JP5505223B2 - 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの作製方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及び画像形成装置 - Google Patents
液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの作製方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及び画像形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5505223B2 JP5505223B2 JP2010207611A JP2010207611A JP5505223B2 JP 5505223 B2 JP5505223 B2 JP 5505223B2 JP 2010207611 A JP2010207611 A JP 2010207611A JP 2010207611 A JP2010207611 A JP 2010207611A JP 5505223 B2 JP5505223 B2 JP 5505223B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid chamber
- chamber substrate
- driver
- discharge head
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
[1]:複数のノズル穴が形成されたノズル基板と、前記ノズル基板の各ノズル穴に対応する複数の圧力室と該圧力室の一辺を成す振動板とアクチュエータとが設けられた個別液室基板と、前記個別液室基板の各アクチュエータを駆動するための駆動信号を出力するドライバICと、前記個別液室基板の各圧力室に液滴を供給するインク供給口と共通液室とが設けられ前記個別液室基板と接合される共通液室基板とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記ドライバICの出力端子が、前記個別液室基板の各アクチュエータから引き出された入力端子にバンプ接合されており、前記ドライバICが前記個別液室基板の前記振動板上にオーバーハングして設置されていることを特徴とする(請求項1)。
[2]:[1]に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記共通液室基板には、前記個別液室基板上に設置された前記ドライバICが収納される凹部を設けたことを特徴とする(請求項2)。
[3]:[1]または[2]に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ドライバICの前記個別液室基板に対する面が、前記個別液室基板にダミーバンプによって接合されていることを特徴とする(請求項3)。
[4]:[1]乃至[3]の何れか一つに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ドライバICの前記個別液室基板に対する面以外の面が、充填剤により前記共通液室基板に接合されていることを特徴とする(請求項4)。
[5]:[4]に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記充填剤として熱伝導率の高い材料を用いたことを特徴とする(請求項5)。
[7]:[6]に記載の液滴吐出ヘッドの作製方法において、前記ドライバICの出力端子を、前記個別液室基板の各アクチュエータから引き出された入力端子にバンプ接合する際に、前記ドライバICの前記個別液室基板に対する面を、前記個別液室基板にダミーバンプによって接合することを特徴とする。
[8]:[6]または[7]に記載の液滴吐出ヘッドの作製方法において、前記共通液室基板を前記個別液室基板に接合する前に、前記ドライバICの前記共通液室基板の凹部と対向する面、もしくは前記共通液室基板の前記凹部内面の少なくとも一方に充填剤を塗布しておき、前記共通液室基板の前記凹部内に前記ドライバICが収まるように位置合わせして前記共通液室基板を前記個別液室基板に接合することにより、前記ドライバICの前記個別液室基板に対する面以外の面を、前記充填剤により前記共通液室基板に接合することを特徴とする(請求項8)。
[9]:液滴吐出ヘッドであって、[6]乃至[8]の何れか一つに記載の液滴吐出ヘッドの作製方法で作製され、前記ドライバICの出力端子が、前記個別液室基板の各アクチュエータから引き出された入力端子にバンプ接合され、前記ドライバICが前記個別液室基板の前記振動板上にオーバーハングして設置されているとともに、前記共通液室基板に設けた凹部に前記ドライバICが収納されている構造を有することを特徴とする(請求項9)。
[11]:液体吐出ヘッドから液滴を吐出させて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置において、前記液滴吐出ヘッドとして、[1]乃至[5]、[9]の何れか一つに記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする(請求項11)。
[12]:インクカートリッジのヘッド部から液滴を吐出させて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置において、前記インクカートリッジとして、[10]に記載のインクカートリッジを備えたことを特徴とする(請求項12)。
[13]:画像形成装置であって、[11]または[12]に記載のインクジェット記録装置を画像形成部に備えたことを特徴とする(請求項13)。
また、液滴吐出ヘッドのチップサイズの小型化により、インクジェット記録装置に搭載した際に印字速度を向上させることができる。さらに、ドライバICと個別液室が近接していることからドライバICの発熱を放熱する効果が得られる。
また、本発明の液滴吐出ヘッドでは、上記の構成に加えて、ドライバICをダミーバンプにより個別液室基板に固定することで、ドライバICのふらつきを抑えることができ、電気的接続の信頼性の向上を図ることができる。
さらに本発明の液滴吐出ヘッドでは、上記の構成に加え、ドライバICを充填剤により共通液室基板に固定することで、ドライバICのふらつきや振動を抑えることができ、電気的接続の信頼性向上をさらに図ることができる。
以下、本発明の具体的な実施例を図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明の実施例1にかかる液滴吐出ヘッドの個別液室基板を真上から見た要部平面図である。図中のY−Y’線方向が記録時の主走査方向、X−X’線方向が副走査方向である。図2は図1の液滴吐出ヘッドのY−Y’線に沿った断面図である。図3は図1の液滴吐出ヘッドのX−X’線に沿った断面図である。
図1〜図3に示す液滴吐出ヘッド1000は、ノズル基板(以下、ノズル板と言う)3に設けたノズル穴30から液滴を吐出するサイドシュータータイプのものであり、圧電型アクチュエータ26により駆動される方式のものである。
個別電極24は圧電型アクチュエータ26から図1のように引き出されてドライバIC4の接続端子(図示せず)とバンプ接合40により電気的に接続される。このとき本実施例では、図2に示すようにドライバIC4が振動板20上にオーバーハングしている構造となっている。
そこで、そのような場合には、図5(a)に示すように、電気的接続に必要なバンプ40とは別の箇所にダミーのバンプ(ダミーバンプ)42を設け、ドライバIC4の個別液室基板2に対する面を、個別電極基板2に接合する。具体的には、例えば図5(b)に示すように、ドライバIC4の個別液室基板2に対する面の4隅をダミーバンプ42で個別電極基板2に接合する。このようにすることにより、ドライバIC4のふらつきを確実に抑えることができる。
本実施例を、図4をもとに説明する。図4は図1のX−X’線に沿った断面構造の液滴吐出ヘッドの作製工程を示すフロー図である。
本実施例においては個別液室基板2を構成するシリコン基板に振動板材料及び圧電素子材料を成膜していくことでアクチュエータを作成していく。
まず、図4(a)に示すように、厚み250μmの<100>シリコン基板の表面にシリコン酸化膜を0.5μm及びシリコンを1.0μmを張り合わせたSOI(Silicon On Insulator)基板2を用いる。このSOI基板2の表面にパイロ酸化法によりシリコン酸化膜を0.6μm成膜する。
その後、図4(b)に示すように、圧電素子の共通電極23となるPt層をスパッタ法により0.1μm成膜し、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術を用いたパターニング法(以下、リソエッチ法と言う)により、共通電極23層のパターニングを行なう。更にスパッタ法により圧電素子の圧電材層25、個別電極24をそれぞれ1.0μm、0.1μmづつ成膜した後、リソエッチ法により両方の膜を同じマスクでパターニングし、図4(c)に示すように、SOI基板2上の圧力室に対応する部分に圧電素子部(圧電型アクチュエータ)26を形成する。
なお、ノズル基板3は<110>シリコン基板をTMAH、KOHなどのアルカリエッチング液を用いたウェットエッチングにより加工したものでも良いし、樹脂モールドやメタルインジェクションモールドなどの成型部品で代用しても構わない。
そして、別途用意したドライバIC4の出力端子を、図2のように、個別液室基板2の各アクチュエータ(圧電素子部)26の個別電極24及び共通電極23から引き出された入力端子に、フリップチップボンディング等によりバンプ接合して、ドライバIC4を個別液室基板2の振動板20上にオーバーハングして設置した後、共通液室基板1の凹部12内にドライバIC4が収まるようにして個別液室基板2との位置合わせをし、図4(f)に示すように、共通液室基板1を個別液室基板2に接合する(図4(f)ではドライバICの図示を省略している)。
以上の作製工程により、図1〜3に示す構成の本実施例の液滴吐出ヘッド1000が完成する。
また、液滴吐出ヘッド1000のチップサイズの小型化により、後述するインクジェット記録装置に搭載した際に印字速度を向上させることができる。さらに、ドライバIC4と個別液室が近接していることからドライバIC4の発熱を放熱する効果が得られる。
また、本実施例の液滴吐出ヘッド1000では、上記の構成に加えて、ドライバIC4をダミーバンプ42により個別液室基板2に固定することで、ドライバIC4のふらつきを抑えることができ、電気的接続の信頼性の向上を図ることができる。
次に図6は、本発明の実施例2にかかる液滴吐出ヘッドの図1のY−Y’線に沿った断面図である。なお、実施例1の図2と同一部分の符号と説明は省略する。
実施例2にかかる液滴吐出ヘッド1000は、ドライバIC4のふらつきを防止するために、ドライバIC4と共通液室基板1の凹部12とを充填剤43を介して接合したものである。
また、ここで用いる充填剤43としては、熱伝導率の高いものであれば、ドライバIC4の熱を充填剤43を介して共通液室基板1から放熱することができ、ドライバIC4の放熱効果をより高めることができる。
なお、熱伝導の良い充填剤の一例としては、シリコーン、ポリエチレン、ポリエステル等の各種樹脂材料やゴム材料に、アルミナやカーボン等を添加したもの等が使用される。
次に、本発明に係るインクカートリッジの実施例について図7を参照して説明する。
このインクカートリッジ60は、ノズル穴30等を有する上記各実施例のいずれかの液滴吐出ヘッドからなるインクジェットヘッド61と、このインクジェットヘッド61に対してインクを供給するインクタンク62とを一体化したものである。
このようにインクジェットヘッドとインクタンク一体型のインクカートリッジ60の場合、インクジェットヘッド61の低コスト化、信頼性向上は、ただちにインクカートリッジ全体の低コスト化、信頼性向上につながるので、上述した実施例1、2のように、インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)の低コスト化、高信頼性化、製造不良低減化をすることで、インクカートリッジ60の歩留まり、信頼性が向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図ることができる。
次に、本発明に係るインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)を搭載したインクジェット記録装置の一実施例について図8及び図9を参照して説明する。なお、図8は同記録装置の内部を透視して示す斜視説明図、図9は同記録装置の機構部の構成説明図である。
このインクジェット記録装置は、記録装置本体81の内部に、主走査方向に移動可能なキャリッジ93、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド94、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ95等で構成される印字機構部82等を収納しており、装置本体81の下方部には前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット(或いは給紙トレイでもよい。)84が抜き差し自在に装着されている。また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができるようになっている。そして、給紙カセット84或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を印字機構部82に取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。
2:個別液室基板(SOI基板)
3:ノズル板(ノズル基板)
4:ドライバIC
10:共通液室
11:貫通穴(インク供給口)
12:凹部
20:振動板
21:圧力室(個別液室)
22:流体抵抗
23:共通電極
24:個別電極
25:圧電素子
26:アクチュエータ
27:隔壁
30:ノズル穴
40:バンプ接合
42:ダミーバンプ
43:充填剤
60:インクカートリッジ
61:インクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)
62:インクタンク
81:装置本体
82:印字機構部
83:用紙(被記録媒体)
84:給紙カセット
85:手差しトレイ
86:排紙トレイ
91:主ガイドロッド
92:従ガイドロッド
93:キャリッジ93
94:記録ヘッド(液滴吐出ヘッド)
95:インクカートリッジ
97:主走査モータ
98:駆動プーリ
99:従動プーリ
100:タイミングベルト
101:給紙ローラ
102:フリクションパッド
103:ガイド部材
104:搬送ローラ
105:搬送コロ
106:先端コロ
107:副走査モータ
109:印写受け部材
111:搬送コロ
112:拍車
113:排紙ローラ
114:拍車
115、116:ガイド部材
117:回復装置
1000:液滴吐出ヘッド
Claims (13)
- 複数のノズル穴が形成されたノズル基板と、前記ノズル基板の各ノズル穴に対応する複数の圧力室と該圧力室の一辺を成す振動板とアクチュエータとが設けられた個別液室基板と、前記個別液室基板の各アクチュエータを駆動するための駆動信号を出力するドライバICと、前記個別液室基板の各圧力室に液滴を供給するインク供給口と共通液室とが設けられ前記個別液室基板と接合される共通液室基板とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ドライバICの出力端子が、前記個別液室基板の各アクチュエータから引き出された入力端子にバンプ接合されており、前記ドライバICが前記個別液室基板の前記振動板上にオーバーハングして設置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記共通液室基板には、前記個別液室基板上に設置された前記ドライバICが収納される凹部を設けたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1または2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ドライバICの前記個別液室基板に対する面が、前記個別液室基板にダミーバンプによって接合されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至3の何れか一つに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記ドライバICの前記個別液室基板に対する面以外の面が、充填剤により前記共通液室基板に接合されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項4に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記充填剤として熱伝導率の高い材料を用いたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 複数のノズル穴が形成されたノズル基板と、前記ノズル基板の各ノズル穴に対応する複数の圧力室と該圧力室の一辺を成す振動板とアクチュエータとが設けられた個別液室基板と、前記個別液室基板の各アクチュエータを駆動するための駆動信号を出力するドライバICと、前記個別液室基板の各圧力室に液滴を供給するインク供給口と共通液室とが設けられ前記個別液室基板と接合される共通液室基板とを備えた液滴吐出ヘッドの作製方法において、
複数のノズル穴を形成したノズル基板と、前記ノズル基板の各ノズル穴に対応する複数の圧力室と該圧力室の一辺を成す振動板とアクチュエータとを設けた個別液室基板とを作製し、前記個別液室基板の前記圧力室が設けられた側に前記ノズル基板を接合するとともに、
前記個別液室基板の各圧力室に液滴を供給するインク供給口となる貫通穴と共通液室とドライバICを収納するための凹部とを設けた共通液室基板を作製し、
前記ドライバICの出力端子を、前記個別液室基板の各アクチュエータから引き出された入力端子にバンプ接合して前記ドライバICを前記個別液室基板の前記振動板上にオーバーハングして設置した後、前記共通液室基板の凹部内に前記ドライバICが収まるようにして前記個別液室基板との位置合わせをし、前記共通液室基板を前記個別液室基板に接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの作製方法。 - 請求項6に記載の液滴吐出ヘッドの作製方法において、
前記ドライバICの出力端子を、前記個別液室基板の各アクチュエータから引き出された入力端子にバンプ接合する際に、前記ドライバICの前記個別液室基板に対する面を、前記個別液室基板にダミーバンプによって接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの作製方法。 - 請求項6または7に記載の液滴吐出ヘッドの作製方法において、
前記共通液室基板を前記個別液室基板に接合する前に、前記ドライバICの前記共通液室基板の凹部と対向する面、もしくは前記共通液室基板の前記凹部内面の少なくとも一方に充填剤を塗布しておき、前記共通液室基板の前記凹部内に前記ドライバICが収まるように位置合わせして前記共通液室基板を前記個別液室基板に接合することにより、前記ドライバICの前記個別液室基板に対する面以外の面を、前記充填剤により前記共通液室基板に接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの作製方法。 - 請求項6乃至8の何れか一つに記載の液滴吐出ヘッドの作製方法で作製され、前記ドライバICの出力端子が、前記個別液室基板の各アクチュエータから引き出された入力端子にバンプ接合され、前記ドライバICが前記個別液室基板の前記振動板上にオーバーハングして設置されているとともに、前記共通液室基板に設けた凹部に前記ドライバICが収納されている構造を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- インク滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンクとを一体化したインクカートリッジにおいて、
前記液滴吐出ヘッドとして、請求項1乃至5、請求項9の何れか一つに記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とするインクカートリッジ。 - 液体吐出ヘッドから液滴を吐出させて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置において、
前記液滴吐出ヘッドとして、請求項1乃至5、請求項9の何れか一つに記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。 - インクカートリッジのヘッド部から液滴を吐出させて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置において、
前記インクカートリッジとして、請求項10に記載のインクカートリッジを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。 - 請求項11または12に記載のインクジェット記録装置を画像形成部に備えたことを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010207611A JP5505223B2 (ja) | 2010-09-16 | 2010-09-16 | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの作製方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及び画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010207611A JP5505223B2 (ja) | 2010-09-16 | 2010-09-16 | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの作製方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及び画像形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012061715A JP2012061715A (ja) | 2012-03-29 |
JP5505223B2 true JP5505223B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=46057942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010207611A Expired - Fee Related JP5505223B2 (ja) | 2010-09-16 | 2010-09-16 | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの作製方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及び画像形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5505223B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3613302B2 (ja) * | 1995-07-26 | 2005-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
JP3415789B2 (ja) * | 1999-06-10 | 2003-06-09 | 松下電器産業株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ |
JP3714073B2 (ja) * | 1999-12-15 | 2005-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド |
JP2002103602A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-09 | Seiko Epson Corp | インクジェット式プリントヘッド及びインクジェット式プリンタ |
JP2006088611A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置並びに液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2007050522A (ja) * | 2005-08-15 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置並びに液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP4687410B2 (ja) * | 2005-11-15 | 2011-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | デバイス実装構造、及び液滴吐出ヘッド |
JP2007260944A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド |
-
2010
- 2010-09-16 JP JP2010207611A patent/JP5505223B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012061715A (ja) | 2012-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013022848A (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置 | |
JP5936094B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 | |
JP2003250281A (ja) | 積層型圧電素子及びその製造方法、圧電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド並びにインクジェット記録装置 | |
JP5375555B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP2012051236A (ja) | 液滴吐出ヘッド | |
JP2012254531A (ja) | ノズル板、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ、液滴吐出記録装置、およびノズル板の製造方法 | |
US7926919B2 (en) | Liquid discharging head and an image formation apparatus | |
JP2017193128A (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、および液体を吐出する装置 | |
JP5958795B2 (ja) | インクジェットヘッド及び画像形成装置 | |
JP2012061716A (ja) | インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置及び画像形成装置 | |
JP5505223B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの作製方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置及び画像形成装置 | |
JP2013163341A (ja) | 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジおよび画像形成装置 | |
JP6124108B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 | |
JP4668020B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP4222881B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP3909746B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP2003094649A (ja) | 液滴吐出ヘッド | |
JP2003011368A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP4527466B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
JP2003094651A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2003062997A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びヘッド駆動装置 | |
JP6701784B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 | |
JP2004082517A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP4111726B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置 | |
JP2004114315A (ja) | 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130813 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140303 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5505223 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |