JP5657645B2 - 構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ、及び局在型表面プラズモン共鳴センサ、並びにこれらの製造方法 - Google Patents
構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ、及び局在型表面プラズモン共鳴センサ、並びにこれらの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5657645B2 JP5657645B2 JP2012508031A JP2012508031A JP5657645B2 JP 5657645 B2 JP5657645 B2 JP 5657645B2 JP 2012508031 A JP2012508031 A JP 2012508031A JP 2012508031 A JP2012508031 A JP 2012508031A JP 5657645 B2 JP5657645 B2 JP 5657645B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasmon resonance
- surface plasmon
- light
- cylindrical body
- sensor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 title claims description 201
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 91
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 79
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 156
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 105
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 105
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 89
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 84
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 74
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 74
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 31
- DMLAVOWQYNRWNQ-UHFFFAOYSA-N azobenzene Chemical group C1=CC=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1 DMLAVOWQYNRWNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 16
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 claims description 16
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 12
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 11
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 10
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 claims description 9
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000001723 curing Methods 0.000 claims description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 7
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 33
- 102000036639 antigens Human genes 0.000 description 33
- 108091007433 antigens Proteins 0.000 description 33
- 239000010408 film Substances 0.000 description 32
- 230000008569 process Effects 0.000 description 32
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 31
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 31
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 29
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 25
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 24
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 21
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 21
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 19
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 19
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 19
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 17
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 16
- 108010074051 C-Reactive Protein Proteins 0.000 description 15
- 102100032752 C-reactive protein Human genes 0.000 description 15
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 14
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 13
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 13
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 12
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 12
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 102000016267 Leptin Human genes 0.000 description 10
- 108010092277 Leptin Proteins 0.000 description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 10
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 10
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 10
- NRYBAZVQPHGZNS-ZSOCWYAHSA-N leptin Chemical compound O=C([C@H](CO)NC(=O)[C@H](CC(C)C)NC(=O)[C@H](CC(O)=O)NC(=O)[C@H](CC(C)C)NC(=O)[C@H](CCC(N)=O)NC(=O)[C@H](CC=1C2=CC=CC=C2NC=1)NC(=O)[C@H](CC(C)C)NC(=O)[C@@H](NC(=O)[C@H](CC(O)=O)NC(=O)[C@H](CCC(N)=O)NC(=O)[C@H](CC(C)C)NC(=O)[C@H](CO)NC(=O)CNC(=O)[C@H](CCC(N)=O)NC(=O)[C@@H](N)CC(C)C)CCSC)N1CCC[C@H]1C(=O)NCC(=O)N[C@@H](CS)C(O)=O NRYBAZVQPHGZNS-ZSOCWYAHSA-N 0.000 description 10
- 229940039781 leptin Drugs 0.000 description 10
- 239000004005 microsphere Substances 0.000 description 10
- 108010049003 Fibrinogen Proteins 0.000 description 9
- 102000008946 Fibrinogen Human genes 0.000 description 9
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 9
- 229940012952 fibrinogen Drugs 0.000 description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 9
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 9
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 8
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 8
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 8
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 8
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 8
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 7
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- 108091003079 Bovine Serum Albumin Proteins 0.000 description 6
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229940098773 bovine serum albumin Drugs 0.000 description 6
- LOKCTEFSRHRXRJ-UHFFFAOYSA-I dipotassium trisodium dihydrogen phosphate hydrogen phosphate dichloride Chemical compound P(=O)(O)(O)[O-].[K+].P(=O)(O)([O-])[O-].[Na+].[Na+].[Cl-].[K+].[Cl-].[Na+] LOKCTEFSRHRXRJ-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 6
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 6
- 239000002953 phosphate buffered saline Substances 0.000 description 6
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 6
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 6
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 6
- 206010028980 Neoplasm Diseases 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 101000741885 Homo sapiens Protection of telomeres protein 1 Proteins 0.000 description 4
- 102100038745 Protection of telomeres protein 1 Human genes 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 4
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 4
- 238000007699 photoisomerization reaction Methods 0.000 description 4
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 4
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004416 surface enhanced Raman spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 4
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 241000238586 Cirripedia Species 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 3
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 3
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 3
- 238000000985 reflectance spectrum Methods 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical group [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical group [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 201000011510 cancer Diseases 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000000031 ethylamino group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])N([H])[*] 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 238000006317 isomerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003362 replicative effect Effects 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011669 selenium Chemical group 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000439 tumor marker Substances 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 1-phenylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=CC=CC=C1 HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAGRUUPXPPLSRX-UHFFFAOYSA-N 4-prop-1-en-2-ylphenol Chemical compound CC(=C)C1=CC=C(O)C=C1 JAGRUUPXPPLSRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- 102000015081 Blood Coagulation Factors Human genes 0.000 description 1
- 108010039209 Blood Coagulation Factors Proteins 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002307 Dextran Polymers 0.000 description 1
- 101000798940 Gallus gallus Target of Myb protein 1 Proteins 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 1
- 210000004102 animal cell Anatomy 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 239000003114 blood coagulation factor Substances 0.000 description 1
- 229940019700 blood coagulation factors Drugs 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 206010012601 diabetes mellitus Diseases 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 1
- 238000013399 early diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000012921 fluorescence analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001917 fluorescence detection Methods 0.000 description 1
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 208000027866 inflammatory disease Diseases 0.000 description 1
- 206010022000 influenza Diseases 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 1
- 230000035772 mutation Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000011236 particulate material Substances 0.000 description 1
- 244000052769 pathogen Species 0.000 description 1
- 230000001717 pathogenic effect Effects 0.000 description 1
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L phthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=CC=C1C([O-])=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920005553 polystyrene-acrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 210000003491 skin Anatomy 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Chemical group 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical group [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N toluene Substances CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N urea group Chemical group NC(=O)N XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N urethane group Chemical group NC(=O)OCC JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
- G01N21/553—Attenuated total reflection and using surface plasmons
- G01N21/554—Attenuated total reflection and using surface plasmons detecting the surface plasmon resonance of nanostructured metals, e.g. localised surface plasmon resonance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B1/00—Nanostructures formed by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N21/658—Raman scattering enhancement Raman, e.g. surface plasmons
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/648—Specially adapted constructive features of fluorimeters using evanescent coupling or surface plasmon coupling for the excitation of fluorescence
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24479—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including variation in thickness
- Y10T428/24612—Composite web or sheet
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
本実施の形態に係る構造体を構成する材料は特に限定されるものではなく、無機材料であっても、有機材料であってもよく、またこれらの混合物であってもよい。さらに本実施の形態に係る構造体は、刺激応答性材料(例えば光応答性材料、熱応答性材料等)からなるものであってもよい。
無機材料としては、シリコン(結晶、多結晶、非晶)、カーボン(結晶、アモルファス)、窒化物、半導体材料などが挙げられる。これら無機材料は微粒子を焼結させたものでも構わない。
有機材料としては、汎用高分子、エンジニアリングプラスチック、スーパーエンジニアリングプラスチックや液晶化合物などが挙げられる(混合物でも良いし、架橋構造を有するなど二次構造、三次構造を制御されたものでも構わない)。これら有機材料の中には、外部刺激に応じて物性や形状を変化させる刺激応答性材料がある。
刺激応答性材料とは、外部刺激に応答して分子鎖が運動性を有する材料であり、具体的には熱応答性材料および光応答性材料が挙げられる。
上記熱応答性材料とは、熱刺激により材料を構成する分子鎖が激しく運動性を有する材料である。熱刺激に対して、材料が流動性を示したり、軟化したり変形する材料である。具体的には、ポリスチレンやポリメチルメタクリレートに代表されるようなアクリル系材料などの非晶性材料、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレートやアイソタクチックポリスチレン等の結晶性材料、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂などが使用できる。また、スチレン−メタクリレート共重合体(ブロック共重合体、ランダム共重合体など)などの共重合体を用いることもできる。またこれらの材料を併用しても良い。
上記光応答性材料とは、光照射により物質移動が起こる材料であり、より具体的には照射部の光の明部及び暗部に沿って物質移動現象を生じる材料である。
Σ|σ|≦|σ1 |+|σ2 | …(1)
(上記式において、σはハメット則における置換基定数、σ1 はシアノ基の置換基定数、σ2 はアミノ基の置換基定数である。)
が成立する条件下で、上記電子供与性置換基と電子吸引性置換基とを備えることが好ましい。これにより、蛍光分析用の蛍光色素における蛍光ピーク波長よりも短い波長域に光吸収波長の長波長側のカットオフ波長があるように制御した色素構造を含み得る。これにより、正確な測定を行うことができる。
4−イソプロペニルフェノール(y)と、
4’−[N−エチル−N−(4−イソプロペニルフェノキシエチル)アミノ]−4’’−ニトロアゾベンゼン(x)とのコポリマー(x:y:z=0.43:0.07:0.50)(参考文献:Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol.488 (1998), pp.813-818, “Synthesis of High-Tg Azo polymer and the optimization of its poling condition for stable EO system”、特開2006−77239号公報を参照、「PMPD43」と略す場合がある。)や、後述の実施例において使用した、
本実施の形態に係る構造体は、平面部と筒状体とを備え、上記平面部の平面に対して開口部が面するように筒状体が立設されたごとき構造を有する。換言すれば、上記構造体は、地面から煙突が空に向かって伸びたような構造を有している。筒状体の開口部の形状は、円形に限られず、楕円形、方形等であってもよい。
本実施の形態に係る局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップは、上述した構造体が基板上に形成されており、当該構造体の表面の少なくとも一部を覆い且つ当該構造体の構造を反映するように金属層が形成されていることを特徴としている。換言すれば、本実施の形態に係る局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップは、光応答性材料からなる構造体であって、平面部と筒状体とを備え、上記平面部の平面に対して開口部が面するように筒状体が立設されてなり、上記筒状体の開口部の平均内径が5nm以上2,000nm以下の範囲内であり、上記筒状体の開口部の内径Aと、筒状体の平面部に対する高さの中間における内径Bとの比(A/B)が1.00以上1.80以下の範囲内である構造体が基板上に形成されており、当該構造体の表面の少なくとも一部を覆い且つ当該構造体の構造を反映するように金属層が形成されていることを特徴としている。なお、本実施形態に係る局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップにおいて、上述の構造体の説明と共通する事項については「(I)構造体」の項の説明を援用するものとする。
本実施の形態に係る局在型表面プラズモン共鳴センサは、上述した本実施の形態に係る局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップと、上記局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップに光を照射する光源と、上記局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップにおいて反射若しくは透過した光を受光する光検出器とを備えている。
本発明に係る構造体の製造方法は、少なくとも(i)液体塗布工程と、(ii)光照射工程と含む方法である。以下の説明では、(i)液体塗布工程と、(ii)光照射工程と、(iii)構造体の型の製造工程と、(iv)型を用いた構造体の複製工程と、を含む態様について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
上記液体塗布工程は、光応答性材料上に、粒子状物質非含有の液体を塗布する工程である。
光照射工程は、上記液体塗布工程によって液体が塗布された光応答性材料に対して、光を照射する工程である。言い換えれば、粒子状物質非含有の液体(以下、適宜「液体」という)を光応答性材料の表面に塗布した後、液体が乾燥するまでの間に光照射を行う工程である。
本発明に係る構造体の製造方法には、光照射工程の後にコロナ放電処理を行う工程(コロナ放電処理工程)が含まれていても良い。コロナ放電処理を行うことによって、所望の構造体を得ることができる。例えば、コロナ放電処理によって、筒状体の***部分の高さをより高くすることができる。コロナ放電処理方法は一般的なコロナ放電処理方法を用いることができる(例えば、Optics Letters, Vol. 26, No. 1, January 1, 2001, “Diffraction efficiency increase by corona discharge in photoinduced surface relief gratings on an azo polymer film”参照)。また、所望の構造が得られるように、コロナ放電の強さ、処理時間を調節すればよい。
構造体の型の製造工程とは、上記光照射工程により得られた構造体(以下、第一の構造体と記す)の表面を完全に覆うように熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を塗布し、当該熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を硬化後、剥離することによって、第一の構造体の型となる第二の構造体を製造する工程である。
型(第二の構造体)を用いた構造体の複製工程は、上記第二の構造体における第一の構造体の型となる部分に、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を充填し、当該熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を硬化後、剥離することによって、第一の構造体の複製物である第三の構造体を得る工程である。
本実施の形態に係る局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップの製造方法は、本実施の形態に係る構造体の上述の製造方法により構造体を製造する工程と、上記工程で得られた構造体の表面を金属で被覆して上記構造体の形状が反映された形状を有する金属層を形成する工程とを含む。
構造体を製造する工程は、「(IV)構造体の製造方法」で記載した方法により構造体を製造する工程である。よって、この工程の説明は「(IV)構造体の製造方法」の説明を援用することができる。
金属層を形成する工程とは、上記構造体を製造する工程で得られた構造体の表面を金属で被覆して上記構造体の形状が反映された形状を有する金属層を形成する工程である。金属層の形成は、例えば、スパッタリング法、蒸着法等の公知の方法により行うことができる。
以下、図4により、本実施の形態に係る局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップの製造方法の一例について詳細に説明する。ただし本発明はこれに限定されるものではない。なお、以下の説明は構造体の製造方法の実施の形態の説明としても一部参酌され得る。
光応答性材料として、既述のPOT1を用い、当該アゾポリマー誘導体薄膜(厚み100nm)をスピンコート法でガラス基板上に形成した。
透明基板上にスピンコータによって、光応答性材料である実施例1で用いた物と同じアゾポリマー誘導体POT1を50nmの厚みで塗布しアゾポリマー誘導体薄膜を形成した。
実施例2と同様にして構造体の製造を行った。この時に形成された構造体のうち任意に選択された4つの構造体のプロファイルを測定した(実験Lot No.302-1)。
光応答性材料として、既述のPOT1を用い、当該アゾポリマー誘導体薄膜(厚み50nm)を、ガラス基板をクロロホルム溶媒中で1分間超音波洗浄した後に、スピンコート法で当該ガラス基板上に形成した。
実施例4と同様にして得られたセンサチップを用いて血液凝固因子であるフィブリノーゲンの検出を行った。
実施例4と同様にして得られたセンサチップを用いて糖尿病のマーカーであるレプチンの検出を行った。
〔実施例7:アタクチックポリスチレンを用いた場合の構造体および局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップの製造例〕
熱応答性材料としてアタクチックポリスチレン(分子量:2,000g/mol)を用いた。
19 基板
20 金属層
21 直線偏光
22 電界
24 局在型表面プラズモン共鳴センサ(局在SPRセンサ)
25 光源
26 コリメータレンズ
27 コリメータ板
28 ビームスプリッタ
29 分光器
30 局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ(局在SPRセンサ用チップ)
31 データ処理装置
32 測定領域
33 光検出器
34 局在型表面プラズモン共鳴センサ(局在SPRセンサ)
45 筒状体
46 透明基板(基板)
48 光応答性材料層
49 筒状体を有する基板(構造体、第一の構造体)
50 熱硬化性樹脂基板(構造体の型、第二の構造体)
51 透明基板(第三の構造体)
52 金属層
53 センサ用チップ
Claims (21)
- 平面部と筒状体とを備え、
上記平面部の平面に対して開口部が面するように筒状体が立設されてなり、
上記筒状体の開口部の平均内径が5nm以上2,000nm以下の範囲内であり、且つ
上記筒状体の開口部の内径よりも上記筒状体の底部の内径が大きくなっており、
上記筒状体の底部が非球面であり、
上記平面部および上記筒状体の表面の少なくとも一部を覆い且つ当該表面の構造を反映するように金属層が形成されていることを特徴とする構造体。 - 平面部と筒状体とを備え、
上記平面部の平面に対して開口部が面するように筒状体が立設されてなり、
上記筒状体の開口部の平均内径が5nm以上2,000nm以下の範囲内であり、且つ
上記筒状体の開口部の内径Aと、上記筒状体の開口部からの深さの中間点における内径Bとの比(A/B)が1.00以上1.80以下の範囲内であり、
上記内径Aおよび内径Bは原子間力顕微鏡で測定された値であり、
上記筒状体の底部が非球面であり、
光照射によって物質移動が起こる光応答性材料からなり、
上記平面部および上記筒状体の表面の少なくとも一部を覆い且つ当該表面の構造を反映するように金属層が形成されていることを特徴とする構造体。 - 上記筒状体の開口部の平均内径が200nm以上500nm以下の範囲内であることを特徴とする請求項1または2に記載の構造体。
- 上記(A/B)が1.00以上1.50以下の範囲内であることを特徴とする請求項2に記載の構造体。
- 上記筒状体の平面部における分散密度は、100μm四方当たり1個以上50万個以下の範囲内であることを特徴とする、請求項1ないし4のいずれか1項に記載の構造体。
- 上記光応答性材料は、アゾポリマー誘導体を含むことを特徴とする、請求項2に記載の構造体。
- 上記光応答性材料は、アゾベンゼン基を主鎖及び/又は側鎖に有するアゾポリマー誘導体であることを特徴とする、請求項2に記載の構造体。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の構造体が基板上に形成されていることを特徴とする局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ。
- 上記金属層の厚さが10nm以上500nm以下の範囲内であることを特徴とする、請求項8に記載の局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ。
- 上記金属層の表面に、生体分子を固定化するための有機分子層が形成されていることを特徴とする、請求項8又は9に記載の局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ。
- 上記有機分子層は、金属層表面からの長さが50nm以上200nm以下の分子と、金属層表面からの長さが1nm以上50nm未満の分子とを含むことを特徴とする、請求項10に記載の局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ。
- 上記金属層は、Au、Ag、又はこれらの合金からなることを特徴とする、請求項8〜11の何れか1項に記載の局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ。
- 請求項8〜12の何れか1項に記載の局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップと、
上記局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップに光を照射する光源と、
上記局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップにおいて反射若しくは透過した光を受光する光検出器と、
を備えることを特徴とする局在型表面プラズモン共鳴センサ。 - 上記局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップの表面に対して、2種類以上の波長の光を垂直に入射させ、当該局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップで反射した各波長の光の反射率、当該局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップを透過した各波長の透過率、又はこれら反射若しくは透過した各波長の光強度を上記光検出器で測定することを特徴とする、請求項13に記載の局在型表面プラズモン共鳴センサ。
- 光照射によって物質移動が起こる光応答性材料の溶液を基板上に塗布する、光応答性材料膜形成工程と、
光応答性材料膜形成工程後の光応答性材料をアニーリングする工程と、
アニーリング後の光応答性材料上に、粒子状物質非含有の液体を塗布する液体塗布工程と、
上記液体塗布工程によって液体が塗布された光応答性材料に対して光を照射し、当該光応答性材料を物質移動させる光照射工程と、
を含むことを特徴とする、構造体の製造方法。 - 上記液体塗布工程と上記光照射工程との間に、液体塗布工程によって光応答性材料上に塗布された液体が完全に蒸発しない程度に乾燥させる乾燥工程を含むことを特徴とする、請求項15に記載の構造体の製造方法。
- 上記液体が、水、アルコール、および光応答性材料を溶解する有機溶媒からなる群から選択される少なくとも1つであることを特徴とする、請求項15または16に記載の構造体の製造方法。
- (i)請求項15〜17のいずれか1項に記載の構造体の製造方法によって第一の構造体を製造し、
(ii)上記第一の構造体の表面を完全に覆うように熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を塗布し、当該熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を硬化後、剥離することによって、第一の構造体の型となる第二の構造体を製造し、
(iii)上記第二の構造体における第一の構造体の型となる部分に、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を充填し、当該熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂を硬化後、剥離することによって、第一の構造体の複製物である第三の構造体を得ることを特徴とする、構造体の製造方法。 - 上記(iii)の工程を複数回行うことを特徴とする、請求項18の構造体の製造方法。
- 請求項15〜19の何れか1項に記載の構造体の製造方法により構造体を製造する工程と、
上記工程で得られた構造体の表面を金属で被覆して上記構造体の形状が反映された形状を有する金属層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップの製造方法。 - 請求項15又は16に記載の構造体の製造方法により製造されることを特徴とする構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012508031A JP5657645B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-12-08 | 構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ、及び局在型表面プラズモン共鳴センサ、並びにこれらの製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010083684 | 2010-03-31 | ||
JP2010083684 | 2010-03-31 | ||
JP2012508031A JP5657645B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-12-08 | 構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ、及び局在型表面プラズモン共鳴センサ、並びにこれらの製造方法 |
PCT/JP2010/072055 WO2011121857A1 (ja) | 2010-03-31 | 2010-12-08 | 構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ、及び局在型表面プラズモン共鳴センサ、並びにこれらの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014239362A Division JP5899298B2 (ja) | 2010-03-31 | 2014-11-26 | 局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ及び局在型表面プラズモン共鳴センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011121857A1 JPWO2011121857A1 (ja) | 2013-07-04 |
JP5657645B2 true JP5657645B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=44711630
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012508031A Active JP5657645B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-12-08 | 構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ、及び局在型表面プラズモン共鳴センサ、並びにこれらの製造方法 |
JP2014239362A Expired - Fee Related JP5899298B2 (ja) | 2010-03-31 | 2014-11-26 | 局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ及び局在型表面プラズモン共鳴センサ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014239362A Expired - Fee Related JP5899298B2 (ja) | 2010-03-31 | 2014-11-26 | 局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ及び局在型表面プラズモン共鳴センサ |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130003070A1 (ja) |
EP (1) | EP2554973A4 (ja) |
JP (2) | JP5657645B2 (ja) |
KR (1) | KR20130062274A (ja) |
CN (1) | CN102884414B (ja) |
AU (1) | AU2010349617A1 (ja) |
BR (1) | BR112012024411A2 (ja) |
CA (1) | CA2792756A1 (ja) |
MX (1) | MX2012011301A (ja) |
RU (1) | RU2012146332A (ja) |
SG (1) | SG184007A1 (ja) |
WO (1) | WO2011121857A1 (ja) |
ZA (1) | ZA201206951B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105277514A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-01-27 | 厦门大学 | 可见光折射率传感器及其加工方法 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5945192B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2016-07-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 表面増強ラマン散乱ユニット |
WO2014025037A1 (ja) | 2012-08-10 | 2014-02-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 表面増強ラマン散乱素子及びその製造方法 |
JP6058313B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2017-01-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 表面増強ラマン散乱ユニット |
WO2014025035A1 (ja) | 2012-08-10 | 2014-02-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 表面増強ラマン散乱素子 |
WO2014168237A1 (ja) * | 2013-04-12 | 2014-10-16 | 株式会社カネカ | 構造体の複製方法及び当該複製方法を含む局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップの製造方法、並びに、構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ及び局在型表面プラズモン共鳴センサ |
EP3084523B1 (en) * | 2013-12-19 | 2019-07-03 | Illumina, Inc. | Substrates comprising nano-patterning surfaces and methods of preparing thereof |
CN103926222B (zh) * | 2014-04-15 | 2016-04-20 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 一种小型化低功耗的生物芯片检测装置 |
WO2015161136A1 (en) | 2014-04-17 | 2015-10-22 | Femtometrix, Inc. | Wafer metrology technologies |
US10001439B2 (en) | 2014-08-04 | 2018-06-19 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Localized surface plasmon resonance sensing chip and localized surface plasmon resonance sensing system |
US10551325B2 (en) | 2014-11-12 | 2020-02-04 | Femtometrix, Inc. | Systems for parsing material properties from within SHG signals |
KR101698667B1 (ko) * | 2015-04-03 | 2017-01-20 | 아주대학교산학협력단 | 변색 센서 및 이의 제조 방법 |
CN108369186B (zh) | 2015-09-03 | 2022-05-27 | 加州理工学院 | 表征高k介质的光学***以及方法 |
TWI649259B (zh) * | 2016-12-05 | 2019-02-01 | 中央研究院 | 寬頻超穎光學裝置 |
US10212776B2 (en) * | 2016-12-28 | 2019-02-19 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Light receiving device and light emitting and receiving device |
JP6926731B2 (ja) | 2017-06-30 | 2021-08-25 | コニカミノルタ株式会社 | 検出チップ、検出キット、検出システムおよび被検出物質の検出方法 |
WO2019210229A1 (en) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | SK Hynix Inc. | Field-biased nonlinear optical metrology using corona discharge source |
EP3794335A4 (en) | 2018-05-15 | 2022-03-02 | Femtometrix, Inc. | SECOND HARMONIC GENERATION (SHG) OPTICAL INSPECTION SYSTEM DESIGNS |
CN111272666B (zh) * | 2020-02-27 | 2022-01-25 | 电子科技大学 | 一种基于磁光表面等离激元共振的生物蛋白传感器 |
WO2022020725A1 (en) * | 2020-07-24 | 2022-01-27 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | Development of a biosensor device using localized surface plasmon resonance (lspr) |
CN112420466B (zh) * | 2020-10-29 | 2021-11-19 | 清华大学 | 表面等离激元诱导的电子发射源 |
CA3210240C (en) * | 2021-03-08 | 2024-06-25 | Udayan Kanade | System and method for finding the peak wavelength of the spectrum sensed by an lspr spectrometer |
CN114166799A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-03-11 | 大连海事大学 | 一种基于非对称纳米结构完美吸收体的折射率传感器、传感测试装置及方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004235391A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | エッチング装置、エッチング方法および半導体装置の製造方法 |
JP2005081465A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Sony Corp | 微細構造体の製造方法および微細構造体、表示装置、ならびに記録装置の製造方法および記録装置 |
WO2005093775A1 (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 炭素系材料突起の形成方法及び炭素系材料突起 |
JP2005305634A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-11-04 | Fujitsu Ltd | ナノホール構造体及びその製造方法、スタンパ及びその製造方法、磁気記録媒体及びその製造方法、並びに、磁気記録装置及び磁気記録方法 |
JP2007080966A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Tosoh Corp | 酸化ハフニウム用エッチング組成物 |
JP2007538264A (ja) * | 2004-05-19 | 2007-12-27 | ブィピー ホールディング、エルエルシー | Sersによる化学基の増強検出のための層状プラズモン構造をもつ光センサ |
JP2008128893A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Canon Inc | 検知素子、該検知素子を用いた標的物質検知装置及び標的物質を検知する方法 |
JP2008170241A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光固定化用固相担体及びその製造方法 |
JP2008216055A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Omron Corp | 表面プラズモン共鳴センサ及び当該センサ用チップ |
JP2009508325A (ja) * | 2005-08-26 | 2009-02-26 | スモルテック エービー | ナノ構造体に基づく相互接続および熱の散逸体 |
JP2009065853A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Toyota Central R&D Labs Inc | 固相材料及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7951922B2 (en) | 2004-08-13 | 2011-05-31 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Photoresponsive heterocyclic azo compound, method for producing the same, and optical information recording medium |
US8049896B2 (en) * | 2007-05-31 | 2011-11-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Detecting element, detecting device, and method of producing the detecting element |
JP2009133787A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Kaneka Corp | 局在プラズモン共鳴センサーユニット、およびその製造方法 |
WO2010011939A2 (en) * | 2008-07-25 | 2010-01-28 | Life Bioscience, Inc. | Assay plates, methods and systems having one or more etched features |
WO2010088585A1 (en) * | 2009-01-30 | 2010-08-05 | Trustees Of Boston University | Chemical/biological sensor employing scattered chromatic components in nano-patterned aperiodic surfaces |
WO2010140616A1 (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-09 | 株式会社カネカ | 構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ、及び局在型表面プラズモン共鳴センサ |
-
2010
- 2010-12-08 AU AU2010349617A patent/AU2010349617A1/en not_active Abandoned
- 2010-12-08 EP EP10849027.7A patent/EP2554973A4/en not_active Withdrawn
- 2010-12-08 RU RU2012146332/28A patent/RU2012146332A/ru unknown
- 2010-12-08 US US13/636,597 patent/US20130003070A1/en not_active Abandoned
- 2010-12-08 CN CN201080065629.4A patent/CN102884414B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-08 SG SG2012067260A patent/SG184007A1/en unknown
- 2010-12-08 BR BR112012024411A patent/BR112012024411A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2010-12-08 WO PCT/JP2010/072055 patent/WO2011121857A1/ja active Application Filing
- 2010-12-08 JP JP2012508031A patent/JP5657645B2/ja active Active
- 2010-12-08 CA CA2792756A patent/CA2792756A1/en not_active Abandoned
- 2010-12-08 MX MX2012011301A patent/MX2012011301A/es not_active Application Discontinuation
- 2010-12-08 KR KR1020127027586A patent/KR20130062274A/ko not_active Application Discontinuation
-
2012
- 2012-09-17 ZA ZA2012/06951A patent/ZA201206951B/en unknown
-
2014
- 2014-11-26 JP JP2014239362A patent/JP5899298B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004235391A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | エッチング装置、エッチング方法および半導体装置の製造方法 |
JP2005081465A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Sony Corp | 微細構造体の製造方法および微細構造体、表示装置、ならびに記録装置の製造方法および記録装置 |
JP2005305634A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-11-04 | Fujitsu Ltd | ナノホール構造体及びその製造方法、スタンパ及びその製造方法、磁気記録媒体及びその製造方法、並びに、磁気記録装置及び磁気記録方法 |
WO2005093775A1 (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 炭素系材料突起の形成方法及び炭素系材料突起 |
JP2007538264A (ja) * | 2004-05-19 | 2007-12-27 | ブィピー ホールディング、エルエルシー | Sersによる化学基の増強検出のための層状プラズモン構造をもつ光センサ |
JP2009508325A (ja) * | 2005-08-26 | 2009-02-26 | スモルテック エービー | ナノ構造体に基づく相互接続および熱の散逸体 |
JP2007080966A (ja) * | 2005-09-12 | 2007-03-29 | Tosoh Corp | 酸化ハフニウム用エッチング組成物 |
JP2008128893A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Canon Inc | 検知素子、該検知素子を用いた標的物質検知装置及び標的物質を検知する方法 |
JP2008170241A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光固定化用固相担体及びその製造方法 |
JP2008216055A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Omron Corp | 表面プラズモン共鳴センサ及び当該センサ用チップ |
JP2009065853A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Toyota Central R&D Labs Inc | 固相材料及びその製造方法 |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
JPN6011000209; 和田 健二 他: '"アルミニウム陽極酸化法とゾルゲル法によるガラス基板上多機能三次元ナノ構造体"' 軽金属 Vol.54, No.11, 2004, pp.579-585 * |
JPN6014029290; LAMBETH,R.H. 他: '"Proximity field nanopatterning of azopolymer thin films"' NANOTECHNOLOGY Volume 21, 20100326, Article 165301, 6 Pages * |
JPN6014029291; LI,J. 他: '"Highly ordered microporous films containing a polyolefin segment fabricated by the breath-figure m' Polymer Chemistry Volume 1, Issue 2, 20091211, Pages 164-167 * |
JPN6014029292; ICHIMURA,K. 他: '"Surface-assisted formation of anisotropic dye molecular films"' Thin Solid Films Volumes 284-285, 1996, Pages 557-560 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105277514A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-01-27 | 厦门大学 | 可见光折射率传感器及其加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG184007A1 (en) | 2012-10-30 |
JP5899298B2 (ja) | 2016-04-06 |
ZA201206951B (en) | 2013-05-29 |
EP2554973A4 (en) | 2014-04-02 |
MX2012011301A (es) | 2012-10-15 |
WO2011121857A1 (ja) | 2011-10-06 |
CN102884414A (zh) | 2013-01-16 |
AU2010349617A1 (en) | 2012-10-04 |
BR112012024411A2 (pt) | 2016-05-31 |
RU2012146332A (ru) | 2014-05-10 |
CA2792756A1 (en) | 2011-10-06 |
KR20130062274A (ko) | 2013-06-12 |
EP2554973A1 (en) | 2013-02-06 |
JP2015038515A (ja) | 2015-02-26 |
US20130003070A1 (en) | 2013-01-03 |
JPWO2011121857A1 (ja) | 2013-07-04 |
CN102884414B (zh) | 2016-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5899298B2 (ja) | 局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ及び局在型表面プラズモン共鳴センサ | |
Ruemmele et al. | A localized surface plasmon resonance imaging instrument for multiplexed biosensing | |
Nair et al. | Crossed surface relief gratings as nanoplasmonic biosensors | |
Yavas et al. | Unravelling the role of electric and magnetic dipoles in biosensing with Si nanoresonators | |
JP7202661B2 (ja) | メタマテリアル構造体および屈折率センサ | |
JP5438106B2 (ja) | 構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ、及び局在型表面プラズモン共鳴センサ | |
Ahmed et al. | Large-scale functionalized metasurface-based SARS-CoV-2 detection and quantification | |
Chen et al. | Fluorescence-based optical sensor design for molecularly imprinted polymers | |
Kotlarek et al. | Actuated plasmonic nanohole arrays for sensing and optical spectroscopy applications | |
JP2007514136A (ja) | 光アドレス可能なポリマーに基づく層構造体及び光導波路センサー | |
Stewart et al. | Multispectral thin film biosensing and quantitative imaging using 3D plasmonic crystals | |
Rastogi et al. | Engineering electromagnetic hot-spots in nanoparticle cluster arrays on reflective substrates for highly sensitive detection of (bio) molecular analytes | |
Chowdhury et al. | Large-area microfluidic sensors based on flat-optics Au nanostripe metasurfaces | |
Petefish et al. | Angle-tunable enhanced infrared reflection absorption spectroscopy via grating-coupled surface plasmon resonance | |
Urbancova et al. | 2D polymer/metal structures for surface plasmon resonance | |
Spagnoli et al. | Method for determining the polymer content in nonsoluble polydiacetylene films: application to pentacosadiynoic acid | |
Lopez-Muñoz et al. | Plasmonic nanocrystals on polycarbonate substrates for direct and label-free biodetection of Interleukin-6 in bioengineered 3D skeletal muscles | |
Leordean et al. | Easy and cheap fabrication of ordered pyramidal-shaped plasmonic substrates for detection and quantitative analysis using surface-enhanced Raman spectroscopy | |
Wang et al. | Microspheres on a silver film over nanoparticle arrays as optoplasmonic hybrid materials for surface-enhanced Raman spectroscopy | |
WO2014168237A1 (ja) | 構造体の複製方法及び当該複製方法を含む局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップの製造方法、並びに、構造体、局在型表面プラズモン共鳴センサ用チップ及び局在型表面プラズモン共鳴センサ | |
US20100159616A1 (en) | Bio-Chip of Pattern-Arranged in Line, Method for Manufacturing the Same, and Method for Detecting an Analyte Bound in the Same | |
US20220187535A1 (en) | Photonic crystal device and spectroscopic system comprising the same, detection kit and system that detects analyte, and method for manufacturing photonic crystal device | |
Zhang et al. | Thermally responsive hydrogel films studied by surface plasmon diffraction | |
WO2012079018A2 (en) | Surface plasmon sensors and methods for producing the same | |
Park et al. | Rigiflex lithography-based nanodot arrays for localized surface plasmon resonance biosensors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140317 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20140317 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20140401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140408 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140722 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140917 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141028 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5657645 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |