JP6858945B2 - 検査治具、検査装置、及びプローブ - Google Patents
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Description
(第一実施形態)
(第二実施形態)
3,3a,3U,3D 検査治具
4,4a,4U,4D 検査部
6 基板固定装置
8 検査処理部
31 支持部材
31a,31b,31c 支持プレート
31e 突起部
34 配線
34a 電極
35 ICソケット
100 基板(対象物)
101 半導体素子(対象物)
101a 対象物面
321 ベースプレート
BP バンプ(検査点)
C 接続点
Cf 対向面
H 貫通孔
Ha 孔部
Ha1 小径部
Hb 狭隘部
Hc 後端側開口部
P1 先端部
P2 後端部
Pa 外側筒状体
Pb 内側筒状体
Pc 中心導体
Pc1 中心導体本体部
Pc2 中心導体大径部
Pp 突起部
Pr プローブ
SI1 内側第一ばね部(内側ばね部)
SI2 内側第二ばね部(内側ばね部)
SO1 外側第一ばね部(外側ばね部)
SO2 外側第二ばね部(外側ばね部)
Claims (8)
- 検査対象となる対象物を電気的に検査するための検査処理部に電気的に接続されるための電極と、
前記電極に接触する後端部と前記対象物に対して設定された検査点に接触するための先端部とを有する略棒状のプローブと、
前記プローブを支持する支持部材とを備え、
前記プローブは、
導電性を有する筒状の外側筒状体と、
前記外側筒状体の筒内に挿通された導電性を有する筒状の内側筒状体とを含み、
前記外側筒状体に、当該外側筒状体の軸方向に伸縮すると共に前記後端部を付勢する外側ばね部が形成され、
前記内側筒状体に、当該内側筒状体の軸方向に伸縮する内側ばね部が形成され、
前記内側筒状体の一端が前記先端部とされ、当該先端部は前記外側筒状体の一端から突出し、
前記支持部材は、前記後端部を前記電極に、前記外側ばね部の付勢力によって接触させるように、前記外側筒状体を保持し、
前記プローブは、前記内側筒状体の筒内に挿通された導電性を有する棒状の中心導体をさらに備え、
前記中心導体の一端が前記後端部とされ、当該後端部は前記内側筒状体の前記先端部とは逆側の端部から突出し、
前記中心導体は、前記内側筒状体における前記内側ばね部よりも前記後端部側の位置で前記内側筒状体と接続されている検査治具。 - 検査対象となる対象物を電気的に検査するための検査処理部に電気的に接続されるための電極と、
前記電極に接触する後端部と前記対象物に対して設定された検査点に接触するための先端部とを有する略棒状のプローブと、
前記プローブを支持する支持部材とを備え、
前記プローブは、
導電性を有する筒状の外側筒状体と、
前記外側筒状体の筒内に挿通された導電性を有する筒状の内側筒状体とを含み、
前記外側筒状体に、当該外側筒状体の軸方向に伸縮すると共に前記後端部を付勢する外側ばね部が形成され、
前記内側筒状体に、当該内側筒状体の軸方向に伸縮する内側ばね部が形成され、
前記内側筒状体の一端が前記先端部とされ、当該先端部は前記外側筒状体の一端から突出し、
前記支持部材は、前記後端部を前記電極に、前記外側ばね部の付勢力によって接触させるように、前記外側筒状体を保持し、
前記外側筒状体の他端が前記後端部とされ、
前記外側筒状体と前記内側筒状体とは、前記外側筒状体における前記外側ばね部よりも前記後端部側の位置と前記内側筒状体における前記内側ばね部よりも前記後端部側の位置とで互いに接続されている検査治具。 - 前記電極の前記後端部と接触する面は、略平坦であり、
前記後端部は、面状に拡がる略平坦な平坦面を有し、当該平坦面が前記電極と接触する請求項1又は2に記載の検査治具。 - 前記対象物は、略平坦な対象物面を有し、
前記検査点は、前記対象物面から突起するように突設され、
前記支持部材は、
前記対象物面と対向配置されるための対向面と、
その対向面から前記対象物面と干渉可能に突出する突起部とを有し、
前記先端部は、前記対向面に設けられた開口部から突出し、
前記突起部の前記対向面からの突出長さは、前記先端部の前記対向面からの突出長さと前記検査点の前記対象物面からの突出長さとの合計よりも短い請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査治具。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査治具と、
前記検査処理部とを備え、
前記検査処理部は、前記電極から得られる電気信号に基づき前記対象物の検査を行う検査装置。 - 検査対象となる対象物に対して設定された検査点に接触するための先端部と、前記先端部と反対側の後端部とを有する略棒状のプローブであって、
導電性を有する筒状の外側筒状体と、
前記外側筒状体の筒内に挿通された導電性を有する筒状の内側筒状体とを含み、
前記外側筒状体に、当該外側筒状体の軸方向に伸縮すると共に前記後端部を付勢する外側ばね部が形成され、
前記内側筒状体に、当該内側筒状体の軸方向に伸縮する内側ばね部が形成され、
前記内側筒状体の一端が前記先端部とされ、当該先端部は前記外側筒状体の一端から突出し、
前記内側筒状体の筒内に挿通された導電性を有する棒状の中心導体をさらに備え、
前記中心導体の一端が前記後端部とされ、当該後端部は前記内側筒状体の前記先端部とは逆側の端部から突出し、
前記中心導体は、前記内側筒状体における前記内側ばね部よりも前記後端部側の位置で前記内側筒状体と接続されているプローブ。 - 検査対象となる対象物に対して設定された検査点に接触するための先端部と、前記先端部と反対側の後端部とを有する略棒状のプローブであって、
導電性を有する筒状の外側筒状体と、
前記外側筒状体の筒内に挿通された導電性を有する筒状の内側筒状体とを含み、
前記外側筒状体に、当該外側筒状体の軸方向に伸縮すると共に前記後端部を付勢する外側ばね部が形成され、
前記内側筒状体に、当該内側筒状体の軸方向に伸縮する内側ばね部が形成され、
前記内側筒状体の一端が前記先端部とされ、当該先端部は前記外側筒状体の一端から突出し、
前記外側筒状体の他端が前記後端部とされ、
前記外側筒状体と前記内側筒状体とは、前記外側筒状体における前記外側ばね部よりも前記後端部側の位置と前記内側筒状体における前記内側ばね部よりも前記後端部側の位置とで互いに接続されているプローブ。 - 前記外側ばね部は、螺旋の巻き数が略等しく、螺旋の巻き方向が互いに逆方向である外側第一ばね部と外側第二ばね部とを備え、
前記内側ばね部は、螺旋の巻き数が略等しく、螺旋の巻き方向が互いに逆方向である内側第一ばね部と内側第二ばね部とを備え、
前記外側第一ばね部と前記内側第一ばね部は互いに対向し、前記外側第一ばね部と前記内側第一ばね部の螺旋の巻き数は略等しく、螺旋の巻き方向が逆方向であり、
前記外側第二ばね部と前記内側第二ばね部は互いに対向し、前記外側第二ばね部と前記内側第二ばね部の螺旋の巻き数は略等しく、螺旋の巻き方向が逆方向である請求項6に記載のプローブ。
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