JP6134293B2 - 封止材 - Google Patents
封止材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6134293B2 JP6134293B2 JP2014122532A JP2014122532A JP6134293B2 JP 6134293 B2 JP6134293 B2 JP 6134293B2 JP 2014122532 A JP2014122532 A JP 2014122532A JP 2014122532 A JP2014122532 A JP 2014122532A JP 6134293 B2 JP6134293 B2 JP 6134293B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- perfluoropolymer
- sealing material
- fluororubber
- mass
- parts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 title claims description 26
- 229920005548 perfluoropolymer Polymers 0.000 claims description 57
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims description 33
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 claims description 29
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 25
- -1 perfluoroalkyl vinyl ether Chemical compound 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 15
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims description 8
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims description 7
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 6
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 6
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 5
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011630 iodine Substances 0.000 claims description 4
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 6
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 6
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 6
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 5
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 5
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- BLTXWCKMNMYXEA-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoro-2-(trifluoromethoxy)ethene Chemical compound FC(F)=C(F)OC(F)(F)F BLTXWCKMNMYXEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(prop-2-enyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound C=CCN1C(=O)N(CC=C)C(=O)N(CC=C)C1=O KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhexane Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)CCC(C)(C)OOC(C)(C)C DMWVYCCGCQPJEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 2
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical group C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- KDGNCLDCOVTOCS-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxy propan-2-yl carbonate Chemical compound CC(C)OC(=O)OOC(C)(C)C KDGNCLDCOVTOCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLKRGXCGFRXRNQ-SNAWJCMRSA-N (z)-3-carbonoperoxoyl-4,4-dimethylpent-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)/C=C(C(C)(C)C)\C(=O)OO BLKRGXCGFRXRNQ-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- NALFRYPTRXKZPN-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)-3,3,5-trimethylcyclohexane Chemical compound CC1CC(C)(C)CC(OOC(C)(C)C)(OOC(C)(C)C)C1 NALFRYPTRXKZPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPJGAEWUPXWFPL-UHFFFAOYSA-N 1-[3-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=CC=CC(N2C(C=CC2=O)=O)=C1 IPJGAEWUPXWFPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJELTSYBAHKXRW-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-triallyloxy-1,3,5-triazine Chemical compound C=CCOC1=NC(OCC=C)=NC(OCC=C)=N1 BJELTSYBAHKXRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODBCKCWTWALFKM-UHFFFAOYSA-N 2,5-bis(tert-butylperoxy)-2,5-dimethylhex-3-yne Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C#CC(C)(C)OOC(C)(C)C ODBCKCWTWALFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JGBAASVQPMTVHO-UHFFFAOYSA-N 2,5-dihydroperoxy-2,5-dimethylhexane Chemical compound OOC(C)(C)CCC(C)(C)OO JGBAASVQPMTVHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VFTWMPNBHNNMAV-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylperoxy-1,4-di(propan-2-yl)benzene Chemical compound CC(C)C1=CC=C(C(C)C)C(OOC(C)(C)C)=C1 VFTWMPNBHNNMAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BIISIZOQPWZPPS-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylperoxypropan-2-ylbenzene Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 BIISIZOQPWZPPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 229920006172 Tetrafluoroethylene propylene Polymers 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical group 0.000 description 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003712 anti-aging effect Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 1
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- YCWSUKQGVSGXJO-NTUHNPAUSA-N nifuroxazide Chemical group C1=CC(O)=CC=C1C(=O)N\N=C\C1=CC=C([N+]([O-])=O)O1 YCWSUKQGVSGXJO-NTUHNPAUSA-N 0.000 description 1
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 1
- 239000012744 reinforcing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010058 rubber compounding Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- PNWOTXLVRDKNJA-UHFFFAOYSA-N tert-butylperoxybenzene Chemical compound CC(C)(C)OOC1=CC=CC=C1 PNWOTXLVRDKNJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
- GRPURDFRFHUDSP-UHFFFAOYSA-N tris(prop-2-enyl) benzene-1,2,4-tricarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=C(C(=O)OCC=C)C(C(=O)OCC=C)=C1 GRPURDFRFHUDSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHGIFBQQEGRTPB-UHFFFAOYSA-N tris(prop-2-enyl) phosphate Chemical compound C=CCOP(=O)(OCC=C)OCC=C XHGIFBQQEGRTPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
- Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)
- Sealing Material Composition (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Description
一方、成形された含フッ素重合体を、酸素を含むガスおよび水を存在させた改質処理領域を含む混練機内で、溶融混練することを特徴とする再生含フッ素重合体の製造方法が知られている(特許文献3)。
しかしながら、上記再生含フッ素重合体の製造方法は、特定の混練機を必要としており、パーフルオロ系フッ素ゴムを工業的に安価に利用できるものではなかった。
上記処理パーフルオロ重合体は、上記封止材用組成物の成形加工工程で排出された残パーフルオロ重合体を熱処理することで架橋点を分解したパーフルオロ重合体であり、
上記フッ素ゴムは上記未架橋パーフルオロ重合体100質量部に対して、上記処理パーフルオロ重合体を40質量部未満配合してなるフッ素ゴムであることを特徴とする。特に封止材が半導体製造装置用オーリングであることを特徴とする。
フルオロオレフィンは以下の式(I)で表される。
なお、フルオロオレフィンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの重合比は、フルオロオレフィンが50〜95モル%、パーフルオロアルキルビニルエーテルが5〜50モル%であることが好ましい。また、ゴム弾性体であればよい。
すなわち、フッ素ゴムは、パーフルオロオレフィンとパーフルオロメチルビニルエーテルとヨウ素または臭素含有ビニルモノマーとの共重合体のみから構成されていることが好ましい。
熱処理条件は、通常の架橋条件をこえる温度、時間であり、上記架橋または半架橋パーフルオロ重合体が少なくとも架橋点が分解を開始する温度、時間以上で熱処理することが好ましい。熱処理条件としては、290〜310℃、70〜100時間が好ましい。この条件で熱処理することにより、架橋パーフルオロ重合体組成物であっても架橋点が解離する。なお、熱処理は常圧下で行なうことが好ましい。
熱処理温度が310℃をこえるとパーフルオロ重合体主鎖の熱分解が始まり、熱処理温度が290℃未満であると効率的に架橋点の分解ができない。また、架橋点分解の有無は、弾性変形する架橋パーフルオロ重合体組成物が架橋点解離により、弾性を失い塑性変形することで判断できる。具体的には、架橋点分解後のパーフルオロ重合体組成物による成形体の両端部を引張り塑性変形できるものが処理パーフルオロ重合体である。
架橋剤としては、熱や酸化還元系の存在で容易にパーオキシラジカルを生成する有機過酸化物が好ましい。また、ジクミルパーオキサイドやベンゾイルパーオキサイドなどの有機過酸化物などを架橋助剤とし、トリアリルイソシアヌレートなどの多価アリール化合物や多価ビニル化合物を架橋剤として用いて架橋することもでき、この方法は特に封止材の硬さが要求される場合に好ましい架橋剤である。
充填剤の配合量はフッ素ゴム100質量部に対し100質量部以下、好ましくは1〜50質量部である。
充填剤が40質量部をこえるとパーフルオロ重合体との混練りが困難になる。混練方法としては、たとえばロール練り、ニーダー練りなどが採用でき、成形方法も圧縮成形法、射出成形法、押出成形法、トランスファー成形法といった成形法が採用できる。
オーリングを製造するときの過程で発生する半架橋および架橋パーフルオロ重合体組成物である残パーフルオロ重合体を300℃で70時間加熱処理して処理パーフルオロ重合体を得た。この処理パーフルオロ重合体は、一見固体状態であるが、手で引張る等のストレスを与えると塑性変形し、高粘度流体の状態であった。
フルオロオレフィンとパーフルオロメチルビニルエーテルとから誘導された繰り返し単位を含有し、過酸化物パーヘキサ2.5Bおよびトリアリルイソシアヌレートが配合されている過酸化物架橋できるパーフルオロ重合体として、ダイキン工業社製商品名 GA−55(表1において、パーフルオロ重合体で表す)100質量部に、上記処理パーフルオロ重合体30質量部とMTカーボン粉末15質量部とをそれぞれ秤量し、ゴムロールミルを用いて混合した。このパーフルオロ重合体組成物を架橋金型に入れ、160℃、10分間の一次架橋および180℃、4時間の二次架橋を施して、内径が25.7mm、外径が32.7mm、太さが3.5mmのオーリング(JIS B2401 P−26)を作製した。また、永久圧縮歪測定用として大型試験片(JIS K6262)を作製した。
ゴム硬度はアスカー微小硬度計にて25℃で測定した。初期値および熱劣化後の引張強さ、伸び、伸び100%時の引張り応力はJIS B2401の方法により測定した。熱劣化後のゴム硬度変化は(熱劣化後の値−初期値)であり、引張強さ変化率および伸び変化率は[((熱劣化後の値−初期値)/初期値)×100]である。比重はJIS K6268の方法により測定した。圧縮永久ひずみは[((初期厚さ−試験後の厚さ)/(初期厚さ−スペーサー厚さ))×100]である。測定結果を表1に示す。
実施例1において、処理パーフルオロ重合体30質量部およびMTカーボン粉末15質量部を配合しない以外は、実施例1と同様な方法でオーリングP−26および永久圧縮歪測定用試料を作製した。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。
実施例1において、処理パーフルオロ重合体30質量部を配合しない以外は、実施例1と同様な方法でオーリングP−26および永久圧縮歪測定用試料を作製した。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。
実施例1において、処理パーフルオロ重合体40質量部およびMTカーボン粉末25質量部を配合する以外は、実施例1と同様な方法でオーリングP−26および永久圧縮歪測定用試料を作製した。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。
Claims (2)
- フッ素ゴムと架橋剤とカーボンブラックとを配合してなる封止材用組成物を成形してなる封止材であって、
前記フッ素ゴムは、パーフルオロオレフィンおよびパーフルオロアルキルビニルエーテルから誘導される繰り返し単位とヨウ素または臭素含有ビニルモノマーとの共重合体のみから構成されている未架橋パーフルオロ重合体と、処理パーフルオロ重合体とを配合してなるフッ素ゴムであり、
前記処理パーフルオロ重合体は、前記封止材用組成物の成形加工工程で排出された残パーフルオロ重合体を熱処理することで架橋点を分解したパーフルオロ重合体であり、
前記フッ素ゴムは前記未架橋パーフルオロ重合体100質量部に対して、前記処理パーフルオロ重合体を40質量部未満配合してなるフッ素ゴムであることを特徴とする封止材。 - 前記封止材が半導体製造装置用オーリングであることを特徴とする請求項1記載の封止材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014122532A JP6134293B2 (ja) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 封止材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014122532A JP6134293B2 (ja) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 封止材 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016003247A JP2016003247A (ja) | 2016-01-12 |
JP2016003247A5 JP2016003247A5 (ja) | 2016-03-31 |
JP6134293B2 true JP6134293B2 (ja) | 2017-05-24 |
Family
ID=55222790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014122532A Active JP6134293B2 (ja) | 2014-06-13 | 2014-06-13 | 封止材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6134293B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020128544A (ja) * | 2020-04-27 | 2020-08-27 | 三菱電線工業株式会社 | シール材 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6169805A (ja) * | 1984-09-06 | 1986-04-10 | Daikin Ind Ltd | 加硫フツ素ゴムの処理方法 |
JP3145357B2 (ja) * | 1998-09-14 | 2001-03-12 | 株式会社森清化工 | 封止材用組成物および封止材 |
JP4449271B2 (ja) * | 2002-01-28 | 2010-04-14 | ダイキン工業株式会社 | 再生加硫フッ素ゴム製造方法及び被再生未加硫フッ素ゴム用組成物 |
-
2014
- 2014-06-13 JP JP2014122532A patent/JP6134293B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016003247A (ja) | 2016-01-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200427699A (en) | Fluorine-containing elastomer composition having execllent prevention effect of plasma aging and molded article using the same | |
WO2012073977A1 (ja) | 架橋性フッ素ゴム組成物および架橋ゴム物品 | |
TWI718147B (zh) | 熱塑性氟樹脂組合物、及交聯體之製造方法 | |
KR102445981B1 (ko) | 불소 고무 조성물 및 불소 고무 가교 물품 | |
TW200535189A (en) | Perfluoroelastomer composition for use in vulcanization and method for making a molded perfluoroelastomer product | |
KR102342909B1 (ko) | 퍼플루오로 엘라스토머 조성물 및 시일재 | |
JPWO2008050588A1 (ja) | 燃料系部品成形用含フッ素エラストマーおよびその組成物 | |
WO2014167797A1 (ja) | 架橋フルオロエラストマーの製造方法 | |
TW202120568A (zh) | 含氟彈性共聚物及其製造方法 | |
JP5224315B2 (ja) | 放射線架橋含フッ素共重合体 | |
JP5224314B2 (ja) | 放射線架橋含フッ素共重合体 | |
JP6618506B2 (ja) | パーフルオロエラストマー組成物及びシール材 | |
JP6955384B2 (ja) | パーフルオロエラストマー組成物及びシール材 | |
JP6134293B2 (ja) | 封止材 | |
WO2004033580A1 (ja) | 半導体装置用シール材およびその製造方法 | |
JP2005140196A (ja) | 燃料電池用ガスケット | |
JP5164058B2 (ja) | 耐ハロゲンガス性パーフルオロエラストマー成形体及びシール材料 | |
JP2017213477A (ja) | 水蒸気選択透過性チューブ | |
Drobny | Fluoroelastomers | |
CN117070043B (zh) | 一种耐低温全氟醚弹性体组合物及其制备方法 | |
JP7155286B2 (ja) | エラストマー組成物及びシール材 | |
JP5969257B2 (ja) | フルオロポリマー組成物およびその硬化物 | |
JP6086600B2 (ja) | オーリング用組成物およびオーリング | |
CN117304624A (zh) | 制备真空密封材料的组合物、方法及密封产品 | |
JP2015013972A (ja) | フッ素ゴム系シール材用組成物およびフッ素ゴム系シール材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160212 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170421 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6134293 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |