JP6735693B2 - ステージ装置、及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
本ステージの制御系のブロック図を示す。上軸固定子は、下軸テーブルの位置と常に一定の相対距離を保つよう独立制御される。
なお、上軸テーブルの制御系は、一般的な制御系と同様でよい。
104 レーザ干渉計
105 テーブル
106 ウェハ
107 ガイド
108 チャック
109 コントローラ
111 ミラー
112 試料室
113 除振マウント
201 上軸テーブル
202 上軸モータ固定子
203 下軸テーブル
204 下軸モータ固定子
205 ガイドレール
206 試料室底面
207 上軸固定子移動体
301 上軸モータ可動子
401 下軸テーブル駆動用モータ可動子
402 上軸モータ固定子駆動用モータ可動子
403 下軸用スケールヘッド
404 上軸モータ固定子位置測定用スケールヘッド
405 下軸用スケール
501 下軸テーブル用ガイドレール
502 上軸固定子用ガイドレール
601 上軸モータ固定子A(大推力)
602 上軸モータ固定子B(高分解能)
603 下軸モータ固定子A(大推力)
604 下軸モータ固定子B(高分解能)
701 下軸テーブル制御器
702 下軸テーブルプラント特性
703 上軸固定子駆動モータ制御器
704 上軸固定子駆動モータプラント特性
801 上軸モータコイル
802 上軸モータヨーク
803 下軸モータコイル
Claims (7)
- 試料を支持し、当該試料を第1の方向に移動させる第1のテーブルと、当該第1のテーブルを前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2のテーブルを備えたステージ装置であって、
前記第1の方向へ前記第1のテーブルを移動させる駆動力を発生する第1の移動機構と、前記第2の方向へ前記第2のテーブルを移動させる駆動力を発生する第2の移動機構と、前記第1の移動機構に含まれる固定子を支持する移動体と、当該移動体を前記第2のテーブルの前記第2の移動方向への移動に追従して移動させる第3の移動機構を備えたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記第1の移動機構に含まれる可動子と、前記第3の移動機構に含まれる可動子は、共通の固定子内を移動することを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記第2の方向に沿って設置されるスケールと、前記第2のテーブルに前記スケールに対向するように設置される第1のスケールヘッドと、前記移動体に前記スケールに対向するように設置される第2のスケールヘッドを備えたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記第2のテーブルを前記第2の方向に案内する第1のガイドレールと、前記移動体を前記第2の方向に案内する第2のガイドレールを備えたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項1において、
前記第1の方向へ前記第1のテーブルを移動させる駆動力を発生する第4の移動機構と、当該第4の移動機構に含まれる固定子を支持する移動体と、当該移動体を前記第2のテーブルの前記第2の移動方向への移動に追従して移動させる第5の移動機構を備えたことを特徴とするステージ装置。 - 請求項5において、
前記第1の移動機構に含まれるモータと、前記第4の移動機構に含まれるモータは、推力定数が異なることを特徴とするステージ装置。 - 試料室内に配置された試料に対し、荷電粒子ビームを照射するための荷電粒子線鏡筒と、前記試料を支持し、当該試料を第1の方向に移動させる第1のテーブルと、当該第1のテーブルを前記第1の方向とは異なる第2の方向に移動させる第2のテーブルを備えた荷電粒子線装置であって、
前記第1の方向へ前記第1のテーブルを移動させる駆動力を発生する第1の移動機構と、前記第2の方向へ前記第2のテーブルを移動させる駆動力を発生する第2の移動機構と、前記第1の移動機構に含まれる固定子を支持する移動体と、当該移動体を前記第2のテーブルの前記第2の移動方向への移動に追従して移動させる第3の移動機構を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
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