JP4850014B2 - 分光測光システム及び該システムの照明光源位置の補正方法 - Google Patents
分光測光システム及び該システムの照明光源位置の補正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4850014B2 JP4850014B2 JP2006265124A JP2006265124A JP4850014B2 JP 4850014 B2 JP4850014 B2 JP 4850014B2 JP 2006265124 A JP2006265124 A JP 2006265124A JP 2006265124 A JP2006265124 A JP 2006265124A JP 4850014 B2 JP4850014 B2 JP 4850014B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination
- light source
- spectrophotometric
- amount
- illumination light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
顕微鏡ユニットは、少なくとも水平方向に移動可能なものである。顕微鏡ユニットは、本実施形態で言えば、顕微鏡ユニット11に相当する。
また、前記照明中心補正手段は、照明中心ズレ算出手段と、第1の照明移動制御手段とを有している。照明中心ズレ算出手段は、前記観察位置と前記照明領域の中心の位置とのズレ量を算出する。第1の照明移動制御手段は、前記ズレ量に基づいて、前記照明光源を移動させる。
また、前記最大光量位置補正手段は、分光測光手段と、真最大光量位置算出手段と、照明移動制御手段と、第2の照明移動制御手段とを有する。
以下の本実施形態では、液晶基板等の分光透過率測定の前工程として行われる照明光源の位置の補正を自動で行う分光測光システムについて説明する。
顕微鏡ユニット11には、顕微鏡ヘッドの光軸上に検出器(ディテクタ)が連結されている。又、この光軸上には、ビームスプリッタが配置され、このビームスプリッタの反射光路上に撮像装置(CCDカメラ)が設けられている。これら顕微鏡ヘッド、検出器及び撮像装置は、一体的に設けられ、図8で説明したように、フレーム504の上部504aにフレームに沿って1次元方向に移動可能なように設置されている。
検査装置制御用PC4は、分光測光システム1の全体を制御する。検査装置制御用PC4では、顕微鏡ユニットにより観察されて撮像装置で撮像された顕微鏡画像が表示されたり、分光測光の結果が表示されたりする。検査装置制御用PC4は、少なくとも、CPU(中央処理演算装置)、ROM(リードオンリーメモリ)、RAM(ランダムアクセスメモリ)、HDD(ハードディスクドライブ)、通信インターフェースを有する。検査装置制御用PC4には、照明光源自動分光測光ソフトウェア5がインストールされており、CPUはそのソフトウェアを読み出して、その処理内容を実行する。照明光源自動分光測光ソフトウェア5は、分光測光ソフトウェア制御機能6とハードウェア制御機能7を有する。
ここで、分光測光システム1の動作概要について説明する。まず、ステージに検査対象となる基板等(検査対象物)を載置しない状態で、図8で説明したように、顕微鏡ユニット11をステージ上方の所定位置に位置決めする。このとき、透過照明用光源10もその顕微鏡の動作に追従して移動する。
そして、自動分光測光ソフトウェア5は、分光測光用PC2を動作させると、分光測光用PC2は分光測光ユニット12を制御して、各交点について、順次、分光測光を行う。
ExtPosition=
((((PrevPos^2−PeakPos^2)×Next_Y)+((PeakPos^2−NextPos^2)×Prev_Y)+((NextPos^2−PrevPos^2)×Peak_Y))/(((PrevPos−PeakPos)×Next_Y)+((PeakPos−NextPos)×Prev_Y)+((NextPos−PrevPos)×Peak_Y)))×0.5
ここで、PrevPosは、分光測光結果の光量最大の前位置(s−1,t)と(s,t−1)を示す。PeakPosは、分光測光結果の光量最大の位置(s,t)を示す。NextPosは、分光測光結果の光量最大の次位置(s+1,t)と(s,t+1)を示す。Prev_Y、Peak_Y、Next_YはPrevPosの光量値、PeakPosの光量値(光量最大値)、NextPosの光量値である。
また、本実施形態では、トラッキング処理(図4のS2)、コントラストAF処理(図4のS3)、分光測定処理(図4のS4)において、顕微鏡ユニット11の顕微鏡ヘッドの位置を固定し、その顕微鏡ヘッドに対して透過照明用光源10を移動させたが、これに限定されない。例えば、透過照明用光源10の位置を固定し、その透過照明用光源10に対して顕微鏡ヘッドを移動させてもよい。
2 分光測光用PC
3 分光測光ソフトウェア
4 検査装置制御用PC
5 照明光源自動分光測光ソフトウェア
6 分光測光ソフトウェア制御機能
7 ハードウェア制御機能
8 検査装置
10 透過照明用光源
11 顕微鏡ユニット
12 分光測光ユニット
15 分光器
16 測光鏡筒
17 落射照明用光源
Claims (4)
- 少なくとも水平方向に移動可能な顕微鏡ユニットと、
前記顕微鏡ユニットに追従して水平方向に移動可能であり、かつ、鉛直方向に移動可能な照明光源と、
前記顕微鏡ユニットを通して測定対象物を撮像する撮像手段と、
前記撮像された顕微鏡観察画像内の所定の観察位置と、前記照明光源による照明領域の中心との第1のズレ量を算出する照明中心補正手段と、
前記第1のズレ量に基づいて前記観察位置と前記照明領域の中心とを一致させるように前記照明光源を移動させる照明移動制御手段と、
前記顕微鏡観察画像内で、前記照明光源より照らされる照明領域について合焦させる合焦手段と、
前記観察位置と前記照明領域の中心とが一致した状態で前記測定対象物を撮像し、前記照明領域のうち最大光量となる位置を算出して、該最大光量位置と前記観察位置との第2のズレ量を算出する最大光量位置補正手段と、
を備え、
前記照明移動制御手段は、前記第2のズレ量に基づいて前記最大光量位置と前記観察位置とを一致させるように前記照明光源を移動させることを特徴とする分光測光システム。 - 前記最大光量位置補正手段は、
前記照明領域を格子状に分割し、該格子の各頂点について、順次、分光測光を行う分光測光手段と、
前記分光測光の結果、最大の明るさを有する前記頂点の座標である最大光量位置を取得し、該最大光量位置及び該最大光量位置に隣接する座標の光量に基づいて、真の最大光量位置を算出する真最大光量位置算出手段と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の分光測光システム。 - 少なくとも水平方向に移動可能な顕微鏡ユニットと、前記顕微鏡ユニットに追従して水平方向に移動可能であり、かつ、鉛直方向に移動可能な照明光源と、を備える分光測光システムの照明光源位置の補正方法であって、
前記顕微鏡ユニットを通して測定対象物を撮像し、
前記撮像された顕微鏡観察画像内の所定の観察位置と、前記照明光源による照明領域の中心との第1のズレ量を算出し、
前記第1のズレ量に基づいて前記照明光源を移動させて前記観察位置と前記照明領域の中心を一致させ、
前記顕微鏡観察画像内で、前記照明領域について合焦させ、
前記観察位置と前記照明領域の中心が一致した状態で前記顕微鏡ユニットにより前記測定対象物を撮像し、
前記照明領域のうち最大光量となる位置を算出して、該最大光量位置と前記観察位置との第2のズレ量を算出し、
前記第2のズレ量に基づいて前記最大光量位置と前記観察位置とを一致させる、
ことを特徴とする照明光源位置の補正方法。 - 前記第2のズレ量を算出する場合、前記照明領域を格子状に分割し、該格子の各頂点について、順次、分光測光を行い、
前記分光測光の結果、最大の明るさを有する前記頂点の座標である最大光量位置を取得し、該最大光量位置及び該最大光量位置に隣接する座標の光量に基づいて、真の最大光量位置を算出する、
ことを特徴とする請求項3に記載の照明光源位置の補正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006265124A JP4850014B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 分光測光システム及び該システムの照明光源位置の補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006265124A JP4850014B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 分光測光システム及び該システムの照明光源位置の補正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008082955A JP2008082955A (ja) | 2008-04-10 |
JP4850014B2 true JP4850014B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=39353967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006265124A Expired - Fee Related JP4850014B2 (ja) | 2006-09-28 | 2006-09-28 | 分光測光システム及び該システムの照明光源位置の補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4850014B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109990980A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-09 | 杭州赛美蓝光电科技有限公司 | 一种基于光谱仪的可见光探测器视觉函数修正方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5271185B2 (ja) * | 2009-07-28 | 2013-08-21 | 株式会社アイテス | 太陽光発電素子の検査装置 |
CN112965261B (zh) * | 2021-02-23 | 2022-10-28 | 山东仕达思生物产业有限公司 | 一种快速有效的基于机器视觉的智能校正显微镜光轴的方法及其实现*** |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002267937A (ja) * | 2001-03-08 | 2002-09-18 | Olympus Optical Co Ltd | 測定光学系補正装置及び分光測光装置 |
JP5208340B2 (ja) * | 2001-09-20 | 2013-06-12 | オリンパス株式会社 | 透過型顕微鏡装置 |
JP4034759B2 (ja) * | 2004-06-22 | 2008-01-16 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用照明調整方法及び顕微鏡 |
JP4710366B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-06-29 | 株式会社島津製作所 | 赤外顕微鏡 |
-
2006
- 2006-09-28 JP JP2006265124A patent/JP4850014B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109990980A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-09 | 杭州赛美蓝光电科技有限公司 | 一种基于光谱仪的可见光探测器视觉函数修正方法 |
CN109990980B (zh) * | 2019-04-17 | 2020-11-10 | 杭州赛美蓝光电科技有限公司 | 一种基于光谱仪的可见光探测器视觉函数修正方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008082955A (ja) | 2008-04-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4135603B2 (ja) | 2次元分光装置及び膜厚測定装置 | |
KR101423339B1 (ko) | 피측정물로부터의 반사광을 이용하는 광학 특성 측정 장치및 그것에 있어서의 포커스 조정 방법 | |
US20080129950A1 (en) | Repair method and apparatus therefor | |
US9596416B2 (en) | Microscope system | |
JP2009031301A (ja) | 2次元型検出器を用いた薄膜特性測定装置及びその測定方法 | |
US7692128B2 (en) | Focus control method for an optical apparatus which inspects a photo-mask or the like | |
JPWO2015182571A1 (ja) | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 | |
CN114402205B (zh) | 应用谐波检测率以作为用于基于成像的叠加测量的质量指标的***及方法 | |
WO2011114407A1 (ja) | 波面収差測定方法及びその装置 | |
JP4850014B2 (ja) | 分光測光システム及び該システムの照明光源位置の補正方法 | |
JP4100330B2 (ja) | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 | |
JP2007163461A (ja) | レンズ評価装置 | |
WO2021019597A1 (ja) | 核酸分析装置及び方法 | |
JP2006242759A (ja) | 周期性パターンのムラ検査方法 | |
JP2012189406A (ja) | 膜厚測定方法及び膜厚測定装置 | |
JP2004037410A (ja) | 変調伝達関数測定装置および変調伝達関数測定方法 | |
JP2008020332A (ja) | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 | |
JP2007205791A (ja) | セル内膜厚測定装置 | |
JP5217093B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2004069651A (ja) | 膜厚測定装置 | |
JP2020165666A (ja) | 分光検査方法および分光検査装置 | |
JP4844069B2 (ja) | 画素内膜厚測定装置及び測定方法 | |
US11209312B2 (en) | Spectroscopic camera and inspection system | |
JP2008082950A (ja) | 顕微分光装置 | |
JP2006038810A (ja) | 光学系性能測定装置及びその方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110804 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110823 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110920 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111011 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111018 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |