JP5430429B2 - スリットノズル及びスリットノズル清掃装置及びスリットノズル清掃方法 - Google Patents
スリットノズル及びスリットノズル清掃装置及びスリットノズル清掃方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5430429B2 JP5430429B2 JP2010021371A JP2010021371A JP5430429B2 JP 5430429 B2 JP5430429 B2 JP 5430429B2 JP 2010021371 A JP2010021371 A JP 2010021371A JP 2010021371 A JP2010021371 A JP 2010021371A JP 5430429 B2 JP5430429 B2 JP 5430429B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit nozzle
- thread
- slit
- scraping member
- discharge passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 115
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 82
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 47
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 19
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 7
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 42
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 36
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 26
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 21
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000037452 priming Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Description
32a 吐出口
32b 吐出通路
32c キャビティ
32d 導入口
56 牽引走査ユニット
72 糸状掻き出し部材
74 引っ張り部
Claims (11)
- 処理液を導入する導入口と、前記導入口より導入された処理液を圧力均一化のためにいったん蓄えるキャビティと、処理液を帯状に吐出するスリット状の吐出口と、前記キャビティと前記吐出口とを結ぶスリット状の吐出通路とを有する長尺型スリットノズルのスリット内部を清掃するためのスリットノズル清掃装置であって、
前記スリットノズルの吐出通路を前記キャビティから前記吐出口まで横断してその先端部が前記吐出口の外に出ている糸状の掻き出し部材と、
前記スリットノズルの外で、前記糸状掻き出し部材の先端部を保持し、前記吐出通路内の固化物の掻き出しを行うように、前記糸状掻き出し部材を前記吐出通路内で前記スリットノズルの長手方向に摺動させながら牽引して走査する牽引走査部と、
前記スリットノズルの中または外で前記糸状掻き出し部材に結合され、前記牽引走査部の牽引力に抗して前記糸状掻き出し部材に張力をかけながらその移動を許容する引っ張り部と
を有するスリットノズル清掃装置。 - 前記引っ張り部が、前記キャビティよりも高い前記スリットノズルの外の位置で前記掻き出し部材に結合され、前記糸状掻き出し部材を引き出し可能にバネ力で巻き取る第1のリールを有する、請求項1に記載のスリットノズル清掃装置。
- 前記引っ張り部が、前記スリットノズルの長手方向で摺動可能に前記キャビティ内に係合して収容される塊状の従動部を有する、請求項1に記載のスリットノズル清掃装置。
- 前記糸状掻き出し部材が、前記塊状従動部で折り返して前記吐出通路を往復し、その両端部が前記スリットノズルの外に出ている、請求項3に記載のスリットノズル清掃装置。
- 前記スリットノズルの外で前記糸状掻き出し部材の延長上に延びる糸状の延長部材を引き出し可能にバネ力で巻き取る第2のリールを有する、請求項4に記載のスリットノズル清掃装置。
- 前記スリットノズルの吐出口の中に入りきれない大きさで前記糸状掻き出し部材の先端部に取り付けられるつまみ部を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載のスリットノズル清掃装置。
- 前記つまみ部が磁性体からなり、
前記牽引走査部が前記つまみ部を磁力で着脱可能に保持する、
請求項6に記載のスリットノズル清掃装置。 - 前記つまみ部を磁力で着脱可能に保持するために前記スリットノズルに取り付けられる磁石を有する、請求項7に記載のスリットノズル清掃装置。
- 前記スリットノズルの吐出口付近の部位に前記つまみ部を収納するための切り欠き部を設ける、請求項6〜8のいずれか一項に記載のスリットノズル清掃装置。
- 処理液を導入する導入口と、前記導入口より導入された処理液を圧力均一化のためにいったん蓄えるキャビティと、処理液を帯状に吐出するスリット状の吐出口と、前記キャビティと前記吐出口とを結ぶスリット状の吐出通路とを有する長尺型スリットノズルのスリット内部を清掃するためのスリットノズル清掃方法であって、
前記スリットノズルの吐出通路を前記キャビティから前記吐出口まで横断してその先端部が前記吐出口の外に出ている糸状の掻き出し部材を前記スリットノズルに仕込み、
前記スリットノズルの外で、前記糸状掻き出し部材の先端部を保持し、前記吐出通路内の固化物の掻き出しを行うように、前記糸状掻き出し部材を前記吐出通路内で前記スリットノズルの長手方向に摺動させながら牽引走査し、
前記スリットノズルの中で前記糸状掻き出し部材に結合されている引っ張り部により、前記牽引走査の牽引力に抗して前記糸状掻き出し部材に張力をかけながらその移動を許容する、
ことを特徴とするスリットノズル清掃方法。 - 処理液を導入する導入口と、
前記導入口より導入された処理液を圧力均一化のためにいったん蓄えるキャビティと、
処理液を帯状に吐出するスリット状の吐出口と、前記キャビティと前記吐出口とを結ぶスリット状の吐出通路と、
前記吐出通路を前記キャビティから前記吐出口まで横断してその先端部が前記吐出口の外に出ている糸状の掻き出し部材と、
前記糸状掻き出し部材に結合され、前記糸状掻き出し部材に張力をかけながらその移動を許容する引っ張り部と
を有するスリットノズル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010021371A JP5430429B2 (ja) | 2010-02-02 | 2010-02-02 | スリットノズル及びスリットノズル清掃装置及びスリットノズル清掃方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010021371A JP5430429B2 (ja) | 2010-02-02 | 2010-02-02 | スリットノズル及びスリットノズル清掃装置及びスリットノズル清掃方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011156498A JP2011156498A (ja) | 2011-08-18 |
