JP4948297B2 - Optical test signal generator and test apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、光試験信号発生装置および試験装置に関する。より詳細には、光信号を処理する機能を有する被試験デバイスを試験する場合に用いられる光試験信号を発生する光試験信号発生装置と、それを備えた試験装置とに関する。 The present invention relates to an optical test signal generator and a test apparatus. More specifically, the present invention relates to an optical test signal generation apparatus that generates an optical test signal used when testing a device under test having a function of processing an optical signal, and a test apparatus including the optical test signal generation apparatus.
半導体集積回路等の被試験デバイスに試験信号を処理させてその機能および性能を評価する試験装置がある。被試験デバイスの多くは電気信号を取り扱う半導体回路等であるが、近年は、光信号を処理するデバイスも試験の対象となりつつある。 There is a test apparatus for processing a test signal in a device under test such as a semiconductor integrated circuit and evaluating its function and performance. Many of the devices under test are semiconductor circuits or the like that handle electrical signals, but recently, devices that process optical signals are also being tested.
下記の特許文献1には、テスト用光信号発生器が発生したテスト用光信号を、光ファイバを通じてテストヘッドに供給することが記載される。これにより、テストヘッドに対する接続が簡潔になると共に、劣化の少ない試験信号を伝送できる。ただし、特許文献1に記載された装置では、試験対象となる被試験デバイスに入力される試験信号は、テストヘッドにおいて光信号から電気信号に変換される。
また、下記の特許文献2には、2つの強度変調光信号を合成することにより、安定な試験用光信号を発生する光信号発生装置が記載される。これにより、光信号を処理する被試験デバイスにおけるジッタ耐性を評価できる。
上記のような高速デバイス用IC試験装置または光試験用信号発生装置において用いられる光試験信号は、電気信号として生成された試験信号を電気光変換して発生される。しかしながら、試験信号においては波形の種類、パルス幅等が激しく変化するので、電気光変換素子固有の特性に起因するパターン依存性ジッタが生じてタイミング精度が低下する。また、光変調器を用いて光試験信号を発生させた場合は、帯域の制限により確定的なジッタが発生する。そこで、電気光変換素子または光変調器の特性に依存することなく、高精度な光試験信号を発生する光試験信号発生装置が求められている。 The optical test signal used in the high-speed device IC test apparatus or the optical test signal generator as described above is generated by electro-optical conversion of the test signal generated as an electrical signal. However, in the test signal, the type of waveform, the pulse width, and the like change drastically, resulting in pattern-dependent jitter caused by characteristics unique to the electro-optical conversion element, and timing accuracy is lowered. In addition, when an optical test signal is generated using an optical modulator, deterministic jitter is generated due to band limitation. Accordingly, there is a need for an optical test signal generator that generates a highly accurate optical test signal without depending on the characteristics of the electro-optical conversion element or the optical modulator.
上記課題を解決すべく、本発明の第1の形態として、連続光を供給する光源と、相互に異なるタイミングを有する複数のクロック光信号を供給するクロック源と、外部から立ち上がりクロック選択信号を受けて、複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち上がりタイミング光信号として出力する立ち上がりクロック選択部と、外部から立ち下がりクロック選択信号を受けて、複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち下がりタイミング光信号として出力する立ち下がりクロック選択部と、連続光および立ち上がりタイミング光信号を受けて、当該立ち上がりタイミング光信号のタイミングで立ち上がる立ち上がり光信号を出力する立ち上がり信号出力部と、連続光および立ち下がりタイミング光信号を受けて、当該立ち下がりタイミング光信号のタイミングで立ち上げる立ち下がり光信号を出力する立ち下がり信号出力部と、立ち上がり光信号および立ち下がり光信号を合波して、立ち上がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち上がり、立ち下がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち下がる光試験信号を出力する光試験信号出力部とを備える光試験信号発生装置が提供される。 In order to solve the above problems, as a first aspect of the present invention, a light source that supplies continuous light, a clock source that supplies a plurality of clock optical signals having mutually different timings, and a rising clock selection signal are received from the outside. A rising clock selector that outputs one of a plurality of clock optical signals as a rising timing optical signal, and a falling clock selecting signal received from the outside, and one of the plurality of clock optical signals is output as a falling timing light. A falling clock selection unit that outputs as a signal, a rising signal output unit that receives a continuous light and a rising timing optical signal and outputs a rising optical signal that rises at the timing of the rising timing optical signal, and a continuous light and a falling timing light In response to the signal, the falling timing The falling signal output unit that outputs the falling optical signal that rises at the signal timing, and the rising optical signal and the falling optical signal are combined, and the rising timing optical signal rises at the rising timing of the rising timing optical signal. There is provided an optical test signal generation device including an optical test signal output unit that outputs an optical test signal that falls at a rising timing.
また、本発明の第2の形態として、連続光を供給する光源と、相互に異なるタイミングを有する複数のクロック光信号を供給するクロック源と、外部からの指示に応じて、複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち上がりタイミング光信号として出力する立ち上がりクロック選択部と、外部からの指示に応じて、複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち下がりタイミング光信号として出力する立ち下がりクロック選択部と、連続光および立ち上がりタイミング光信号を受けて、当該立ち上がりタイミング光信号のタイミングで立ち上がる立ち上がり光信号を出力する立ち上がり信号出力部と、連続光および立ち下がりタイミング光信号を受けて、当該立ち下がりタイミング光信号のタイミングで立ち上げる立ち下がり光信号を出力する立ち下がり信号出力部と、立ち上がり光信号および立ち下がり光信号を合波して、立ち上がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち上がり、立ち下がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち下がる光試験信号を出力する光試験信号出力部とを有する光試験信号発生装置を備える半導体試験装置が提供される。 Further, as a second aspect of the present invention, a light source that supplies continuous light, a clock source that supplies a plurality of clock optical signals having mutually different timings, and a plurality of clock optical signals according to an instruction from the outside A rising clock selection unit that outputs one of them as a rising timing optical signal; and a falling clock selection unit that outputs one of a plurality of clock optical signals as a falling timing optical signal in response to an instruction from the outside; A rising signal output unit that receives a continuous light and a rising timing optical signal and outputs a rising optical signal that rises at the timing of the rising timing optical signal; and a falling timing light that receives the continuous light and the falling timing optical signal Outputs a falling optical signal that rises at the timing of the signal Optical test to output the optical test signal that rises at the rising timing of the rising timing optical signal and falls at the rising timing of the falling timing optical signal by combining the falling signal output unit with the rising optical signal and the falling optical signal A semiconductor test apparatus comprising an optical test signal generator having a signal output unit is provided.
なお、上記の概要は、発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。従って、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となり得る。 The above summary does not enumerate all necessary features of the invention. Therefore, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが課題の解決に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for solving the problem.
図1は、試験装置100全体の構造を模式的に示す図である。同図に示すように、試験装置100は、ハンドラ110、テストヘッド130およびホスト装置150を備える。
FIG. 1 is a diagram schematically illustrating the entire structure of the
ハンドラ110は、試験の対象となる被試験デバイス120を物理的に操作する機能を有する。これにより、多数の被試験デバイスから、試験装置100が処理できる数の被試験デバイスを順次供給して試験に供する作業を自動化する。また、試験後に、試験結果に応じて被試験デバイス120を分別して収納する機能を設ける場合もある。
The
テストヘッド130は、被試験デバイス120の仕様に応じたインターフェイスとなるパフォーマンスボード160を備え、試験装置100および被試験デバイス120の間の信号伝送路を形成する。また、テストヘッド130は、複数のピンエレクトロニクスボード200(図2参照)を収容して、パフォーマンスボード160を介して被試験デバイス120に試験信号を供給する。なお、仕様の異なる被試験デバイス120を試験する場合は、パフォーマンスボード160を交換することにより同じテストヘッド130を用いることができる。また、ピンエレクトロニクスボード200を交換または追加することにより、既存のテストヘッド130の機能を変更または追加することができる。
The
ホスト装置150は、接続ケーブル140を介してハンドラ110およびテストヘッド130に接続される。これにより、試験装置100全体の動作を制御すると共に、制御信号およびデータ信号をハンドラ110およびテストヘッド130に供給して、被試験デバイス120の試験を実行する。接続ケーブル140には、電気信号を伝送するメタルケーブルの他に、光信号を伝送する光ファイバケーブルが収容される場合もある。
The
図2は、試験装置100におけるテストヘッド130の内部構造を模式的に示す図である。同図に示すように、テストヘッド130の上部にはパフォーマンスボード160が装着される。また、テストヘッド130の内部には、複数のピンエレクトロニクスボード200が収容される。
FIG. 2 is a diagram schematically showing the internal structure of the
パフォーマンスボード160は、被試験デバイス120を装着できるソケット162を上面に、パフォーマンスボード160自体をピンエレクトロニクスボード200のいずれかに接続する場合に用いるコネクタ164を下面に、それぞれ備える。コネクタ164は、両端にコネクタを備えた集合ケーブル168により、ピンエレクトロニクスボード200のコネクタ201に電気的に接続される。また、被試験デバイス120およびピンエレクトロニクスボード200は、光ファイバケーブル166を介して、相互に光信号を入出力することもできる。
The
このテストヘッド130に装着されたピンエレクトロニクスボード200は、光試験信号を発生して被試験デバイス120に送り出す光ドライバ部300と、被試験デバイス120が試験動作により処理した後に出力した光試験信号を受信して被試験デバイス120の動作を評価する光コンパレータ部400とを備える。また、光ドライバ部300および光コンパレータ部400を含むピンエレクトロニクスボード200全体の動作の基準となるタイミングを発生するタイミング発生器210も備える。
The
光ドライバ部300は、クロック光信号源310、プログラム発生器320および光試験信号発生器500を備える。クロック光信号源310は、タイミング発生器210から供給されるタイミング信号に従って一定の繰り返し周波数を有するパルス信号であるクロック光信号を発生する。プログラム発生器320は、パフォーマンスボード160に実装された被試験デバイス120において実行される試験内容に従って、後述する光試験信号発生器500に光試験信号を発生させるプログラムを装備する。光試験信号発生器500において発生された光試験信号は、光ファイバケーブル166を介して被試験デバイス120に送り出される。
The
一方、光コンパレータ部400は、光電気変換部410、データ分離部420およびデータ比較部430を備える。光電気変換部410は、被試験デバイス120から受信した光信号を電気信号に変換する。データ分離部420は、電気信号に変換された受信信号から有意なデータ列を抽出する。更に、データ比較部430は、試験に供されたデータと抽出されたデータとを比較する。これにより、パフォーマンスボード160に実装された被試験デバイス120の機能、性能、特性等が評価される。
On the other hand, the
ここで、光試験信号発生器500は、光信号駆動部510、光源520および光試験信号出力部530を備え、光信号の処理により光試験信号を発生する。即ち、光信号駆動部510は、図3を参照して後述するように、プログラム発生器320からの指示に基づいて、光試験信号の立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号を光試験信号出力部530に出力する。光源520は、連続光を発生して光試験信号出力部530に供給する。光試験信号出力部530は、連続光と立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号とを入力されて、立ち上がりタイミング信号のタイミングで立ち上がり、立ち下がりタイミング信号のタイミングで立ち下がる光試験信号を、被試験デバイス120に向かって出力する。
Here, the optical
なお、光試験信号発生器500においては、プログラム発生器320から光信号駆動部510に供給される信号を除いて、全て光信号により処理が実行される。この点も含めて、図3を参照しつつ、光試験信号発生器500の詳細な構造とその各部の機能について以下に説明する。
In the optical
図3は、被試験デバイス120に供給される光試験信号を発生する光試験信号発生器500の内部構造を示す図である。同図に示すように、光試験信号発生器500における光信号駆動部510には、光源520の発生した連続光と、クロック信号源220が発生した複数のクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCと、プログラム発生器320が発生した立ち上がりクロック選択信号および立ち下がりクロック選択信号とが入力される。
FIG. 3 is a diagram showing an internal structure of an optical
ここで、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCは、同じ周波数にロックされてはいるが、相互に位相が異なる。このようなクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCは、例えば、図2に示すクロック光信号源から供給された単一のクロック光信号を、遅延線等により相互にタイミングを変えることにより発生できる。 Here, the clock optical signals CLK A , CLK B , and CLK C are locked to the same frequency, but have different phases. Such clock optical signals CLK A , CLK B , and CLK C are generated, for example, by changing the timing of a single clock optical signal supplied from the clock optical signal source shown in FIG. it can.
光信号駆動部510は、光分岐器群322、光スイッチ群324、325および光合波器群326を備える。光分岐器群322は、3つの光分岐器C11、C12、C13を含み、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCの各々をそれぞれ2つに分岐する。分岐されたクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCは、光スイッチ群324、325にそれぞれ入力される。
The
このように、光試験信号発生装置において、クロック光信号源は、クロック光信号の各々を分岐させて立ち上がりクロック選択部および立ち下がりクロック選択部に供給する光分岐器を備えていてもよい。これにより、クロック源が発生する一定数のクロック光信号を、立ち上がりクロック選択部および立ち下がりクロック選択部の双方で利用できる。 As described above, in the optical test signal generator, the clock optical signal source may include an optical branching device that branches each of the clock optical signals and supplies the branched optical signal to the rising clock selecting unit and the falling clock selecting unit. Thus, a fixed number of clock optical signals generated by the clock source can be used by both the rising clock selecting unit and the falling clock selecting unit.
なお、クロック光信号は、モードロックレーザ、モードロックファイバレーザ、利得スイッチレーザ等のパルスの繰り返し周波数が安定化されたパルス光源を用いて発生することが好ましい。このような低ジッタの高純度パルスに基づいて後述するように光試験信号を発生させることにより、光試験信号のタイミング精度を高くすることができる。 Note that the clock optical signal is preferably generated using a pulsed light source having a stabilized pulse repetition frequency, such as a mode-locked laser, a mode-locked fiber laser, or a gain switch laser. By generating the optical test signal based on such a low-jitter high-purity pulse as described later, the timing accuracy of the optical test signal can be increased.
また、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCは、モードロックされた個別のパルス光源により発生した複数のパルス光を発生させた後に、同期制御により互いに同期させる方法でも発生できる。このような構造では、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCの波長を相互に相違させることもできる。波長差は、光合波器AWG1、AWG2の設計仕様に応じて決定される。 The clock light signals CLK A , CLK B , and CLK C can also be generated by a method in which a plurality of pulse lights generated by individual mode-locked pulse light sources are generated and then synchronized with each other by synchronous control. In such a structure, the wavelengths of the clock optical signals CLK A , CLK B , and CLK C can be made different from each other. The wavelength difference is determined according to the design specifications of the optical multiplexers AWG 1 and AWG 2 .
更に、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCが互いに同じ波長の光信号でも差し支えない場合は、単一の光クロックを分岐させたのち、相互に異なる遅延量で遅延させることにより発生させることもできる。分岐により低下した光信号強度は、光増幅器等により補うことができる。 Further, when the clock optical signals CLK A , CLK B , and CLK C may be optical signals having the same wavelength, they are generated by branching a single optical clock and then delaying it with a different delay amount. You can also. The optical signal intensity reduced by the branching can be compensated by an optical amplifier or the like.
光スイッチ群324は、この実施形態では3個の光スイッチS11、S12、S13を含む。光スイッチS11、S12、S13の各々は、分岐されたクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCの分岐光のひとつを個別に受ける。光スイッチ群325は、3個の光スイッチS21、S22、S23を含む。光スイッチS21、S22、S23の各々は、分岐されたクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCの分岐光の他方のひとつを個別に受ける。
The
また、光スイッチ群324に含まれる3つの光スイッチS11、S12、S13の各々は、プログラム発生器320から供給される立ち上がりクロック選択信号A、B、Cを個別に受ける。立ち上がりクロック選択信号A、B、Cは、そのいずれかひとつが選択的に有効になる。また、有効な立ち上がりクロック選択信号A、B、Cを入力された光スイッチS11、S12、S13のひとつが、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのひとつを出力して、他のクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCは遮断される。
Each of the three optical switches S 11 , S 12 , S 13 included in the
同様に、光スイッチ群325に含まれる3つの光スイッチS21、S22、S23の各々は、プログラム発生器320から供給される立ち下がりクロック選択信号a、b、cを個別に受ける。立ち下がりクロック選択信号a、b、cは、そのいずれかひとつが選択的に有効になる。有効な立ち下がりクロック選択信号a、b、cを入力された光スイッチS21、S22、S23のひとつがクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのひとつを出力して、他のクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCは遮断される。
Similarly, each of the three optical switches S 21 , S 22 , S 23 included in the
光合波器群326は、一対の光合波器AWG1、AWG2を含む。光合波器AWG1は、光スイッチ群324に含まれる3つの光スイッチS11、S12、S13の出力をひとつの光導波路に結合する。従って、光スイッチS11、S12、S13のいずれが投入された場合でも、選択されたクロック信号CLKA、CLKB、CLKCのひとつは一定の光導波路に出力される。同様に、光合波器AWG2は、光スイッチ群325の光スイッチS21、S22、S23の出力をひとつの光導波路に結合して、選択されたクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのひとつが一定の光導波路に出力される。
The
上記のような構造を有する光信号駆動部510において、プログラム発生器320から立ち上がりクロック選択信号A、B、Cのいずれかが入力されると、それに対応したひとつの光スイッチS11、S12、S13から、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのひとつが、光合波器AWG1を介して立ち上がりタイミング信号として出力される。同様に、プログラム発生器320から立ち下がりクロック選択信号a、b、cのいずれかが入力されると、それに対応したひとつの光スイッチS21、S22、S23から、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのひとつが、光合波器AWG1を介して立ち下がりタイミング信号として出力される。
When one of the rising clock selection signals A, B, and C is input from the
こうして、光信号駆動部510は、立ち上がりクロック選択信号A、B、Cによりクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCを選択することにより、所望のタイミングを有する立ち上がりタイミング信号を出力させることができる。同様に、立ち下がりクロック選択信号a、b、cによりクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCを選択することにより、所望のタイミングを有する立ち上がりタイミング信号を出力させることができる。
Thus, the
これにより、光信号を電気信号に変換することなく、光試験信号の立ち上がりタイミングおよび立ち下がりタイミングを、所望のタイミングで発生させることができる。なお、光源520の発光波長は、試験装置100において試験の対象となる被試験デバイス120において取り扱われる波長10nm〜20nm程度の光信号の波長が選択される。
Thereby, the rising timing and falling timing of the optical test signal can be generated at a desired timing without converting the optical signal into an electrical signal. As the light emission wavelength of the
ここで、立ち上がりタイミング信号と立ち下がりタイミング信号との時間的な間隔は電気光変換素子等の動作速度に依存することがない。従って、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのタイミングの相違を適切に設定することにより、立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号の間隔は、クロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのパルス間隔よりも狭い場合を含む広い範囲で設定できる。 Here, the time interval between the rising timing signal and the falling timing signal does not depend on the operating speed of the electro-optical conversion element or the like. Accordingly, the optical clock signal CLK A, CLK B, by appropriately setting the difference in timing of CLK C, the distance between the rising timing signal and the falling timing signal, a clock light signal CLK A, CLK B, the CLK C pulses It can be set in a wide range including the case where it is narrower than the interval.
また、光スイッチS21、S22、S23の動作はクロック信号CLKA、CLKB、CLKCを選択することに過ぎない。従って、多くの試験装置に実装される低い動作クロック、例えば5GHz程度の動作クロックの電子回路により制御することができる。 The operations of the optical switches S 21 , S 22 and S 23 are merely to select the clock signals CLK A , CLK B and CLK C. Therefore, it can be controlled by an electronic circuit having a low operation clock, for example, an operation clock of about 5 GHz, mounted on many test apparatuses.
上記のような光信号駆動部510が出力する立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号を受ける光試験信号出力部530は、ひとつの光分岐器C22と、一対の光合波器C21、C23と、一対の光増幅器SOA1、SOA2と、位相調節器P1と、もうひとつの光合波器C24とを備える。光分岐器C22は、光源520から供給される連続光を分岐させて、光合波器C21、C22に分配する。
The optical test
一方の光合波器C21は、光分岐器C22の出力の一方と立ち上がりタイミング信号とを受けて合波した後、光増幅器SOA1に入力する。他方の光合波器C23は、光分岐器C22の出力の一方と立ち下がりタイミング信号とを受けて合波した後、光増幅器SOA2に入力する。更に、光増幅器SOA1、SOA2の出力は、位相調節器P1を介して光合波器C24に入力されて合波された後、光試験信号として外部へ出力される。 One optical multiplexer C 21 receives one of the outputs of the optical branching device C 22 and the rising timing signal, combines them, and then inputs them to the optical amplifier SOA 1 . The other optical multiplexer C 23 receives and combines one of the outputs of the optical branching device C 22 and the falling timing signal, and then inputs the multiplexed signal to the optical amplifier SOA 2 . Further, the outputs of the optical amplifiers SOA 1 and SOA 2 are input to the optical multiplexer C 24 via the phase adjuster P 1 and multiplexed, and then output to the outside as an optical test signal.
ここで、位相調節器P1は、光合波器C24において合波された場合に、光増幅器SOA1、SOA2の出力が相互に打ち消し合うように、光増幅器SOA1、SOA2の出力のうち少なくとも一方の位相を調節する。具体的には、例えば一方が他方に対して位相が180°ずれるように制御する。
The phase adjuster P 1 is, when it is combined in optical multiplexer C 24, so that the output of the
なお、上記光信号発生装置において、光増幅器SOA1、SOA2は、例えばGaAs(ガリウム砒素)、InP(インジウム燐)などのIII‐V族化合物半導体等により形成された半導体光増幅器である。この種の光増幅器はキャリアにより励起するので、一旦立ち上がった出力が減衰するまでに時間がかかる。従って、後述するように、立ち上がりエッジの急峻な出力が得られると共に、その出力が一定時間にわたって維持される。 In the optical signal generator, the optical amplifiers SOA 1 and SOA 2 are semiconductor optical amplifiers formed of a III-V group compound semiconductor such as GaAs (gallium arsenide) or InP (indium phosphorus). Since this type of optical amplifier is excited by carriers, it takes time until the output once risen attenuates. Therefore, as will be described later, an output with a steep rising edge is obtained and the output is maintained for a certain period of time.
図4は、図3に示した光試験信号発生器500の動作を説明する波形図である。同図に示すように、プログラム発生器400から供給される立ち上がりクロック選択信号に基づいて、光信号駆動部510の光スイッチ群324においてクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのいずれかが選択され、光試験信号出力部530に立ち上がりタイミング信号として入力される。立ち上がりタイミング信号を入力された光増幅器SOA1の出力は、急速に高レベルに遷移した後、ホールの緩和に従って徐々に低下する。
FIG. 4 is a waveform diagram for explaining the operation of the optical
また、プログラム発生器400から供給される立ち下がりクロック選択信号に基づいて、光信号駆動部510の光スイッチ群325においてクロック光信号CLKA、CLKB、CLKCのいずれかが選択され、光試験信号出力部530に立ち下がりタイミング信号として入力される。立ち下がりタイミング信号を入力された光増幅器SOA2の出力も、同様に、急峻に立ち上がり、徐々に立ち下がる波形で変化する。これら光増幅器SOA1、SOA2の出力波形は、光増幅器SOA1のキャリアに依存することなく一定になる。
Further, based on the falling clock selection signal supplied from the
位相調節器P1は、光合波器C24において合波された場合に、光増幅器SOA1、SOA2の出力が相互に打ち消し合うように位相を調節する。従って、光合波器C24において、光増幅器SOA1の出力と光増幅器SOA2の出力とを合波すると、その差分として矩形の光試験信号が出力される。 The phase adjuster P 1 adjusts the phase so that the outputs of the optical amplifiers SOA 1 and SOA 2 cancel each other when combined in the optical combiner C 24 . Accordingly, when the output of the optical amplifier SOA 1 and the output of the optical amplifier SOA 2 are combined in the optical multiplexer C 24 , a rectangular optical test signal is output as the difference between them.
このように、光試験信号出力部530は、いずれも光信号である立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号により動作する光フリップフロップとして機能して、立ち上がりタイミング信号のタイミングで急峻に立ち上がり、立ち下がりタイミング信号のタイミングで急峻に立ち下がる光試験信号を発生する。従って、立ち下がりおよび立ち下がりの双方において、タイミングジッタの少ない光試験信号を発生させることができる。
As described above, the optical test
また、光試験信号の立ち上がりのタイミングおよび立ち下がりのタイミングを個別に選択することにより、比較的低速のクロック光信号および光スイッチ制御信号に基づいて高速な光試験信号を発生させることができる。これにより、電気光変換素子等の動作速度による制限を受けることなく、高速な光試験信号で試験を実施できる。 In addition, by individually selecting the rising timing and falling timing of the optical test signal, it is possible to generate a high-speed optical test signal based on the relatively low-speed clock optical signal and optical switch control signal. Accordingly, the test can be performed with a high-speed optical test signal without being restricted by the operation speed of the electro-optical conversion element or the like.
このように、光試験信号発生装置において、光試験信号出力部の出力する光試験信号は、低ジッタのパルス信号であるクロック信号により決定されたタイミングで立ち上がりまたは立ち下がるので、高いタイミング精度を有する。また、20GHz程度のクロック光信号から、40GHzを越える成分を含む光試験信号を発生させることができる。 In this way, in the optical test signal generator, the optical test signal output from the optical test signal output unit rises or falls at the timing determined by the clock signal, which is a low jitter pulse signal, and thus has high timing accuracy. . Further, an optical test signal including a component exceeding 40 GHz can be generated from a clock optical signal of about 20 GHz.
以上説明したように、この光試験信号発生器500は、一貫して光信号による処理で光試験信号を発生するので、電子回路または電子素子の応答速度に律則されることなく高速な光試験信号を発生できる。また、被試験デバイスの直近において光試験信号を発生できるので、伝送による減衰が大きい高速な電気試験信号の信号源として利用することもできる。
As described above, the optical
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加え得ることは当業者に明らかである。また、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることは、特許請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. Further, it is apparent from the description of the scope of claims that the embodiment added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
100 試験装置、110 ハンドラ、120 被試験デバイス、130 テストヘッド、140 接続ケーブル、150 ホスト装置、160 パフォーマンスボード、162 ソケット、164、201 コネクタ、166 光ファイバケーブル、168 集合ケーブル、200 ピンエレクトロニクスボード、210 タイミング発生器、300 光ドライバ部、310 クロック光信号源、320 プログラム発生器、322 光分岐器群、324、325 光スイッチ群、326 光合波器群、400 光コンパレータ部、410 光電気変換部、420 データ分離部、430 データ比較部、500 光試験信号発生器、510 光信号駆動部、520 光源、530 光試験信号出力部 100 test equipment, 110 handler, 120 device under test, 130 test head, 140 connection cable, 150 host device, 160 performance board, 162 socket, 164, 201 connector, 166 optical fiber cable, 168 assembly cable, 200-pin electronics board, 210 timing generator, 300 optical driver unit, 310 clock optical signal source, 320 program generator, 322 optical branching group, 324, 325 optical switch group, 326 optical multiplexer group, 400 optical comparator unit, 410 photoelectric conversion unit , 420 Data separation unit, 430 Data comparison unit, 500 Optical test signal generator, 510 Optical signal drive unit, 520 Light source, 530 Optical test signal output unit
Claims (8)
相互に異なるタイミングを有する複数のクロック光信号を供給するクロック源と、
外部から立ち上がりクロック選択信号を受けて、前記複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち上がりタイミング光信号として出力する立ち上がりクロック選択部と、
外部から立ち下がりクロック選択信号を受けて、前記複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち下がりタイミング光信号として出力する立ち下がりクロック選択部と、
前記連続光および前記立ち上がりタイミング光信号を受けて、当該立ち上がりタイミング光信号のタイミングで立ち上がる立ち上がり光信号を出力する立ち上がり信号出力部と、
前記連続光および前記立ち下がりタイミング光信号を受けて、当該立ち下がりタイミング光信号のタイミングで立ち上げる立ち下がり光信号を出力する立ち下がり信号出力部と、
前記立ち上がり光信号および前記立ち下がり光信号を合波して、前記立ち上がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち上がり、前記立ち下がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち下がる光試験信号を出力する光試験信号出力部と
を備える光試験信号発生装置。 A light source that supplies continuous light;
A clock source for supplying a plurality of clock optical signals having mutually different timings;
A rising clock selection unit that receives a rising clock selection signal from the outside and outputs one of the plurality of clock optical signals as a rising timing optical signal;
A falling clock selection unit that receives a falling clock selection signal from the outside and outputs one of the plurality of clock optical signals as a falling timing optical signal;
A rising signal output unit that receives the continuous light and the rising timing optical signal and outputs a rising optical signal that rises at the timing of the rising timing optical signal;
A falling signal output unit that receives the continuous light and the falling timing optical signal and outputs a falling optical signal that rises at the timing of the falling timing optical signal;
An optical test signal output unit that combines the rising optical signal and the falling optical signal, rises at the rising timing of the rising timing optical signal, and outputs an optical test signal that falls at the rising timing of the falling timing optical signal An optical test signal generator comprising:
相互に異なるタイミングを有する複数のクロック光信号を供給するクロック源と、
外部からの指示に応じて、前記複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち上がりタイミング光信号として出力する立ち上がりクロック選択部と、
外部からの指示に応じて、前記複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち下がりタイミング光信号として出力する立ち下がりクロック選択部と、
前記連続光および前記立ち上がりタイミング光信号を受けて、当該立ち上がりタイミング光信号のタイミングで立ち上がる立ち上がり光信号を出力する立ち上がり信号出力部と、
前記連続光および前記立ち下がりタイミング光信号を受けて、当該立ち下がりタイミング光信号のタイミングで立ち上げる立ち下がり光信号を出力する立ち下がり信号出力部と、
前記立ち上がり光信号および前記立ち下がり光信号を合波して、前記立ち上がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち上がり、前記立ち下がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち下がる光試験信号を出力する光試験信号出力部と
を有する光試験信号発生装置を備え、前記光試験信号により被試験デバイスを試験する試験装置。 A light source that supplies continuous light;
A clock source for supplying a plurality of clock optical signals having mutually different timings;
In response to an instruction from the outside, a rising clock selector that outputs one of the plurality of clock optical signals as a rising timing optical signal;
In response to an instruction from the outside, a falling clock selection unit that outputs one of the plurality of clock optical signals as a falling timing optical signal;
A rising signal output unit that receives the continuous light and the rising timing optical signal and outputs a rising optical signal that rises at the timing of the rising timing optical signal;
A falling signal output unit that receives the continuous light and the falling timing optical signal and outputs a falling optical signal that rises at the timing of the falling timing optical signal;
An optical test signal output unit that combines the rising optical signal and the falling optical signal, rises at the rising timing of the rising timing optical signal, and outputs an optical test signal that falls at the rising timing of the falling timing optical signal A test apparatus for testing a device under test using the optical test signal.
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