JP5865693B2 - Wafer cooling storage - Google Patents
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Description
この発明は、ベーク工程後のウエハを冷却するウエハ冷却保管庫に関するものである。 The present invention relates to a wafer cooling storage for cooling a wafer after a baking process.
一般に、ウエハを収容する樹脂カセットにはバーコード等の識別情報が付与されており、ウエハ製造ラインを通じて樹脂カセット単位にロット等を識別および管理している。しかしながら、ウエハは常に同一の樹脂カセットに収容されるとは限らず、例えばウエハにパターン焼付けを行うベーク工程では、耐熱性の劣る樹脂カセットを使用することはできないため、ウエハをいったん金属カセットに移し替えてベーク炉に入れ加熱処理を行う。その後、金属カセットのウエハを一定時間冷却し(例えば、特許文献1参照)、この冷却工程後にウエハを金属カセットからもとの樹脂カセットに移し替え、次の工程へ進む。 In general, identification information such as a barcode is given to a resin cassette that accommodates a wafer, and lots and the like are identified and managed for each resin cassette through a wafer production line. However, the wafers are not always stored in the same resin cassette. For example, in a baking process in which pattern baking is performed on a wafer, a resin cassette with poor heat resistance cannot be used. Therefore, the wafer is temporarily transferred to a metal cassette. Change to a bake oven and heat treatment. Thereafter, the wafer of the metal cassette is cooled for a certain time (see, for example, Patent Document 1). After this cooling process, the wafer is transferred from the metal cassette to the original resin cassette, and the process proceeds to the next process.
従来は、冷却庫の場所と樹脂カセットの保管場所が離れているため、作業者が樹脂カセットを取り間違え易く、冷却工程後のウエハを間違った樹脂カセットに移し替える課題があった。 Conventionally, since the location of the cooling cabinet and the storage location of the resin cassette are separated from each other, it is easy for an operator to mistake the resin cassette, and there has been a problem of transferring the wafer after the cooling process to the wrong resin cassette.
この他にも、例えば、冷却庫の扉が横に開く場合または下から上へ開く場合、ベーク済みのウエハを出し入れする際に開ききっていない扉に接触して損傷する可能性があった。
また例えば、ウエハはロットによってベーク温度と冷却時間が異なるので、冷却時間を間違えないために冷却庫の扉に色による温度識別表示(または冷却時間識別表示)がされている場合がある。しかしながら、冷却庫への出し入れ作業を、ウエハに塗布された感光性物質の露光を防止するために波長制限されたイエロールームで行うため、作業者が温度識別表示の色を見分けにくかった。
In addition to this, for example, when the door of the refrigerator opens sideways or opens from the bottom to the top, there is a possibility that the door which is not fully opened may be touched and damaged when a baked wafer is taken in and out.
Further, for example, since the baking temperature and the cooling time of the wafer differ depending on the lot, there is a case where the temperature identification display (or the cooling time identification display) by color is performed on the door of the refrigerator in order not to make a mistake in the cooling time. However, since the work in and out of the refrigerator is performed in a yellow room that is wavelength-limited in order to prevent exposure of the photosensitive material applied to the wafer, it is difficult for the operator to distinguish the color of the temperature identification display.
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、冷却工程後のウエハを金属カセットから樹脂カセットに移し替える際の、樹脂カセットの取り間違えを防止することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to prevent a resin cassette from being mistaken when the wafer after the cooling process is transferred from the metal cassette to the resin cassette.
この発明に係るウエハ冷却保管庫は、筐体内部が仕切板により上下に仕切られ、加熱処理したウエハを収容して冷却する上側空間と、冷却した当該ウエハを収納するカセットを保管する下側空間とを一体的に備えるウエハ冷却保管庫であって、仕切板の高さ位置を回転中心軸にして上下方向へ開閉自在に支持され、上側空間の開口部を閉じる扉を備え、当該扉は、開いたときに下側空間の開口部を閉じる位置まで回転するものである。 The wafer cooling storage according to the present invention is divided into upper and lower parts by a partition plate, and an upper space for storing and cooling a heat-treated wafer and a lower space for storing a cassette for storing the cooled wafer. Is a wafer cooling storage that is integrally provided with a door that closes the opening of the upper space, is supported to be openable and closable in the vertical direction with the height position of the partition plate as the rotation center axis, When it opens, it rotates to the position which closes the opening part of lower side space .
この発明によれば、加熱処理したウエハを収容して冷却する上側空間と、冷却した当該ウエハを収納するカセットを保管する下側空間とを一体化するようにしたので、冷却場所と保管場所が近くなり、樹脂カセットの取り間違えを防止することができる。 According to the present invention, the upper space for storing and cooling the heat-treated wafer and the lower space for storing the cassette for storing the cooled wafer are integrated. This makes it possible to prevent mistakes in the resin cassette.
実施の形態1.
図1は本実施の形態1に係るウエハ冷却保管庫1の上側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図2は下側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図3は開閉動作中の状態を示す外観斜視図、図4は上側空間を閉じた状態の断面図である。なお、図3および図4では被収容物の図示を省略している。
このウエハ冷却保管庫1は、前面に開口部が形成された略箱形状の筐体2と、この筐体2の内部空間を上側空間と下側空間とに仕切る仕切板3と、上側空間の開口部と下側空間の開口部を交互に開閉する扉4とを備える。詳細は後述するが、上側空間は、ベーク工程後の金属カセット20A,20Bに入ったウエハ40を冷却する空間であり、下側空間は、冷却工程後のウエハ40を入れる樹脂カセット30A,30Bを、冷却工程のあいだ保管する空間である。
Embodiment 1 FIG.
1 is an external perspective view showing a state where the upper space of the wafer cooling storage 1 according to the first embodiment is closed, FIG. 2 is an external perspective view showing a state where the lower space is closed, and FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which the upper space is closed. In addition, illustration of the to-be-contained object is abbreviate | omitted in FIG. 3 and FIG.
The wafer cooling storage 1 includes a substantially box-
筐体2内部の視認性を確保するために、扉4は透明素材または半透明素材で構成している。この扉4の端部と仕切板3の前面側とが、2つのヒンジ5により連結されている。よって、仕切板3の高さ位置を回転中心軸にして扉4が開閉動作し、上側空間の開口部を閉じたときに下側空間の開口部を開き、反対に上側空間の開口部を開いたときに下側空間の開口部を閉じる。
In order to ensure the visibility inside the
この扉4は主に上側空間を閉じる目的で設置したものであるので、ここでは、上側空間を閉じたときに外部に露出する面を表、下側空間を閉じたときに外部に露出する面を裏と呼ぶ。図1に示すように、扉4の表面には、後述する温度識別表示11、ロットの種別を示す「A」および「B」の文字が提示されていると共に、表側取手6およびタイマ12A,12Bが取り付けられている。一方、図2に示すように、扉4の裏面には、温度識別表示11、「A」および「B」の文字が提示されていると共に、裏側取手7が取り付けられている。
なお、図示例では扉4を仕切板3に連結したが、仕切板3の高さ位置と等しい位置で筐体2に連結してもよい。
Since this
Although the
扉4の隅には、金属プレート8が取り付けられている。一方、筐体2の上側空間の隅であって扉4が閉じた状態で金属プレート8と対向する位置に、上段マグネット9が取り付けられている。また、筐体2の下側空間の隅であって扉4が閉じた状態で金属プレート8と対向する位置に、下段マグネット10が取り付けられている。この金属プレート8が上段マグネット9または下段マグネット10に接着することにより、扉4が上側空間または下側空間を閉じた状態に保持される。
A
なお、図示例では、上段マグネット9と下段マグネット10の両方を設置する構成にしたが、少なくとも、上段マグネット9を設置して扉4を上側空間に保持できる構成であればよい。
また、図示例では、扉4を上側空間で保持するための扉保持部を、金属プレート8と上段マグネット9とで構成したが、これに限定されるものではない。例えばヒンジ5に、扉4を付勢するばね部材等の機能を持たせて、扉保持部を構成してもよい。
さらに、ヒンジ5に、開閉動作時のトルクを調整するためのダンパ機構等の機能を持たせて、扉4が自重で落下するときの衝突の衝撃を緩和するようにしてもよい。
In the illustrated example, both the
In the illustrated example, the door holding portion for holding the
Further, the
また、扉4の表裏面それぞれには同一形状、同一模様の温度識別表示11が貼付されている。この温度識別表示11の例を図5および図6に示す。
図5(a)はベーク温度90℃を表す温度識別表示11、図5(b)はベーク温度150℃を表す温度識別表示11、図5(c)はベーク温度200℃を表す温度識別表示11、図5(d)はベーク温度280℃を表す温度識別表示11である。これら温度識別表示11をベーク温度に応じた大きさの円模様にすることで、作業者がベーク温度の高低を直感的に認識できる。また、これら温度識別表示11が複数並んだときに(例えば図6)、相対的な大きさの違いが明確になるように、ベーク温度に応じた数の同心円状の模様が描かれている。
Further, temperature identification displays 11 having the same shape and the same pattern are attached to the front and back surfaces of the
5A is a
なお、図示例では、温度識別表示11を円形状にしたが、これに限定されるものではなく、例えば多角形状にしてもよい。
また、ベーク温度の他、例えば、冷却時間の長さに応じた大きさの円模様、かつ、冷却時間の長さに応じた数の同心円状の模様を描いた冷却時間識別表示を扉4に貼付してもよい。
In the illustrated example, the
In addition to the bake temperature, for example, a cooling time identification display depicting a circular pattern having a size corresponding to the length of the cooling time and a number of concentric patterns corresponding to the length of the cooling time is displayed on the
次に、ウエハ冷却保管庫1の用途を説明する。
この例ではロットAのウエハ40を樹脂カセット30Aに収納し、ロットBのウエハ40は樹脂カセット30Bに収納して、各製造工程を実施していくこととする。また、樹脂カセット30A,30Bには、ロットA,Bを識別するための識別情報をコード化したバーコード31A,31Bがそれぞれ貼付されている。識別情報の他、加熱温度、冷却時間等の製造工程に関わる情報等が貼付されていてもよい。
Next, the use of the wafer cooling storage 1 will be described.
In this example, the
ベーク工程において、作業者は、ウエハ40を樹脂カセット30Aから金属カセット20Aに移し替え、ベーク炉に入れて所定のベーク温度(例えば90℃)で加熱する。ウエハ40を取り出した後の樹脂カセット30Aは、ベーク温度90℃の温度識別表示11があるウエハ冷却保管庫1の下側空間の文字「A」側に収容して保管する。通常、イエロールーム内でベーク工程および冷却工程を実施するため、温度識別表示11として色による識別方式を採用した場合には色を見分けにくい。これに対し、本実施の形態1では大きさによる識別方式を採用したので、作業者はイエロールーム内でも温度識別表示11を見分けることができ、正しいウエハ冷却保管庫1に金属カセット20Aおよび樹脂カセット30Aを収容できる。
In the baking process, the operator transfers the
ベーク工程後の冷却工程において、作業者は、高温の金属カセット20Aを、ベーク温度90℃の温度識別表示11があるウエハ冷却保管庫1の上側空間に収容してタイマ12Aをセットし、所定時間、自然冷却する。金属カセット20Aをウエハ冷却保管庫1の上側空間に入れる際、作業者が扉4を途中まで開けば、自重により落下し、確実に上側空間を開口できる。そのため、開ききっていない扉4に金属カセット20Aが接触することを防止でき、ひいてはウエハ40の損傷を防止できる。
In the cooling process after the baking process, the operator stores the high-
冷却工程後、作業者はウエハ冷却保管庫1の上側空間に収容された金属カセット20Aのウエハ40を、同じウエハ冷却保管庫1の下側空間に保管されている樹脂カセット30Aに移し替える。バーコード31Aの貼付された正しい樹脂カセット30Aが、金属カセット20Aの冷却場所のすぐ近くに保管されているので、樹脂カセット30A以外の間違った樹脂カセットに移し替える可能性を低減できる。
以上の工程はロットBについても同様である。
After the cooling process, the operator transfers the
The above process is the same for lot B.
なお、図示例では、ウエハ冷却保管庫1の大きさを、上側空間に2つの金属カセット20A,20B、および下側空間に2つの樹脂カセット30A,30Bを収容可能な大きさにしたが、これに限定されるものではなく、任意の数のカセットを収容可能な大きさにすればよい。
In the example shown in the figure, the size of the wafer cooling storage 1 is set to be large enough to accommodate two
以上より、実施の形態1によれば、ウエハ冷却保管庫1は、筐体2の内部が仕切板3により上下に仕切られ、加熱処理したウエハ40を収納した金属カセット20A,20Bを収容して冷却する上側空間と、冷却したウエハ40を収納する樹脂カセット30A,30Bを保管する下側空間とを一体的に備えるように構成した。このため、ウエハ40の冷却庫と樹脂カセット30A,30Bの保管棚を一体化でき、作業者による樹脂カセットの取り間違えを防止することができる。
As described above, according to the first embodiment, the wafer cooling storage 1 accommodates the
また、実施の形態1によれば、ウエハ冷却保管庫1は、仕切板3の高さ位置を回転中心軸にして上下方向へ開閉自在に支持され、金属プレート8と上段マグネット9とで構成される扉保持部により上側空間の開口部を閉じた状態に保持された扉4を備え、この扉4が、開いたときに下側空間の開口部を閉じる位置まで回転するように構成した。このため、開き始めた扉4が自重で落下するようになり、開ききっていない扉4にウエハ40が接触して損傷することを防止できる。
Further, according to the first embodiment, the wafer cooling storage 1 is supported by the height position of the
また、実施の形態1によれば、扉4には、加熱処理の温度に応じた大きさ、かつ、この温度に応じた数の同心円状の模様が描かれた温度識別表示11を付すように構成した。このため、イエロールーム内で作業者が温度表示を認識しやすくなり、金属カセット20A,20Bの入れ間違え、および樹脂カセット30A,30Bの取り間違えを防止することができる。
Further, according to the first embodiment, the
なお、上記実施の形態1では、ロットA,Bの識別情報を持たせた情報担体の例としてバーコード31A,31Bを挙げたが、これに限定されるものではなく、IC(Integrated Circuit)タグ(例えば、RFID;Radio Frequency IDentification)等であってもよい。
In the first embodiment, the
また、例えば、ロットの識別情報に加え、ベーク温度等の製造工程に関わる情報も記憶させたRFIDタグを樹脂カセット30Aに貼付すると共に扉4にリーダを取り付けておき、樹脂カセット30Aをウエハ冷却保管庫1に収容するときにリーダがRFIDタグの情報を読み取って適切な収容場所か否かを判定し、作業者に報知するようにしてもよい。
あるいは、製造工程に関わる情報をコード化したバーコードを樹脂カセット30Aと扉4にそれぞれ貼付しておき、樹脂カセット30Aをウエハ冷却保管庫1に収容するときに作業者がリーダで扉4のバーコードと樹脂カセット30Aのバーコードを読み取って、リーダ側で適切な収容場所か否かを判定して作業者に報知するようにしてもよい。
Further, for example, in addition to lot identification information, an RFID tag storing information related to the manufacturing process such as the baking temperature is attached to the
Alternatively, a bar code that encodes information related to the manufacturing process is affixed to the
このように、樹脂カセット30A,30Bには、ウエハ40の製造工程に関わる情報、およびウエハ40を識別する情報のいずれか一方、または両方を持つバーコート31A,31BまたはICタグといった情報担体が付され、他方の扉4には、樹脂カセット30A,30Bに付された情報担体との間で情報の照合が可能なバーコードまたはICタグのリーダが付された構成にすることによって、樹脂カセット30A,30Bの入れ間違えおよび取り間違え防止効果を高めることができる。
As described above, the
また、上記実施の形態1では、扉4の中央部に表側取手6および裏側取手7を取り付ける構成としたが、取手の取り付け場所はこれに限定されるものではない。以下、図7および図8を用いて変形例を説明する。
図7は、ウエハ冷却保管庫1の変形例であって、上側空間を閉じた状態を示す外観斜視図、図8は下側空間を閉じた状態を示す外観斜視図である。この変形例では、扉4の、上段マグネット9および下段マグネット10に相対する位置に、表側取手6aおよび裏側取手7aを取り付ける構成とした。この構成の場合、扉4を開く際の変形を防止することができる。また、上段マグネット9を上側空間の側方に設置すると共に下段マグネット10を下側空間の側方に設置したので、金属カセット20A,20Bおよび樹脂カセット30A,30Bの出し入れを妨げることがない。
In the first embodiment, the
FIG. 7 is a modified example of the wafer cooling storage 1 and is an external perspective view showing a state where the upper space is closed, and FIG. 8 is an external perspective view showing a state where the lower space is closed. In this modification, the front side handle 6 a and the back side handle 7 a are attached to the
これに対し、図1の構成では、金属プレート8と上段マグネット9(または下段マグネット10)の接着位置から表側取手6(または裏側取手7)まで多少の距離があるため、扉4を開く際に図7の場合に比べて大きい応力がかかり、変形しやすい。扉4の変形を積極的に防止する必要があれば、例えば上記実施の形態1で述べたように、ヒンジ5に、扉4を付勢するばね部材等の機能を持たせ、金属プレート8と上段マグネット9の代用とすればよい。
On the other hand, in the configuration of FIG. 1, there is a slight distance from the bonding position of the
上記説明以外にも、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。 In addition to the above description, the present invention can be modified in any constituent element of the embodiment or omitted in any constituent element of the embodiment within the scope of the invention.
1 ウエハ冷却保管庫、2 筐体、3 仕切板、4 扉、5 ヒンジ、6,6a 表側取手、7,7a 裏側取手、8 金属プレート(扉保持部)、9 上段マグネット(扉保持部)、10 下段マグネット、11 温度識別表示(情報担体)、12A,12B タイマ、20A,20B 金属カセット、30A,30B 樹脂カセット、31A,31B バーコード(情報担体)、40 ウエハ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Wafer cooling storage, 2 Case, 3 Partition plate, 4 Door, 5 Hinge, 6, 6a Front side handle, 7, 7a Back side handle, 8 Metal plate (door holding part), 9 Upper magnet (door holding part), 10 Lower magnet, 11 Temperature identification display (information carrier), 12A, 12B timer, 20A, 20B Metal cassette, 30A, 30B Resin cassette, 31A, 31B Bar code (information carrier), 40 wafers.
Claims (5)
前記仕切板の高さ位置を回転中心軸にして上下方向へ開閉自在に支持され、前記上側空間の開口部を閉じる扉を備え、当該扉は、開いたときに前記下側空間の開口部を閉じる位置まで回転することを特徴とするウエハ冷却保管庫。 Wafer-cooled storage in which the inside of the housing is partitioned vertically by a partition plate and integrally includes an upper space for storing and cooling a heat-treated wafer and a lower space for storing a cassette for storing the cooled wafer. A warehouse ,
The partition plate is supported so that it can be opened and closed in the vertical direction with the height position of the partition plate as a rotation center axis, and includes a door that closes the opening of the upper space, and the door opens the opening of the lower space when opened. A wafer-cooled storage that rotates to a closed position.
前記扉に付された前記情報担体は、前記温度に応じた大きさ、かつ、当該温度に応じた数の同心状の模様が描かれた温度識別表示であることを特徴とする請求項2記載のウエハ冷却保管庫。 The information related to the wafer manufacturing process is the temperature of the heat treatment,
The information carrier attached to the door, the size corresponding to the temperature, and, according to claim 2, wherein a concentric pattern number corresponding to the temperature is drawn temperature identification Wafer cooling storage.
前記扉に付された前記情報担体は、前記カセットに付されたバーコードまたはICタグとの間で情報の照合が可能なバーコードまたはICタグリーダであることを特徴とする請求項2記載のウエハ冷却保管庫。 The cassette is attached with a barcode or IC tag having information on either or both of information relating to the wafer manufacturing process and information for identifying the wafer,
3. The wafer according to claim 2 , wherein the information carrier attached to the door is a barcode or IC tag reader capable of collating information with a barcode or IC tag attached to the cassette. Cold storage.
前記扉の、前記上側空間の開口部を閉じた状態で前記扉保持部に相対する位置に設けられた取手とを備えることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載のウエハ冷却保管庫。 A door holding portion that is provided on a side of the upper space and holds the door in a state in which the opening of the upper space is closed;
Of the door, any one of the claims 1 to 4, characterized in that it comprises a handle provided in a position opposite to the door holding part an opening in the closed state of the upper space Wafer cooling storage as described.
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