JP5023515B2 - 圧電素子の製造方法。 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態の圧電素子2の製造方法について図面を参照しながら説明する。まず、図1は、第1実施形態に係わる製造方法による圧電素子2を備えた圧電アクチュエータ1を示す斜視図である。また、図2は、図1に示す圧電アクチュエータ1の一部側断面図である。各図に示す圧電アクチュエータ1は、例えばマイクロポンプユニットに用いられる液体制御用の圧電装置である。
以下、本発明の第2実施形態の圧電素子2の製造方法について図11及び図12を参照しながら説明する。なお、以下においては、説明を簡略にするために、第1実施形態と異なる部分についてのみ記載する。
以下、本発明の第3実施形態の圧電素子2の製造方法について図12〜14を参照しながら説明する。なお、以下においては、説明を簡略にするために、第1実施形態と異なる部分についてのみ記載する。
Claims (4)
- 圧電体層と、前記圧電体層の変位を伝える変位伝達層とを有する圧電素子の製造方法であって、
前記圧電体層の前駆体としての圧電体用セラミックグリーンシートと、前記変位伝達層の前駆体としての変位伝達用セラミックグリーンシートとを用意するグリーンシート用意工程と、
前記圧電体用セラミックグリーンシートと前記変位伝達用セラミックグリーンシートとが積層されたグリーン積層体を形成するグリーン積層体形成工程と、を備え、
前記グリーン積層体形成工程が、前記変位伝達用セラミックグリーンシートに酸化シリコンからなる酸化シリコン層を形成する工程を有し、
前記グリーン積層体形成工程では、前記酸化シリコン層を形成する前記工程により前記酸化シリコン層が形成された前記変位伝達用セラミックグリーンシートを、前記酸化シリコン層が前記圧電体用セラミックグリーンシート側となるように積層して、前記グリーン積層体を形成することを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 前記グリーン積層体形成工程では、前記圧電体用セラミックグリーンシートと前記酸化シリコン層との間に変位伝達用セラミックグリーンシートを更に積層して前記グリーン積層体を形成することを特徴とする請求項1に記載の圧電素子の製造方法。
- 圧電体層と、前記圧電体層の変位を伝える変位伝達層とを有する圧電素子の製造方法であって、
前記圧電体層の前駆体としての圧電体用セラミックグリーンシートと、前記変位伝達層の前駆体としての変位伝達用セラミックグリーンシートとを用意するグリーンシート用意工程と、
前記圧電体用セラミックグリーンシートと前記変位伝達用セラミックグリーンシートとが積層されたグリーン積層体を形成するグリーン積層体形成工程と、を備え、
前記グリーン積層体形成工程が、前記変位伝達用セラミックグリーンシートに酸化シリコンからなる酸化シリコン層を形成する工程を有し、
前記グリーン積層体形成工程では、前記酸化シリコン層を形成する前記工程により前記酸化シリコン層が形成された前記変位伝達用セラミックグリーンシートを、前記変位伝達用セラミックグリーンシートが前記圧電体用セラミックグリーンシート側となるように積層して、前記グリーン積層体を形成することを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 圧電体層と、前記圧電体層の変位を伝える変位伝達層とを有する圧電素子の製造方法であって、
前記圧電体層の前駆体としての圧電体用セラミックグリーンシートと、前記変位伝達層の前駆体としての変位伝達用セラミックグリーンシートとを用意するグリーンシート用意工程と、
前記圧電体用セラミックグリーンシートと前記変位伝達用セラミックグリーンシートとが積層されたグリーン積層体を形成するグリーン積層体形成工程と、を備え、
前記グリーン積層体形成工程が、前記変位伝達用セラミックグリーンシートに酸化シリコンからなる酸化シリコン層を形成する工程を有し、
前記グリーン積層体形成工程では、前記圧電体用セラミックグリーンシートと前記変位伝達用セラミックグリーンシートとを積層した後に、前記酸化シリコン層を形成する前記工程により前記変位伝達用セラミックグリーンシートに前記酸化シリコン層を形成することにより前記グリーン積層体を形成することを特徴とする圧電素子の製造方法。
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