JP6610627B2 - 移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Claims (21)
- ベース部材と、移動体と、前記移動体を前記ベース部材上で少なくとも所定の2次元平面内の一軸方向に駆動する電磁アクチュエータと、を含む移動体装置であって、
前記電磁アクチュエータは複数のユニットを有し、
前記複数のユニットが有する第1ジョイントに接続可能な第2ジョイントを前記複数のユニットに対応して複数有し、前記第1及び第2ジョイントを介して前記複数のユニットに冷媒を分配する冷媒分配部材を備える移動体装置。 - 前記複数のユニットは、前記冷媒分配部材の前記2次元平面と平行な面に沿って配置される請求項1に記載の移動体装置。
- 前記複数のユニットが所定の位置に規則的に配置されることによって、前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが接続される請求項1または2に記載の移動体装置。
- 前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが接続された状態で、前記冷媒分配部材から前記複数のユニットに冷媒を供給することと、前記複数のユニットから前記冷媒分配部材へ前記冷媒を戻すことと、が可能である請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが着脱可能である請求項1〜4のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1ジョイントと前記第2ジョイントとが接続された状態で、前記冷媒分配部材の一面と前記複数のユニットの一面との間に隙間が形成され、
前記第1ジョイント、及び前記第2ジョイントの少なくともひとつが前記隙間に配置される請求項1〜5のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記複数のユニットが有する入力用コネクタに接続可能な出力用コネクタを前記複数のユニットに対応して複数有し、前記入力用及び出力用コネクタを介して前記複数のユニットに電力を分配する電力分配部材を備える請求項1〜6のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記複数のユニットは、前記電力分配部材の前記2次元平面と平行な面に沿って配置される請求項7に記載の移動体装置。
- 前記複数のユニットが所定の位置に規則的に配置されることによって、前記入力用コネクタと前記出力用コネクタとが接続される請求項7または8に記載の移動体装置。
- 前記入力用コネクタと前記出力用コネクタとが接続された状態で、前記電力分配部材から前記複数のユニットに電力を分配することが可能である請求項7〜9のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記入力用コネクタと前記出力用コネクタとが着脱可能である請求項7〜10のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記入力用コネクタと前記出力用コネクタとが接続された状態で、前記電力分配部材の前記一面と前記複数のユニットとの間に隙間が形成され、
前記入力用コネクタ、及び前記出力用コネクタの少なくともひとつが前記隙間に配置される請求項7〜11のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記複数のユニットは、前記冷媒分配部材の前記2次元平面と平行な面に沿って配置される請求項7〜12のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記冷媒分配部材と前記電力分配部材とは互いに重ねて配置される請求項7〜13のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記冷媒分配部材と前記電力分配部材とは、前記2次元平面に平行な板状の部分を含む請求項7〜14のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記複数のユニットは、前記2次元平面と平行な面に沿って規則的に配置される請求項1〜15のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記電磁アクチュエータは、前記複数のユニットが前記2次元平面内の互いに直交する第1軸及び第2軸に沿って2次元配置され、前記移動体を前記第1及び第2軸に沿って駆動可能な平面モータである請求項1〜16のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記ベース部材は、前記移動体を前記2次元平面に平行な方向に駆動する際の反力によって、前記移動体に対して前記2次元平面に沿って前記移動体とは反対の方向に相対移動可能に設けられる請求項1〜17のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記ベース部材は、錘を有する請求項18に記載の移動体装置。
- 所定の物体が前記移動体に保持される請求項1〜19のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記物体にエネルギビームを用いて所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 請求項20に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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