JP5726514B2 - 着色感放射線性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法、固体撮像素子、並びに液晶表示装置 - Google Patents

着色感放射線性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法、固体撮像素子、並びに液晶表示装置 Download PDF

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Description

本発明は、固体撮像素子や液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造に好適な着色剤を含有する着色感放射線性組成物、並びにカラーフィルタ及びその製造方法に関する。
液晶表示装置(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)に用いられるカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法および顔料分散法が知られている。
このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルタを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。
顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布、乾燥させて塗膜を形成した後、この塗膜をパターン露光、現像することで着色された画素が形成され、この操作を所望の色相数に合わせて色ごとに繰り返し行なうことによってカラーフィルタが得られる。
一方、近年、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては更なる高精細化が望まれている。
しかしながら、従来の顔料分散系では解像度を更に向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子により色ムラが発生する等の問題があるため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。
かかる問題に鑑み、従来から顔料に代えて染料を使用する技術が提案されている(例えば、特許文献1又は2参照)。
特開2010−170117号公報 特開2010−211198号公報
しかしながら、染料を用いた硬化性組成物は、染料の溶解性が低いため、例えば耐光性、耐熱性、塗布均一性など様々な性能において一般に顔料に比べて劣るという課題がある。
また、固体撮像素子用カラーフィルタの場合には、カラーフィルタの膜厚が1.0μm以下であることが要求される。そのため、着色感放射線性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、基板との密着性や硬化度が不充分となり、カラーフィルタをなす露光部で染料が抜けてしまうなど、パターン形成性が著しく低下してしまう傾向もある。
さらに、固体撮像素子用カラーフィルタにおいては、逆テーパー形状化やパターンボトム部のスソ曳きにより隣地他色ピクセルからの光漏れ、混色が問題となる。
本発明は、上記に鑑みなされたものであり、良好なパターンプロファイル(矩形性)を示し、微細パターンの形成が可能となる着色感放射線性組成物を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
また、本発明は、低コスト及び高い生産性を示す高感度な着色感放射線性組成物を用いたカラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> (A)着色感放射線性組成物における全固形分中の60質量%〜80質量%の着色剤と、(B)酸性基を有し、酸価25mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物及び親水基を有する多官能(メタ)アクリル化合物から選ばれる少なくとも1種の光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)溶剤とを含み、前記(A)着色剤における10質量%〜80質量%が下記式(A−I)で表される化合物であり、前記式(A−I)で表される化合物が下記式(1)で表される化合物を含み、前記(B)光重合性化合物が下記モノマーA−1−1及びモノマーA−2から選ばれる少なくとも1種である着色感放射線性組成物。


[式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、脂肪族炭化水素基、ニトロ基、フェニル基、−SONHR211、−SO 又は−COOR212を表し、R〜R18のうち、少なくとも一つの置換基は−SO を表す。
19及びR20は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、エチル基又はアミノ基を表す。
211及びR212は、それぞれ独立に、水素原子、脂肪族炭化水素基、アルコキシアルキル基、−R311−CO−O−R312、−R311−O−CO−R312又はアラルキル基を表す。
311は、2価の脂肪族炭化水素基を表し、R312は、1価の脂肪族炭化水素基を表す。
Mは、Cr又はCoを表す。
nは、2〜5の整数を表す。
Dは、ヒドロン、1価の金属カチオン及びキサンテン骨格を有する化合物に由来する1価のカチオンから選ばれる少なくとも1種のカチオンを表す。]

[式(1)中、R 21 〜R 24 は、それぞれ独立に、水素原子、1価の飽和炭化水素基又は1価の芳香族炭化水素基を表す。該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R 26 、ヒドロキシ基、−OR 26 、−SO 、−SO H、−SO M’、−CO H、−CO 26 、−SO 26 又は−SO N(R 28 )R 29 で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はアルコキシ基で置換されていてもよい。
25 は、−SO 、−SO H、−SO M’、−CO H、−CO 26 、−SO 26 又は−SO N(R 28 )R 29 を表す。
mは、0〜5の整数を表す。mが2以上の整数である場合、複数のR 25 は、同一であっても異なっていてもよい。
30 は、水素原子又は1価の飽和炭化水素基を表す。
26 は、1価の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はアルコキシ基で置換されていてもよい。
28 及びR 29 は、それぞれ独立に、水素原子、1価の飽和炭化水素基、−CO 26 又は−Qを表し、該1価の飽和炭化水素基の水素原子は、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、−Q、−CH=CH 又は−CH=CHR 26 で置換されていてもよく、該1価の飽和炭化水素基の−CH −は、−O−、−S−、−CO−、−NH−又は−NR 26 −で置き換わっていてもよく、R 28 及びR 29 は、互いに結合して複素環を形成していてもよく、該環が有する水素原子は、−R 26 、ヒドロキシ基又は−Qで置換されていてもよい。
Qは、1価の芳香族炭化水素基又は1価の芳香族複素環式基を表し、該芳香族炭化水素基及び該芳香族複素環式基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、−R 26 、−OR 26 、−NO 、−CH=CH 、−CH=CHR 26 又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
M’は、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。]
<2> 前記式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、塩素原子、メチル基、ニトロ基、−SONHR211、−SO 又は−COOR212を表し、R〜R18のうち、少なくとも一つの置換基は−SO を表す<1>記載の着色感放射線性組成物。
<3> 前記(C)光重合開始剤は、オキシム化合物である<1>又は2>に記載の着色感放射線性組成物。
> 前記着色感放射線性組成物に含まれる固形分濃度が5質量%〜25質量%である<1>〜<>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
> <1>〜<>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を用いてなる着色膜を有するカラーフィルタ。
> 前記着色膜の膜厚は、1.0μm以下である<>に記載のカラーフィルタ。
> <1>〜<>のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を、支持体上に付与後、パターン様に露光し、現像してパターンを形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法。
> <>に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
> <>、<>又は<>に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。
<1> <>、<>又は<>に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。
また、この他の好ましい態様としては、<1>における(A)着色剤が、着色感放射線性組成物における全固形分中の60質量%〜80質量%含まれている着色感放射線性組成物が挙げられる。さらに好ましい態様としては、<1>における(A)着色剤が、着色感放射線性組成物における全固形分中の65質量%〜70質量%含まれている着色感放射線性組成物が挙げられる。
また、式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はニトロ基を表し、R〜R18のうち、少なくとも一つの置換基は−SO を表す場合が好ましい。
また、式(1)中、R21〜R24は、それぞれ独立に、水素原子又はエチル基を表し、R25は−COOEtを表し、R30はメチル基である場合が好ましい。
また、式(1)中、R21〜R24は、エチル基を表し、R25は−COOHを表し、R30は水素原子である場合が好ましい。
本発明によれば、良好なパターンプロファイル(矩形性)を示し、微細パターンの形成が可能となる着色感放射線性組成物を提供することができる。さらに、本発明によれば、低コスト及び高い生産性を示すカラーフィルタ及びその製造方法を提供することができる。
段差平坦性の評価の際に測定するΔRmaxについて示した図である。
本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
また、本明細書において、“(メタ)アクリレート”はアクリレートおよびメタクリレートを表し、“(メタ)アクリル”はアクリルおよびメタクリルを表し、“(メタ)アクリロイル”はアクリロイルおよびメタクリロイルを表す。
また、本明細書において、“単量体”と“モノマー”とは同義である。本明細書における単量体は、オリゴマーおよびポリマーと区別され、重量平均分子量が2,000以下の化合物をいう。本明細書において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基を言う。
また、本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本発明は、(A)着色感放射線性組成物における全固形分中の45質量%〜80質量%の着色剤と、(B)酸性基を有し、酸価25mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物及び親水基を有する多官能(メタ)アクリル化合物から選ばれる少なくとも1種の光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)溶剤とを含み、前記(A)着色剤における10質量%〜80質量%が下記式(A−I)で表される化合物であり、前記(B)光重合性化合物が前記モノマーA−1−1及びモノマーA−2から選ばれる少なくとも1種である着色感放射線性組成物に関する。
本発明の着色感放射線性組成物は、特定量の(A)着色剤と、特定の構造を有する(B)光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)溶剤と、前記(A)着色剤が特定量の上記式(A−I)で表される化合物とを含むことにより、チキソ性が小さく、また高現像性、更には重合阻害が少なく重合効率に優れるという性質を有する。そのため、本発明の着色感放射線性組成物は、優れた塗布平坦性を有し、高感度で、良好なパターンプロファイル(矩形性)を示すカラーフィルタを提供することを可能としたものである。
以下、本発明の着色感放射線性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、固体撮像素子、液晶表示装置について詳述する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
《着色感放射線性組成物》
本発明の着色感放射線性組成物は、(A)着色感放射線性組成物における全固形分中の60質量%〜80質量%の着色剤と、(B)酸性基を有し、酸価25mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物及び親水基を有する多官能(メタ)アクリル化合物から選ばれる少なくとも1種の光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)溶剤とを含み、前記(A)着色剤における10質量%〜80質量%が下記式(A−I)で表される化合物であり、前記式(A−I)で表される化合物が後述の式(1)で表される化合物を含み、さらに必要に応じて、他の成分を含んでいてもよい。
(A)着色剤
本発明の着色感放射線性組成物は、(A)着色剤を少なくとも一種含有し、(A)着色剤は、下記式(A−I)で表される化合物を含有し、前記式(A−I)で表される化合物が後述の式(1)で表される化合物を含む
−下記式(A−I)で表される化合物−
上記式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、脂肪族炭化水素基、ニトロ基、フェニル基、−SONHR211、−SO 又は−COOR212を表し、R〜R18のうち、少なくとも一つの置換基は−SO を表す。
上記式(A−I)中、R19及びR20は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、エチル基又はアミノ基を表す。
211及びR212は、それぞれ独立に、水素原子、脂肪族炭化水素基、アルコキシアルキル基、−R311−CO−O−R312、−R311−O−CO−R312又はアラルキル基を表す。
311は、2価の脂肪族炭化水素基を表し、R312は、1価の脂肪族炭化水素基を表す。
上記式(A−I)中、Mは、Cr又はCoを表す。
上記式(A−I)中、nは、2〜5の整数を表す。
上記式(A−I)中、Dは、ヒドロン、1価の金属カチオン及びキサンテン骨格を有する化合物に由来する1価のカチオンから選ばれる少なくとも1種のカチオンを表す。
また、前記式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、塩素原子、メチル基、ニトロ基、−SONHR211、−SO 又は−COOR212を表し、R〜R18のうち、少なくとも一つの置換基は−SO を表すことが好ましい。
また、式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はニトロ基を表し、R〜R18のうち、少なくとも一つの置換基は−SO を表す場合が好ましい。
上記式(A−I)で表される化合物は、スルホ基、スルファモイル基、N−置換スルファモイル基を有することにより、水溶性及び油溶性を兼ね備える。油溶性を向上させるために、式(A−I)中、R〜Rのいずれか1つ及びR14〜R18のいずれか1つ、R及びR16が、それぞれ独立に、−SONHR211又は−SO -であり、R211が水素原子又は炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基であることが好ましい。
上記式(A−I)で表される化合物は、ニトロ基を有することにより、耐熱性を向上することができる。
そのため、R〜R、R〜R15、R17及びR18のうち少なくとも1個がニトロ基であることが好ましい。
前記ハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子又は臭素原子等が挙げられる。
前記脂肪族炭化水素基としては、直鎖でも、分岐を有するものでも、環状のものでもよく、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、デキシル基、1−メチルブチル基、1,1,3,3−テトラメチルブチル基、1,5−ジメチルヘキシル基、1,6−ジメチルヘプチル基、2−エチルヘキシル基、1,1,5,5−テトラメチルヘキシル基、又は、シクロヘキシル基等が挙げられ、炭素数1〜8の脂肪族炭化水素基であることが好ましい。
また、前記脂肪族炭化水素基としては、アルキルシクロヘキシル基を含み、前記アルキルシクロヘキシル基としては、例えば、2−メチルシクロヘキシル基、2−エチルシクロヘキシル基、2−n−プロピルシクロヘキシル基、2−イソプロピルシクロヘキシル基、2−n−ブチルシクロヘキシル基、4−メチルシクロヘキシルキ基、4−エチルシクロヘキシル基、4−n−プロピルシクロヘキシル基、4−イソプロピルシクロヘキシル基、又は、4−n−ブチルシクロヘキシル基等が挙げられ、炭素数7〜10のアルキルシクロヘキシル基であることが好ましい。
前記アルコキシアルキル基としては、例えば、メトキシメチル基、メトキシエチル基、メトキシプロピル基、メトキシブチル基、メトキシペンチル基、1−エトキシプロピル基、2−エトキシプロピル基、1−エトキシ−1−メチルエチル基、2−エトキシ−1−メチルエチル基、1−イソプロポキシプロピル基、2−イソプロポキシプロピル基、1−イソプロポキシ−1−メチルエチル基、2−イソプロポキシ−1−メチルエチル基、オクチルオキシプロピル基、3−エトキシプロピル基、又は、3−(2−エチルヘキシルオキシ)プロピル基等が挙げられ、炭素数2〜15のアルコキシアルキル基であることが好ましく、1−エトキシプロピル基、オクチルオキシプロピル基、3−エトキシプロピル基、3−(2−エチルヘキシルオキシ)プロピル基等がより好ましい。
前記−R311−CO−O−R312及び前記−R311−O−CO−R312(R311は、2価のC1-8脂肪族炭化水素基を表し、R312は、1価のC1-8脂肪族炭化水素基を表す。)は、カルボキシ基を有するC2-9脂肪族炭化水素基と、ヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素との脱水縮合により得られるエステル結合を有する基や、ヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素基と、カルボキシ基を有するC2-9脂肪族炭化水素との脱水縮合により得られるエステル結合を有する基である。−R311−CO−O−R312及び−R311−O−CO−R312の炭素数は、4〜10であることが好ましい。
前記カルボキシ基を有するC2-9脂肪族炭化水素としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、酪酸、イソ酪酸、吉草酸、イソ吉草酸、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ペラルゴン酸などが挙げられ、好ましくは酢酸、プロピオン酸、酪酸等が挙げられる。
前記のカルボキシ基を有するC2-9脂肪族炭化水素基としては、前記カルボキシ基を有するC2-9脂肪族炭化水素から水素原子を1個除いたものが挙げられる。
前記ヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素としては、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、イソブタノール、sec−ブタノール、tert−ブタノール、n−ペンタノール、1−メチル−n−ブタノール、2−メチル−n−ブタノール、3−メチル−n−ブタノール、n−ヘキサノール、n−ヘプタノール、n−オクタノールなどが挙げられ、好ましくはメタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノール、イソブタノール、sec−ブタノール、tert−ブタノールが挙げられる。
前記ヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素基は、前記のヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素から水素原子を1個除いたものが挙げられる。
前記カルボキシ基を有するC2-9脂肪族炭化水素基と、ヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素との脱水縮合により得られるエステル結合を有する炭素数4〜10の基としては、例えば、酢酸プロピル基、酢酸ブチル基、酢酸ペンチル基、酢酸へキシル基、酢酸へプチル基、酪酸エチル基、酪酸イソプロピル基、酪酸ブチル基、酪酸ペンチル基、酪酸へキシル基、酪酸へプチル基、酪酸オクチル基、吉草酸メチル基、吉草酸エチル基、吉草酸イソプロピル基、吉草酸イソブチル基、吉草酸ペンチル基、吉草酸ヘキシル基、吉草酸へプチル基、カプロン酸メチル基、カプロン酸エチル基、カプロン酸プロピル基、カプロン酸ブチル基、カプロン酸ヘキシル基、エナント酸メチル基、エナント酸エチル基、エナント酸イソプロピル基、エナント酸イソブチル基、エナント酸ペンチル基、カプリル酸メチル基、カプリル酸エチル基、カプリル酸プロピル基、カプリル酸イソプロピル基、カプリル酸ブチル基、カプリル酸イソブチル基、ペラルゴン酸メチル基、ペラルゴン酸エチル基、ペラルゴン酸プロピル基、ペラルゴン酸イソプロピル基等が挙げられ、好ましくは酢酸プロピル基、酢酸ブチル基、酪酸エチル基、酪酸ブチル基、酪酸ペンチル基、酢酸へキシル基、吉草酸メチル基、吉草酸エチル基、吉草酸イソプロピル基、吉草酸イソブチル基が挙げられる。
また、前記カルボキシ基を有するC2-9脂肪族炭化水素基やヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素において、該カルボキシ基を、−CO−Cl基に代えることにより、ヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素やヒドロキシ基を有するC1-8脂肪族炭化水素基との脱塩酸縮合によって、エステル結合を有する炭素数4〜10の基を得ることもできる。
なお本明細書において、Ca-bとは、炭素数がa以上、b以下であることを意味する。
前記アラルキル基としては、例えば、ベンジル基、フェネチル基及び1−メチル−3−フェニルプロピル基等が挙げられ、炭素数7〜10のアラルキル基であることが好ましい。
前記Dで表される1価の金属カチオンとしては、例えば、リチウムカチオン、ナトリウムカチオン、カリウムカチオン等が挙げられる。
前記Dで表されるキサンテン骨格を有する化合物に由来する1価のカチオンとしては、例えば、下記式(1)で表されるカチオン等が挙げられる。
すなわち、上記式(A−I)で表される化合物は、下記式(1)で表される化合物を含有する場合がある。
なお、前記Dで表されるカチオンは、ヒドロン、1価の金属カチオン及びキサンテン骨格を有する化合物に由来する1価のカチオンから選ばれる少なくとも1種のカチオンを有していればよく、2種以上を有していてもよい。
−下記式(1)で表される化合物−
上記式(1)中、R21〜R24は、それぞれ独立に、水素原子、1価の飽和炭化水素基又は1価の芳香族炭化水素基を表す。該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R26、ヒドロキシ基、−OR26、−SO 、−SOH、−SOM’、−COH、−CO26、−SO26又は−SON(R28)R29で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はアルコキシ基で置換されていてもよい。
上記式(1)中、R25は、−SO 、−SOH、−SOM’、−COH、−CO26、−SO26又は−SON(R28)R29を表す。
上記式(1)中、mは、0〜5の整数を表す。mが2以上の整数である場合、複数のR25は、同一であっても異なっていてもよい。
30は、水素原子又は1価の飽和炭化水素基を表す。
26は、1価の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はアルコキシ基で置換されていてもよい。
28及びR29は、それぞれ独立に、水素原子、1価の飽和炭化水素基、−CO26又は−Qを表し、該1価の飽和炭化水素基、−CO26の水素原子は、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、−Q、−CH=CH又は−CH=CHR26で置換されていてもよく、該1価の飽和炭化水素基、−CO26の−CH−は、−O−、−S−、−CO−、−NH−又は−NR26−で置換されていてもよく、R28及びR29は、互いに結合して複素環を形成していてもよく、該環の水素原子は、−R26、ヒドロキシ基又は−Qで置換されていてもよい。
Qは、1価の芳香族炭化水素基又は1価の芳香族複素環式基を表し、該芳香族炭化水素基及び該芳香族複素環式基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、−R26、−OR26、−NO、−CH=CH、−CH=CHR26又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
M’は、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。
また、より好ましくは、上記式(1)中、R21〜R24は、それぞれ独立に、水素原子、−R26又は炭素数6〜10の1価の芳香族炭化水素基を表し、R26は、炭素数1〜10の1価の飽和炭化水素基を表し、該炭素数1〜10の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又は炭素数1〜10のアルコキシ基で置換されていてもよく、R28及びR29は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数3〜30のシクロアルキル基又は−Qを表し、R28及びR29は、互いに結合して炭素数1〜10の複素環を形成していてもよく、Qは、炭素数6〜10の1価の芳香族炭化水素基又は5〜10員環の1価の芳香族複素環式基を表す。
さらに好ましくは、式(1)中、R21〜R24は、それぞれ独立に、水素原子又はエチル基を表し、R25は−COOEtを表し、R30はメチル基を表す。また、式(1)中、R21〜R24は、エチル基を表し、R25は−COOHを表し、R30は水素原子である場合も好ましい。
前記飽和炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基、ノニル基、デカニル基等のアルキル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、トリシクロデカニル基等のシクロアルキル基等が挙げられ、炭素数1〜10の1価の飽和炭化水素基が好ましい。
また、これらの基を任意に組み合わせた、アルキル基で置換されたシクロアルキル基、シクロアルキルで置換されたアルキル基であってもよい。
前記アルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、sec−ブトキシ基、tert−ブトキシ基、n−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、2−エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基等が挙げられ、炭素数1〜10のアルコキシ基であることが好ましい。
前記芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、メチルフェニル基、ジメチルフェニル基、トリメチルフェニル基、エチルフェニル基、ヘキシルフェニル基、デカニルフェニル基、フルオロフェニル基、クロロフェニル基、ブロモフェニル基、ヒドロキシフェニル基、メトキシフェニル基、ジメトキシフェニル基、エトキシフェニル基、ヘキシルオキシフェニル基、デカニロキシフェニル基、トリフルオロメチルフェニル等、これらのフェニル基にさらに−SON(R28)R29が置換された基等が挙げられ、炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることが好ましい。
前記芳香族炭化水素基の置換基としては、例えば、エチル基、プロピル基、フェニル基、ジメチルフェニル基、−SO26及び/又はR29が水素原子である−SON(R28)R29等が好ましい。ここで、R29が水素原子である−SON(R28)R29におけるR28としては、特に、炭素数1〜10のアルキル基及び炭素数3〜30のシクロアルキル基が好ましく、炭素数1〜10のアルキル基、さらに炭素数6〜8の分枝状アルキル基がより好ましく、2−エチルヘキシルであることが特に好ましい。
前記ハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子又は臭素原子等が挙げられる。
前記R28及びR29を構成する1価の飽和炭化水素基としては、炭素数1〜10のアルキル基や、炭素数3〜30のシクロアルキル基が挙げられ、これらアルキル基及びシクロアルキル基は、アルキル−シクロアルキル及びシクロアルキル−アルキル基であってもよく、この場合、炭素数4〜30である。
前記R28とR29とで形成される複素環基としては、芳香性を有するものであってもよいし、有さないものであってもよい。
前記芳香族複素環基としては、例えば、以下の複素環基が挙げられる。
前記非芳香族複素環基としては、例えば、以下の複素環基が挙げられる。
なお、複素環基の結合手は上に記載した位置の他、任意の位置とすることができる。
前記−CO26としては、例えば、メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ネオペンチルオキシカルボニル基、シクロペンチルオキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、ヘプチルオキシカルボニル基、シクロヘプチルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル、2−エチルヘキシルオキシカルボニル基、シクロオクチルオキシカルボニル基、ノニルオキシカルボニル基、デカニルオキシカルボニル基、トリシクロデカニルオキシカルボニル基、メトキシプロピルオキシカルボニル基、エトキシプロピルオキシカルボニル基、ヘキシロキシプロピルオキシカルボニル基、2−エチルヘキシロキシプロピルオキシカルボニル基、メトキシヘキシルオキシカルボニル基等が挙げられる。
前記−SO26としては、メトキシスルホニル基、エトキシスルホニル基、ヘキシルオキシスルホニル基、デシルオキシスルホニル基等が挙げられる。
前記−SON(R28)R29のうちR28が水素原子である基としては、例えば、スルファモイル、N−(メチル)スルファモイル基、N−(エチル)スルファモイル基、N−(プロピル)スルファモイル基、N−(イソプロピル)スルファモイル基、N−(ブチル)スルファモイル基、N−(イソブチル)スルファモイル基、N−(ペンチル)スルファモイル基、N−(イソペンチル)スルファモイル基、N−(ネオペンチル)スルファモイル基、N−(シクロペンチル)スルファモイル基、N−(ヘキシル)スルファモイル基、N−(シクロヘキシル)スルファモイル基、N−(ヘプチル)スルファモイル基、N−(シクロヘプチル)スルファモイル基、N−(オクチル)スルファモイル基、N−(2−エチルヘキシル)スルファモイル基、N−(1,5−ジメチルヘキシル)スルファモイル基、N−(シクロオクチル)スルファモイル基、N−(ノナンスルファモイル基、N−(デシル)スルファモイル基、N−(トリシクロデシル)スルファモイル基、N−(メトキシプロピル)スルファモイル基、N−(エトキシプロピル)スルファモイル基、N−(プロポキシプロピル)スルファモイル基、N−(イソプロポキシプロピル)スルファモイル基、N−(ヘキシロキシプロピル)スルファモイル、N−(2−エチルヘキシロキシプロピル)スルファモイル基、N−(メトキシヘキシル)スルファモイル基、N−(3−フェニル−1−メチルプロピル)スルファモイル基等が挙げられる。
さらに、−SON(R28)R29のうちR29が水素原子である基としては、下記式で表される基が挙げられる。ただし、以下の式において、Xはハロゲン原子を表す。Xは、炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルコキシ基を表し、該アルキル基及びアルコキシ基の水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。Xは、炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシ基、ハロゲン原子又はニトロ基を表し、該アルキル基及びアルコキシ基の水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3のアルキル基としては、上述したアルキル基の他、パーフルオロメチル等が挙げられる。
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基等が挙げられる。
前記R28及びR29がともに水素原子以外である場合の−SON(R28)R29としては、下記式で表される基が挙げられる。
前記R28及びR29が互いに結合してこれらが結合する窒素原子とともに複素環を形成する場合には、下記式で表される基が挙げられる。
前記R28及びR29として、炭素数6〜8の分枝状アルキル基、炭素数5〜7のシクロアルキル基、アリル基、フェニル基、炭素数8〜10のアラルキル基、炭素数2〜8のヒドロキシ基含有アルキルおよびアリール基又は炭素数2から8のアルコキシ基含有アルキルまたはアリール基が好ましく、炭素数6〜8の分枝状アルキル基がより好ましく、2−エチルヘキシル基であることが特に好ましい。
アラルキル基としては、例えば、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基等が挙げられる。
ヒドロキシ基含有アルキルとしては、例えば、ヒドロキシメチル基、2−ヒドロキシエチル基などが挙げられる。
ヒドロキシ基含有アリール基としては、例えば、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシナフチル基、ジヒドロキシナフチル基等が挙げられる。
アルコキシ基含有アルキルとしては、例えば、メトキシメチル基、2−メトキシエチル基、メトキシプロキル基、エトキシメチル基、2−エトキシエチル基などが挙げられる。
アルコキシ基含有アリール基としては、例えば、メトキシフェニル基、メトキシナフチル基、ジメトキシナフチル基等が挙げられる。
21及びR22の中の少なくとも1つ、又は、R23及びR24の中の少なくとも1つが、炭素数1〜4のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることが好ましい。
21及びR22の中の少なくとも1つ、かつ、R23及びR24の中の少なくとも1つが、炭素数1〜4のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることが好ましい。
21及びR22の中の少なくとも1つ、かつ、R23及びR24の中の少なくとも1つが、置換されていてもよい炭素数6〜10の芳香族炭化水素基であることがさらに好ましい。
25は、カルボキシ基、エチルオキシカルボニル基、スルホ基、N−(2−エチルヘキシロキシプロピル)スルファモイル基、N−(1,5−ジメチルヘキシル)スルファモイル、N−(3−フェニル−1−メチルプロピル)スルファモイル、N−(イソプロポキシプロピル)スルファモイルであることが好ましい。
上記式(1)で表される化合物としては、例えば、式(1−1)〜式(1−4)で表される化合物からなる群から選択される少なくとも1種の化合物であることが好ましい。
(上記式(1−1)〜(1−4)中、R41〜R44は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜10の1価の飽和炭化水素又は炭素数6〜10の1価の芳香族炭化水素基を表す。該炭素数6〜10の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R26、ヒドロキシ基、−OR26、−SO 、−SOH、−SONa、−COH、−CO26、−SO26又は−SONR2829で置換されていてもよい。
45は、水素原子、−SO 、−SOH又は−SON(R28)R29を表す。
46は、−SO 、−SOH又は−SON(R28)R29を表す。
51〜R54は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜10の1価の飽和炭化水素又は炭素数6〜10の芳香族炭化水素基を表す。該炭素数6〜10の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R26、ヒドロキシ基、−OR26、−SO 、−SONa、−COH、−CO26、−SOH、−SO26又は−SONHR28で置換されていてもよい。
55は、−SO 、−SONa、−COH、−CO26、−SOH又は−SONHR58を表す。
58は、水素原子、1価の飽和炭化水素基、−CO26又は炭素数6〜10の1価の芳香族炭化水素基を表し、該炭素数6〜10の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−R26又は−OR26で置換されていてもよい。
61及びR62は、それぞれ独立に、炭素数6〜10の1価の芳香族炭化水素基、好ましくは、フェニル基を表す。該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R26、−OR26、−CO26、−SO26又は−SONHR58で置換されていてもよい。
63は、−SO 又は−SONHR58を表す。
64は、水素原子、−SO 又は−SONHR58を表す。
71及びR72は、それぞれ独立に、炭素数6〜10の1価の芳香族炭化水素基、好ましくは、フェニル基を表す。該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−R26及び/又は−SONHR58で置換されていてもよい。
73は、−SO 又は−SONHR58を表す。
30、R26、R28、R29及びmは、上記と同じ意味を表す。)
なかでも式(1−4)が好ましい。
式(1)で表される化合物としては、例えば、式(1a)〜式(1f)で表される化合物が挙げられる。
(式中、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、−SO 、−COH又は−SONHRを表す。
、R及びRは、それぞれ独立に、−SO 、−SONa又は−SONHRを表す。
、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子、−SO 、−SOH又は−SONHRを表す。
は、1〜10の直鎖又は分岐のアルキル基、好ましくは、2−エチルヘキシル基を表す。)
式(1b)で表される化合物は、式(1b−1)で表される化合物の互変異性体である。
なかでも、式(1e)及び式(1f)が好ましい。
上記式(1)で表される化合物は、例えば、−SOHを有する色素または色素中間体を定法によりクロル化して、得られた−SOClを有する色素または色素中間体をR−NHで表されるアミンと反応させることにより製造することができる。また、特開平3−78702号公報3頁の右上欄〜左下欄に記載の方法により製造された色素を、上記同様、クロル化後、アミンと反応させることにより製造することができる。
式(A−I)で表される化合物として、好ましくは式(A−I−1)〜式(A−I−4)で表される化合物が挙げられる。
なお、上記式(A−I)で表される化合物は、特開2010−170117号公報に記載の方法に準じて合成することができる。
(A)着色剤の含有量は、着色感放射線性組成物における全固形分中の45質量%〜80質量%であり、好ましくは60質量%〜80質量%であり、より好ましくは65質量%〜70質量%である。
本明細書において固形分とは、着色感放射線性組成物中の溶剤を除く成分の合計をいう。
(A)着色剤の含有量が、上記範囲外である場合には、カラーフィルタとしたときの色濃度が不十分となり、かつ組成物中にバインダーポリマーを必要量含有させることができないため、機械的強度が不十分なパターンを形成してしまうため好ましくない。
着色剤(A)中の上記式(A−1)で表される化合物の含有量は、10質量%〜80質量%であり、好ましくは20質量%〜70質量%であり、より好ましくは25質量%〜60質量%である。
着色剤(A)中の式(A−I)で表される化合物の含有量が前記の範囲外である場合には、透過スペクトルの最適化が困難となる。また、高いコントラスト、高明度を得ることも容易ではなく、耐熱性、耐薬品性にも劣るため、好ましくない。
上記式(A−I)で表される化合物以外の着色剤としては、特に制限されず、目的とするカラーフィルタの色に合わせて選択することができる。また、複数の公知の着色剤を併用して使用してもよい。
なお、着色剤のうち、溶剤に溶解性を有する溶剤可溶性着色剤が好ましい。
公知の着色剤としては、例えば、C.I.ソルベントレッド125(BASF社製)や、Valifast yellow 1101(オリエント化学工業株式会社製)等が挙げられ、この他にも、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の着色剤が挙げられる。
化学構造としては、例えば、ピラゾールアゾ、アニリノアゾ、アリールアゾ、ピラゾロトリアゾールアゾ、ピリドンアゾ等のアゾ、トリフェニルメタン、アントラキノン、アンスラピリドン、ベンジリデン、オキソノール、シアニン、フェノチアジン、ピロロピラゾールアゾメチン、キサンテン、フタロシアニン、ベンゾピラン、インジゴ等の着色剤が使用できる。特に好ましくは、ピラゾールアゾ、アニリノアゾ、ピラゾロトリアゾールアゾ、ピリドンアゾ、アントラキノン、アンスラピリドンの着色剤である。
また、本発明における着色剤(A)は、上記式(A−1)で表される化合物のほかに、さらに顔料(A−2)を含んでいてもよい。
顔料(A−2)としては、有機顔料、例えば、C.I.ピグメントブルー15、15:3、15:4、15:6、60などの青色顔料;C.I.ピグメントバイオレット1、19、23、29、32、36、38などのバイオレット色顔料;C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214などの黄色顔料;C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73などのオレンジ色の顔料;C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265などの赤色顔料;C.I.ピグメントグリーン7、36、58などの緑色顔料;などが挙げられる。なかでも、C.I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグメントブルー15:3、15:6から選ばれる少なくとも1つの顔料を含有していることが好ましく、C.I.ピグメントブルー15:6を含有していることが特に好ましい。着色感放射線性組成物が、C.I.ピグメントレッドバイオレット23、C.I.ピグメントブルー15:3、15:6から選ばれる少なくとも1つの顔料を含むことにより、青色感放射線性組成物としての透過スペクトルの最適化が容易であり、耐薬品性が良好になるため好ましい。
赤色感放射線性組成物としては、C.I.ピグメントイエロー138、139、150、C.I.ピグメントレッド177、209、242、254が好ましく、C.I.ピグメントレッド177、242、254がより好ましい。緑色感放射線性組成物としては、C.I.ピグメントイエロー138、139、150、C.I.ピグメントグリーン7、36、58が好ましく、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントグリーン36、58がより好ましい。
これらの顔料は、単独でも、2種以上を混合して用いてもよい。
着色剤(A)中の顔料(A−2)の含有量は、20質量%〜90質量%であり、好ましくは30質量%〜80質量%であり、より好ましくは40〜75質量%である。
上記式(A−1)で表される化合物と顔料(A−2)との含有量比率(質量比)は、10:90〜90:10であることが適しており、20:80〜80:20であることが好ましく、25:75〜75:25であることがより好ましい。
このような比率とすることにより、透過スペクトルの最適化が容易となり、高コントラスト、高明度を得るために良好である。さらに、耐熱性、耐薬品性が良好となる。
特にC.I.ピグメントブルー15:6と上記式(A−1)で表される化合物との質量比が10:80〜60:40であることが好ましく、15:85〜50:50であることがさらに好ましい。
また、C.I.ピグメントブルー15:6と式(1)で表される化合物との質量比が5:95〜25:75であることが好ましく、10:90〜25:75であることがより好ましく、15:85〜20:80であることがさらに好ましい。
さらに、赤色感放射線性組成物としては、C.I.ピグメントレッド177、242及び254からなる群から選ばれる少なくとも1種と上記式(A−1)で表される化合物との質量比が10:90〜90:10であることが好ましい。
有機顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。
−分散剤−
本発明の着色感放射線性組成物は、顔料を含む場合、分散剤を含有することができる。
本発明に用いうる顔料分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等の界面活性剤、及び、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子としては、例えば、特開平3−112992号公報、特表2003−533455号公報等に記載の末端にりん酸基を有する高分子、特開2002−273191号公報等に記載の末端にスルホン酸基を有する高分子、特開平9−77994号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有する高分子などが挙げられる。また、特開2007−277514号公報に記載の高分子末端に2個以上の顔料表面へのアンカー部位(酸基、塩基性基、有機色素の部分骨格やヘテロ環等)を導入した高分子も分散安定性に優れ好ましい。
顔料表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子としては、例えば、ポリエステル系分散剤等が挙げられ、具体的には、特開昭54−37082号公報、特表平8−507960号公報、特開2009−258668号公報等に記載のポリ(低級アルキレンイミン)とポリエステルの反応生成物、特開平9−169821号公報等に記載のポリアリルアミンとポリエステルの反応生成物、特開平10−339949号公報、特開2004−37986号公報等に記載のマクロモノマーと、窒素原子モノマーとの共重合体、特開2003−238837号公報、特開2008−9426号公報、特開2008−81732号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有するグラフト型高分子、特開2010−106268号公報等に記載のマクロモノマーと酸基含有モノマーの共重合体等が挙げられる。特に、特開2009−203462号公報に記載の塩基性基と酸性基を有する両性分散樹脂は、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び顔料分散物を用いた着色感放射線性組成物が示す現像性の観点から特に好ましい。
顔料表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子をラジカル重合で製造する際に用いるマクロモノマーとしては、公知のマクロモノマーを用いることができ、東亜合成(株)製のマクロモノマーAA−6(末端基がメタクリロイル基であるポリメタクリル酸メチル)、AS−6(末端基がメタクリロイル基であるポリスチレン)、AN−6S(末端基がメタクリロイル基であるスチレンとアクリロニトリルの共重合体)、AB−6(末端基がメタクリロイル基であるポリアクリル酸ブチル)、ダイセル化学工業(株)製のプラクセルFM5(メタクリル酸2−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン5モル当量付加品)、FA10L(アクリル酸2−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン10モル当量付加品)、及び特開平2−272009号公報に記載のポリエステル系マクロモノマー等が挙げられる。これらの中でも、特に柔軟性且つ親溶剤性に優れるポリエステル系マクロモノマーが、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び顔料分散物を用いた着色感放射線性組成物が示す現像性の観点から特に好ましく、更に、特開平2−272009号公報に記載のポリエステル系マクロモノマーで表されるポリエステル系マクロモノマーが最も好ましい。
顔料表面へのアンカー部位を有するブロック型高分子としては、特開2003−49110号公報、特開2009−52010号公報等に記載のブロック型高分子が好ましい。
本発明に用いうる顔料分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、楠木化成株式会社製「DA−7301」、BYKChemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)、EFKA社製「EFKA4047、4050〜4010〜4165(ポリウレタン系)、EFKA4330〜4340(ブロック共重合体)、4400〜4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーPB821、PB822、PB880、PB881」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、日本ルーブリゾール(株)製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカル者製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」、川研ファインケミカル(株)製 ヒノアクトT−8000E等、信越化学工業(株)製、オルガノシロキサンポリマーKP341、裕商(株)製「W001:カチオン系界面活性剤」、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、「W004、W005、W017」等のアニオン系界面活性剤、森下産業(株)製「EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450」、サンノプコ(株)製「ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100」等の高分子分散剤、(株)ADEKA製「アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123」、及び三洋化成(株)製「イオネット(商品名)S−20」等が挙げられる。
これらの顔料分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。また、本発明の顔料分散剤は、前記顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子と伴に、アルカリ可溶性樹脂と併用して用いても良い。アルカリ可溶性樹脂としては、(メタ)アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を変性した樹脂が挙げられるが、特に(メタ)アクリル酸共重合体が好ましい。また、特開平10−300922号公報に記載のN位置換マレイミドモノマー共重合体、特開2004−300204号公報に記載のエーテルダイマー共重合体、特開平7−319161号公報に記載の重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂も好ましい。
着色感放射線性組成物における顔料分散剤の含有量としては、顔料100質量部に対して、1〜80質量部であることが好ましく、5〜70質量部がより好ましく、10〜60質量部であることが更に好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料100質量部に対して、質量換算で5〜100部の範囲が好ましく、10〜80部の範囲であることがより好ましい。
また、顔料誘導体を併用する場合、顔料誘導体の使用量としては、顔料100質量部に対し、質量換算で1〜30部の範囲にあることが好ましく、3〜20部の範囲にあることがより好ましく、5〜15部の範囲にあることが特に好ましい。
着色感放射線性組成物において、着色剤としての顔料を用い、顔料分散剤をさらに用いる場合、硬化感度、色濃度の観点から、着色剤及び分散剤の含有量の総和が、着色感放射線性組成物を構成する全固形分に対して50質量%以上90質量%以下であることが好ましく、55質量%以上85質量%以下であることがより好ましく、60質量%以上80質量%以下であることが更に好ましい。
さらに、前記の顔料分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、ポリエステル系、ポリアミン系、アクリル系などの界面活性剤などが挙げられる。
これらの顔料分散剤は、単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。
顔料分散剤を用いる場合、その使用量は、顔料(A−2)1質量部あたり、好ましくは1質量部以下であり、より好ましくは0.05質量部以上0.5質量部以下である。顔料分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散状態の顔料分散液が得られる傾向があるため好ましい。
(B)酸性基を有し、酸価25mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物及び親水基を有する多官能(メタ)アクリル化合物から選ばれる少なくとも1種の光重合性化合物
酸性基を有し、酸価が25mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物は、常圧下で100℃以上の沸点を有することが好ましい。
酸性基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基などが好ましく、さらに好ましくは、カルボキシル基、スルホ基であり、特に好ましくはカルボキシル基である。
前記酸価は、未露光部溶解性の点で、25mgKOH/g以上である。中でも、25mgKOH/g〜200mgKOH/gが好ましく、より好ましくは26mgKOH/g〜175mgKOH/gであり、さらに好ましくは、30mgKOH/g〜150mgKOH/gである。
酸価は、常法により測定される。 例えば、ビュレットでの滴定測定や、ポテンシオメトリック自動測定機AT−310(京都電子(株)製)を用いて測定されるものである。
酸性基を有し、酸価が25mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物としては、付加重合可能なエチレン性二重結合が3つ以上の化合物が好ましい。例えば、水酸基含有5官能アクリル化合物の水酸基を反応させて前記酸性基(好ましくはカルボキシル基又はスルホ基、特にカルボキシル基)を導入した化合物(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのOH部位をカルボキシル基含有置換基で置き換えたもの等)などが挙げられる。
酸価が25mgKOH/g以上の酸性基を含む多官能(メタ)アクリル化合物は、着色感放射線性組成物液の粘度調整の点で、さらに粘度が高いものが好ましく、具体的には、粘度(25℃)が11,500mPa・s以上であるものが好ましい。中でも、粘度は11,500〜100,000mPa・s(25℃)が好ましく、より好ましくは12,000〜100,000mPa・s(25℃)であり、さらに好ましくは20,000〜100,000mPa・s(25℃)である。
粘度は、着色感放射線性組成物を25℃に調温した状態で常法により測定される。例えば、回転式粘度計(例えば東機産業社製)、振動式粘度計(例えばSV−10(AND社製))を用いて測定されるものである。
上記のうち、好ましい酸性基含有多官能(メタ)アクリル化合物の例として、東亜合成化学(株)製のTO−756、TO−1382、TO−2359、TO−2360、TO−2348、TO−2349、M−510又はM−520が好適に用いられる。
親水基を有する多官能(メタ)アクリル化合物としては、下記一般式(i)又は(ii)で表される化合物の群から選択される少なくとも1種であることも好ましい。
前記一般式(i)及び(ii)中、Eは、各々独立に、−((CH)yCHO)−、又は−((CH)yCH(CH)O)−を表し、yは、各々独立に0〜10の整数を表し、Xは、各々独立に、アクリロイル基、メタクリロイル基、水素原子、又はカルボキシル基を表す。
前記一般式(i)中、アクリロイル基及びメタクリロイル基の合計は3個又は4個であり、mは各々独立に0〜10の整数を表し、各mの合計は0〜40の整数である。但し、各mの合計が0の場合、Xのうちいずれか1つはカルボキシル基である。
前記一般式(ii)中、アクリロイル基及びメタクリロイル基の合計は5個又は6個であり、nは各々独立に0〜10の整数を表し、各nの合計は0〜60の整数である。但し、各nの合計が0の場合、Xのうちいずれか1つはカルボキシル基である。
前記一般式(i)中、mは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
また、各mの合計は、2〜40の整数が好ましく、2〜16の整数がより好ましく、4〜8の整数が特に好ましい。
前記一般式(ii)中、nは、0〜6の整数が好ましく、0〜4の整数がより好ましい。
また、各nの合計は、3〜60の整数が好ましく、3〜24の整数がより好ましく、6〜12の整数が特に好ましい。
また、一般式(i)又は一般式(ii)中の−((CH)yCHO)−又は−((CH)yCH(CH)O)−は、酸素原子側の末端がXに結合する形態が好ましい。
前記一般式(i)又は(ii)で表される化合物は1種単独で用いてもよいし、2種以上併用してもよい。特に、一般式(ii)において、6個のX全てがアクリロイル基である形態が好ましい。
また、一般式(i)又は(ii)で表される化合物の特定モノマー中における全含有量としては、20質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましい。
前記一般式(i)又は(ii)で表される化合物は、従来公知の工程である、ペンタエリスリト−ル又はジペンタエリスリト−ルにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを開環付加反応により開環骨格を結合する工程と、開環骨格の末端水酸基に、例えば(メタ)アクリロイルクロライドを反応させて(メタ)アクリロイル基を導入する工程と、から合成することができる。各工程はよく知られた工程であり、当業者は容易に一般式(i)又は(ii)で表される化合物を合成することができる。
前記一般式(i)、(ii)で表される化合物の中でも、ペンタエリスリトール誘導体及び/又はジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。
具体的には、下記式(a)〜(f)で表される化合物(以下、「例示化合物(a)〜(f)」ともいう。)が挙げられ、中でも、例示化合物(a)、(b)、(e)、(f)が好ましい。
一般式(i)、(ii)で表される特定モノマーの市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ鎖を4個有する4官能アクリレートであるSR−494、日本化薬株式会社製のペンチレンオキシ鎖を6個有する6官能アクリレートであるDPCA−60、イソブチレンオキシ鎖を3個有する3官能アクリレートであるTPA−330等が挙げ
られる。
また、本発明の着色感放射線性組成物は、本願発明の効果に影響を及ぼさない範囲において、前記光重合性化合物だけではなく、その他の光重合性化合物を含んでいてもよい。
その他の光重合性化合物としては、例えば、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、UA−7200(新中村化学社製、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)、KAYARAD DPCA−20、KAYARAD DPCA−30、KAYARAD DPCA−60、KAYARAD DPCA−120(日本化薬社製)等が挙げられる。
本発明における光重合性化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、酸性基を有し、酸価が50mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物及び親水基を有する多官能(メタ)アクリル化合物を含ことがより好ましい。
光重合性化合物の着色感放射線性組成物中における含有量としては、十分な硬化反応が進行する量であれば特に限定はされないが、質量換算で全固形分100部に対して、3質量%〜55質量%が好ましく、より好ましくは10質量%〜50質量%である。
(C)光重合開始剤
本発明の着色感放射線性組成物は、さらに光重合開始剤を含有することが、さらなる感度向上の観点から必須である。
前記光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、前記光重合開始剤は、約300nm〜800nm(330nm〜500nmがより好ましい。)の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する化合物を、少なくとも1種含有していることが好ましい。
前記光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体(例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの、など)、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノンなどが挙げられる。
また、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、3−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。
さらに好ましくは、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、フォスフィンオキサイド化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物であり、トリハロメチルトリアジン化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾフェノン化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が最も好ましい。
特に、本発明の着色感放射線性組成物を固体撮像素子のカラーフィルタの作製に使用する場合には、微細なパターンをシャープな形状で形成する必要があるために、硬化性とともに未露光部に残渣がなく現像されることが重要である。このような観点からは、重合開始剤としてはオキシム化合物を使用することが特に好ましい。特に、固体撮像素子において微細なパターンを形成する場合、硬化用露光にステッパー露光を用いるが、この露光機はハロゲンにより損傷される場合があり、重合開始剤の添加量も低く抑える必要があるため、これらの点を考慮すれば、固体撮像素子の如き微細パターンを形成するには(C)光重合開始剤としては、オキシム化合物を用いるのが最も好ましい。
前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載の化合物、英国特許1388492号明細書記載の化合物、特開昭53−133428号公報記載の化合物、独国特許3337024号明細書記載の化合物、F.C.SchaeferなどによるJ.Org.Chem.;29、1527(1964)記載の化合物、特開昭62−58241号公報記載の化合物、特開平5−281728号公報記載の化合物、特開平5−34920号公報記載化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されている化合物、などが挙げられる。
前記米国特許第4212976号明細書に記載されている化合物としては、例えば、オキサジアゾール骨格を有する化合物(例えば、2−トリクロロメチル−5−フェニル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−クロロフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(2−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリブロモメチル−5−フェニル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリブロモメチル−5−(2−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール;2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−クロルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−n−ブトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリプロモメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾールなど)などが挙げられる。
また、上記以外の光重合開始剤として、アクリジン誘導体(例えば、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタンなど)、N−フェニルグリシンなど、ポリハロゲン化合物(例えば、四臭化炭素、フェニルトリブロモメチルスルホン、フェニルトリクロロメチルケトンなど)、クマリン類(例えば、3−(2−ベンゾフラノイル)−7−ジエチルアミノクマリン、3−(2−ベンゾフロイル)−7−(1−ピロリジニル)クマリン、3−ベンゾイル−7−ジエチルアミノクマリン、3−(2−メトキシベンゾイル)−7−ジエチルアミノクマリン、3−(4−ジメチルアミノベンゾイル)−7−ジエチルアミノクマリン、3,3’−カルボニルビス(5,7−ジ−n−プロポキシクマリン)、3,3’−カルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリン)、3−ベンゾイル−7−メトキシクマリン、3−(2−フロイル)−7−ジエチルアミノクマリン、3−(4−ジエチルアミノシンナモイル)−7−ジエチルアミノクマリン、7−メトキシ−3−(3−ピリジルカルボニル)クマリン、3−ベンゾイル−5,7−ジプロポキシクマリン、7−ベンゾトリアゾール−2−イルクマリン、また、特開平5−19475号公報、特開平7−271028号公報、特開2002−363206号公報、特開2002−363207号公報、特開2002−363208号公報、特開2002−363209号公報などに記載のクマリン化合物など)、アシルホスフィンオキサイド類(例えば、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフェニルホスフィンオキサイド、LucirinTPOなど)、メタロセン類(例えば、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフロロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、η5−シクロペンタジエニル−η6−クメニル−アイアン(1+)−ヘキサフロロホスフェート(1−)など)、特開昭53−133428号公報、特公昭57−1819号公報、同57−6096号公報、及び米国特許第3615455号明細書に記載された化合物などが挙げられる。
前記ケトン化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、4−メトキシベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン、2−エトキシカルボニルベンゾフェノン、ベンゾフェノンテトラカルボン酸又はそのテトラメチルエステル、4,4’−ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン類(例えば、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビスジシクロヘキシルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジヒドロキシエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、4−ジメチルアミノベンゾフェノン、4−ジメチルアミノアセトフェノン、ベンジル、アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−メチルアントラキノン、フェナントラキノン、キサントン、チオキサントン、2−クロル−チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、フルオレノン、2−ベンジル−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−1−プロパノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパノールオリゴマー、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類(例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンジルジメチルケタール)、アクリドン、クロロアクリドン、N−メチルアクリドン、N−ブチルアクリドン、N−ブチル−クロロアクリドンなどが挙げられる。
光重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平10−291969号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、特許第4225898号公報に記載のアシルホスフィンオキシド系開始剤も用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、IRGACURE−184、DAROCUR−1173、IRGACURE−500、IRGACURE−2959,IRGACURE−127(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるIRGACURE−907、IRGACURE−369、及び、IRGACURE−379(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、365nmまたは405nm等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開2009−191179公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるIRGACURE−819やDAROCUR−TPO(商品名:いずれもBASF社製)を用いることができる。
光重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物が挙げられる。オキシム開始剤の具体例としては、特開2001−233842号記載の化合物、特開2000−80068号記載の化合物、特開2006−342166号記載の化合物を用いることができる。
本発明における光重合開始剤として好適に用いられるオキシム誘導体等のオキシム化合物としては、例えば、3−ベンゾイロキシイミノブタン−2−オン、3−アセトキシイミノブタン−2−オン、3−プロピオニルオキシイミノブタン−2−オン、2−アセトキシイミノペンタン−3−オン、2−アセトキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ベンゾイロキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、3−(4−トルエンスルホニルオキシ)イミノブタン−2−オン、及び2−エトキシカルボニルオキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オンなどが挙げられる。
オキシムエステル化合物としては、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653−1660)、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年)pp.202−232、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報、特開2006−342166号公報の各公報に記載の化合物等が挙げられる。
市販品ではIRGACURE−OXE01(BASF社製)、IRGACURE−OXE02(BASF社製)も好適に用いられる。
また上記記載以外のオキシムエステル化合物として、カルバゾールN位にオキシムが連結した特表2009−519904号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許7626957号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開2010−15025号公報および米国特許公開2009−292039号記載の化合物、国際公開特許2009−131189号公報に記載のケトオキシム化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許7556910号公報に記載の化合物、405nmに吸収極大を有しg線光源に対して良好な感度を有する特開2009−221114号公報記載の化合物、などを用いてもよい。
好ましくはさらに、特開2007−231000号公報、及び、特開2007−322744号公報に記載される環状オキシム化合物に対しても好適に用いることができる。環状オキシム化合物の中でも、特に特開2010−32985号公報、特開2010−185072号公報に記載されるカルバゾール色素に縮環した環状オキシム化合物は、高い光吸収性を有し高感度化の観点から好ましい。
また、オキシム化合物の特定部位に不飽和結合を有する特開2009−242469号公報に記載の化合物も、重合不活性ラジカルから活性ラジカルを再生することで高感度化を達成でき好適に使用することができる。
最も好ましくは、特開2007−269779号公報に示される特定置換基を有するオキシム化合物や、特開2009−191061号公報に示されるチオアリール基を有するオキシム化合物が挙げられる。
具体的には、オキシム重合開始剤としては、下記式(OX−1)で表される化合物が好ましい。なお、オキシムのN−O結合が(E)体のオキシム化合物であっても、(Z)体のオキシム化合物であっても、(E)体と(Z)体との混合物であってもよい。
(式(OX−1)中、R及びBは各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表す。)
前記式(OX−1)中、Rで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。
前記一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、1以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
アルキル基としては、炭素数1〜30のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、1−エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、2−エチルヘキシル基、フェナシル基、1−ナフトイルメチル基、2−ナフトイルメチル基、4−メチルスルファニルフェナシル基、4−フェニルスルファニルフェナシル基、4−ジメチルアミノフェナシル基、4−シアノフェナシル基、4−メチルフェナシル基、2−メチルフェナシル基、3−フルオロフェナシル基、3−トリフルオロメチルフェナシル基、及び、3−ニトロフェナシル基が例示できる。
アリール基としては、炭素数6〜30のアリール基が好ましく、具体的には、フェニル基、ビフェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、9−アンスリル基、9−フェナントリル基、1−ピレニル基、5−ナフタセニル基、1−インデニル基、2−アズレニル基、9−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o−トリル基、m−トリル基、p−トリル基、キシリル基、o−クメニル基、m−クメニル基及びp−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、並びに、オバレニル基が例示できる。
アシル基としては、炭素数2〜20のアシル基が好ましく、具体的には、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロアセチル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、1−ナフトイル基、2−ナフトイル基、4−メチルスルファニルベンゾイル基、4−フェニルスルファニルベンゾイル基、4−ジメチルアミノベンゾイル基、4−ジエチルアミノベンゾイル基、2−クロロベンゾイル基、2−メチルベンゾイル基、2−メトキシベンゾイル基、2−ブトキシベンゾイル基、3−クロロベンゾイル基、3−トリフルオロメチルベンゾイル基、3−シアノベンゾイル基、3−ニトロベンゾイル基、4−フルオロベンゾイル基、4−シアノベンゾイル基、及び、4−メトキシベンゾイル基が例示できる。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2〜20のアルコキシカルボニル基が好ましく、具体的には、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、及び、トリフルオロメチルオキシカルボニル基が例示できる。
アリールオキシカルボニル基として具体的には、フェノキシカルボニル基、1−ナフチルオキシカルボニル基、2−ナフチルオキシカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、2−クロロフェニルオキシカルボニル基、2−メチルフェニルオキシカルボニル基、2−メトキシフェニルオキシカルボニル基、2−ブトキシフェニルオキシカルボニル基、3−クロロフェニルオキシカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、3−シアノフェニルオキシカルボニル基、3−ニトロフェニルオキシカルボニル基、4−フルオロフェニルオキシカルボニル基、4−シアノフェニルオキシカルボニル基、及び、4−メトキシフェニルオキシカルボニル基が例示できる。
複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子若しくはリン原子を含む、芳香族又は脂肪族の複素環が好ましい。
具体的には、チエニル基、ベンゾ[b]チエニル基、ナフト[2,3−b]チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、2H−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、3H−インドリル基、インドリル基、1H−インダゾリル基、プリニル基、4H−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサリニル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、4aH−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、及び、チオキサントリル基が例示できる。
アルキルチオカルボニル基として具体的には、メチルチオカルボニル基、プロピルチオカルボニル基、ブチルチオカルボニル基、ヘキシルチオカルボニル基、オクチルチオカルボニル基、デシルチオカルボニル基、オクタデシルチオカルボニル基、及び、トリフルオロメチルチオカルボニル基が例示できる。
アリールチオカルボニル基として具体的には、1−ナフチルチオカルボニル基、2−ナフチルチオカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルチオカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルチオカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルチオカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルチオカルボニル基、2−クロロフェニルチオカルボニル基、2−メチルフェニルチオカルボニル基、2−メトキシフェニルチオカルボニル基、2−ブトキシフェニルチオカルボニル基、3−クロロフェニルチオカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルチオカルボニル基、3−シアノフェニルチオカルボニル基、3−ニトロフェニルチオカルボニル基、4−フルオロフェニルチオカルボニル基、4−シアノフェニルチオカルボニル基、及び、4−メトキシフェニルチオカルボニル基が挙げられる。
前記式(OX−1)中、Bで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基を表す。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
なかでも、特に好ましくは以下に示す構造である。
下記の構造中、Y、X、及び、nは、それぞれ、後述する式(OX−2)におけるY、X、及び、nと同義であり、好ましい例も同様である。
前記式(OX−1)中、Aで表される二価の有機基としては、炭素数1〜12のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルキニレン基が挙げられる。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
中でも、式(OX−1)におけるAとしては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基(例えば、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基)で置換されたアルキレン基、アルケニル基(例えば、ビニル基、アリル基)で置換されたアルキレン基、アリール基(例えば、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基)で置換されたアルキレン基が好ましい。
前記式(OX−1)中、Arで表されるアリール基としては、炭素数6〜30のアリール基が好ましく、また、置換基を有していてもよい。置換基としては、先に置換基を有していてもよいアリール基の具体例として挙げた置換アリール基に導入された置換基と同様のものが例示できる。
なかでも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換又は無置換のフェニル基が好ましい。
式(OX−1)においては、前記式(OX−1)中のArとそれに隣接するSとで形成される「SAr」の構造が、以下に示す構造であることが感度の点で好ましい。なお、Meはメチル基を表し、Etはエチル基を表す。
オキシム化合物は、下記式(OX−2)で表される化合物であることが好ましい。
(式(OX−2)中、R及びXは各々独立に一価の置換基を表し、A及びYは各々独立に二価の有機基を表し、Arはアリール基を表し、nは0〜5の整数である。) 式(OX−2)におけるR、A、及びArは、前記式(OX−1)におけるR、A、及びArと同義であり、好ましい例も同様である。
前記式(OX−2)中、Xで表される一価の置換基としては、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、複素環基、ハロゲン原子が挙げられる。また、これらの基は1以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
これらの中でも、式(OX−2)におけるXとしては、溶剤溶解性と長波長領域の吸収効率向上の点から、アルキル基が好ましい。
また、式(2)におけるnは、0〜5の整数を表し、0〜2の整数が好ましい。
前記式(OX−2)中、Yで表される二価の有機基としては、以下に示す構造が挙げられる。なお、以下に示される基において、「*」は、前記式(OX−2)において、Yと隣接する炭素原子との結合位置を示す。
中でも、高感度化の観点から、下記に示す構造が好ましい。
さらにオキシム化合物は、下記式(OX−3)で表される化合物であることが好ましい。
(式(OX−3)中、R及びXは各々独立に一価の置換基を表し、Aは二価の有機基を表し、Arはアリール基を表し、nは0〜5の整数である。)
式(OX−3)におけるR、X、A、Ar、及び、nは、前記式(OX−2)におけるR、X、A、Ar、及び、nとそれぞれ同義であり、好ましい例も同様である。
以下好適に用いられるオキシム化合物の具体例(C−4)〜(C−13)を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
オキシム化合物は、350nm〜500nmの波長領域に極大吸収波長を有するものであり、360nm〜480nmの波長領域に吸収波長を有するものであることが好ましく、365nm及び455nmの吸光度が高いものが特に好ましい。
オキシム化合物は、365nm又は405nmにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、1,000〜300,000であることが好ましく、2,000〜300,000であることがより好ましく、5,000〜200,000であることが特に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計(Varian社製Carry−5 spctrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
本発明に用いられる光重合開始剤は、必要に応じて2種以上を組み合わせて使用しても良い。
本発明の着色感放射線性組成物に含有される(C)光重合開始剤の含有量は、着色感放射線性組成物の全固形分に対し0.1質量%以上50質量%以下であることが好ましく、より好ましくは0.5質量%以上30質量%以下、更に好ましくは1質量%以上20質量%以下である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。
本発明の着色感放射線性組成物に含まれる固形分濃度は、5質量%〜25質量%であることが好ましく、10質量%〜25質量%であることがより好ましく、12質量%〜25質量%であることがさらに好ましい。
本発明の着色感放射線性組成物に含まれる固形分濃度が、上記範囲である場合にはチキソ性が少なく、また濡れ性が良好であり好ましい。
(D)溶剤
本発明のカラーフィルタ用着色感放射線性組成物は、一般には、有機溶剤を用いて構成する。有機溶剤は、各成分の溶解性や着色感放射線性組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はないが、特に紫外線吸収剤、アルカリ可溶性樹脂や分散剤等の溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。また、本発明における着色感放射線性組成物を調製する際には、少なくとも2種類の有機溶剤を含むことが好ましい。
有機溶剤としては、エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸アルキル(例:オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル(例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等))、3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例:3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル等))、2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例:2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル))、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル及び2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル(例えば、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル等)、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等、並びに、エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等、並びに、ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等、並びに、芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。
これらの有機溶剤は、紫外線吸収剤及びアルカリ可溶性樹脂の溶解性、塗布面状の改良などの観点から、2種以上を混合することも好ましい。この場合、特に好ましくは、上記の3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される2種以上で構成される混合溶液である。
有機溶剤の着色感放射線性組成物中における含有量は、塗布性の観点から、組成物の全固形分濃度が5〜80質量%になる量とすることが好ましく、5〜60質量%が更に好ましく、10〜50質量%が特に好ましい。
(その他成分)
本発明の着色感放射線性組成物には、前記(A)〜(D)の必須成分に加え、目的に応じて種々の添加剤を使用することができる。
−アルカリ可溶性樹脂−
本発明の着色感放射線性組成物は、さらにアルカリ可溶性樹脂を含有することが好ましい。アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、現像性・パターン形成性が向上する。
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子(好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子)中に少なくとも1つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
アルカリ可溶性を促進する基(以下、酸基ともいう)としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基などが挙げられるが、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、(メタ)アクリル酸が特に好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
前記重合後に酸基を付与しうるモノマーとしては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジル(メタ)アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、2−イソシアナートエチル(メタ)アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。これら酸基を導入するための単量体は、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。アルカリ可溶性バインダーに酸基を導入するには、例えば、酸基を有するモノマーおよび/または重合後に酸基を付与しうるモノマー(以下「酸基を導入するための単量体」と称することもある。)を、単量体成分として重合するようにすればよい。
なお、重合後に酸基を付与しうるモノマーを単量体成分として酸基を導入する場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理が必要となる。
アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。
アルカリ可溶性樹脂として用いられる線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましく、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの挙げられる。特に、(メタ)アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。(メタ)アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル(メタ)アクリレート、アリール(メタ)アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル(メタ)アクリレート及びアリール(メタ)アクリレートとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、トリル(メタ)アクリレート、ナフチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等、ビニル化合物としては、スチレン、α-メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、N-ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等、特開平10−300922号公報に記載のN位置換マレイミドモノマーとして、N―フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等を挙げることができる。なお、これらの(メタ)アクリル酸と共重合可能な他の単量体は1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。
アルカリ可溶性樹脂としては、下記一般式(ED)で示される化合物(以下「エーテルダイマー」と称することもある。)を必須とする単量体成分を重合してなるポリマー(a)を、必須成分であるポリマー成分(A)として含むことも好ましい。
(式(ED)中、RおよびRは、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基を表す。)
これにより、本発明の着色感放射線性組成物は、耐熱性とともに透明性にも極めて優れた硬化塗膜を形成しうる。前記エーテルダイマーを示す前記一般式(1)中、RおよびRで表される置換基を有していてもよい炭素数1〜25の炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、メチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、n−ブチル、イソブチル、t−ブチル、t−アミル、ステアリル、ラウリル、2−エチルヘキシル等の直鎖状または分岐状のアルキル基;フェニル等のアリール基;シクロヘキシル、t−ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、2−メチル−2−アダマンチル等の脂環式基;1−メトキシエチル、1−エトキシエチル等のアルコキシで置換されたアルキル基;ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基;等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい1級または2級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。
前記エーテルダイマーの具体例としては、例えば、ジメチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジエチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(n−プロピル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソプロピル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(n−ブチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソブチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−ブチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−アミル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ステアリル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ラウリル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(2−エチルヘキシル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(1−メトキシエチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(1−エトキシエチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジベンジル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジフェニル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジシクロヘキシル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(t−ブチルシクロヘキシル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(ジシクロペンタジエニル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(トリシクロデカニル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(イソボルニル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジアダマンチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジ(2−メチル−2−アダマンチル)−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート等が挙げられる。これらの中でも特に、ジメチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジエチル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジシクロヘキシル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエート、ジベンジル−2,2’−[オキシビス(メチレン)]ビス−2−プロペノエートが好ましい。これらエーテルダイマーは、1種のみであってもよいし、2種以上であってもよい。前記一般式(ED)で示される化合物由来の構造体は、その他の単量体を共重合させてもよい。
アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、本発明の着色感放射線性組成物をポジ型の組成物とする場合に好適に用いることができる。アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、例えば、ノボラック樹脂、又はビニル重合体等が挙げられる。
上記ノボラック樹脂としては、例えば、フェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。上記フェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトール、又はビスフェノールA等が挙げられる。
上記アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、又はベンズアルデヒド等が挙げられる。
上記フェノール類及びアルデヒド類は、単独若しくは2種以上を組み合わせて用いることができる。
上記ノボラック樹脂の具体例としては、例えば、メタクレゾール、パラクレゾール又はこれらの混合物とホルマリンとの縮合生成物が挙げられる。
上記ノボラック樹脂は分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよい。又、ビスフェノールCやビスフェノールA等のフェノール系水酸基を有する低分子量成分を上記ノボラック樹脂に混合してもよい。
また、本発明における着色感放射線性組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂を使用してもよい。重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂としては、アリル基、(メタ)アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したアルカリ可溶性樹脂等が有用である。上述の重合性基を含有するポリマーの例としては、ダイヤナ-ルNRシリーズ(三菱レイヨン株式会社製)、Photomer6173(COOH含有 polyurethane acrylic oligomer. Diamond Shamrock Co.Ltd.,製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業株式会社製)、サイクロマーPシリーズ、プラクセル CF200シリーズ(いずれもダイセル化学工業株式会社製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー株式会社製)などが挙げられる。これら重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂としては、予めイソシアネート基とOH基を反応させ、未反応のイソシアネート基を1つ残し、かつ(メタ)アクリロイル基を含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、ヒドロキシ基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する2塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂、ヒドロキシ基を含むアクリル樹脂とイソシアネートと重合性基を有する化合物を反応させた樹脂、特開2002-229207号公報及び特開2003-335814号公報に記載されるα位又はβ位にハロゲン原子或いはスルホネート基などの脱離基を有するエステル基を側鎖に有する樹脂を塩基性処理を行うことで得られる樹脂などが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂としては、特に、ベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸共重合体やベンジル(メタ)アクリレート/(メタ)アクリル酸/他ノモノマーからなる多元共重合体が好適である。この他、2−ヒドロキシエチルメタクリレートを共重合したもの、特開平7−140654号公報に記載の、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー/ベンジルメタクレート/メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂の酸価としては好ましくは30mgKOH/g〜200mgKOH/g、より好ましくは50mgKOH/g〜150mgKOH/gであることが好ましく、70〜120mgKOH/gであることが最も好ましい。
また、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)としては、2,000〜50,000が好ましく、5,000〜40,000がさらに好ましく、5,000〜35,000が最も好ましい。
アルカリ可溶性樹脂の着色感放射線性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、1質量%〜30質量%が好ましく、より好ましくは、2質量%〜25質量%であり、特に好ましくは、3質量%〜20質量%である。
−界面活性剤−
本発明の着色感放射線性組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
特に、本発明の着色感放射線性組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性(特に、流動性)がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。
即ち、フッ素系界面活性剤を含有する着色感放射線性組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3質量%〜40質量%が好適であり、より好ましくは5質量%〜30質量%であり、特に好ましくは7質量%〜25質量%である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色感放射線性組成物中における溶解性も良好である。
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、同F780、同F781(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC1068、同SC−381、同SC−383、同S393、同KH−40(以上、旭硝子(株)製)等が挙げられる。
ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート(例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等)、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル(BASF社製のプルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1等が挙げられる。
カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体(商品名:EFKA−745、森下産業(株)製)、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学(株)製)、W001(裕商(株)製)等が挙げられる。
アニオン系界面活性剤として具体的には、W004、W005、W017(裕商(株)社製)等が挙げられる。
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング(株)製「トーレシリコーンDC3PA」、「トーレシリコーンSH7PA」、「トーレシリコーンDC11PA」,「トーレシリコーンSH21PA」,「トーレシリコーンSH28PA」、「トーレシリコーンSH29PA」、「トーレシリコーンSH30PA」、「トーレシリコーンSH8400」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製「TSF−4440」、「TSF−4300」、「TSF−4445」、「TSF−4460」、「TSF−4452」、信越シリコーン株式会社製「KP341」、「KF6001」、「KF6002」、ビックケミー社製「BYK307」、「BYK323」、「BYK330」等が挙げられる。
界面活性剤は、1種のみを用いてもよいし、2種類以上を組み合わせてもよい。
界面活性剤の添加量は、着色感放射線性組成物の全質量に対して、0.001質量%〜2.0質量%が好ましく、より好ましくは0.005質量%〜1.0質量%である。
−有機カルボン酸、有機カルボン酸無水物−
本発明の着色感放射線性組成物は、分子量1000以下の有機カルボン酸、及び/又は有機カルボン酸無水物を含有していてもよい。
有機カルボン酸化合物としては、具体的には、脂肪族カルボン酸または芳香族カルボン酸が挙げられる。脂肪族カルボン酸としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、グリコール酸、アクリル酸、メタクリル酸等のモノカルボン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、シクロヘキセンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸等のジカルボン酸、トリカルバリル酸、アコニット酸等のトリカルボン酸等が挙げられる。また、芳香族カルボン酸としては、例えば、安息香酸、フタル酸等のフェニル基に直接カルボキシル基が結合したカルボン酸、およびフェニル基から炭素結合を介してカルボキシル基が結合したカルボン酸類が挙げられる。これらの中では、特に分子量600以下、とりわけ分子量50〜500のもの、具体的には、例えば、マレイン酸、マロン酸、コハク酸、イタコン酸が好ましい。
有機カルボン酸無水物としては、例えば、脂肪族カルボン酸無水物、芳香族カルボン酸無水物が挙げられ、具体的には、例えば、無水酢酸、無水トリクロロ酢酸、無水トリフルオロ酢酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸、無水グルタル酸、無水1,2−シクロヘキセンジカルボン酸、無水n−オクタデシルコハク酸、無水5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸等の脂肪族カルボン酸無水物が挙げられる。芳香族カルボン酸無水物としては、例えば、無水フタル酸、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水物、無水ナフタル酸等が挙げられる。これらの中では、特に分子量600以下、とりわけ分子量50〜500のもの、具体的には、例えば、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸が好ましい。
これらの有機カルボン酸及び/又は有機カルボン酸無水物の添加量は、通常、全固形分中0.01〜10重量%、好ましくは0.03〜5重量%、より好ましくは0.05〜3重量%の範囲である。
これら分子量1000以下の有機カルボン酸、及び/又は有機カルボン酸無水物を添加することによって、高いパターン密着性を保ちながら、着色感放射線性組成物の未溶解物の残存をより一層低減することが可能である。
−重合禁止剤−
本発明の着色感放射線性組成物においては、該着色感放射線性組成物の製造中又は保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
重合禁止剤の添加量は、全組成物の質量に対して、約0.01質量%〜約5質量%が好ましい。
−架橋剤−
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得るようにすることも可能である。この場合には、以下に示す架橋剤の少なくとも一種を用いて構成することができる。
前記架橋剤としては、架橋反応によって膜硬化を行なえるものであれば特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換されたメラミン化合物、グアナミン化合物、グルコールウリル化合物、又はウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換されたフェノール化合物、ナフトール化合物、又はヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも特に、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
−その他の各種添加物−
本発明の着色感放射線性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
本発明の着色感放射線性組成物は、液晶表示装置(LCD)や固体撮像素子(例えばCCD、CMOSなど)等に用いられるカラーフィルタなどの着色画素形成用として、また、印刷用インキ、インクジェット用インキ、及び塗料などの作製用途として、好適に用いることができる。
《カラーフィルタ及びその製造方法》
次に、本発明におけるカラーフィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
なお、本発明におけるカラーフィルタは、本発明の着色感放射線性組成物を用いてなる着色膜を有しており、当該着色膜の膜厚は1.0μm以下であることが好ましく、0.1μm〜0.9μmであることがより好ましく、0.2μm〜0.8μmであることがさらに好ましい。
膜厚を、1.0μm以下とすることにより、高解像性、高密着性を得られるため、好ましい。
本発明におけるカラーフィルタの製造方法においては、既述の本発明の着色感放射線性組成物が用いられる。
本発明の着色感放射線性組成物を用いることで、現像性に優れると共に感度よく良好な高度の硬度が得られるので、形状良好で高解像度の微細なパターンで構成されたカラーフィルタを簡易に作製することができる。
本発明におけるカラーフィルタの製造方法は、本発明の着色感放射線性組成物を支持体上に塗布後、パターン露光し、現像してパターンを形成する工程を設けて構成したものである。具体的には、本発明の着色感放射線性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して着色感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することでネガ型の着色パターンを形成することによって好適に作製することができる(画像形成工程)。また、必要により、形成された着色パターンを加熱及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
カラーフィルタの作製においては、前記画像形成工程(及び必要により硬化工程)を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタを作製することができる。この際に使用される光若しくは放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。
前記支持体としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラスソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子(CCDやCMOS)等に用いられる光電変換素子基板が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
前記現像液としては、本発明の着色感放射線性組成物(未硬化部)を溶解する一方、照射された硬化部を溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。前記有機溶剤としては、本発明の着色感放射線性組成物を調製する際に使用される前述の有機溶剤が挙げられる。
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に現像後水で洗浄する。
本発明におけるカラーフィルタは、液晶表示装置やCCD、CMOS等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCD、CMOSを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
《固体撮像素子》
−固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法−
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法は、支持体上に、既述の本発明の着色感放射線性組成物を付与して着色感放射線性組成物層を形成する工程(以下、「着色感放射線性組成物層形成工程」ともいう)と、前記着色感放射線性組成物層を、マスクを介して露光する工程(以下、「露光工程」ともいう)と、露光後の着色感放射線性組成物層を現像して着色パターン(以下、「着色画素」ともいう)を形成する工程(以下、「現像工程」ともいう)と、を含む。
また、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法によって製造されたものである。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法によって製造された赤色パターン(赤色画素)を少なくとも有していればよい。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタの具体的形態としては、例えば、前記赤色パターンと他の着色パターンとを組み合わせた多色のカラーフィルタの形態(例えば、前記赤色パターン、青色パターン、及び緑色パターンを少なくとも有する3色以上のカラーフィルタ)が好適である。
以下、固体撮像素子用カラーフィルタを単に「カラーフィルタ」ということがある。
<着色感放射線性組成物層形成工程>
着色感放射線性組成物層形成工程では、支持体上に、本発明の着色感放射線性組成物を付与して着色感放射線性組成物層を形成する。
本工程に用いうる支持体としては、例えば、基板(例えば、シリコン基板)上にCCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)等の撮像素子(受光素子)が設けられた固体撮像素子用基板を用いることができる。
本発明における着色パターンは、固体撮像素子用基板の撮像素子形成面側(おもて面)に形成されてもよいし、撮像素子非形成面側(裏面)に形成されてもよい。
固体撮像素子における着色画素の間や、固体撮像素子用基板の裏面には、遮光膜が設けられていてもよい。
また、支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
支持体上への本発明の着色感放射線性組成物の付与方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
支持体上に塗布された着色感放射線性組成物層の乾燥(プリベーク)は、ホットプレート、オーブン等で50℃〜140℃の温度で10秒〜300秒で行うことができる。
<露光工程>
露光工程では、着色感放射線性組成物層形成工程において形成された着色感放射線性組成物層を、例えば、ステッパー等の露光装置を用い、所定のマスクパターンを有するマスクを介してパターン露光する。
露光に際して用いることができる放射線(光)としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく(特に好ましくはi線)用いられる。照射量(露光量)は30〜1500mJ/cmが好ましく50〜1000mJ/cmがより好ましく、80〜500mJ/cmが最も好ましい。
<現像工程>
次いでアルカリ現像処理を行うことにより、露光工程における光未照射部分の着色感放射線性組成物層がアルカリ水溶液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
現像液としては、下地の撮像素子や回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は従来は20秒〜90秒であった。より残渣を除去するため、近年では120秒〜180秒実施する場合もある。さらには、より残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返す場合もある。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5、4、0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。
なお、現像液には無機アルカリを用いてもよく、無機アルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウムなどが好ましい。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)する。
次いで、乾燥を施した後に加熱処理(ポストベーク)を行うことが好ましい。多色の着色パターンを形成するのであれば、各色ごとに前記工程を順次繰り返して硬化皮膜を製造することができる。これによりカラーフィルタが得られる。
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100℃〜240℃、好ましくは200℃〜240℃の熱硬化処理を行う。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
なお、本発明の製造方法は、必要に応じ、上記以外の工程として、固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法として公知の工程を有していてもよい。例えば、上述した、着色感放射線性組成物層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを加熱及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
また、本発明に係る着色感放射線性組成物を用いる場合、例えば、塗布装置吐出部のノズルや配管部の目詰まりや塗布機内への着色感放射線性組成物や顔料の付着・沈降・乾燥による汚染等が生じる場合がある。そこで、本発明の着色感放射線性組成物によってもたらされた汚染を効率よく洗浄するためには、前掲の本組成物に関する溶剤を洗浄液として用いることが好ましい。また、特開平7−128867号公報、特開平7−146562号公報、特開平8−278637号公報、特開2000−273370号公報、特開2006−85140号公報、特開2006−291191号公報、特開2007−2101号公報、特開2007−2102号公報、特開2007−281523号公報などに記載の洗浄液も本発明に係る着色感放射線性組成物の洗浄除去として好適に用いることができる。
上記のうち、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート及びアルキレングリコールモノアルキルエーテルが好ましい。
これら溶媒は、単独で用いても2種以上を混合して用いてもよい。2種以上を混合する場合、水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤とを混合することが好ましい。水酸基を有する溶剤と水酸基を有しない溶剤との質量比は、1/99〜99/1、好ましくは10/90〜90/10、更に好ましくは20/80〜80/20である。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)とプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)の混合溶剤で、その比率が60/40であることが特に好ましい。なお、汚染物に対する洗浄液の浸透性を向上させるために、洗浄液には前掲の本組成物に関する界面活性剤を添加してもよい。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、本発明の着色感放射線性組成物を用いているため、剥がれ欠陥及び残渣欠陥が少なく、また、着色パターンの耐熱性に優れている。また、一般式(1)で表されるアゾ顔料を用いて形成されているため、赤色としての分光特性に優れる。
本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、CCD、CMOS等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCDやCMOS等に好適である。本発明の固体撮像素子用カラーフィルタは、例えば、CCD又はCMOSを構成する各画素の受光部と、集光するためのマイクロレンズと、の間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
固体撮像素子用カラーフィルタにおける着色パターン(着色画素)の膜厚としては、2.0μm以下が好ましく、1.0μm以下がより好ましい。
また、着色パターン(着色画素)のサイズ(パターン幅)としては、2.5μm以下が好ましく、2.0μm以下がより好ましく、1.7μm以下が特に好ましい。
−固体撮像素子−
本発明における固体撮像素子は、既述の本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを備える。本発明における固体撮像素子の構成としては、本発明における固体撮像素子用カラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
支持体上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサー、CMOSイメージセンサー、等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、前記フォトダイオード及び前記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、前記デバイス保護膜上に、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを有する構成である。
更に、前記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下(支持体に近い側)に集光手段(例えば、マイクロレンズ等。以下同じ)を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
《液晶表示装置》
本発明におけるカラーフィルタは、前記固体撮像素子のみならず液晶表示装置に用いることができ、特に液晶表示装置の用途に好適である。液晶表示装置に用いた場合、分光特性及び耐熱性に優れた金属錯体色素を着色剤として含有しながらも、比抵抗の低下に伴う液晶分子の配向不良が少なく、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れる。
このため、本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れた高画質画像を表示することができる。
表示装置の定義や各表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
本発明におけるカラーフィルタは、カラーTFT方式の液晶表示装置に用いてもよい。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。更に、本発明はIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、STN、TN、VA、OCS、FFS、及びR−OCB等にも適用できる。
また、本発明におけるカラーフィルタは、明るく高精細なCOA(Color-filter On Array)方式にも供することが可能である。COA方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタ層に対する要求特性は、前述のような通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率及び剥離液耐性が必要とされることがある。本発明のカラーフィルタにおいては、色相に優れた染料多量体を用いることから、色純度、光透過性などが良好で着色パターン(画素)の色合いに優れるので、解像度が高く長期耐久性に優れたCOA方式の液晶表示装置を提供することができる。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を設けてもよい。
これらの画像表示方式については、例えば、「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページなどに記載されている。
本発明におけるカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、本発明におけるカラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなど様々な部材から構成される。本発明のカラーフィルタは、これらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については、例えば、「'94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉(株)富士キメラ総研、2003年発行)」に記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊ディスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木隆明)などに記載されている。
本発明におけるカラーフィルタを液晶表示装置に用いると、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、更に、赤、緑、青のLED光源(RGB−LED)をバックライトとすることによって輝度が高く、また、色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。
以上述べたように、本発明によれば、ジピロメテン系化合物と金属若しくは金属化合物とから得られるジピロメテン系金属錯体化合物及びその互変異性体を色素部位の部分構造として含む色素多量体を含有する、分光特性、耐熱性、耐光性に優れた色補正用の赤〜紫色色素が得られる。さらに、カラーフィルタ作製プロセスにおける混色、即ち、形成される着色硬化膜が、耐溶剤性や熱硬化工程における色移りに対して優れた耐性を有する、着色感放射線性組成物が得られる。このため、従来の色補正用染料を用いたカラーレジストで達成できなかった課題が解決され、固体撮像素子や表示用装置(例えば、液晶表示装置や有機EL表示装置など)に用いられるカラーフィルタに特に有用である。
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「%」「部」は質量基準である。尚、以下の実施例1〜3、6〜10、12及び14は、参考例1〜3、6〜10、12及び14と読み替えるものとする。
(実施例1)
(1)着色感放射線性組成物の調製
下記成分を攪拌機で混合して、メンブレンUPEフィルタ(日本インテグリス株式会社製)でろ過することにより、実施例1で使用する着色感放射線性組成物1を調製した。
なお、ろ過条件は、以下の通りである。
−ろ過条件−
47mmの平膜フィルタをろ過器にセットし、窒素圧(0.2MPa)にてろ過を行った。
(組成)
・(A)着色剤A−1(染料A) 62g
・(A)C.I.ソルベントレッド125(BASF社製) 20g
・(A)Valifast yellow 1101(オリエント化学工業株式会社製) 50g
・(B)光重合性化合物 55g
・(C)光重合開始剤 22g
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比 80/20 重量平均分子量 30000) 60g
・フッ素系界面活性剤(メガファックF176、大日本インキ化学工業株式会社製)1g
・(D)溶剤 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA) 1530g
このときの着色感放射線性組成物1の固形分の割合は15質量%であり、全固形分における(A)着色剤の割合は49質量%である。
(2)下塗り層付ガラス基板の作製
下塗り層用の塗布液としてCT−2000L溶液(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を、シリコンウエハー基板上に、乾燥後の膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥させて硬化膜(下塗り層)を形成した。
(3)着色感放射線性組成物の露光・現像(画像形成)
前記(1)で得られた着色感放射線性組成物を前記(2)で得た下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層の上に乾燥後の膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークした。
次いで、i線縮小投影露光装置を使用して塗布膜に365nmの波長で線幅2μmのマスクを通して露光量を変化させて照射した。照射後、100%CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)現像液を用いて23℃,60秒間の条件で現像した。次いで、流水で20秒間リンスした後、スピン乾燥させてパターン像(カラーフィルタ)を得た。画像の形成は、光学顕微鏡及びSEM写真観察により通常の方法で確認した。
(4)評価
各実施例及び比較例で得られた着色感放射線性組成物を用いて得た各パターン像に対して、以下の評価を行なった。評価結果は下記表2に示す。
−1.感度−
2μmの格子パターンにおいて、ドットとスペースとの幅が1:1になる露光量を適正露光量とし、その露光量を感度とした。値の小さい方が高感度であり、感度として良好なことを示す。
−2.プロファイル−
前記1.の適正露光量におけるSEM画像により、パターン像の断面形状(線幅方向を含む平面で切断したときの断面)を観察し、プロファイルが矩形であるものを「○」とし、逆デーパー形状のものを「×」とし、テーパー形状のものを「□」とした。
−3.段差平坦性−
(3−1) 上記感度評価と同様に(2)で得た下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層の上に調製した着色感放射線性組成物1を乾燥後の膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークした。次いで、i線縮小投影露光装置を使用して塗布膜に365nmの波長で線幅2μmのマスクを通して適性露光量で照射した。照射後、100%CD−2千(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)現像液を用いて23℃,60秒間の条件で現像した。次いで、流水で20秒間リンスした後、スピン乾燥させてパターン像(カラーフィルタ)を得、更にベーク処理を200℃で300秒間おこなった。
(3−2)前記(3−1)で得られたパターン形成基盤上に着色感放射線性組成物1をパターン基盤上に乾燥後の膜厚が1μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークした。
(3−3)着色感放射線性組成物塗布膜の段差平坦性は上記(3−2)で得られた基盤を割り、S−4800(日立ハイテクノロジーズ株式会社製)にて断面のSEM写真観察により計測した。パターン形成基盤上に塗布された着色感放射線性組成物膜厚の最大値と最小値の差をΔRmaxとして評価した。
(実施例2〜3、参考例4〜5、実施例6〜10、参考例11、実施例12)
(A)着色剤A−1、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤の各成分を下記表1に記載の各成分に変更し、(D)溶剤の含量を下記表1に記載の各含量に変更したこと以外は、実施例1と同様にして着色感放射線性組成物2〜12を得た。
これらの着色感放射線性組成物を用いて実施例1と同様の評価を行った。
なお、これらの着色感放射線性組成物のうち、着色感放射線性組成物2〜12は、実施例2〜3、参考例4〜5、実施例6〜10、参考例11、実施例12とした。
結果を表2に示す。
(実施例13)
下記成分を攪拌機で混合して実施例13で使用する着色感放射線性組成物13を調製した。
(組成)
・(A)着色剤A−1(染料A) 89g
・(A)C.I.ソルベントレッド125(チバ・ジャパン社製) 29g
・(A)Valifast yellow 1101(オリエント化学工業株式会社製) 71g
・(B)光重合性化合物 32g
・(C)光重合開始剤 13g
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比 80/20 重量平均分子量 30000) 35g
・フッ素系界面活性剤(メガファックF176、大日本インキ化学工業株式会社製)1g
・(D)溶剤 プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(PGMEA) 1530g
このときの着色感放射線性組成物13の固形分の割合は15質量%であり、全固形分における(A)着色剤の割合は70質量%である。
この着色感放射線性組成物13を用いて実施例1と同様の評価を行った。
結果を表2に示す。
(実施例14)
実施例14で使用する着色感放射線性組成物14は以下のようにして調製した。
下記成分を混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させ、顔料分散剤を作製した。
(I)顔料:C.I.ピグメントレッド254(BASF社製) 68g
(II)ポリエステル系顔料分散剤(DA−7301 楠木化成株式会社製) 30g
(III)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA) 570g
その後、顔料分散剤に下記成分を添加し、実施例14で使用する着色感放射線性組成物13を得た。
・(A)着色剤A−1(染料A) 50g
・(A)Valifast yellow 1101(オリエント化学工業株式会社製)
20g
・(B)光重合性化合物 55g
・(C)光重合開始剤 22g
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比 80/20 重量平均分子量 30000) 23g
・フッ素系界面活性剤(メガファックF176、大日本インキ化学工業株式会社製)1g
・(D)溶剤 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA) 960g
このときの着色感放射線性組成物14の固形分の割合は15質量%であり、全固形分における(A)着色剤の割合は49質量%である。
この着色感放射線性組成物14を用いて実施例1と同様の評価を行った。
結果を表2に示す。
(比較例1〜3)
(A)着色剤A−1、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤の各成分を下記表1に記載の各成分に変更し、(D)溶剤の含量を下記表1に記載の各含量に変更したこと以外は、実施例1と同様にして着色感放射線性組成物15〜17を得た。
これらの着色感放射線性組成物を用いて実施例1と同様の評価を行った。
なお、これらの着色感放射線性組成物のうち、着色感放射線性組成物15〜17は比較例1〜3とした。
結果を表2に示す。
(比較例4)
下記成分を攪拌機で混合して比較例4で使用する着色感放射線性組成物18を調製した。
(組成)
・(A)着色剤A−1(染料A) 38g
・(A)C.I.ソルベントレッド125(チバ・ジャパン社製) 12g
・(A)Valifast yellow 1101(オリエント化学工業株式会社製) 31g
・(B)光重合性化合物 75g
・(C)光重合開始剤 30g
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比 80/20 重量平均分子量 30000) 83g
・フッ素系界面活性剤(メガファックF176、大日本インキ化学工業株式会社製)1g
・(D)溶剤 プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(PGMEA) 1530g
このときの着色感放射線性組成物16の固形分の割合は15質量%であり、全固形分における(A)着色剤の割合は30質量%である。
この着色感放射線性組成物18を用いて実施例1と同様の評価を行った。
結果を表2に示す。
(比較例5)
下記成分を攪拌機で混合して比較例5で使用する着色感放射線性組成物19を調製した。
(組成)
・(A)着色剤A−1(染料A) 15g
・(A)C.I.ソルベントレッド125(チバ・ジャパン社製) 47g
・(A)Valifast yellow 1101(オリエント化学工業株式会社製)
68g
・(B)光重合性化合物 55g
・(C)光重合開始剤 22g
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(モル比 80/20 重量平均分子量 30000) 62g
・フッ素系界面活性剤(メガファックF176、大日本インキ化学工業株式会社製)1g
・(D)溶剤 プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート(PGMEA) 1530g
このときの着色感放射線性組成物19の固形分の割合は15質量%であり、(A)着色剤における染料Aの割合は8質量%である。
この着色感放射線性組成物19を用いて実施例1と同様の評価を行った。
結果を表2に示す。
以下に、表1で用いた、(A)着色剤、(B)光重合性化合物、及び、(C)光重合開始剤の各構造を示す。
表2に示すように、実施例1〜3、参考例4〜5、実施例6〜10、参考例11、実施例12〜14で用いた着色感放射線性組成物1〜14は高感度であり、形成されたパターン像の断面形状は良好な矩形であった。これに対し、比較例1〜5で用いた着色感放射線性組成物15〜19は、感度及びパターン像の断面矩形性が大幅に劣っていた。
1 着色感放射線性組成物膜の最も厚い箇所
2 着色感放射線性組成物膜の最も薄い箇所
3 ΔRmax

Claims (10)

  1. (A)着色感放射線性組成物における全固形分中の60質量%〜80質量%の着色剤と、(B)酸性基を有し、酸価25mgKOH/g以上である多官能(メタ)アクリル化合物及び親水基を有する多官能(メタ)アクリル化合物から選ばれる少なくとも1種の光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)溶剤とを含み、前記(A)着色剤における10質量%〜80質量%が下記式(A−I)で表される化合物であり、前記式(A−I)で表される化合物が下記式(1)で表される化合物を含み、前記(B)光重合性化合物が下記モノマーA−1−1及びモノマーA−2から選ばれる少なくとも1種である着色感放射線性組成物。

    [式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、脂肪族炭化水素基、ニトロ基、フェニル基、−SONHR211、−SO 又は−COOR212を表し、R〜R18のうち、少なくとも一つの置換基は−SO を表す。
    19及びR20は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、エチル基又はアミノ基を表す。
    211及びR212は、それぞれ独立に、水素原子、脂肪族炭化水素基、アルコキシアルキル基、−R311−CO−O−R312、−R311−O−CO−R312又はアラルキル基を表す。
    311は、2価の脂肪族炭化水素基を表し、R312は、1価の脂肪族炭化水素基を表す。
    Mは、Cr又はCoを表す。
    nは、2〜5の整数を表す。
    Dは、ヒドロン、1価の金属カチオン及びキサンテン骨格を有する化合物に由来する1価のカチオンから選ばれる少なくとも1種のカチオンを表す。]



    [式(1)中、R 21 〜R 24 は、それぞれ独立に、水素原子、1価の飽和炭化水素基又は1価の芳香族炭化水素基を表す。該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−R 26 、ヒドロキシ基、−OR 26 、−SO 、−SO H、−SO M’、−CO H、−CO 26 、−SO 26 又は−SO N(R 28 )R 29 で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はアルコキシ基で置換されていてもよい。
    25 は、−SO 、−SO H、−SO M’、−CO H、−CO 26 、−SO 26 又は−SO N(R 28 )R 29 を表す。
    mは、0〜5の整数を表す。mが2以上の整数である場合、複数のR 25 は、同一であっても異なっていてもよい。
    30 は、水素原子又は1価の飽和炭化水素基を表す。
    26 は、1価の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はアルコキシ基で置換されていてもよい。
    28 及びR 29 は、それぞれ独立に、水素原子、1価の飽和炭化水素基、−CO 26 又は−Qを表し、該1価の飽和炭化水素基の水素原子は、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、−Q、−CH=CH 又は−CH=CHR 26 で置換されていてもよく、該1価の飽和炭化水素基の−CH −は、−O−、−S−、−CO−、−NH−又は−NR 26 −で置き換わっていてもよく、R 28 及びR 29 は、互いに結合して複素環を形成していてもよく、該環が有する水素原子は、−R 26 、ヒドロキシ基又は−Qで置換されていてもよい。
    Qは、1価の芳香族炭化水素基又は1価の芳香族複素環式基を表し、該芳香族炭化水素基及び該芳香族複素環式基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、−R 26 、−OR 26 、−NO 、−CH=CH 、−CH=CHR 26 又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
    M’は、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。]
  2. 前記式(A−I)中、R〜R18は、それぞれ独立に、水素原子、塩素原子、メチル基、ニトロ基、−SONHR211、−SO 又は−COOR212を表し、R〜R18のうち、少なくとも一つの置換基は−SO を表す請求項1記載の着色感放射線性組成物。
  3. 前記(C)光重合開始剤は、オキシム化合物である請求項1又は請求項に記載の着色感放射線性組成物。
  4. 前記着色感放射線性組成物に含まれる固形分濃度が5質量%〜25質量%である請求項1〜請求項のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物。
  5. 請求項1〜請求項のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を用いてなる着色膜を有するカラーフィルタ。
  6. 前記着色膜の膜厚は、1.0μm以下である請求項に記載のカラーフィルタ。
  7. 請求項1〜請求項のいずれか1項に記載の着色感放射線性組成物を、支持体上に付与後、パターン様に露光し、現像してパターンを形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法。
  8. 請求項に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
  9. 請求項、請求項又は請求項に記載のカラーフィルタを備えた固体撮像素子。
  10. 請求項、請求項又は請求項に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。
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