JP6819887B2 - 露光装置及び露光方法、並びにフラットパネルディスプレイ製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図16(B)を用いて説明する。
次に、第2の実施形態について図17〜図20(C)に基づいて説明する。本第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板エンコーダシステム50の一部の構成を除き、前述の第1の実施形態と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
CY=−(pi−X)sinθz+(qi−Y)cosθz ……(1b)
ここで、X、Y、θzは、それぞれ基板ホルダ34のX軸方向、Y軸方向及びθz方向の位置を示す。また、pi、qiは、ヘッド66a〜66dそれぞれのX位置(X座標値)、Y位置(Y座標値)である。本実施形態では、ヘッド66a、66b、66c、66dそれぞれのX座標値pi及びY座標値qi(i=1、2、3、4)は、前述の4つのXリニアエンコーダ96xと、4つのYリニアエンコーダ96yの出力から算出される一対のヘッドユニット60(図1参照)それぞれのX軸方向、及びY軸方向の位置情報(Yスライドテーブル62の中心のX軸方向、及びY軸方向の位置)から、各ヘッドのYスライドテーブル62の中心に対する既知の位置関係に基づいて簡単に算出することができる。
C3=−(p3−X)sinθz+(q3−Y)cosθz ……(2b)
C4= (p4−X)cosθz+(q4−Y)sinθz ……(2c)
基板ホルダ34が座標原点(X,Y、θz)=(0,0,0)にある基準状態では、連立方程式(2a)〜(2c)より、C1=p1,C3=q3,C4=p4となる。基準状態は、例えば投影光学系16による投影領域の中心に、基板ホルダ34中心(基板Pの中心にほぼ一致)が一致し、θz回転がゼロの状態である。したがって、基準状態では、ヘッド66bによる基板ホルダ34のY位置の計測も可能となっており、ヘッド66bによる計測値C2は、式(1b)に従い、C2=q2となる。
C4= (p4−X)cosθz+(q4−Y)sinθz ……(2c)
C2=−(p2−X)sinθz+(q2−Y)cosθz ……(2d)
連立方程式(2a)〜(2c)及び連立方程式(2a)、(2c)、(2d)では、変数が3つ(X,Y,θz)に対して3つの式が与えられている。従って、逆に、連立方程式(2a)〜(2c)における従属変数C1,C3,C4、あるいは連立方程式(2a)、(2c)、(2d)における従属変数C1,C4,C2が与えられれば、変数X,Y,θzを求めることができる。ここで、近似sinθz≒θzを適用すると、あるいはより高次の近似を適用しても、容易に方程式を解くことができる。従って、ヘッド66a、66c、66d(又はヘッド66a、66b、66d)の計測値C1,C3,C4(又はC1,C2,C4)よりウエハステージWSTの位置(X,Y,θz)を算出することができる。
上式(3)において、p3,q3は、ヘッド66cの計測点のX座標値、Y座標値である。本実施形態では、X座標値p3及びY座標値q3は、前述した通り、4つのXリニアエンコーダ96xと、4つのYリニアエンコーダ96yの出力から算出される一対のヘッドユニット60それぞれのYスライドテーブル62の中心のX軸方向、及びY軸方向の位置から、ヘッド66cのYスライドテーブル62の中心に対する既知の位置関係に基づいて算出された値が用いられる。
C4= (p4−X)cosθz+(q4−Y)sinθz ……(2c)
C2=−(p2−X)sinθz+(q2−Y)cosθz ……(2d)
なお、上では、3つのヘッドから、この3つのヘッドと異なる別のヘッドを1つ含む異なる3つのヘッドへの切り換えについて説明したが、これは切り換え前の3つのヘッドの計測値から求まる基板ホルダ34の位置(X、Y、θz)を用いて、切り換え後に用いられる別のヘッドで計測すべき値を、アフィン変換の原理に基づいて、算出し、その算出した値を、切り換え後に用いられる別のヘッドの初期値として設定しているため、このように説明した。しかしながら、切り換え後に用いられる別のヘッドで計測すべき値の算出等の手順には触れず、切り換え及びつなぎ処理の直接の対象である2つのヘッドにのみ注目すれば、切り換え前に使用している3つのヘッドのうちの1つのヘッドを別の1つのヘッドに切り換えているとも言える。いすれにしても、ヘッドの切り換えは、切り換え前に基板ホルダの位置情報の計測及び位置制御に用いられているヘッドと、切り換え後に用いられるヘッドとが、ともに、いずれかのスケール152に同時に対向している状態で行われる。
次に、第3の実施形態にについて図21に基づいて説明する。本第3の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、基板エンコーダシステム50の一部の構成を除き、前述の第1及び第2の実施形態と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、第1及び第2の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、第1及び第2の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、第4の実施形態について図22に基づいて説明する。本第4の実施形態に係る液晶露光装置の構成は、図22に示されるように、基板ホルダ34の基板載置領域の+Y側と−Y側にそれぞれ配置されたスケール52の列が、第3の実施形態と同様に対向配置され、且つ−Y側に位置する一方のヘッドユニット60が、前述の第1の実施形態と同様に各2つのXヘッド66x、Yヘッド66yを有している点が、前述の第2の実施形態に係る液晶露光装置の構成と相違するが、その他の部分の構成は第2の実施形態に係る液晶露光装置と同様になっている。
この変形例は、第4の実施形態に係る液晶露光装置において、+Y側に位置する他方のヘッドユニット60として、一方のヘッドユニット60と同じ構成(又は紙面上下方向に関して対称な構成)のヘッドユニットが用いられる場合である。
Claims (61)
- 光学系を介して物体に照明光を照射する露光装置であって、
前記光学系の下方に配置され、前記物体を保持する移動体と、
前記光学系の光軸と直交する所定平面内で互いに直交する第1、第2方向に関して前記移動体を移動可能な駆動系と、
前記第1方向に関して複数の格子領域が互いに離れて配置される格子部材と、前記格子部材に対してそれぞれ計測ビームを照射しかつ前記第2方向に関して移動可能な複数のヘッドとの一方が前記移動体に設けられるとともに、前記格子部材と前記複数のヘッドとの他方が前記移動体と対向するように設けられ、前記第2方向に関する前記複数のヘッドの位置情報を計測する計測装置を有し、前記複数のヘッドのうち、前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射される少なくとも3つのヘッドの計測情報と、前記計測装置の計測情報と、に基づき、少なくとも前記所定平面内の3自由度方向に関する前記移動体の位置情報を計測する計測系と、
前記計測系で計測される位置情報に基づいて前記駆動系を制御する制御系と、を備え、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記第1方向への前記移動体の移動中、前記計測ビームが前記複数の格子領域の1つから外れるととともに、前記1つの格子領域に隣接する別の格子領域に乗り換え、
前記複数のヘッドは、前記第1方向に関して、前記複数の格子領域のうち隣接する一対の格子領域の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する2つのヘッドと、前記第2方向に関して前記2つのヘッドの少なくとも一方と前記計測ビームの位置が異なる少なくとも1つのヘッドと、を含む露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記所定平面内で互いに交差する2方向の一方を計測方向とし、
前記計測系で計測に用いられる前記少なくとも3つのヘッドは、前記2方向の一方を計測方向とする少なくとも1つのヘッドと、前記2方向の他方を計測方向とする少なくとも2つのヘッドと、を含む露光装置。 - 請求項1又は2に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドは、前記所定平面内で前記第1方向と異なる方向を計測方向とするヘッドを含み、
前記計測系は、前記計測方向が前記第1方向と異なるヘッドを用いて前記移動体の位置情報を計測するために前記計測装置の計測情報を用いる露光装置。 - 請求項2又は3に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドは、前記第1方向を計測方向とする少なくとも2つのヘッドと、前記第2方向を計測方向とする少なくとも2つのヘッドと、を含む露光装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドは、前記第2方向に関して前記移動体と相対移動可能である露光装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数の格子領域はそれぞれ、反射型の2次元格子あるいは互いに配列方向が異なる2つの1次元格子を有する露光装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部材は、前記複数の格子領域がそれぞれ形成される複数のスケールを有する露光装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記計測系は、前記複数のヘッドを前記第2方向に移動可能な駆動部を有し、
前記制御系は、前記移動体の移動中、前記計測系で計測に用いられる前記少なくとも3つのヘッドでそれぞれ、前記第2方向に関して前記計測ビームが前記複数の格子領域から外れないように前記駆動部を制御する露光装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記計測系は、前記複数のヘッドのうち1つ又は複数のヘッドをそれぞれ保持して移動可能な複数の可動部を有し、前記計測装置によって前記複数の可動部でそれぞれ前記ヘッドの位置情報を計測する露光装置。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記所定平面内で互いに交差する2方向の一方と、前記所定平面と直交する第3方向との2方向を計測方向とし、
前記計測系は、前記少なくとも3つのヘッドを用いて、前記第3方向を含む、前記3自由度方向と異なる3自由度方向に関する前記移動体の位置情報を計測可能である露光装置。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドは少なくとも4つのヘッドを有し、
前記少なくとも4つのヘッドのうち1つのヘッドで前記計測ビームが前記複数の格子領域から外れている間、残りの少なくとも3つのヘッドは前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射されるとともに、前記第1方向への前記移動体の移動によって、前記少なくとも4つのヘッドの中で前記計測ビームが前記複数の格子領域から外れる前記1つのヘッドが切り換わる露光装置。 - 請求項11に記載の露光装置において、
前記少なくとも4つのヘッドは、前記第1方向に関して互いに前記計測ビームの位置が異なる2つのヘッドと、前記第2方向に関して前記2つのヘッドの少なくとも一方と前記計測ビームの位置が異なるととともに、前記第1方向に関して互いに前記計測ビームの位置が異なる2つのヘッドと、を含み、前記2つのヘッドは、前記第1方向に関して、前記複数の格子領域のうち隣接する一対の格子領域の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する露光装置。 - 請求項11又は12に記載の露光装置において、
前記格子部材は、前記第2方向に関して互いに離れて配置される少なくとも2つの前記複数の格子領域を有し、前記少なくとも2つの前記複数の格子領域にそれぞれ、前記第1方向に関して互いに前記計測ビームの位置が異なる少なくとも2つのヘッドを介して前記計測ビームが照射され、
前記少なくとも2つのヘッドは、前記第1方向に関して、前記複数の格子領域のうち隣接する一対の格子領域の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する露光装置。 - 請求項13に記載の露光装置において、
前記格子部材は、前記移動体に設けられ、
前記少なくとも2つの前記複数の格子領域は、前記第2方向に関して前記移動体の物体載置領域の両側に配置される一対の前記複数の格子領域を含む露光装置。 - 請求項11〜14のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1方向への前記移動体の移動において、前記少なくとも4つのヘッドで前記計測ビームが前記複数の格子領域から外れる非計測区間が重ならない露光装置。 - 請求項15に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドは、前記少なくとも4つのヘッドの少なくとも1つと前記非計測区間が少なくとも一部重なる少なくとも1つのヘッドを含み、
前記移動体の位置情報の計測において、前記少なくとも4つのヘッドと、前記少なくとも1つのヘッドと、を含む少なくとも5つのヘッドのうち、前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射される少なくとも3つのヘッドの計測情報が用いられる露光装置。 - 請求項11〜16のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記制御系は、前記少なくとも4つのヘッドのうち、前記計測ビームが前記1つの格子領域から外れて前記別の格子領域に乗り換える1つのヘッドを用いて前記移動体の移動を制御するための補正情報を、残りの少なくとも3つのヘッドの計測情報、あるいは前記残りの少なくとも3つのヘッドを用いて計測される前記移動体の位置情報に基づいて取得する露光装置。 - 請求項17に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記少なくとも4つのヘッドでそれぞれ前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射されている間に取得される露光装置。 - 請求項17又は18に記載の露光装置において、
前記残りの少なくとも3つのヘッドの1つで前記計測ビームが前記複数の格子領域の1つから外れる前に、前記残りの少なくとも3つのヘッドの1つの代わりに、前記補正情報が取得された前記1つのヘッドを含む少なくとも3つのヘッドを用いて前記移動体の位置情報が計測される露光装置。 - 請求項17〜19のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記所定平面内で互いに交差する2方向の一方と、前記所定平面と直交する第3方向との2方向を計測方向とし、
前記計測系は、前記少なくとも3つのヘッドを用いて、前記第3方向を含む、前記3自由度方向と異なる3自由度方向に関する前記移動体の位置情報を計測し、
前記制御系は、前記少なくとも4つのヘッドのうち、前記計測ビームが前記1つの格子領域から外れて前記別の格子領域に乗り換える1つのヘッドを用いて前記異なる3自由度方向に関する前記移動体の移動を制御するための補正情報を、残りの少なくとも3つのヘッドの前記第3方向の計測情報、あるいは前記残りの少なくとも3つのヘッドを用いて計測される前記異なる3自由度方向に関する前記移動体の位置情報に基づいて取得する露光装置。 - 請求項1〜20のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学系を支持するフレーム部材を、さらに備え、
前記格子部材と前記複数のヘッドとの他方は、前記フレーム部材に設けられる露光装置。 - 請求項1〜21のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体は、前記移動体の開口内で保持され、
