JP6068271B2 - 塗布器、及び塗布装置 - Google Patents
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Description
吐出スリットは塗布器の幅方向に長く形成されており、この塗布器をステージ上の基板に対して水平移動させながら吐出スリットから塗布液を吐出することで、基板の表面に塗布液による薄膜(塗膜)を形成することができる。
この塗布器には、塗布液が流入する流入口と、幅方向に長いマニホールド(キャビティ)とが設けられており、流入口からマニホールドへ流入した塗布液は、このマニホールドで一旦溜められた状態となってから吐出スリットを通過し、基板に対して吐出される。
このように、塗布器内の塗布液にエアが混入していると、塗布作業開始時、塗布圧力の立ち上がりに遅れが生じて塗布開始部分の膜厚が薄くなったり、エアが基板に吐出されることによるピンホールや縦スジ等の塗布欠陥が発生したりするという不具合が発生する。特に、下側のマニホールドの塗布液にエアが混入していると、そのエアは排出されにくく、前記不具合は長期にわたって継続するおそれがある。
または、前記エアベント孔は、前記絞り流路にその下流側で繋がっている前記マニホールドの上縁部において開口しているのが好ましい。
または、前記エアベント孔は、前記絞り流路の下流側端部において開口しているのが好ましい。
これらエアベント孔により、マニホールドの上部に存在しているエアを排出しやすい構成が得られる。
そこで、前記エアベント孔は、前記境界を含む領域において前記一方向に交差する方向に向かって開口する孔であるのが好ましい。
この場合、絞り流路から流れ出る塗布液の流速が大きくても、エアベント孔によるエアの取り入れに関して、絞り流路を通過した塗布液の流れの影響を受けにくい構成となる。このため、マニホールドの上部に存在しているエアを、効率良くエアベント孔へ侵入させることが可能となる。
本発明によれば、前記塗布器と同様の作用効果を奏することができる。
〔塗布装置の構成について〕
図1は、本発明の塗布装置1の実施の一形態を示す概略構成図である。この塗布装置1は、ガラス等の基板(被塗布部材)Wを載せるステージ2と、このステージ2上の基板Wに対して塗布液を吐出する塗布器3と、塗布液を溜めるタンク(液溜め部)9と、このタンク9の塗布液を塗布器3に送るポンプ(送液手段)8と、ステージ2上の基板Wと塗布器3との内の一方を他方に対して移動させる駆動装置4とを備えている。本実施形態では、駆動装置4は、固定状態にあるステージ2に対して塗布器3を水平方向及び垂直方向に移動させるアクチュエータからなる。また、塗布装置1は、各部の動作を制御する制御装置5を備えている。ポンプ8と塗布器3とは、塗布液の流路を構成する配管(チューブ)17によって繋がっている。なお、本実施形態では、塗布器3の水平移動方向をX方向、このX方向に直交する水平方向であって塗布器3の幅方向をY方向と定義する。Z方向は、X方向及びY方向に直交する垂直方向(高さ方向)となる。そして、塗布器3はY方向に長く構成されており、また、このY方向に基板Wの幅方向が一致するようにして、基板Wはステージ2上に載せられる。
流入口18から供給された塗布液は、上側マニホールド11、絞り流路22、下側マニホールド12、及び吐出スリット21を、この順で流れ、吐出スリット21の下端(先端)である吐出口21aから吐出される。また、本実施形態では、これらがZ方向に直線的に並んで設けられている。そして、塗布器3は、これらマニホールド11,12及び絞り流路22等が内部に設けられている口金3a、この口金3aに接続される後述の配管36,56(図2参照)、並びに後述のバルブ37,57(図2参照)等を備えて構成されている。
また、塗布液の流れ方向の反対から見ると、絞り流路22と上側マニホールド11との境界39から上流側に向かって、流路断面が拡大(急拡大)しており、吐出スリット21と下側マニホールド12との境界41から上流側に向かって、流路断面が拡大(急拡大)している。
図2に示すように、第1エアベント孔31は、塗布器3に形成された貫通孔からなり、上側マニホールド11の上部と繋がっている。第1エアベント孔31は、配管36と繋がっており、この配管36にバルブ37が設けられている。このバルブ37を開くことにより、上側マニホールド11の上部に存在しているエアを、第1エアベント孔31を通じて塗布器3から排出することができる。なお、このエアは上側マニホールド11内の塗布液の一部と共に排出される。図3に示すように、第1エアベント孔31は、上側マニホールド11のY方向両側部にそれぞれ設けられている。第1エアベント孔31の開口部の上端と、上側マニホールド11の上端とが一致するようにして、第1エアベント孔31は上側マニホールド11において開口しており、上側マニホールド11の上面に沿って溜まるエアを排出しやすくしている。
また、図3に示すように、下側マニホールド12は、その上面側に、Y方向に向かうにしたがって高さが変化する傾斜面13を有している。本実施形態では、中央に向かうにしたがって高くなる傾斜面13を、Y方向の両側に有している。そして、第2エアベント孔32は、この傾斜面13の上端において開口している。
また、図3に示すように、上側マニホールド11と下側マニホールド12と絞り流路22とは、Y方向寸法が同じであり、これらの側壁面51も共通する。なお、側壁面51は、Y方向両側に位置する塗布器3内の端面である。
絞り流路22の流路断面は、塗布液の流れ方向(上下方向)に沿って一定であるが、下側マニホールド12との境界40から、下側マニホールド12では流路断面が急拡大している(図4(A)参照)。そして、第2エアベント孔32は、この境界40を含む位置において開口している。つまり、第2エアベント孔32は、境界40を含むようにして開口している。特に、図4(A)に示す形態では、エアベント孔32の開口部32aの上端32a1と、境界40とが一致している。このため、第2エアベント孔32の開口部32aの上端32a1と、下側マニホールド12の上端とが一致する。この第2エアベント孔32は、下側マニホールド12を構成する円弧状の壁面24において開口する孔である。このように、第2エアベント孔32は下側マニホールド12内で開口しており、下側マニホールド12の上面に沿って溜まるエアを排出しやすくしている。
また、図4(A)〜(C)それぞれに示す第2エアベント孔32は、X方向に向かって境界40を含む領域Aにおいて開口する孔である。
図5(A)は、図4(A)に示す第2エアベント孔32の変形例を示している。図5(A)に示す第2エアベント孔32は、下側マニホールド12の上縁部27において開口している。具体的には、第2エアベント孔32は、下側マニホールド12を構成する円弧状である壁面24の上部において開口している。なお、前記上縁部27とは、前記境界40よりも下流側の部分であって、第2エアベント孔32が形成されているY方向位置における下側マニホールド12のZ方向の寸法(全高)の10%以内の範囲である。したがって、この範囲以内に、第2エアベント孔32の開口部32aの少なくとも一部が存在していればよく、本実施形態では、この範囲以内に、第2エアベント孔32の開口部32aの下端32a2が位置する。
以上より、図5(A)(B)に示す第2エアベント孔32は、下側マニホールド12の上縁部27において、境界40を含まない位置で開口している。
図5(C)は、第2エアベント孔32及びその周囲を示す拡大断面図であり、図4に示す第2エアベント孔32の変形例を示している。図5(C)に示す第2エアベント孔32は、絞り流路22の下流側端部45において開口している。なお、この下流側端部45とは、境界40よりも上流側の部分であり、第2エアベント孔32が形成されているY方向位置における絞り流路22のZ方向の寸法(全高)の10%以内の範囲である。したがって、この範囲以内に、第2エアベント孔32の開口部32aの少なくとも一部が存在していればよく、本実施形態では、この範囲以内に、第2エアベント孔32の開口部32aの上端32a1が位置する。この第2エアベント孔32は、平面状である壁面23の一部において、境界40を含まない位置で開口している。
図6(A)は、図4に示す第2エアベント孔32の変形例を示している。図6(A)に示す第2エアベント孔32は、前記共通壁面49において境界40を含む位置で開口している。また、更に別の変形例として、図6(B)に示すように、第2エアベント孔32は、前記側壁面51において境界40を含む位置で開口していてもよい。
また、図示しないが、図5(A)(B)それぞれに示す形態の変形例として、第2エアベント孔32は、共通壁面49又は側壁面51であって、下側マニホールド12の上縁部27において開口していてもよい。さらに、図5(C)に示す形態の変形例として、第2エアベント孔32は、共通壁面49又は側壁面51であって、絞り流路22の下流側端部45において開口していてもよい。
以上の前記各実施形態に係る塗布器3は、複数の(二つの)マニホールド11,12と、これらを繋ぐ絞り流路22とを有していることから、マニホールド11,12それぞれで塗布液がY方向に均一に分散されるので、吐出スリット21のY方向全長にわたって塗布液の吐出状態(吐出流量)が均一化され、基板Wの表面における塗膜厚の精度を高めることができる。
そして、上側マニホールド11に存在しているエアは浮力によってその上部に集まるが、上側マニホールド11の上部には第1エアベント孔31が開口していることから、このエアを、第1エアベント孔31を通じて外部へ排出することが可能となる。
このように前記領域Aにおいて第2エアベント孔32が開口しているため、下側マニホールド12の上部に存在しているエアを、第2エアベント孔32を通じて迅速に排出することが可能となる。このように、全てのマニホールドそれぞれにエアベント孔を設けることで、全てのマニホールドからエアを塗布器3の外部へ迅速に排出することができる。
また、境界40を含む「位置」において第2エアベント孔32が開口している形態とは、第2エアベント孔32の開口部32が、境界40を含む場合(図4(A)〜(C)の場合、及び図6(A)(B)の場合)である。
図6(B)に示す第2エアベント孔32は、側壁面51であってY方向に向かって開口する孔である。この場合、絞り流路22から流れ出る塗布液の流速が大きい条件では、下側マニホールド12の上部に存在しているエアをこの第2エアベント孔32に侵入させる機能が、絞り流路22を通過した塗布液の流れによって阻害され、低下する可能性がある。これは、図6(B)に示す第2エアベント孔32の開口部の正面では、絞り流路22からの塗布液が通過するため、この正面の部分ではエアは集まりにくいと考えられるためである。つまり、下側マニホールド12に集まるエアは、下側マニホールド12の壁面24のうち、上縁部27に主に集まると考えられるためである。なお、図6(A)に示す形態においても、同様に、塗布液の流速が大きい条件では、エアを第2エアベント孔32に侵入させる機能が低下する可能性がある。
これに対して、図4(A)(B)及び図5(A)(B)に示す各第2エアベント孔32の場合、この第2エアベント孔32は、下側マニホールド12の壁面24のうちの上縁部27においてX方向に開口している。このため、絞り流路22から流れ出る塗布液の流速が大きくても、この第2エアベント孔32によるエアの取り入れに関して、絞り流路22を通過した塗布液の流れの影響を受けにくい構成となる。このため、下側マニホールド12の上部に存在しているエアを、効率良くエアベント孔32へ侵入させることが可能となる。
なお、図6(A)(B)、図4(C)、及び図5(C)に示す各形態については、絞り流路22からの塗布液の流速が遅い場合、下側マニホールド12の上部に存在しているエアを、エアベント孔32へ効率良く侵入させることが可能となる。
図7は、塗布器3に塗布液を初期充填する際の、エアを排出する機能を説明する説明図である。ここでは、図4(A)に示す第2エアベント孔32を有する塗布器3の場合を、代表として説明するが、他の形態の塗布器3においてもその排出方法は同様である。
図7(A)は、塗布器3の内部が空の状態を示している。中央の流入口18(孔19)から上側マニホールド11へ塗布液が供給されると、図7(B)に示すように、この上側マニホールド11内を塗布液は主にY方向両側に流れ、Y方向両側の上部にエアaが集まる。なお、図7では、塗布液の領域をクロスハッチにより示している。
図7(C)に示すように、上側マニホールド11の全幅から絞り流路22を通じて下側マニホールド12へと塗布液が供給され、下側マニホールド12では、その底部から塗布液が溜まり、中央上部にエアaが集まる。
また、図7(D)に示すように、吐出スリット21の全幅から塗布液が吐出される。
そして、流入口18(孔19)から上側マニホールド11へ塗布液を供給しながら、図2に示すバルブ37,57を開くことで、図7(E)に示すように、上側マニホールド11及び下側マニホールド12のエアaは、第1エアベント孔31及び第2エアベント孔32を通じて塗布液の一部と共に外部へ排出される。なお、バルブ37,57を同時に開き、上側マニホールド11と下側マニホールド12のエアaを同時に排出してもよいが、流入口18(孔19)から上側マニホールド11へ供給される塗布液の送液量および送液速度が一定の場合は、各エアベント孔31,32から排出される塗布液の流速が低下することで上側マニホールド11と下側マニホールド12のエアaの排出が困難になることがあるため、一方のバルブのみを開状態とし、他方のバルブを閉状態とし、その一方のマニホールドからエアを排出すると、他方のバルブを閉状態から開状態とし、一方のバルブを開状態から閉状態とし、他方のマニホールドからエアを排出するのが好ましい。
図8(B)に示すように、流入口18(孔19)から上側マニホールド11へ塗布液を供給しながら、図2に示すバルブ37を開くことで、第1エアベント孔31から、上側マニホールド11のエアを塗布液の一部と共に排出する。そして、バルブ37を閉じ、バルブ57を開くことで、第2エアベント孔32から、下側マニホールド12のエアが塗布液の一部と共に排出される。
なお、塗布液の初期充填の際と同様に、バルブ37,57を同時に開き、上側マニホールド11と下側マニホールド12のエアaを同時に排出してもよいが、流入口18(孔19)から上側マニホールド11へ供給される塗布液の送液量および送液速度が一定の場合は、各エアベント孔31,32から排出される塗布液の流速が低下することで上側マニホールド11と下側マニホールド12のエアaの排出が困難になることがあるため、上側マニホールド11と下側マニホールド12のエアaは個別に排出することが好ましい。
また、図8では上側マニホールド11と下側マニホールド12に同時にエアが混入した場合のエアを排出する機能を説明したが、上側マニホールド11または下側マニホールド12のどちらか一方にエアが混入した場合は、エアが混入したどちらか一方のマニホールドのみのエア排出動作をすればよく、それにより、エア排出時間の短縮やエア排出に要する塗布液の省液が可能となる。
そして、前記のとおり、下側マニホールド12は、中央に向かうにしたがって高くなる傾斜面13を有しており、第2エアベント孔32は、この傾斜面13の上端において開口している。これにより、下側マニホールド12の塗布液中のエアは、傾斜面13に沿って上位置の一箇所へ自動的に集まることから、この集まったエアを第2エアベント孔32から排出しやすい構成となっている。
例えば、マニホールドは複数であればよく、3つ以上であってもよい。つまり、流入口18と繋がる上側マニホールド11、及び吐出スリット21と繋がる下側マニホールド12を少なくとも含む、複数のマニホールドを有していればよく、塗布器3は多段マニホールド構造であればよい。この場合であっても、下流側のマニホールドは、その上流側のマニホールドよりも下に位置する構成となる。そして、各段のマニホールドにエアベント孔が設けられ、特に、上から2段目以下のマニホールドに開口する第2エアベント孔32を、前記各構成とすればよい。なお、マニホールドがN個の場合、絞り流路はN−1個となる。
また、塗布液を塗布する対象(被塗布部材)をガラス板等の基板Wとして説明したが、被塗布部材は、これ以外であってもよい。
さらに、前記実施形態では、固定状態にあるステージ2(図1参照)に対して、塗布器3が移動することで塗布動作が行われる場合について説明したが、これとは反対に、固定状態にある塗布器3に対して、基板Wを載せたステージ2が移動することで塗布動作が行われるように構成した塗布装置であってもよい。
また、マニホールドの横断面形状は、半円形のほか、円形、多角形、1/4円と直角三角形を組み合わせたもの等、いかなる形状であってもよい。
4:駆動装置(駆動手段) 8:ポンプ(送液手段) 9:タンク(液溜め部)
11:上側マニホールド 12:下側マニホールド 18:流入口
21:吐出スリット 22:絞り流路 27:上縁部
31:第1エアベント孔 32:第2エアベント孔 40:境界
45:下流側端部 W:基板(被塗布部材)
Claims (6)
- 塗布液が流入する流入口と、一方向に長くかつその直交方向に狭く形成され塗布液を吐出する吐出スリットと、を有している塗布器であって、
前記流入口と繋がる上側のマニホールド、及び前記吐出スリットと繋がる下側のマニホールドを少なくとも含み、前記一方向に長く形成されている複数のマニホールドと、
これら複数のマニホールドの間を繋ぐと共に前記一方向に長くかつその直交方向に絞られることにより狭く形成された絞り流路と、
前記絞り流路と、当該絞り流路にその下流側で繋がっている前記マニホールドとの境界を含む領域において開口するエアベント孔と、
を更に有していることを特徴とする塗布器。 - 前記エアベント孔は、前記境界を含む位置において開口している請求項1に記載の塗布器。
- 前記エアベント孔は、前記絞り流路にその下流側で繋がっている前記マニホールドの上縁部において開口している請求項1に記載の塗布器。
- 前記エアベント孔は、前記絞り流路の下流側端部において開口している請求項1に記載の塗布器。
- 前記エアベント孔は、前記境界を含む領域において前記一方向に交差する方向に向かって開口する孔である請求項1〜4のいずれか一項に記載の塗布器。
- 被塗布部材を載せるステージと、この被塗布部材に対して塗布液を吐出する塗布器と、塗布液を溜める液溜め部と、この液溜め部の塗布液を前記塗布器に送る送液手段と、前記ステージ上の前記被塗布部材と前記塗布器との内の一方を他方に対して移動させる駆動手段と、を備え、
前記塗布器が請求項1〜5のいずれか一項に記載の塗布器であることを特徴とする塗布装置。
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KR102646383B1 (ko) * | 2020-11-13 | 2024-03-08 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 에어 벤트를 포함하는 듀얼 슬롯 다이 코터 |
CN114618747A (zh) * | 2020-12-10 | 2022-06-14 | 显示器生产服务株式会社 | 流体喷射装置 |
JP2022141255A (ja) * | 2021-03-15 | 2022-09-29 | 株式会社東芝 | 塗工ヘッド |
CN115106247B (zh) * | 2021-03-23 | 2024-01-30 | 株式会社泰珂洛 | 涂布装置 |
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JPH09276771A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-28 | Teijin Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
JP4451028B2 (ja) * | 2001-07-25 | 2010-04-14 | 富士フイルム株式会社 | 塗布方法及び溶液製膜方法 |
US6911232B2 (en) * | 2002-04-12 | 2005-06-28 | Nordson Corporation | Module, nozzle and method for dispensing controlled patterns of liquid material |
US7083826B2 (en) * | 2003-05-16 | 2006-08-01 | 3M Innovative Properties Company | Coating die and method for use |
CN100368199C (zh) * | 2004-02-12 | 2008-02-13 | 佳能株式会社 | 喷墨记录装置 |
US7015427B1 (en) * | 2004-11-19 | 2006-03-21 | Nordson Corporation | Apparatus and method for melting and supplying thermoplastic material to a dispenser |
JP4752275B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2011-08-17 | 凸版印刷株式会社 | 塗布装置 |
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KR101309037B1 (ko) * | 2006-06-23 | 2013-09-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 슬릿코터 |
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