JP6869698B2 - 電子デバイス - Google Patents
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Description
12 パッド
14 内部配線
16 フットパッド
18 金属パターン
20 デバイスチップ
22 基板
24 弾性波共振器
26 パッド
30 空隙
40 リッド
42 半田
44 保護膜
46 凹部
48 凸部
50 バンプ
52 空隙
60 IDT
62 反射器
64 櫛形電極
66 電極指
68 バスバー
70 下部電極
72 圧電膜
74 上部電極
76 空隙
92 実装ツール
94 クラック
100〜300 弾性波デバイス
Claims (6)
- 基板と、
前記基板との間に空隙を有し、機能部が前記空隙に露出して前記基板上に実装されたデバイスチップと、
前記デバイスチップの前記基板とは反対側の面を覆って設けられ、前記デバイスチップの前記反対側の面に対して凹んでいて前記デバイスチップの前記反対側の面に接していない凹部と、前記凹部よりも前記デバイスチップ側に突き出ていて前記デバイスチップの前記反対側の面に接する凸部と、を有するリッドと、
前記基板と前記リッドとの間で前記デバイスチップを囲んで設けられ、前記機能部を前記空隙内に封止する封止部と、を備え、
前記凹部と前記デバイスチップの前記反対側の面との間は空隙が形成されている、電子デバイス。 - 前記リッドは前記デバイスチップの前記反対側の面より外側にも前記凹部と前記凸部を有し、
前記封止部は前記凹部と前記凸部に接して設けられている、請求項1記載の電子デバイス。 - 前記リッドは波板形状を有する、請求項1または2記載の電子デバイス。
- 前記凸部は前記デバイスチップの前記反対側の面に平行な平坦形状を有し、
前記凹部は島状に凹んでいる、請求項1または2記載の電子デバイス。 - 前記リッドは金属板である、請求項1から4のいずれか一項記載の電子デバイス。
- 前記機能部は弾性波素子を含む、請求項1から5のいずれか一項記載の電子デバイス。
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