前記移動体および前記物体を浮上支持する支持部を有し、前記駆動系によって、前記浮上支持される物体を少なくとも前記3自由度方向に移動するステージシステムを、さらに備える露光装置。 - 請求項1〜22のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記計測装置は、前記複数のヘッドにスケール部材と第2ヘッドとの一方が設けられるとともに、前記スケール部材と前記第2ヘッドとの他方が前記複数のヘッドに対向するように設けられ、前記第2ヘッドを介して前記スケール部材に計測ビームを照射し、前記第2方向に関する前記複数のヘッドの位置情報を計測する露光装置。 - 請求項23に記載の露光装置において、
前記光学系を支持するフレーム部材を、さらに備え、
前記計測装置は、前記スケール部材と前記第2ヘッドとの一方が前記複数のヘッドに設けられ、前記スケール部材と前記第2ヘッドとの他方が前記光学系または前記フレーム部材に設けられる露光装置。 - 請求項24に記載の露光装置において、
前記計測系は、前記格子部材が前記移動体に設けられるとともに、前記複数のヘッドが前記フレーム部材に設けられ、
前記計測装置は、前記第2ヘッドが前記複数のヘッドに設けられるとともに、前記スケール部材が前記フレーム部材に設けられる露光装置。 - 請求項23〜25のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記スケール部材は、前記第2方向に関して互いに離れて配置される複数の格子部を有し、
前記計測装置は、前記第2方向に関して前記計測ビームの位置が異なる少なくとも2つの前記第2ヘッドを含む複数の前記第2ヘッドを有し、
前記少なくとも2つの第2ヘッドは、前記第2方向に関して、前記複数の格子部のうち隣接する一対の格子部の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する露光装置。 - 請求項26に記載の露光装置において、
前記複数の第2ヘッドは、前記第1方向と、前記所定平面と直交する第3方向との一方に関して、前記少なくとも2つの第2ヘッドの少なくとも1つと前記計測ビームの位置が異なる少なくとも1つの第2ヘッドを含む露光装置。 - 請求項24〜27のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記計測装置は、前記スケール部材に対して互いに異なる位置に複数の前記計測ビームを照射し、前記第2方向と異なる方向に関する前記複数のヘッドの位置情報を計測する露光装置。 - 請求項24〜28のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記計測装置は、前記複数のヘッドの回転と傾斜との少なくとも一方に関する位置情報を計測する露光装置。 - 請求項24〜29のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記スケール部材は、反射型の2次元格子あるいは互いに配列方向が異なる2つの1次元格子の少なくとも一方を有する露光装置。 - フラットパネルディスプレイ製造方法であって、
請求項1〜30のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイ製造方法。 - 光学系を介して物体に照明光を照射する露光方法であって、
前記光学系の光軸と直交する所定平面内の第1方向に関して複数の格子領域が互いに離れて配置される格子部材と、前記格子部材に対してそれぞれ計測ビームを照射しかつ前記所定平面内で前記第1方向と直交する第2方向に関して移動可能な複数のヘッドとの一方が前記物体を保持する移動体に設けられるとともに、前記格子部材と前記複数のヘッドとの他方が前記移動体と対向するように設けられ、前記第2方向に関する前記複数のヘッドの位置情報を計測する計測装置を有する計測系によって、前記複数のヘッドのうち、前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射される少なくとも3つのヘッドの計測情報と、前記計測装置の計測情報と、に基づき、少なくとも前記所定平面内の3自由度方向に関する前記移動体の位置情報を計測することと、
前記計測系で計測される位置情報に基づいて前記移動体を移動することと、含み、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記第1方向への前記移動体の移動中、前記計測ビームが前記複数の格子領域の1つから外れるととともに、前記1つの格子領域に隣接する別の格子領域に乗り換え、
前記複数のヘッドは、前記第1方向に関して、前記複数の格子領域のうち隣接する一対の格子領域の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する2つのヘッドと、前記第2方向に関して前記2つのヘッドの少なくとも一方と前記計測ビームの位置が異なる少なくとも1つのヘッドと、を含む露光方法。 - 請求項32に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記所定平面内で互いに交差する2方向の一方を計測方向とし、
前記計測系で計測に用いられる前記少なくとも3つのヘッドは、前記2方向の一方を計測方向とする少なくとも1つのヘッドと、前記2方向の他方を計測方向とする少なくとも2つのヘッドと、を含む露光方法。 - 請求項32又は33に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドは、前記所定平面内で前記第1方向と異なる方向を計測方向とするヘッドを含み、
前記計測方向が前記第1方向と異なるヘッドを用いて前記移動体の位置情報を計測するために、前記計測装置の計測情報が用いられる露光方法。 - 請求項33又は34に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドは、前記第1方向を計測方向とする少なくとも2つのヘッドと、前記第2方向を計測方向とする少なくとも2つのヘッドと、を含む露光方法。 - 請求項32〜35のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドは、前記第2方向に関して前記移動体と相対移動可能である露光方法。 - 請求項32〜36のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数の格子領域はそれぞれ、反射型の2次元格子あるいは互いに配列方向が異なる2つの1次元格子を有する露光方法。 - 請求項32〜36のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数の格子領域はそれぞれ互いに異なる複数のスケールに形成される露光方法。 - 請求項32〜38のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記移動体の移動中、前記計測系で計測に用いられる前記少なくとも3つのヘッドでそれぞれ、前記第2方向に関して前記計測ビームが前記複数の格子領域から外れないように、前記少なくとも3つのヘッドが移動される露光方法。 - 請求項32〜39のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドのうち1つ又は複数のヘッドがそれぞれ複数の可動部に保持され、前記計測装置によって前記複数の可動部でそれぞれ前記ヘッドの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項32〜40のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記所定平面内で互いに交差する2方向の一方と、前記所定平面と直交する第3方向との2方向を計測方向とし、
前記少なくとも3つのヘッドを用いて、前記第3方向を含む、前記3自由度方向と異なる3自由度方向に関する前記移動体の位置情報が計測される露光方法。 - 請求項32〜41のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドは少なくとも4つのヘッドを有し、
前記少なくとも4つのヘッドのうち1つのヘッドで前記計測ビームが前記複数の格子領域から外れている間、残りの少なくとも3つのヘッドは前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射されるとともに、前記第1方向への前記移動体の移動によって、前記少なくとも4つのヘッドの中で前記計測ビームが前記複数の格子領域から外れる前記1つのヘッドが切り換わる露光方法。 - 請求項42に記載の露光方法において、
前記少なくとも4つのヘッドは、前記第1方向に関して互いに前記計測ビームの位置が異なる2つのヘッドと、前記第2方向に関して前記2つのヘッドの少なくとも一方と前記計測ビームの位置が異なるととともに、前記第1方向に関して互いに前記計測ビームの位置が異なる2つのヘッドと、を含み、前記2つのヘッドは、前記第1方向に関して、前記複数の格子領域のうち隣接する一対の格子領域の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する露光方法。 - 請求項42又は43に記載の露光方法において、
前記格子部材は、前記第2方向に関して互いに離れて配置される少なくとも2つの前記複数の格子領域を有し、前記少なくとも2つの前記複数の格子領域にそれぞれ、前記第1方向に関して互いに前記計測ビームの位置が異なる少なくとも2つのヘッドを介して前記計測ビームが照射され、
前記少なくとも2つのヘッドは、前記第1方向に関して、前記複数の格子領域のうち隣接する一対の格子領域の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する露光方法。 - 請求項44に記載の露光方法において、
前記格子部材は、前記移動体に設けられ、
前記少なくとも2つの前記複数の格子領域は、前記第2方向に関して前記移動体の物体載置領域の両側に配置される一対の前記複数の格子領域を含む露光方法。 - 請求項42〜45のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記第1方向への前記移動体の移動において、前記少なくとも4つのヘッドで前記計測ビームが前記複数の格子領域から外れる非計測区間が重ならない露光方法。 - 請求項46に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドは、前記少なくとも4つのヘッドの少なくとも1つと前記非計測区間が少なくとも一部重なる少なくとも1つのヘッドを含み、
前記移動体の位置情報の計測において、前記少なくとも4つのヘッドと、前記少なくとも1つのヘッドと、を含む少なくとも5つのヘッドのうち、前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射される少なくとも3つのヘッドの計測情報が用いられる露光方法。 - 請求項42〜47のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記少なくとも4つのヘッドのうち、前記計測ビームが前記1つの格子領域から外れて前記別の格子領域に乗り換える1つのヘッドを用いて前記移動体の移動を制御するための補正情報が、残りの少なくとも3つのヘッドの計測情報、あるいは前記残りの少なくとも3つのヘッドを用いて計測される前記移動体の位置情報に基づいて取得される露光方法。 - 請求項48に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記少なくとも4つのヘッドでそれぞれ前記計測ビームが前記複数の格子領域の少なくとも1つに照射されている間に取得される露光方法。 - 請求項48又は49に記載の露光方法において、
前記残りの少なくとも3つのヘッドの1つで前記計測ビームが前記複数の格子領域の1つから外れる前に、前記残りの少なくとも3つのヘッドの1つの代わりに、前記補正情報が取得された前記1つのヘッドを含む少なくとも3つのヘッドを用いて前記移動体の位置情報が計測される露光方法。 - 請求項48〜50のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドはそれぞれ、前記所定平面内で互いに交差する2方向の一方と、前記所定平面と直交する第3方向との2方向を計測方向とし、前記少なくとも3つのヘッドを用いて、前記第3方向を含む、前記3自由度方向と異なる3自由度方向に関する前記移動体の位置情報が計測され、
前記少なくとも4つのヘッドのうち、前記計測ビームが前記1つの格子領域から外れて前記別の格子領域に乗り換える1つのヘッドを用いて前記異なる3自由度方向に関する前記移動体の移動を制御するための補正情報が、残りの少なくとも3つのヘッドの前記第3方向の計測情報、あるいは前記残りの少なくとも3つのヘッドを用いて計測される前記異なる3自由度方向に関する前記移動体の位置情報に基づいて取得される露光方法。 - 請求項32〜51のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部材と前記複数のヘッドとの他方は、投影光学系を支持するフレーム部材に設けられる露光方法。 - 請求項32〜52のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記複数のヘッドにスケール部材と第2ヘッドとの一方が設けられるとともに、前記スケール部材と前記第2ヘッドとの他方が前記複数のヘッドに対向するように設けられ、前記第2ヘッドを介して前記スケール部材に計測ビームを照射する前記計測装置によって、前記複数のヘッドの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項53に記載の露光方法において、
前記スケール部材と前記第2ヘッドとの一方は、前記複数のヘッドに設けられ、前記スケール部材と前記第2ヘッドとの他方は、前記投影光学系または前記投影光学系を支持するフレーム部材に設けられる露光方法。 - 請求項54に記載の露光方法において、
前記格子部材は前記移動体に設けられ、前記複数のヘッドは前記フレーム部材に設けられ、
前記第2ヘッドは前記複数のヘッドに設けられ、前記スケール部材が前記フレーム部材に設けられる露光方法。 - 請求項53〜55のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記スケール部材は、前記第2方向に関して互いに離れて配置される複数の格子部を有し、
前記第2方向に関して前記計測ビームの位置が異なる少なくとも2つの前記第2ヘッドを含む複数の前記第2ヘッドを有する前記計測装置によって、前記複数のヘッドの位置情報が計測され、
前記少なくとも2つの第2ヘッドは、前記第2方向に関して、前記複数の格子部のうち隣接する一対の格子部の間隔よりも広い間隔で前記計測ビームを照射する露光方法。 - 請求項56に記載の露光方法において、
前記複数の第2ヘッドは、前記第1方向と、前記所定平面と直交する第3方向との一方に関して、前記少なくとも2つの第2ヘッドの少なくとも1つと前記計測ビームの位置が異なる少なくとも1つの第2ヘッドを含む露光方法。 - 請求項54〜57のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記スケール部材に対して互いに異なる位置に複数の前記計測ビームが照射され、前記第2方向と異なる方向に関する前記複数のヘッドの位置情報が計測される露光方法。 - 請求項54〜58のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記計測装置によって、前記複数のヘッドの回転と傾斜との少なくとも一方に関する位置情報が計測される露光方法。 - 請求項54〜59のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記スケール部材は、反射型の2次元格子あるいは互いに配列方向が異なる2つの1次元格子の少なくとも一方を有する露光方法。 - フラットパネルディスプレイ製造方法であって、
請求項32〜60のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイ製造方法。
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