JP6541051B2 - 基板検査装置、及び検査治具 - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
(第2実施形態)
R1=V1/I1 ・・・(1)
R2=V2/I2 ・・・(2)
2,2a 検査装置本体
3,3U,3D 検査治具
3Da 四端子用対治具
3Db 二端子用対治具
3Dc 二端子用対治具(対検査治具)
3Ua 四端子用治具
3Ub 二端子用治具(検査治具)
21 第1電流供給部
22 第2電流供給部
23 電圧検出部
24 入力部
25,25a 制御部
26 電流検出部
34 配線
35U,35D コネクタ
41U,41D コネクタ(接続部)
51 第1処理部
52 高電流供給処理部
53 第2処理部
54 判定部
100 基板
101,102 ランド(検査点)
103 円筒部
251 モード制御部
252 判定部
I1 第1電流
I2 第2電流
Ia,Ib 電流
P 配線パターン
P1,P2 分岐点
Pr プローブ
Pr1 プローブ(第1プローブ)
Pr2 プローブ(第2プローブ)
Pr3 プローブ(第3プローブ,接触子)
Ps 対プローブ
Ps1 対プローブ(第1対プローブ)
Ps2 対プローブ(第2対プローブ)
Ps3 対プローブ(第3対プローブ,対接触子)
R1 第1抵抗値
R2 第2抵抗値
Ref 基準値
Rx 抵抗値
SW1〜SW4 スイッチング素子
Ta 接続端子
Ta1 接続端子(第1接続端子)
Ta2 接続端子(第2接続端子)
Ta3 接続端子(第3接続端子,第1治具端子)
Ta4 接続端子(第4接続端子,第2治具端子)
Tb1 本体側接続端子(第1本体側接続端子)
Tb2 本体側接続端子(第2本体側接続端子)
Tc1 本体側対接続端子(第1本体側対端子)
Tc2 本体側対接続端子(第2本体側対端子)
TH1,TH2 スルーホール
Ts 対接続端子
Ts1 対接続端子(第1対接続端子)
Ts2 対接続端子(第2対接続端子)
Ts3 対接続端子(第3対接続端子、第1対治具端子)
Ts4 対接続端子(第2対治具端子)
V1 第1電圧
V2 第2電圧
X 欠損
Claims (7)
- 検査対象となる基板に設けられた検査点に接触する接触子と、前記接触子と接続された第1及び第2治具端子とを備えた検査治具と、前記検査点と対になる他の検査点に接触する対接触子と、前記対接触子と接続された第1及び第2対治具端子とを備えた対検査治具とに接続可能な接続部と、
前記接続部に接続された前記検査治具と前記対検査治具とを介して前記基板の検査を行う検査本体部とを備え、
前記接続部は、
前記第1及び第2治具端子にそれぞれ接続される第1及び第2本体側接続端子と、
前記第1及び第2対治具端子にそれぞれ接続される第1及び第2本体側対端子とを備え、
前記検査本体部は、
前記第1及び第2本体側接続端子へそれぞれ電流を供給可能な第1及び第2電流供給部と、
前記第1本体側接続端子と前記第1本体側対端子との間の電圧を検出する電圧検出部と、
前記第2電流供給部によって前記第2本体側接続端子へ電流を供給させ、かつ前記第1電流供給部による前記第1本体側接続端子への電流供給を禁止させた期間中に前記電圧検出部によって電圧を検出させる電圧検出処理を実行し、その電圧検出処理で検出された電圧を第1電圧として取得する第1処理を実行する第1処理部と、
前記第1処理の実行後、前記第1及び第2電流供給部によって前記第1及び第2本体側接続端子へそれぞれ電流を供給させる高電流供給処理を実行する高電流供給処理部と、
前記高電流供給処理の実行後、前記電圧検出処理を実行し、その電圧検出処理で検出された電圧を第2電圧として取得する第2処理を実行する第2処理部と、
前記第1電圧と前記第2電圧とに基づいて良否を判定する判定部とを備える基板検査装置。 - 検査対象となる基板に設けられた検査点に接触する接触子と、前記接触子と接続された第1及び第2治具端子と、前記検査点と対になる他の検査点に接触する対接触子と、前記対接触子と接続された第1及び第2対治具端子とを備えた検査治具に接続可能な接続部と、
前記接続部に接続された前記検査治具を介して前記基板の検査を行う検査本体部とを備え、
前記接続部は、
前記第1及び第2治具端子にそれぞれ接続される第1及び第2本体側接続端子と、
前記第1及び第2対治具端子にそれぞれ接続される第1及び第2本体側対端子とを備え、
前記検査本体部は、
前記第1及び第2本体側接続端子へそれぞれ電流を供給可能な第1及び第2電流供給部と、
前記第1本体側接続端子と前記第1本体側対端子との間の電圧を検出する電圧検出部と、
前記第2電流供給部によって前記第2本体側接続端子へ電流を供給させ、かつ前記第1電流供給部による前記第1本体側接続端子への電流供給を禁止させた期間中に前記電圧検出部によって電圧を検出させる電圧検出処理を実行し、その電圧検出処理で検出された電圧を第1電圧として取得する第1処理を実行する第1処理部と、
前記第1処理の実行後、前記第1及び第2電流供給部によって前記第1及び第2本体側接続端子へそれぞれ電流を供給させる高電流供給処理を実行する高電流供給処理部と、
前記高電流供給処理の実行後、前記電圧検出処理を実行し、その電圧検出処理で検出された電圧を第2電圧として取得する第2処理を実行する第2処理部と、
前記第1電圧と前記第2電圧とに基づいて良否を判定する判定部とを備える基板検査装置。 - 前記判定部は、
前記第1電圧に基づき前記検査点と前記他の検査点との間の抵抗値を第1抵抗値として算出し、
前記第2電圧に基づき前記検査点と前記他の検査点との間の抵抗値を第2抵抗値として算出し、
前記第1抵抗値と前記第2抵抗値との差に基づき前記良否を判定する請求項1又は2記載の基板検査装置。 - 前記第2本体側接続端子と前記第2本体側対端子の間に流れる電流を検出する電流検出部をさらに備え、
前記第1処理部は、さらに、前記第1処理において、当該第1処理の実行中における前記期間中に前記電流検出部によって検出された電流を第1電流として取得し、
前記第2処理部は、さらに、前記第2処理において、当該第2処理の実行中における前記期間中に前記電流検出部によって検出された電流を第2電流として取得し、
前記判定部は、
前記第1電圧と前記第1電流とに基づき前記検査点と前記他の検査点との間の抵抗値を第1抵抗値として算出し、
前記第2電圧と前記第2電流とに基づき前記検査点と前記他の検査点との間の抵抗値を第2抵抗値として算出し、
前記第1抵抗値と前記第2抵抗値との差に基づき前記良否を判定する請求項3記載の基板検査装置。 - 前記第1及び第2電流供給部が供給する電流は、互いに略等しい請求項1〜4のいずれか1項に記載の基板検査装置。
- 前記検査治具をさらに備える請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板検査装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板検査装置における前記接続部と接続される検査治具であって、
検査対象となる基板に設けられた検査点に接触する接触子と、前記接触子と接続された第1及び第2治具端子とを備えた検査治具。
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