発明の効果本発明の検査装置および検査方法では、ゲート制御手段
を用いて、パネルのゲート信号線にオンまたはオフ電圧
を印加する。したがって、ゲート信号線にはプローブな
どを用いて電気的接続をとる必要がない。ゆえに、検査
装置ではプローブ使用本数の大幅な低減および接触不良
の課題を消去できるという効果があり、検査方法では非
常に高速に検査をおこなえるという大きな効果がある。

また、ソース信号線への電気的接続はソース信号線を複
数本共通にして、ブロック化した上でプローブを圧接す
るものであるから、検査装置および検査方法では前述と
同様の効果が得られる。また、ソース信号線側はブロッ
ク化にして非常に高速に検査をおこなうにもかかわらず
、加工手段を用いて、各ソース信号線を分離することが
でき、欠陥信号が流れる欠陥位置まで特定することがで
きる。

ソース信号線を共通短絡化しておくことは、静電気によ
るパネルの破壊を防止で大きな効果がある。

本発明の検査装置および検査方法では必要最少限の箇所
しか分離をおこなわないため、パネルの最終工程まで対
静電気特性を高めたままでパネルの製造をおこなうこと
ができ、その効果は大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の検査装置のブロック図、第２図〜第４
図は本発明の検査方法の説明図、第５図は従来の検査装
置のブロック図、第６図は従来の検査方法の説明図であ
る。１．１８・・・・・・制御手段、２・・・・・・ゲート
ＩＣ制御手段、３・・・・・・ゲートＩＣ１４・・・・
・・ゲート信号線、５゜６・・・・・・ソース信号線、
７・・・・・・積載台、８，９・・・・・・接続手段、
１０・・・・・・信号印加手段、１１．１２．１４．１
９゜２０・・・・・・位置決め手段、１３・・・・・・
加工手段、１５・・・・・・信号検出手段、１６・・・
・・・光線、１７・・・・・・液晶表示パネル、２１、
２２・・・・・・プローブ、２３・・・・・・抵抗値測
定手段、２４・・・・・・クロスショート、２５・・・
・・・Ｇ−Ｄショート、２６・・・・・・Ｓ−Ｄショー
ト、ＧＩ）Ｇ、・・・・・・ゲート信号線、Ｓ　Ｉ　”
”’　Ｓ　Ｉ　Ｏ”’　”’ソース信号線、ＴＳ、、、
ＴＭ＋　Ｉ−Ｔ　Ｓ　−９、Ｔ　Ｍ　ｓ　ｑ・・・・・
・ＴＦＴ、Ｐ、、−Ｐ、、・・・・・・絵系電極。代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名１−制御子
役２−　ケー）ＩＯ別カ乍乎役３−−−ゲート駅前ＬＣ４−＝ゲート慴１号８に５．６−−−ソース信号課７−・−積載台８、９−　按境チ役１０−信号印太Ｕ手役Ｉｆ、　！２．７４−　４１１次の手段１３−７ｊｔｒ
二子役１５−信号検出′４−役１６−光、家Ｉ７・−寝之品表ホバ木し富５図Ｉ８−一一卸Ｉ御手ｆ夫１９、　２０　−−−　イ、立４　　ラ犬め　手　役２
／、　２２−−−７・ローフ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）液晶表示パネルに形成されたソース信号線と電気
的に接続をとるための接続手段と、前記接続手段の位置
決めをおこなう位置決め手段と、接続手段に接続され所
定の信号を発生・印加する信号印加手段と、接続手段に
接続された信号検出手段と、複数本短絡した前記ソース
信号線を分離する加工手段と、前記加工手段の位置決め
をおこなう位置決め手段と、液晶表示パネルに形成され
たゲート信号線に所定電圧を印加するゲート信号線制御
手段とを具備することを特徴とする液晶表示パネル検査
装置。
（２）ゲート信号線制御手段は液晶表示パネルのゲート
信号線に接続されたゲート駆動ＩＣを制御することによ
り前記ゲート信号線に所定電圧を印加することを特徴と
する請求項（１）記載の液晶表示パネル検査装置。
（３）加工手段はレーザ光発生手段を具備することを特
徴とする請求項（１）記載の液晶表示パネル検査装置。
（４）信号検出手段は電流の大きさ・極性と、電圧の大
きさ・極性のうち少なくとも一方を測定できることを特
徴とする請求項（１）記載の液晶表示パネル検査装置。
（５）ゲート信号線に前記信号線に接続されたスイッチ
ング素子を動作状態にする電圧または動作しない状態に
する電圧を印加し、ソース信号線を複数本共通にした状
態で前記信号線に重畳される信号を検出し、前記信号線
に信号が検出された場合、光学的・化学的あるいは機械
的手段を用いて前記ソース信号線を個々に分離し、各々
の信号線に重畳されている信号を検出することにより検
査をおこなうことを特徴とする液晶表示パネルの検査方
法。
（６）ゲート信号線に接続されたゲート駆動用ＩＣを動
作させることによりゲート信号線に所定電圧を印加する
ことを特徴とする請求項（５）記載の液晶表示パネルの
検査方法。
（７）複数本共通されたソース信号線は光学的手段を用
いて分離することを特徴とする請求項（５）記載の液晶
表示パネルの検査方法。