JP5759117B2 - 分光装置 - Google Patents
分光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5759117B2 JP5759117B2 JP2010154994A JP2010154994A JP5759117B2 JP 5759117 B2 JP5759117 B2 JP 5759117B2 JP 2010154994 A JP2010154994 A JP 2010154994A JP 2010154994 A JP2010154994 A JP 2010154994A JP 5759117 B2 JP5759117 B2 JP 5759117B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- light
- dielectric thin
- thin film
- filters
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 55
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 57
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、フィルタ回転体8A,8Bに搭載するフィルタの種類としてはバンドパスフィルタを採用しても良い。図7(a)〜(h)には、本発明の変形例にかかるそれぞれのフィルタ81a〜81hの入射角毎の光透過率の波長特性を示している。
Claims (8)
- 入射光の光路上に直列に並んで設けられた2つのフィルタ部を備えており、
前記フィルタ部は、
前記入射光を前記入射光の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させるn個(nは3以上の整数)の誘電体薄膜干渉フィルタと、
前記入射光の前記入射角が変更可能なように、前記誘電体薄膜干渉フィルタが主面上に立設され、前記主面に沿って所定点を中心として回転可能にされた支持部材と、を備え、
前記n個の誘電体薄膜干渉フィルタは、それぞれ、光入射側或いは光出射側の端面が、前記支持部材の前記主面上の前記所定点と前記主面上の該誘電体薄膜干渉フィルタの中心点とを結ぶ線に対して傾斜するように配置され、
前記支持部材は、前記入射光が前記主面上の前記所定点から前記主面の周縁部側に外れた位置に入射するように配置されている、ことを特徴とする分光装置。 - 前記2つのフィルタ部のうちの一方の前記フィルタ部の前記誘電体薄膜干渉フィルタは、ハイパスフィルタであり、前記2つのフィルタ部のうちの他方の前記フィルタ部の前記誘電体薄膜干渉フィルタは、ローパスフィルタであることを特徴とする請求項1記載の分光装置。
- 前記2つのフィルタ部の少なくとも1つの前記誘電体薄膜干渉フィルタは、バンドパスフィルタである、ことを特徴とする請求項1記載の分光装置。
- 前記n個の誘電体薄膜干渉フィルタは、前記主面と前記端面とで形成されるそれぞれの交線が1つの内接円に接するように搭載されている、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の分光装置。
- 前記n個の誘電体薄膜干渉フィルタは、それぞれ、前記主面上において前記内接円の外側に位置するように配置されている、ことを特徴とする請求項4記載の分光装置。
- 前記n個の誘電体薄膜干渉フィルタは、前記主面上の前記所定点と前記主面上の該誘電体薄膜干渉フィルタの中心点とを結ぶ線が互いに等角度を成すように配置されている、ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の分光装置。
- 前記n個の誘電体薄膜干渉フィルタは、前記主面上において前記所定点を中心にしてn回回転対称となるように配置されている、ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の分光装置。
- 入射光の光路上に直列に並んで設けられた2つのフィルタ部を備えており、
前記フィルタ部は、
前記入射光を前記入射光の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させるn個(nは3以上の整数)の誘電体薄膜干渉フィルタと、
前記誘電体薄膜干渉フィルタを、前記入射光の前記入射角が変更可能なように支持する支持部材と、を備え、
前記支持部材は、太陽歯車、内歯車、及び、n個の遊星歯車を含む遊星歯車機構であり、
前記n個の誘電体薄膜干渉フィルタは、前記n個の遊星歯車に対してそれぞれ固定されている、ことを特徴とする分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010154994A JP5759117B2 (ja) | 2010-07-07 | 2010-07-07 | 分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010154994A JP5759117B2 (ja) | 2010-07-07 | 2010-07-07 | 分光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012018053A JP2012018053A (ja) | 2012-01-26 |
JP5759117B2 true JP5759117B2 (ja) | 2015-08-05 |
Family
ID=45603410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010154994A Active JP5759117B2 (ja) | 2010-07-07 | 2010-07-07 | 分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5759117B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016002466A1 (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-07 | 株式会社村田製作所 | ガス濃度測定装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1432634A (en) * | 1972-08-24 | 1976-04-22 | Neotec Corp | Optical analyzer for agricultural products |
US4084909A (en) * | 1976-07-19 | 1978-04-18 | International Business Machines Corporation | Drum monochromator |
JPH0320712A (ja) * | 1989-04-25 | 1991-01-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 色彩調整装置 |
JP2004184674A (ja) * | 2002-12-03 | 2004-07-02 | Sun Tec Kk | 波長可変光フィルタ |
US8049894B2 (en) * | 2007-10-05 | 2011-11-01 | Lightwaves 2020, Inc. | Multiple wavelength optical analyzer device |
JP5048795B2 (ja) * | 2010-01-21 | 2012-10-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光装置 |
US8059327B1 (en) * | 2010-04-29 | 2011-11-15 | Semrock, Inc. | Variable spectral filter apparatus |
JP5646555B2 (ja) * | 2012-07-19 | 2014-12-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置及び光検出システム |
-
2010
- 2010-07-07 JP JP2010154994A patent/JP5759117B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012018053A (ja) | 2012-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5048795B2 (ja) | 分光装置 | |
JP5832295B2 (ja) | 周波数調整可能なレーザーデバイス | |
JP2006138874A (ja) | 複光路2重エタロン分光器 | |
US20100046076A1 (en) | Tunable spectral filtration device | |
JP2007318123A (ja) | 色調整のために配置される角度依存素子 | |
ES2710558T3 (es) | Filtro y método de fabricación de aquel y dispositivo de monitoreo de longitud de onda de láser | |
JP2008537801A (ja) | 干渉フィルター | |
JP5759117B2 (ja) | 分光装置 | |
JP5646555B2 (ja) | 光検出装置及び光検出システム | |
JP5012171B2 (ja) | 反射回折偏光子および光学装置 | |
JP2011117884A (ja) | 分光測定器 | |
JP5502623B2 (ja) | 分光装置 | |
JP2010134346A (ja) | 光源装置 | |
JP5808540B2 (ja) | 分光装置 | |
KR20030089439A (ko) | 편광 필터 및 이 필터를 이용한 편광광 조사장치 | |
WO2016013425A1 (ja) | 光学素子 | |
TWI546575B (zh) | 可調式光學濾波器以及可調式光學濾波器模組 | |
US20110058256A1 (en) | Method and Apparatus for Optical Filtering with Two Passbands | |
US20100208348A1 (en) | Tunable spectral filtration device | |
JP7245633B2 (ja) | 分光光学系、分光計測システム、及び、半導体検査方法 | |
JP4407382B2 (ja) | 光フィルタ装置 | |
JP2002311236A (ja) | 波長可変型干渉光フィルタとその製造方法及び波長可変型干渉光フィルタ装置 | |
JP2005140831A (ja) | 波長特性可変フィルタ | |
CN115931130B (zh) | 基于通带可调滤光片的算法重建窄带光谱探测方法及设备 | |
JP6225492B2 (ja) | 光学ユニット、及び、波長選択スイッチ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130625 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150512 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5759117 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |