JP5441438B2 - 2進光信号を利用したイメージセンサー及び駆動方法 - Google Patents
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Description
11 絶縁層
12 半導体層
13 ソース領域
14 ドレイン領域
15 フローティングボディー領域
16 ゲート絶縁層
17 ゲート電極
Claims (16)
- アレイ状に配置された複数の単位ピクセルを備え、前記単位ピクセルは、複数のサブピクセルを備え、前記サブピクセルは、同じ波長の光を照射される複数のフローティングボディートランジスタを備え、
前記フローティングボディートランジスタは、
ソース領域と、
ドレイン領域と、
前記ソース領域とドレイン領域との間のフローティングボディー領域と、
前記フローティングボディー領域上に形成されたゲート電極と、を備え、
前記フローティングボディートランジスタは、絶縁層上に形成され、前記フローティングボディートランジスタは、半導体からなり、
前記フローティングボディー領域は、光を受光して電子−正孔対を形成し、前記電子は、前記ソース領域または前記ドレイン領域に移動して排出され、前記正孔は、前記フローティングボディー領域に集められて第1電流状態である情報“1”を表し、前記ソース領域及び/または前記ドレイン領域に電圧を印加して前記正孔を前記ソース領域または前記ドレイン領域に排出して、前記フローティングボディー領域を第2電流状態である情報“0”を表す
ことを特徴とする2進光信号を利用したイメージセンサー。 - 前記ゲート電極を連結する複数のゲートラインと、
前記ドレイン領域を連結する複数のロウラインと、
前記ソース領域を連結する複数のカラムラインと、をさらに備え、
前記カラムラインは、前記ゲートライン及び前記ロウラインに対して直交して形成され、 前記カラムラインから測定された電流で、前記第1電流状態または前記第2電流状態を測定する
ことを特徴とする請求項1に記載の2進光信号を利用したイメージセンサー。 - 前記第1電流状態の前記測定された電流は、前記第2電流状態の前記測定された電流より大きい
ことを特徴とする請求項2に記載の2進光信号を利用したイメージセンサー。 - 前記フローティングボディートランジスタの幅は、50nm〜500nmである
ことを特徴とする請求項1に記載の2進光信号を利用したイメージセンサー。 - 前記ゲートは、ポリシリコンまたは透明電極で形成された
ことを特徴とする請求項1に記載の2進光信号を利用したイメージセンサー。 - 請求項2に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法において、
前記ゲートに負電圧を印加して、前記フローティングボディー領域に電荷保存空間を形成するステップと、
前記イメージセンサー上に光を照射して、前記フローティングボディートランジスタに情報を記録するステップと、
前記フローティングボディートランジスタに記録された情報を読み取るステップと、
前記フローティングボディーに蓄積された電荷を除去するステップと、を含む
ことを特徴とする2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記電荷保存空間を形成するステップは、前記ドレイン領域に正電圧を印加するステップをさらに含む
ことを特徴とする請求項6に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記光照射ステップは、前記ドレイン領域に正電圧を印加するステップをさらに含む
ことを特徴とする請求項6に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記記録ステップは、前記フローティングボディー領域に正孔を蓄積して前記第1電流状態とし、前記情報“1”を記録する
ことを特徴とする請求項7または8に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記読み取りステップは、前記ロウラインに第1電圧を印加するステップと、
前記カラムラインをスキャニングして、前記カラムラインと前記ロウラインとが交差するセルから第3電流を検出するステップと、
基準電流と比較して、前記第3電流が前記基準電流より大きければ、前記第1電流状態と判断し、前記第3電流が前記基準電流以下であれば、前記第2電流状態と判断するステップと、を含む
ことを特徴とする請求項9に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記読み取りステップは、前記ゲートラインに前記フローティングボディートランジスタのしきい電圧より大きい正電圧を印加するステップと、
前記カラムラインをスキャニングして、前記カラムラインと前記ゲートラインとが交差するセルから第4電流を検出するステップと、
基準電流と比較して、前記第4電流が前記基準電流より大きければ、前記第1電流状態と判断し、前記第4電流が前記基準電流以下であれば、前記第2電流状態と判断するステップと、を含む
ことを特徴とする請求項9に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記除去ステップは、前記フローティングボディー領域のポテンシャルを前記ソース領域のポテンシャルと前記ドレイン領域のポテンシャルとの間に位置させて、前記フローティングボディー領域に蓄積された正孔を放出するステップである
ことを特徴とする請求項6に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記除去ステップは、前記ソース領域または前記ドレイン領域に負電圧を印加して、前記フローティングボディー領域に蓄積された正孔を前記負電圧の印加された前記ソース領域または前記ドレイン領域に放出するステップである
ことを特徴とする請求項12に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記除去ステップは、前記フローティングボディートランジスタを第2電流状態にする
ことを特徴とする請求項12に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記サブピクセルでの光の検出強度は、前記サブピクセルに属するフローティングボディートランジスタのうち、前記第1電流状態で読み取られた前記フローティングボディートランジスタの割合で計算される
ことを特徴とする請求項6に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。 - 前記電荷保存空間の形成ステップと、前記情報記録ステップと、前記情報読み取りステップとは、それぞれ前記ゲート、前記ソース及びドレインに同期的に電圧を印加する
ことを特徴とする請求項6に記載の2進光信号を利用したイメージセンサーの駆動方法。
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