JP5476901B2 - 圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータ - Google Patents
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Description
以下、本発明の好適な第1実施形態について説明する。図1に示すように、プリンタ1は、キャリッジ2、インクジェットヘッド3、用紙搬送ローラ4などを備えている。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態は、第1実施形態とは、共通電極の形成されている領域、すなわち共通電極形成工程が異なっているだけで、それ以外の構成は第1実施形態と同様である。なお、第1実施形態と同様なものについては、同符号で示し説明を省略する。
3 インクジェットヘッド
10 圧力室
31 流路ユニット
32 圧電アクチュエータ
40 振動板
41 拡散防止層
42 共通電極
44 個別電極
43 圧電層
47 引出電極
43b 高導電領域
Claims (8)
- 金属材料からなる振動板の一表面の一部領域に、拡散防止層を形成する拡散防止層形成工程と、
前記拡散防止層の前記振動板と反対側の面及び前記振動板の前記一表面にまたがって、第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記第1電極の前記拡散防止層と反対側の面及び前記拡散防止層が設けられていない前記振動板の前記一表面にまたがって、圧電層を形成する圧電層形成工程と、
前記圧電層の前記振動板と反対側の面における平面視で前記第1電極の前記拡散防止層上に形成された領域と重なる領域に、第2電極を形成する第2電極形成工程と、
前記圧電層の前記振動板と反対側の面における平面視で少なくとも前記拡散防止層と重ならない領域であり且つ前記第2電極を形成する領域と離隔した領域に、引出電極を形成する引出電極形成工程と、
前記圧電層形成工程の後において、前記圧電層及び前記振動板を加熱して、前記振動板を形成する金属材料の金属原子を前記圧電層に拡散させる加熱工程と、を備えており、
前記加熱工程は、前記振動板を形成する金属材料の金属原子を前記圧電層に拡散させることで、前記圧電層の平面視で前記拡散防止層と重ならない領域における、前記振動板と当接した表面と、前記振動板と反対側の面とを電気的に導通させて、前記第1電極と前記引出電極とを導通させることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 金属材料からなる振動板の一表面の一部領域に、拡散防止層を形成する拡散防止層形成工程と、
前記拡散防止層の前記振動板と反対側の面に、前記拡散防止層の外縁の少なくとも一部に沿った端面を有する第1電極を形成する第1電極形成工程と、
前記第1電極の前記拡散防止層と反対側の面及び前記拡散防止層が設けられていない前記振動板の前記一表面にまたがって、圧電層を形成する圧電層形成工程と、
前記圧電層の前記振動板と反対側の面における平面視で前記第1電極の前記拡散防止層上に形成された領域と重なる領域に、第2電極を形成する第2電極形成工程と、
前記圧電層の前記振動板と反対側の面における平面視で少なくとも前記拡散防止層と重ならない領域であり且つ前記第2電極を形成する領域と離隔した領域に、引出電極を形成する引出電極形成工程と、
前記圧電層形成工程の後において、前記圧電層及び前記振動板を加熱して、前記振動板を形成する金属材料の金属原子を前記圧電層に拡散させる加熱工程と、を備えており、
前記加熱工程は、前記振動板を形成する金属材料の金属原子を前記圧電層に拡散させることで、前記圧電層の平面視で前記拡散防止層と重ならない領域における、前記振動板と当接した表面と、前記振動板と反対側の面とを電気的に導通させて、前記第1電極と前記引出電極とを導通させることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記圧電層形成工程において、エアロゾルデポジション法により前記圧電層を形成しており、
前記加熱工程は、前記圧電層のアニール処理可能な温度で前記圧電層を加熱することを特徴とする請求項1または2に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記圧電層形成工程においては、ゾルゲル法により前記圧電層を形成しており、
前記加熱工程は、ゲル中の溶媒を除去可能な温度で前記圧電層を加熱することを特徴とする請求項1または2に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記引出電極形成工程において、前記圧電層の前記振動板と反対側の面における平面視で前記第1電極と重ならない領域に、前記引出電極を形成することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記第2電極形成工程において、前記圧電層の前記振動板と反対側の面に、面方向に離散して複数の前記第2電極を形成しており、
前記第1電極は、前記複数の第2電極と対向していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記拡散防止層形成工程において、前記第1電極と前記第2電極とが対向することとなる領域の縁部から前記拡散防止層の外縁までの距離が前記圧電層の厚みよりも大きくなるように、前記拡散防止層を形成することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 金属材料からなる振動板と、
前記振動板の一表面に配置され、活性部を有する圧電層と、
前記振動板と前記圧電層の間の、平面視で少なくとも前記活性部と重なる領域に配置された拡散防止層と、
前記拡散防止層の前記圧電層と対向する面及び前記振動板の前記一表面にまたがって配置された第1電極と、
前記圧電層の前記振動板と反対側の面における平面視で前記第1電極の前記拡散防止層上に形成された領域と重なる領域に配置された第2電極と、
前記圧電層の前記振動板と反対側の面における平面視で前記拡散防止層と重ならない領域であり且つ前記第2電極が配置される領域と離隔した領域に配置された引出電極と、を備えており、
前記圧電層の平面視で前記拡散防止層と重ならない領域は、当該領域中に前記振動板の金属原子が拡散して、前記圧電層の前記活性部よりも導電率が高い高導電領域であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
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