JP6647375B2 - 光合波器の製造装置 - Google Patents
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Description
第1主面に設置されたミラーと、
第2主面に設置された光フィルタと、を備える光合波器の製造方法であって、
基材の第1主面にミラーを戴置し、オートコリメータを用いて該基材と該ミラーとの間の角度調整を行った後、該ミラーを該基材に対して固定するステップと、
基材の第2主面に光フィルタを戴置し、オートコリメータを用いて該基材と該光フィルタとの間の角度調整を行った後、該光フィルタを該基材に対して固定するステップと、を含むことを特徴とする。
第1主面に設置されたミラーと、
第2主面に設置された光フィルタと、を備える光合波器の製造方法であって、
ワーク設置部の基準面に、基材を戴置するステップと、
該基準面に向けて光ビームを照射し、該基準面で反射した光ビームの反射方向を計測して、該基準面の角度θaを測定するステップと、
前記基材の第1主面に、ミラーを戴置するステップと、
該ミラーに向けて光ビームを照射し、該ミラーで反射した光ビームの反射方向を計測して、該ミラーの角度θbを測定するステップと、
角度θbが角度θaと一致するように、前記ミラーの角度を調整した後、前記ミラーを前記基材に対して固定するステップと、
前記基材を反転した状態で、ワーク設置部の基準面に戴置するステップと、
前記基材の第2主面に、光フィルタを戴置するステップと、
前記基材の第2主面に向けて光ビームを照射し、該第2主面で反射した光ビームの反射方向を計測して、該第2主面の角度θcを測定するステップと、
前記光フィルタに向けて光ビームを照射し、前記光フィルタで反射した光ビームの反射方向を計測して、前記光フィルタの角度θdを測定するステップと、
角度θcが角度θdと一致するように、前記光フィルタの角度を調整した後、前記光フィルタを前記基材に対して固定するステップと、を含むことを特徴とする。
第1主面に設置されたミラーと、
第2主面に設置された光フィルタと、を備える光合波器の製造装置であって、
光合波器の組立作業を行うためのワーク設置部と、
前記ワーク設置部の基準面、前記基材、前記ミラーおよび前記光フィルタの間の相対角度をそれぞれ測定する光ビーム照射式角度測定部と、
前記基材に対して前記ミラーおよび前記光フィルタの角度を調整する角度調整部と、
前記基材に対して前記ミラーおよび前記光フィルタを固定する部品固定部と、を備えることを特徴とする。
図1は、本発明が適用可能な光集積モジュールの光学系の一例を示す構成図である。光集積モジュールは、波長分割多重方式など、光信号を複数の通信チャンネルで同時に送信できる機能を備える。ここでは、4本の通信チャネルについて例示するが、2〜3本または5本以上の通信チャネルについても同様に構成できる。
図11は、本発明の実施の形態2に係る光合波器の製造装置の一例を示す正面図である。図11中、図5と同一符合は、同一または相当箇所を示す。図11の製造装置では、ワーク設置部50の下方に波長可変光源55が設けられ、波長可変光源55から出た光は基材31等を透過し、ワーク設置部50の上方に設けられたパワーメータ56に入り、強度が測定される。他の構造は、図5の製造装置と同一である。
62 回動ステージ、 63 Z軸ステージ、 70 角度調整部、 71 部品把持機構、 72 把持ハンド、 73 Z軸ステージ、 74 回動ステージ、 75 2軸ゴニオステージ、 80 撮像カメラ部、 81 撮像カメラ、 82 撮像レンズ、 83 XY軸ステージ、 84 Z軸ステージ、 90 ライトガイド、 91 ミラー。
Claims (3)
- 互いに平行な第1主面および第2主面を有する基材と、
第1主面に設置されたミラーと、
第2主面に設置された光フィルタと、を備える光合波器の製造装置であって、
光合波器の組立作業を行うためのワーク設置部と、
前記ワーク設置部の基準面に向けて光ビームを照射し、該基準面で反射した光ビームの反射方向を計測することで、該光ビームに直交する平面に対する該基準面の角度θaを、該ミラーに向けて光ビームを照射し、該ミラーで反射した光ビームの反射方向を計測することで、該光ビームに直交する平面に対する該ミラーの角度θbを、前記基材の第2主面に向けて光ビームを照射し、該第2主面で反射した光ビームの反射方向を計測することで、該光ビームに直交する平面に対する該第2主面の角度θcを、前記光フィルタに向けて光ビームを照射し、前記光フィルタで反射した光ビームの反射方向を計測することで、該光ビームに直交する平面に対する前記光フィルタの角度θdを、それぞれ測定する光ビーム照射式角度測定部と、
角度θbが角度θaと一致するように、前記ミラーの角度を調整し、角度θcが角度θdと一致するように、前記光フィルタの角度を調整する角度調整部と、
前記ミラー及び前記光フィルタを前記基材に対して固定する部品固定部と、を備えることを特徴とする光合波器の製造装置。 - 得られた光合波器に試験用光ビームを入射し、該光合波器から出射した光ビームの位置を測定する光ビーム位置測定部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の光合波器の製造装置。
- 前記ワーク設置部には、前記ミラーと接触しないように逃げ空間が形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の光合波器の製造装置。
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