JP6173487B2 - パターン化された欠陥の輪郭ベースのアレイ検査 - Google Patents
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Claims (18)
- 基板上のセルのアレイを検査する方法であって、
欠陥がないことが前もって決定されていた第1のセル画像を獲得するステップと、
前記第1のセル画像のコピーをタイル張りしてステッチすることによってアレイ画像を生成するステップと、
前記アレイ画像内に第2のセル画像を画定し、該第2のセル画像のコピーをタイル張り及びステッチすることにより基準輪郭画像を生成するステップであり、前記基準輪郭画像は前記第2のセル画像から抽出された輪郭を含む、ステップと、
前記基準輪郭画像を使用して前記基板上の前記セルのアレイの欠陥を検出するステップと、
を含む方法。 - 前記基板上の前記セルのアレイのテスト画像を得るステップと、
前記基準輪郭画像に前記テスト画像を整列配置するステップと、
を更に含む請求項1に記載の方法。 - 複数の重なり合うより解像度の高いセルの部分画像を得るステップと、
より解像度の低い前記セルの完全画像を得るステップと、
前記部分画像を整列配置及びステッチして前記第1のセル画像を得るステップと、
を更に含む請求項1に記載の方法。 - 前記基準輪郭画像は、
前記第2のセル画像からセル輪郭画像を生成し、
前記セル輪郭画像のコピーをタイル張りすることによって生成される
請求項1に記載の方法。 - 前記セル輪郭画像を生成するステップは、領域分割技術を使用してセル輪郭を抽出するステップを含む請求項4に記載の方法。
- 前記セル輪郭画像を生成するステップは、セル輪郭を抽出するためのシードとして前記デザインの多角形を使用するステップを含む請求項4に記載の方法。
- 前記セル輪郭画像を生成するステップは、プリ光近接効果補正デザインを平滑化することによってセル輪郭を得るステップを含む請求項4に記載の方法。
- 前記セル輪郭画像を生成するステップは、画像編集ツールを使用してセル輪郭を手動で描くステップを含む請求項4に記載の方法。
- マスク画像を生成して、欠陥検出のためにユーザー指定セグメンテーションを提供するステップを更に含む請求項1に記載の方法。
- セル輪郭の端からの距離に応じて特徴がセグメントに分けられる請求項9に記載の方法。
- 前記ユーザー指定セグメンテーションは、欠陥分類のために更に使われる請求項9に記載の方法。
- 基板上のアレイの欠陥を検出するシステムであって、
マイクロプロセッサと制御コードとを有する制御および処理システムを備え、
前記制御コードが、
欠陥がないことが前もって決定されていた第1のセル画像を取得し、前記第1のセル画像のコピーをタイル張りしてステッチすることによってアレイ画像を生成し、前記アレイ画像内に第2のセル画像を画定し、前記第2のセル画像のコピーをタイル張りしてステッチすることにより基準輪郭画像を生成し、前記基準輪郭画像は前記第2のセル画像から抽出された輪郭を含み、
前記基準輪郭画像を使用して、前記基板上の前記セルのアレイの欠陥を検出する
ようにプログラムされたシステム。 - 前記制御コードは、前記基板上の前記セルのアレイのテスト画像を得て、前記テスト画像を前記基準輪郭画像に整列配置するように更にプログラムされる請求項12に記載のシステム。
- 前記制御コードは、複数の重なり合うより解像度の高いセルの部分画像を取得し、より解像度の低い前記セルの完全画像を取得し、前記部分画像を整列配置及びステッチ前記第1のセル画像を取得するように更にプログラムされる請求項12に記載のシステム。
- 前記制御コードは、前記基準輪郭画像を、前記第2のセル画像からセル輪郭画像を生成し、前記セル輪郭画像のコピーをタイル張りすることによって生成するように更にプログラムされる請求項12に記載のシステム。
- 前記制御コードは、マスク画像を生成して、欠陥検出のためにユーザー指定セグメンテーションを提供するように更にプログラムされる請求項12に記載のシステム。
- セル輪郭の端からの距離に応じて特徴がセグメントに分けられる請求項16に記載のシステム。
- 前記ユーザー指定セグメンテーションは、欠陥分類のために更に使われる請求項16に記載のシステム。
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