JP5998826B2 - 混合ガス供給装置 - Google Patents
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Description
コントローラが、混合器の上流又は下流の混合ガスの流量の測定値を外乱要素的に取り込みつつ、混合器の下流の混合ガスの材料ガス濃度の測定値に基づいて濃度調整用ガスの混合器への供給量を制御する混合ガス供給装置を提供する。
図1は、本発明の一実施例の混合ガス供給装置1の概略構成図である。この混合ガス供給装置1は、トリクロロシラン(TCS)を材料ガスとし、水素ガスをキャリアガス及び濃度調整用ガスとし、トリクロロシランと水素の混合ガス(TCS/H2)を、トリクロロシラン濃度を目標濃度に調整して半導体製造装置に送出する装置であって、概略、トリクロロシランと水素の混合ガス(TCS/H2)の供給を外部から受けるラインAと、ラインAに供給された混合ガス(TCS/H2)を目標濃度に調整するために希釈用水素ガスが供給されるラインBと、ラインAに供給された混合ガス(TCS/H2)とラインBに供給された希釈用水素ガスとを混合する混合器2と、混合器2で目標濃度に調整された混合ガス(TCS/H2)を半導体製造装置側に送出するラインCを有している。また、ラインCにおける混合ガスの濃度測定のため、ラインCから分岐したベントラインDを有し、このラインDにはマスフローメータ3aと濃度計4が設けられている。なお、各ラインにおいて、符号Pは圧力計、Tは温度計、AVは空気作動弁、NVはニードル弁、SVは手動弁、CVは逆止弁、Fはフィルタを表している。この他、混合ガス供給装置1には、混合ガス(TCS/H2)のベントラインや、系内を減圧にするバキュームライン等が設けられ、メンテナンス用の不活性ガス供給ラインやベントラインなども設けられる(図示せず)。
実施例1
図1に示した混合ガス供給装置1において、ラインAの混合ガスの流量を10リットル/分から50リットル/分まで、図3に示すように段階的に変化させ、希釈用水素ガスの供給量を調整するバルブの開度(%)を、濃度計4による混合ガスの濃度の測定値と、マスフローメータ3bによる混合ガスの流量の測定値に基づいてコントローラ5でカスケード制御した。
実施例1と同様の混合ガス供給装置1において、希釈用水素ガスの供給量を調整するバルブの開度(%)を、濃度計4による混合ガスの濃度にのみ基づいてコントローラ5でフィードバック制御することにより調整した。
2 混合器
3a、3b マスフローメータ
4 濃度計
5 コントローラ
Claims (5)
- 材料ガスとキャリアガスを含む混合ガスと該混合ガスの濃度調整用ガスとを混合器で混合することにより混合ガス中の材料ガスを所定濃度に調整し、混合ガスを材料ガス反応装置に供給する混合ガス供給装置であって、混合器の下流の混合ガスの材料ガス濃度を測定する濃度計、混合器の上流又は下流の混合ガスの流量を測定するマスフローメータ、濃度調整用ガスの混合器への供給量を制御するコントローラを備え、
コントローラが、混合器の上流又は下流の混合ガスの流量の測定値をスレーブループに取り込みつつ、混合器の下流の混合ガスの材料ガス濃度の測定値をマスターループでフィードバックさせるカスケード制御を行うことより濃度調整用ガスの混合器への供給量を制御する混合ガス供給装置。 - マスフローメータが、混合器の上流の混合ガスの流量を測定し、コントローラが、混合器の上流の混合ガスの流量の測定値をスレーブループに取り込む請求項1記載の混合ガス供給装置。
- コントローラが、混合器の下流の混合ガスの濃度の測定値に基づく濃度調整用ガスの供給量の補正量を、混合器の上流の混合ガスの流量の測定値に対して比例制御する請求項2記載の混合ガス供給装置。
- 濃度調整用ガスが、水素ガス、不活性ガス又は材料ガスである請求項1〜3のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
- 材料ガスがトリクロロシランであり、キャリアガスが水素ガスである請求項1〜4のいずれかに記載の混合ガス供給装置。
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