JP5430429B2 true JP5430429B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=44588954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010021371A Expired - Fee Related JP5430429B2 (ja) | 2010-02-02 | 2010-02-02 | スリットノズル及びスリットノズル清掃装置及びスリットノズル清掃方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5430429B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109276179A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-01-29 | 安吉罗氏铝合金箱包厂 | 一种用于清洗铝制窗框的清洗装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5138058B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2013-02-06 | 東レ株式会社 | 清掃部材と塗布器の清掃方法及び清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
CN107835555A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-03-23 | 深圳市诚峰智造有限公司 | 一种等离子表面处理装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0451903Y2 (ja) * | 1987-01-12 | 1992-12-07 | ||
JP2537739B2 (ja) * | 1992-07-31 | 1996-09-25 | 三菱化学株式会社 | ダイコ―タ |
JPH0672668U (ja) * | 1993-03-30 | 1994-10-11 | 中外炉工業株式会社 | ダイコータの洗浄装置 |
JP4163791B2 (ja) * | 1998-08-04 | 2008-10-08 | 大日本印刷株式会社 | 塗布装置 |
JP2003019456A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-21 | Konica Corp | 塗布方法 |
JP2005296754A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Sekisui Chem Co Ltd | 押出塗布ヘッド内の洗浄方法 |
-
2010
- 2010-02-02 JP JP2010021371A patent/JP5430429B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109276179A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-01-29 | 安吉罗氏铝合金箱包厂 | 一种用于清洗铝制窗框的清洗装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011156498A (ja) | 2011-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101737124B1 (ko) | 슬릿 노즐 세정 장치 및 도포 장치 | |
JP5258812B2 (ja) | スリットノズル清掃装置および塗布装置 | |
WO2013118550A1 (ja) | 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置 | |
TWI314067B (en) | Syringe pump, substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP5226046B2 (ja) | 塗布装置及びノズルのメンテナンス方法 | |
JP2004322091A (ja) | 洗浄ユニット、これを有するコーティング装置及び方法 | |
JP4676359B2 (ja) | プライミング処理方法及びプライミング処理装置 | |
JP5430429B2 (ja) | スリットノズル及びスリットノズル清掃装置及びスリットノズル清掃方法 | |
US10589305B2 (en) | Substrate treating apparatus, and method of controlling the substrate treating apparatus | |
KR20180098568A (ko) | 잉크젯 헤드의 메인터넌스 장치 및 잉크젯 헤드의 메인터넌스 방법 | |
JP4516034B2 (ja) | 塗布方法及び塗布装置及び塗布処理プログラム | |
TWI284937B (en) | A method for treating substrates and device thereof | |
KR101484272B1 (ko) | 약액 예비토출장치 | |
JP5288383B2 (ja) | 塗布処理装置及び塗布処理方法 | |
CN108296089A (zh) | 喷嘴洗涤方法、涂布装置 | |
KR20110044141A (ko) | 프라이밍 처리 방법 및 프라이밍 처리 장치 | |
JP2005087855A (ja) | ノズル管の液体吐出構造 | |
KR101069599B1 (ko) | 부상식 기판 코터 장치 | |
JP3182815U (ja) | 塗布ノズル洗浄装置 | |
JP2004047616A (ja) | 基板処理装置およびスリットノズル先端の清浄化方法 | |
KR101723243B1 (ko) | 액처리 장치 및 노즐의 프라이밍 처리 방법 | |
JP2006051504A (ja) | 塗布装置 | |
JP3857265B2 (ja) | スリットシャワーユニット | |
WO2010062918A2 (en) | Confinement of foam delivered by a proximity head | |
KR20070118478A (ko) | 평판표시장치용 습식식각 장비 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111006 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130625 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130807 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |