JP5362368B2 - 外観検査装置及び外観検査方法 - Google Patents
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Description
前記板状の被検査対象物を搭載してXY方向に移動する平板状の移動ステージと、
該移動ステージの面に対して光軸が移動ステージの面と平行になるように前記直角方向に対して線対称に配置した複数の平行配置テレセントリックレンズと、
前記複数の平行配置テレセントリックレンズから出射した走査光を入射して反射する複数の反射鏡と、
該複数の反射鏡が反射した出射した走査光を入射して画像信号に光電変換を行う複数の平行配置ラインセンサと、
該移動ステージの面に対して光軸が垂直になるように前記直角方向に対して線対称に配置した複数の垂直配置テレセントリックレンズと、
該複数の垂直配置テレセントリックレンズから出射した走査光を入射して画像信号に光電変換を行う複数の垂直配置ラインセンサと、
前記複数の垂直配置及び平行配置ラインセンサにより光電変換した画像信号を入力として被検査対象物の画像信号を処理する画像処理部とを備え、
前記平行配置テレセントリックレンズと反射板と平行配置ラインセンサが、前記第1走査領域を走査する第1光学系と該第1走査領域と隣接する第2走査領域を走査する第2光学系とを形成し、
前記垂直配置テレセントリックレンズと反射鏡と垂直配置ラインセンサとが、前記第3走査領域を走査する第3光学系と該第3領域と隣接する第4領域を走査する第4光学系とを形成し、前記第2光学系及び第4光学系が前記直角方向の同一ライン上を走査した後に前記第1光学系及び第3光学系が前記直角方向の同一ライン上を走査することを第1の特徴とする。
前記平行配置テレセントリックレンズと反射鏡と平行配置ラインセンサが、前記第1走査領域を走査する第1光学系と該第1走査領域と隣接する第2走査領域を走査する第2光学系とを形成し、前記垂直配置テレセントリックレンズと垂直配置ラインセンサが、前記第3走査領域を走査する第3光学系と該第3領域と隣接する第4領域を走査する第4光学系とを形成し、
前記第2光学系及び第4光学系が前記直角方向の同一ライン上を走査した後に前記第1光学系及び第3光学系が前記直角方向の同一ライン上を走査するように動作することを第3の特徴とする。
本実施形態による外観検査装置の全体構成は、図1に示す如く、LSIパッド走査領域90に対して分割して走査する4つのラインセンサ13と、該ラインセンサ13中の2つの走査線上の光を反射する2つの反射鏡16と、後述する画像処理部30による画像の解析と、該画像処理部30により入力した解析結果の表示を行うパーソナルコンピュータ50とから構成される。
17、17a〜17d:同軸照明、18、18a〜18d:テレセントリックレンズ、
20a、20b:光学系部、30、30a、30b:画像処理部、
50:パーソナルコンピュータ、51:LANインタフェース、
52:モータコントローラ、54:モータドライバ、90:パッド走査領域。
Claims (4)
- 板状の被検査対象物上の走査線幅に比べて全画素幅が大きい複数のテレセントリックレンズを備え、被検査物移動方向に対して直角方向に隣接する被検査物移上の第1走査領域から第4走査領域を撮像検査する外観検査装置であって、
前記板状の被検査対象物を搭載してXY方向に移動する平板状の移動ステージと、
該移動ステージの面に対して光軸が移動ステージの面と平行になるように前記直角方向に対して線対称に配置した複数の平行配置テレセントリックレンズと、
前記複数の平行配置テレセントリックレンズから出射した走査光を入射して反射する複数の反射鏡と、
該複数の反射鏡が反射した出射した走査光を入射して画像信号に光電変換を行う複数の平行配置ラインセンサと、
該移動ステージの面に対して光軸が垂直になるように前記直角方向に対して線対称に配置した複数の垂直配置テレセントリックレンズと、
該複数の垂直配置テレセントリックレンズから出射した走査光を入射して画像信号に光電変換を行う複数の垂直配置ラインセンサと、
前記複数の垂直配置及び平行配置ラインセンサにより光電変換した画像信号を入力として被検査対象物の画像信号を処理する画像処理部とを備え、
前記平行配置テレセントリックレンズと反射板と平行配置ラインセンサが、前記第1走査領域を走査する第1光学系と該第1走査領域と隣接する第2走査領域を走査する第2光学系とを形成し、前記垂直配置テレセントリックレンズと反射鏡と垂直配置ラインセンサとが、前記第3走査領域を走査する第3光学系と該第3領域と隣接する第4領域を走査する第4光学系とを形成し、
前記第2光学系及び第4光学系が前記直角方向の同一ライン上を走査した後に前記第1光学系及び第3光学系が前記直角方向の同一ライン上を走査する外観検査装置。 - 前記平行配置光学系と垂直配置光学系を被検査物移動方向に対して直角方向に交互に配置した請求項1記載の外観検査装置。
- 板状の被検査対象物を搭載してXY方向に移動する平板状の移動ステージと、該移動ステージの面に対して光軸が移動ステージの面と平行になるように前記直角方向に対して線対称に配置した走査線幅に比べて全画素幅が大きい複数の平行配置テレセントリックレンズと、前記複数の平行配置テレセントリックレンズから出射した走査光を入射して反射する複数の反射鏡と、該複数の反射鏡が反射した出射した走査光を入射して画像信号に光電変換を行う複数の平行配置ラインセンサと、該移動ステージの面に対して光軸が垂直になるように前記直角方向に対して線対称に配置した走査線幅に比べて全画素幅が大きい複数の垂直配置テレセントリックレンズと、該複数の垂直配置テレセントリックレンズから出射した走査光を入射して画像信号に光電変換を行う複数の垂直配置ラインセンサと、前記複数の垂直配置及び平行配置ラインセンサにより光電変換した画像信号を入力として被検査対象物の画像信号を処理する画像処理部とを備えた外観検査装置を用い、被検査物移動方向に対して直角方向に隣接する被検査物移上の第1走査領域から第4走査領域を撮像検査する外観検査方法であって、
前記平行配置テレセントリックレンズと反射鏡と平行配置ラインセンサが、前記第1走査領域を走査する第1光学系と該第1走査領域と隣接する第2走査領域を走査する第2光学系とを形成し、前記垂直配置テレセントリックレンズと垂直配置ラインセンサが、前記第3走査領域を走査する第3光学系と該第3領域と隣接する第4領域を走査する第4光学系とを形成し、
前記第2光学系及び第4光学系が前記直角方向の同一ライン上を走査した後に前記第1光学系及び第3光学系が前記直角方向の同一ライン上を走査するように動作する外観検査方法。 - 前記平行配置光学系と垂直配置光学系を被検査物移動方向に対して直角方向に交互に配置した請求項3記載の外観検査方法。
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JP2009003574A JP5362368B2 (ja) | 2009-01-09 | 2009-01-09 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
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