JP4826483B2 - Plasma processing equipment - Google Patents
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Description
本発明は、例えばFPD(Flat Panel Display)基板等の角型基板にプラズマ処理を行うプラズマ処理装置に関する。 The present invention relates to a plasma processing apparatus that performs plasma processing on a square substrate such as an FPD (Flat Panel Display) substrate.
例えばFPD基板の製造工程においては、その表面にパターンを形成する工程が含まれ、その工程においてはエッチングやスパッタリング、CVD(Chemical Vapor Deposition)などのプラズマ処理が基板に施される。このようなプラズマ処理を行う装置としては例えば平行平板プラズマ処理装置が挙げられる。 For example, the manufacturing process of an FPD substrate includes a step of forming a pattern on the surface, and plasma processing such as etching, sputtering, and CVD (Chemical Vapor Deposition) is performed on the substrate. As an apparatus for performing such plasma processing, for example, a parallel plate plasma processing apparatus can be cited.
この種のプラズマ処理装置は、処理容器内の処理空間に下部電極を構成する載置台と、その載置台の上部に平行に設けられ、処理ガスの供給孔を備えた上部電極とを備えている。そして基板処理時には処理空間が真空引きされると共に前記ガス供給孔を介して処理ガスが処理容器内に供給され、処理空間が所定の圧力になると、上部電極に高周波が印加されて、これら上部電極と下部電極と間に電界が形成される。この電界により形成された処理ガスのプラズマにより前記載置台上の基板に処理が施される。 This type of plasma processing apparatus includes a mounting table that constitutes a lower electrode in a processing space in a processing container, and an upper electrode that is provided in parallel with the upper portion of the mounting table and includes a processing gas supply hole. . When the substrate is processed, the processing space is evacuated and a processing gas is supplied into the processing container through the gas supply hole. When the processing space reaches a predetermined pressure, a high frequency is applied to the upper electrode, and the upper electrode An electric field is formed between the lower electrode and the lower electrode. The substrate on the mounting table is processed by the plasma of the processing gas formed by this electric field.
図28(a)は、そのプラズマ処理装置の一例である上部構造の縦断側面を示したものであり、図28(b)は、図28(a)の鎖線の矢印1Aの横断平面を示したものである。図中11は角板状の上部電極であり、厚さ方向に多数のガス供給孔11aが穿孔されている。図中12は上部電極11を支持する角型の上部電極ベースであり、その周縁部はフランジになっており、上部電極ベース12と上部電極11とにより処理ガスの拡散空間13が形成されている。これら上部電極11及び上部電極ベース12は例えばアルミニウムにより構成されており、上部電極ベース12には整合器14aを介して高周波電源14が接続され、高周波が当該上部電極ベース12を介して上部電極11に印加される。
FIG. 28A shows a longitudinal side surface of an upper structure as an example of the plasma processing apparatus, and FIG. 28B shows a transverse plane of a
上部電極ベース12の中央上部にはセラミックスなどの絶縁部材からなる流路部材15が設けられており、流路部材15の上部には、接地された金属製のガス供給管16の一端が接続されている。ガス供給管16は、流路部材15のガス流路15aを経由して拡散空間13に処理ガスを供給することができる。
A
図中17はバッフル板であり、例えば中央と周縁部とに孔17aが穿孔されている。ガス供給管16から拡散空間13に供給された処理ガスは、バッフル板17により、拡散空間13全体に拡散し、上部電極11のガス供給孔11aから下方の処理空間へ均一に供給される。また上部電極ベース12はその内部に温調用の流体(チラー)の流路12aが形成されている。プラズマ処理中には拡散空間13が減圧雰囲気になるため、この流体の熱は上部電極ベース12の周縁部を介して上部電極11に伝達され、プラズマ処理中にプラズマの熱に曝される上部電極11の温度が制御される。なお図中18は絶縁材料により構成された支持部であり、上部電極ベース12を処理容器の上蓋19から電気的に絶縁している。
In the figure,
ところで大型のFPD基板に対して処理を行うことができるようにプラズマ処理装置の大型化が進み、現在ではプラズマ処理装置は、G8世代と呼ばれるそのサイズが2200×2500mm2程度の基板に対して処理を行うことができるようになっている。しかしこのようにプラズマ処理装置が大型化したことにより、前記上部電極11も大型化し、処理を行う際に前記流体の熱が上部電極11の中央部に十分に伝わらず、その中央部の温度制御性が低下する。その結果として基板処理時に上部電極11の中央部と周縁部との温度差が大きくなり、複数の基板を連続的に処理するにあたり、この温度差が不安定な状態となり、基板ごとに処理条件が変動して各基板間で処理にばらつきが生じるおそれがあり、また処理における面内均一性が悪化する懸念がある。
By the way, the size of the plasma processing apparatus has been increased so that processing can be performed on a large FPD substrate. At present, the plasma processing apparatus is processing a substrate called a G8 generation whose size is about 2200 × 2500
なお特許文献1には上部電極上にガス分散室と冷却室とを積層させたプラズマエッチング装置について記載されているが、これはウエハを処理するプラズマ処理装置の技術であり、角型基板のプラズマ処理装置の技術ではない。またその特許文献1の図5では冷却用の流体の流路を設けることが示されているがその構成が不明確である。
そこでプラズマ処理装置の上部は図29に示すように構成される場合がある。図28の上部構造との差異点を説明すると、上部電極ベース12に温調流路12aが設けられておらず、上部電極11の上部に温調板10が設けられている。この温調板10は、上部電極11のガス供給孔11aと重なる孔10aと、この孔10aを避けるように設けられた温調流体の流路(不図示)とを備え、プラズマ処理中に上部電極11を温調する。
Therefore, the upper part of the plasma processing apparatus may be configured as shown in FIG. The difference from the upper structure of FIG. 28 will be described. The temperature
しかし温調板10において、ガス供給孔11aに合わせて多数設けられた孔10a避けるように前記温調流体流路を形成することは難しく、このような温調板10を設けることは一般にコストが高くなってしまうという問題がある。
However, in the
また、大型化した基板の面内均一性を保つために例えば図28及び図29に示した上部構造の拡散空間13を横方向に区画して基板の中央領域、周縁領域に夫々処理ガスを供給するための区画領域を形成し、各区画領域に流路部材15及びガス供給管16を接続して処理ガスを供給することにより、基板の各部ごとに供給される処理ガスの量を制御することが検討されている。このような構成は特許文献2及び特許文献3に示されている。
Further, in order to maintain the in-plane uniformity of the enlarged substrate, for example, the
この場合、例えば基板上における中央領域と周縁領域との間でガスの供給量の均一化を測るために、中央領域よりも周縁領域のガス供給量が少なく設定される。その理由は基板の中央に供給される処理ガスは基板の表面に沿って周縁に広がるため、中央領域と周縁領域とのガスの供給量を同じにすると周縁領域のガス供給量が多くなってしまうからである。 In this case, for example, in order to measure the uniform gas supply amount between the central region and the peripheral region on the substrate, the gas supply amount in the peripheral region is set to be smaller than that in the central region. The reason is that the processing gas supplied to the center of the substrate spreads along the surface of the substrate to the periphery, so if the gas supply amount in the central region and the peripheral region is the same, the gas supply amount in the peripheral region increases. Because.
ところで上部電極ベース12に高周波が印加されたときに、その上部電極ベースの電圧は数千V程度になり、その上部電極ベース12の表面と金属により構成され、接地電位状態であるガス供給管16の一端との間に大きな電位差が生じることになる。
By the way, when a high frequency is applied to the
ここで、平行な電極間で放電が生じる電圧(放電開始電圧)は、電極間のガス圧力(p)と電極間距離(d)との積の関数であり、f(pd)で表されるとするパッシェンの法則が知られている。基板周縁領域へのガス供給量を少なくするために基板の周縁領域に対応する前記区画領域に連通するガス供給路の圧力を低下させると、この法則により例えば上部電極ベース12とガス供給管16との間に介在する流路部材15のガス流路15aにおいてその放電開始電圧が、例えば300V程度にまで低下し、その結果として当該ガス流路15aに不安定なプラズマが発生するおそれがある。このように不安定なプラズマが発生すると、上部電極11に異常放電(アーキング)が発生することを本発明者らは確認しており、この異常放電により基板への正常な処理が妨げられたり、基板や上部電極がダメージを受けたりするおそれがある。また図30の様な下部電極へ高周波を印加する場合でも、プラズマを均一化するための機構として、上部電極と処理容器との間にインピーダンス調整回路が設置されており、上部電極は接地電位にならない。この様な装置では上部電極に高周波電位が発生するため、同様な問題が生じる。前記インピーダンス調整回路について、詳しくは特許文献4に記載されている。
Here, the voltage at which discharge occurs between parallel electrodes (discharge start voltage) is a function of the product of the gas pressure (p) between the electrodes and the distance (d) between the electrodes, and is expressed by f (pd). Paschen's law is known. When the pressure of the gas supply path communicating with the partition region corresponding to the peripheral region of the substrate is reduced in order to reduce the gas supply amount to the peripheral region of the substrate, for example, the
図30のプラズマエッチング装置の各部について簡単に説明すると、図中1Aは基板Sの載置台を兼用する下部電極である。また図中1B,1Cは夫々プラズマ発生用、バイアス印加用の高周波電源であり、マッチングボックス1Dを介して前記下部電極1Aに接続されている。また図中1Eはインピーダンス調整機構であり、上部電極ベース12に接続されている。
Briefly describing each part of the plasma etching apparatus of FIG. 30,
以上のような問題に加え、大型基板を処理する場合には、上部電極が例えば異常放電などによりダメージを受けたときに、上部電極自体も大型であることから変換のコストが高いという問題がある。 In addition to the above problems, when processing a large substrate, when the upper electrode is damaged by, for example, abnormal discharge, there is a problem that the conversion cost is high because the upper electrode itself is also large. .
本発明の目的は、上記のような問題を解決することであり、角型基板をプラズマ処理する平行平板型プラズマ処理装置において、上部電極の温度制御性が良好で安定した処理を行うことのできるプラズマ処理装置を提供することにある。本発明の他の目的はこの種のプラズマ処理装置において、上部電極が損傷したときに交換に要するコストを低くできるプラズマ処理装置を提供することにある。 An object of the present invention is to solve the above-described problems, and in a parallel plate type plasma processing apparatus for plasma processing a square substrate, temperature controllability of the upper electrode is good and stable processing can be performed. It is to provide a plasma processing apparatus. Another object of the present invention is to provide a plasma processing apparatus of this type that can reduce the cost required for replacement when the upper electrode is damaged.
本発明のプラズマ処理装置は、処理容器内に処理ガスを供給してプラズマ化し、そのプラズマにより矩形状の基板を処理するプラズマ処理装置において、
前記処理容器内に設けられ、基板が載置される下部電極と、
前記基板に前記処理ガスを供給するための多数のガス供給孔を備え、前記下部電極に対向して設けられた矩形状の板状の上部電極と、
前記上部電極の上面側を覆い、その上部電極との間に前記ガス供給孔に連通した処理ガスの拡散空間を形成する、平面形状が矩形状である上部電極ベースと、
この上部電極ベースの内周面により囲まれる領域内にて上部電極の上面と上部電極ベースの下面とを接続するように当該上部電極ベースに一体的に設けられ、前記拡散空間を複数に区画するように直線状に配置された複数の梁と、
前記上部電極ベースにて、前記複数の梁の各々の直上に当該梁に沿うように設けられ、上部電極を温調するための温調流体が通流する流体流路と、
前記上部電極ベースに設けられ、前記拡散空間へ処理ガスを導入するガス供給路と、
上部電極と下部電極との間に高周波電力を供給して処理ガスをプラズマ化するための高周波電源と、
を備えたことを特徴とする。
In the plasma processing apparatus of the present invention, a processing gas is supplied into a processing container to be converted into plasma, and a rectangular substrate is processed by the plasma.
A lower electrode provided in the processing vessel and on which a substrate is placed;
A plurality of gas supply holes for supplying the processing gas to the substrate, and a rectangular plate-like upper electrode provided to face the lower electrode;
An upper electrode base having a rectangular planar shape that covers the upper surface side of the upper electrode and forms a processing gas diffusion space communicating with the gas supply hole between the upper electrode and the upper electrode;
Provided integrally with the upper electrode base so as to connect the upper surface of the upper electrode and the lower surface of the upper electrode base within a region surrounded by the inner peripheral surface of the upper electrode base, and divides the diffusion space into a plurality of parts. A plurality of beams arranged in a straight line like
In the upper electrode base , a fluid flow path that is provided immediately above each of the plurality of beams along the beam, and through which a temperature adjusting fluid for adjusting the temperature of the upper electrode flows,
A gas supply path that is provided in the upper electrode base and introduces a processing gas into the diffusion space;
A high-frequency power source for supplying high-frequency power between the upper electrode and the lower electrode to turn the processing gas into plasma,
It is provided with.
例えば前記ガス供給路は、例えば区画領域ごとに設けられ、区画領域の間で互いに独立して処理ガスの流量を制御できるようにガス供給路に流量制御部が設けられており、区画領域の間で互いに独立して処理ガスの流量を制御するとは、区画領域が多数設けられる場合にその区画領域全ての流量を互いに独立制御することの他に区画領域をグループごとに分け、そのグループごとに流量を独立制御することも含む。そして前記梁は環状に形成されて拡散空間を内から外に向かう方向に区画していてもよく、例えば前記区画領域同士を連通するための連通孔が梁に穿設されている。
For example, the gas supply path is provided for each partition area, for example, and a flow rate control unit is provided in the gas supply path so that the flow rate of the processing gas can be controlled independently between the partition areas. In the case of controlling the flow rate of the processing gas independently of each other, in the case where a large number of partitioned areas are provided, in addition to controlling the flow rates of all the partitioned areas independently of each other, the partitioned areas are divided into groups, and the flow rates for each group are determined. Including independent control. The beam may be formed in an annular shape and partition the diffusion space in the direction from the inside to the outside. For example, a communication hole for communicating the partition regions is formed in the beam.
例えば上部電極は、複数の横方向に配列された分割電極により構成され、各分割電極の周縁部が梁に沿って分割されており、隣り合う分割電極の側壁は互いに斜めに並行するように形成されていてもよい。分割電極と梁との間には、封止部材が介在していてもよく、また分割電極は、圧縮された弾性体からなる導電性部材を介して梁に接続されていてもよい。なお基板は例えば矩形状であり、前記分割電極は矩形状に形成されており、その場合に例えば前記基板の縦横の各辺の長さは1.5m以下であることを特徴とする請求項11記載のプラズマ処理装置。
For example, the upper electrode is composed of a plurality of divided electrodes arranged in the horizontal direction, the peripheral edge of each divided electrode is divided along the beam, and the side walls of adjacent divided electrodes are formed so as to be diagonally parallel to each other May be. A sealing member may be interposed between the divided electrode and the beam, and the divided electrode may be connected to the beam via a conductive member made of a compressed elastic body. The substrate is, for example, rectangular, and the divided electrodes are formed in a rectangular shape, and in this case, for example, the length of each side of the substrate is 1.5 m or less. The plasma processing apparatus as described.
前記ガス供給路は、例えば上部電極ベースに設けられると共に前記拡散空間に連通するガス供給路を備えた絶縁材からなる流路部材と、この流路部材の上流側に接続された金属製のガス供給管と、を含み、前記絶縁材からなる流路部材は、例えば少なくとも一部が上部電極ベースに埋設されている。また前記絶縁材からなる流路部材のガス供給路はその上流側から下流側が見通せないように屈曲して構成されていてもよい。 The gas supply path is, for example, a flow path member made of an insulating material provided on the upper electrode base and provided with a gas supply path communicating with the diffusion space, and a metal gas connected to the upstream side of the flow path member For example, at least a part of the flow path member made of the insulating material is embedded in the upper electrode base. The gas supply path of the flow path member made of the insulating material may be bent so that the downstream side cannot be seen from the upstream side.
さらに装置は前記絶縁材からなる流路部材内の圧力が設定圧力よりも低くなったときにその流路部材内に不活性ガスを供給して、当該圧力を昇圧するための手段を備えていてもよい。さらに例えば前記流体流路は梁の直上に、当該梁に沿うように形成されており、また例えば上部電極のガス供給孔は、マトリクス状に配列され、縦横の配列ピッチは25mm以下である。 The apparatus further includes means for supplying an inert gas into the flow path member to increase the pressure when the pressure in the flow path member made of the insulating material becomes lower than a set pressure. Also good. Further, for example, the fluid flow path is formed immediately above the beam and along the beam. For example, the gas supply holes of the upper electrode are arranged in a matrix, and the vertical and horizontal arrangement pitch is 25 mm or less.
本発明においては、上部電極と温調流体が通流する流体流路を備えた上部電極ベースとにより構成される処理ガスの拡散空間において、上部電極の中央部上面と上部電極ベースの下面とを接続する接続部材が設けられている。その接続部材を介して前記温調流体の熱が上部電極の中央部に伝導して上部電極を温調するため、上部電極の温度制御性が良好になり、その結果、複数の基板に対して連続的にプラズマ処理を行う場合に、処理ごとにプラズマの熱を受けて、上部電極中央部の温度が変動し、基板間で処理がばらつくことを抑えることができる。また上部電極を分割した構成にすると、各分割電極は、上部電極に比べて小型であるため、製造工程において取り扱いや加工作業が容易であり、製造コストを抑えることができ、さらに異常放電などにより破損した場合であってもその破損箇所が含まれる分割電極だけを交換すればよいため、その交換に要するコストを低くできる。 In the present invention, the upper surface of the central portion of the upper electrode and the lower surface of the upper electrode base in the diffusion space of the processing gas constituted by the upper electrode and the upper electrode base having a fluid flow path through which the temperature control fluid flows. A connecting member for connection is provided. The heat of the temperature control fluid is conducted to the central portion of the upper electrode through the connecting member to control the temperature of the upper electrode, so that the temperature controllability of the upper electrode is improved. When plasma processing is continuously performed, it is possible to prevent the processing from being varied between the substrates due to fluctuations in the temperature of the central portion of the upper electrode due to the heat of the plasma for each processing. In addition, when the upper electrode is divided, each divided electrode is smaller than the upper electrode, so that handling and processing operations are easy in the manufacturing process, manufacturing cost can be reduced, and abnormal discharge, etc. Even if it is damaged, it is only necessary to replace the divided electrode including the damaged portion, so that the cost required for the replacement can be reduced.
以下、本発明の実施の形態について、FPD基板に対してエッチング処理を行うための真空処理システムに本発明のプラズマ処理装置を適用した場合を例にして説明する。図1は前記真空処理システムの概観を示す斜視図、図2はその内部を示す水平断面図である。図中2A,2Bは、外部から、多数のFPD基板Sを収容したキャリアC1,C2を載置するためのキャリア載置部であり、これらキャリアC1,C2は、例えば昇降機構21により昇降自在に構成され、一方のキャリアC1には未処理基板S1が収容され、他方のキャリアC2には処理済みの基板S2が収容される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described by taking as an example a case where the plasma processing apparatus of the present invention is applied to a vacuum processing system for performing an etching process on an FPD substrate. FIG. 1 is a perspective view showing an overview of the vacuum processing system, and FIG. 2 is a horizontal sectional view showing the inside thereof. In the figure, 2A and 2B are carrier mounting portions for mounting carriers C1 and C2 containing a large number of FPD substrates S from the outside. These carriers C1 and C2 can be moved up and down by, for example, a
またキャリア載置部2A,2Bの奥側にはロードロック室22と搬送室23とが連接されると共に、キャリア載置部2A,2Bの間には、前記2つのキャリアC1,C2と、ロードロック室22との間で基板Sの受け渡しを行なうための基板搬送手段25が支持台24上に設けられており、この基板搬送手段25は上下2段に設けられたアーム25a,25bと、これらを進退自在及び回転自在に支持する基台25cと、を備えている。前記ロードロック室22は、所定の減圧雰囲気に保持されるように構成され、その内部には図2に示すように、基板Sを支持するためのバッファラック22aが配設されている。図中22bはポジショナーである。また前記搬送室23の周囲には、本発明のプラズマ処理装置の一実施形態である3つのプラズマエッチング装置3が配設されている。
A
前記搬送室23は、所定の減圧雰囲気に保持されるように構成され、その内部には図2に示すように搬送機構26が配設されている。そしてこの搬送機構26により、前記ロードロック室22及び3つのエッチング装置3との間で基板Sが搬送されるようになっている。前記搬送機構26は、昇降自在及び回転自在に設けられた基台26aと、この基台26aの一端に設けられ、当該基台26aに回動自在に設けられた第1アーム26bと、第1アーム26bの先端部に回動自在に設けられた第2アーム26cと、第2アーム26cに回動自在に設けられ、基板Sを支持するフォーク状の基板支持プレート26dとを有しており、基台26aに内蔵された駆動機構により第1アーム26b、第2アーム26c及び基板支持プレート26dを駆動させることにより、基板Sを搬送することが可能となっている。
The
また前記ロードロック室22と搬送室23との間、搬送室23と各プラズマエッチング処理装置3との間、及びロードロック室22と外側の大気雰囲気とを連通する開口部には、これらの間を気密にシールし、かつ開閉可能に構成されたゲートバルブ27が夫々介挿されている。
Also, there are openings between the
次にプラズマエッチング装置3について、その縦断側面図である図3を参照しながら説明する。エッチング処理装置3は、その内部においてFPD基板Sに対して、エッチング処理を施すための角筒形状の処理容器30を備えている。この処理容器30は、平面形状が四角形状に構成され、天井部が開口する容器本体31と、この容器本体31の天井開口部を塞ぐように設けられた上蓋32と、を備えている。
Next, the
容器本体31内の底部には、基板Sを載置するための下部電極を構成する載置台32が設けられており、支持部33を介して水平に支持されている。支持部33は容器本体31の底部中央に設けられた開口部から下方へ伸長し支持板33aに支持されている。図中33bはベローズ体であり、その上端は前記開口部の開口縁に、その下端は支持板33aの周縁に固定され、容器本体31内が気密になるように構成されている。また図示しない昇降機構により支持板33aが昇降されることにより、載置台32が昇降自在に構成される。載置台32は、アルミニウムやSUSなどの金属により構成され、導電路33cを介して支持板33aに接続されており、当該導電路33c、支持板33a、ベローズ体33bを介して容器本体31に電気的に接続され、接地されている。
A mounting table 32 constituting a lower electrode for mounting the substrate S is provided on the bottom of the
また容器本体31の側壁下部には排気路34を介して、例えば真空ポンプよりなる真空排気手段35が接続されている。この真空排気手段35には圧力調整部(不図示)が含まれており、当該圧力調整部が後述の制御部6Aからの制御信号を受けることで、排気装置35がその信号に従い、処理容器30内を真空排気して処理容器30内が所望の真空度に維持されるように構成されている。なお基板Sは、例えば一辺が2200mm、他辺が2500mm程度の大きさの角型に形成されている。
Further, a vacuum evacuation means 35 such as a vacuum pump is connected to the lower portion of the side wall of the
一方処理容器30の前記載置台32の上方には、基板Sに処理ガスを供給するための上部ガス供給機構4が設けられている。この上部ガス供給機構4について、より詳細に示した図4も参照しながら説明する。上部ガス供給機構4は、載置台32の表面と対向するように設けられた上部電極41と、その上部電極41を支持する上部電極ベース42と、ガス供給部5と、そのガス供給部5に接続される各ガス供給管61〜63とを備えている。
On the other hand, an upper
図5は上部電極41及び上部電極ベース42の下面側を示した斜視図である。この図に示すように上部電極41は角板状に形成されており、その厚さ方向に多数のガス供給孔41aが穿孔されている。そしてこのガス供給孔41aは基板Sの辺に沿ってマトリクス状に配列されており、図中L1、L2で示す縦横の各ガス供給孔41a間の距離(ピッチ)は例えば両方とも25mmである。
FIG. 5 is a perspective view showing the lower surfaces of the
上部電極ベース42は、上部電極41に対応する大きさを有する角板状に形成されており、その周縁部はフランジ部42aとして下方に突出するように形成されている。またフランジ部42aの内周面より囲まれる角形領域には大きさの異なる2つの環状この例では角型のリング状の梁43a,43bが内側からこの順に上部電極ベース42の下面に一体的に設けられており、梁43a,43b及びフランジ部42aは互いに間隔をあけるように形成されている。
The
上部電極41の周縁部は、上部電極ベース42のフランジ部42aに当該上部電極41の下面側から図示しないボルトを挿入することにより着脱自在に固定され、これにより上部電極ベース42が水平に支持されると共に梁43a,43bが上部電極ベース42の上面に密着した状態となる。上部電極41と上部電極ベース42との密着面においてこれらの間には樹脂製のシール部材例えばOリング43c,43d(図4参照)が介在している。なお上部電極ベース42は絶縁部材からなる支持部36を介して処理容器30の上蓋32に水平に支持される。
The peripheral portion of the
上部電極41と上部電極ベース42とにより囲まれる空間は、仕切り部材である梁43a,43bにより内から外に向かって3つの環状領域に区画され、基板Sの中央部上に処理ガスを供給するための第1の拡散空間44a、基板Sの中央部と周縁部との間の中間部に処理ガスを供給するための第2の拡散空間44b、基板Sの周縁部に処理ガスを供給するための第3の拡散空間44cとして構成されている。
A space surrounded by the
また上部電極ベース42には温調流体流路46が形成されており、この温調流体流路46は、図6に示すように上部電極ベース42の一角から当該ベース42に進入し、フランジ部42a、梁43b及び梁43aの上方を順次これらに沿って周回すると共に、いわば一筆書きで前記一角から流出側が引き出されるように周回方向が順次逆転して構成されている。この流路46の一端及び他端は各々温調流体供給部47に接続されており、温調流体供給部47は、温調流体を温調流体流路46に循環供給するように構成されている。プラズマエッチング処理時にこのように流路46を温調流体が流通することで、フランジ部42a、梁43a及び梁43bを介して前記流体の熱が上部電極41に伝導し、上部電極41が温調されるようになっている。
Further, a temperature
上記のようにプラズマエッチング装置3の上部電極ベース42の温調流体流路46については梁43a,43bに沿い且つ梁43a,43bの直上に設けられることで効率よくこれらの梁43a,43bを介して上部電極41を温調することができる。ここで「温調流体流路46が梁43の直上に設けられる」とは、例えば図7中実線で示すような、流体流路46を下方へ投影したときに、その投影領域全体が梁43に収まる位置に流路46が設けられる場合に限られず、例えば図7中二点鎖線で示すような、流体流路46を下方へ投影したときに、その投影領域の一部のみが梁43に収まる場合も含む。
As described above, the temperature adjusting
上部電極ベース42及び上部電極41は導電体例えばアルミニウムやSUSなどの金属により構成されており、また上部電極ベース42には整合器47a及び給電棒47bを介して高周波電源47が接続されている。なお上部電極41はシリコンなどの半導体で構成されてもよい。
The
続いてガス供給部5について説明する。ガス供給部5は各拡散空間44a,44b,44cに夫々処理ガスを供給するように上部電極ベース42に形成された3つのガス供給路45と、これらガス供給路45に夫々対応する位置にて、例えばその一部が上部電極ベース42に埋設され、ガス供給路45に連通するガス供給路52が形成された絶縁材例えばセラミックスからなる円柱状の流路部材51a,51b,51cと、を備えている。これら流路部材51a,51b,51cは各々同様に構成されており、夫々金属製のガス供給管61,62,63の一端側のフランジ部に接続されている。なお各ガス供給管61,62,63は接地されている。
Next, the
また前記絶縁材からなる流路部材51a〜51c中のガス供給路52は、図4及び図8に示すように拡散空間44a,44b,44cに向かう途中で4つに分岐して横方向に広がった後、下方へ屈曲し、再び合流してガス供給路45に連通するように構成されることで、その上流端から下流端が見通せないラビリンス構造を有している。なお、この例では1つの区画された拡散空間に対し、1つのガス供給路45が開口し、処理ガスが供給されるようになっているが、ガス供給路45は1つの区画された拡散空間に対して複数、例えば上部電極ベース42において左右対称になるように設けられ、それらの各ガス供給路45に流路部材51a〜51cが接続されるようになっていてもよい。
Further, the
このプラズマエッチング装置3においては、上部電極41と上部電極ベース42との間に形成される処理ガスの拡散空間44が梁43a,43bにより3つの拡散空間44a〜44cに区画され、3つの流路部材51a〜51cのガス供給路52から各拡散空間44a〜44cに処理ガスが供給される。そして基板S上における中央領域と周縁領域との間でガスの供給量の均一化を測るために、中央領域よりも周縁領域のガス供給量が少なく設定される。その理由は基板Sの中央に供給されるガスは基板Sの表面に沿って周縁に広がるため、中央領域と周縁領域とのガスの供給量を同じにすると、周縁領域のガス供給量が多くなってしまうからである。
In this
従って背景技術の欄で説明したように拡散空間を区画せず、一つのガス流路からその分割されていない拡散空間に処理ガスを供給するような構造における前記流路中の処理ガスの圧力に比べて、拡散空間44cに対応する流路部材51cのガス供給路52の処理ガスの圧力は低くなり、ガス供給管63とその下方の上部電極ベース42との間において、既述のパッシェンの法則に従い放電開始電圧が低下する。従ってガス供給路52が一直線に伸びていると、当該ガス供給路52内にて絶縁破壊が生じて異常放電が起こりやすいが、上記のようにガス供給路52を屈曲してガス供給管63からガス供給路45を見通せないようにすることで電荷が空間中を移動しにくくなり、その結果として異常放電の発生を抑えることができる。このような構造を採用する利点は、ガス供給管63が金属製であることに基づくが、金属製でなくとも他の導電性部材により構成されている場合にも適用できる。またこのラビリンス構造は、特に周縁側の拡散空間にガスを供給する部分に効果的であるが、本例では各流路部材51a〜51cの全てに採用している。
Therefore, as described in the background art section, the pressure of the processing gas in the flow path in the structure in which the processing gas is supplied from one gas flow path to the undivided diffusion space without dividing the diffusion space. In comparison, the pressure of the processing gas in the
なお上部電極ベース42とガス供給管61〜63との間に形成される絶縁部材により構成された流路においてその上流側から下流側が見えないような構成であれば、上記の電荷の直線移動を防ぐことができるので、ガス供給路52の分岐は4つでなくとも、例えば2つでもよいし、S字状あるいは螺旋状に形成されていてもよい。なお図4中ガス供給管61,62,63の一端と上部電極ベース42との間の距離(流路部材51a〜51cの高さ)H1は例えば50mm〜150mmに設定される。
If the flow path formed by the insulating member formed between the
ガス供給管61,62,63の他端は互いに合流して処理ガス供給源64に接続されている。ガス供給管61〜63にはバルブやマスフローコントローラ(MFC)が介設されており、これらバルブやMFCはガス供給系65を構成し、ガス供給系65は、制御部6Aから送信された制御信号に基づいて、各拡散空間44a,44b,44cへの処理ガスの給断及び流量を制御することができるように構成されている。
The other ends of the
前記真空処理システムには例えばコンピュータからなる制御部6Aが設けられている。制御部6Aはプログラム、メモリ、CPUからなるデータ処理部などを備えており、前記プログラムには制御部6Aが真空処理システムの各部に制御信号を送り、後述の各ステップを進行させることで基板Sに対してエッチング処理が実施できるように命令が組まれている。また、例えばメモリにはプラズマエッチング装置3の処理圧力、処理時間、ガス流量、電力値などの処理パラメータの値が書き込まれる領域を備えており、CPUがプログラムの各命令を実行する際これらの処理パラメータが読み出され、そのパラメータ値に応じた制御信号がこのプラズマエッチング装置3の各部に送られることになる。
The vacuum processing system is provided with a
このプログラム(処理パラメータの入力用画面に関連するプログラムも含む)は、例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、MO(光磁気ディスク)などにより構成される記憶媒体である記憶部6Bに格納されて制御部6Aにインストールされる。
This program (including a program related to the process parameter input screen) is stored in the
次に、以上のように構成された真空処理システムの処理動作について説明する。先ず、基板搬送手段25の2枚のアーム25a,25bを進退駆動させて、未処理基板S1を収容した一方のキャリアC1から2枚の基板S1を一度にロードロック室22に搬入する。ロードロック室22内においては、バッファラック22aにより基板S1を保持し、アーム25a,25bが退避した後、ロードロック室22内を排気して、内部を所定の真空度まで減圧する。真空引き終了後、ポジショナー22bにより基板S1の位置合わせを行なう。
Next, the processing operation of the vacuum processing system configured as described above will be described. First, the two
基板S1が位置合わせされた後、ロードロック室22と搬送室23との間のゲートバルブ27を開き、搬送機構26により2枚の基板S1のうち1枚を基板支持プレート26d上に受け取り、前記ゲートバルブ27を閉じる。次いで搬送室23と所定のプラズマエッチング装置3との間のゲートバルブ27を開いて、前記基板S1を搬送機構26により当該プラズマエッチング装置3に搬入し、前記ゲートバルブ27を閉じる。
After the substrate S1 is aligned, the
プラズマエッチング装置3においては、例えば予め流体流路46を温調手段46により温調された流体例えばガルデンが流通し、上部電極ベース42のフランジ部42a及び梁43a,43bを介してその流体の熱が上部電極41に伝導されて上部電極41が例えば90℃に保たれている。そして基板Sが載置台32上に載置されると、処理ガス供給源64からガス供給系65を介して仕切られた各拡散空間44a,44b,44cへ、処理ガス例えばCl2、SF6、CF4などのハロゲン系ガスが供給される。上部電極41の設定温度は、処理ガスの種類などのプロセス条件に応じて決められる。各拡散空間44a〜44cに供給された処理ガスはこれら拡散空間44a〜44c中を拡散し、上部電極41のガス供給孔41aを介して基板Sの中央部、中間部、周縁部へ供給される。このときガス供給系65においては、既述の理由から、ガス流量が44a>44b>44cの関係になる流量設定が行われる。また真空排気手段35は、処理容器30内を真空排気しており、当該排気手段35に含まれる図示しない圧力調整部により、処理容器30内が所定の圧力に調整される。
In the
然る後、高周波電源47から整合器47a、給電棒47b及び上部電極ベース42を介して上部電極41に高周波電力を供給し、これにより高周波が処理空間、載置台32及び処理容器30を介してアースにリターンする。この結果、上部電極41と下部電極である載置台32との間の処理空間にプラズマが形成され、基板Sに対するエッチング処理が行われる。
Thereafter, high-frequency power is supplied from the high-
このエッチング処理終了後、搬送機構26が処理済基板を受け取り、ロードロック室22に搬送する。ロードロック室22に2枚の処理済基板S2が搬送された時点で処理済基板S2は、搬送手段25のアーム25a,25bにより、処理済み基板用のキャリアC2に搬送される。これにより一枚の基板Sにおける処理が終了するが、この処理を未処理基板用のキャリアC1に搭載された全ての未処理基板S1に対して行う。
After this etching process, the
このようなプラズマエッチング装置3においては、次のような効果がある。上部電極41は、温調流体により周縁のフランジ部42aだけでなく、中央よりの梁43a,43bを介して温調されるため、中央部の温度制御が容易になり、基板Sの連続処理を行う際に基板間で処理条件が変動することが抑えられ、またプラズマ処理の面内均一性も向上することから歩留まりが向上する。また背景技術で述べたように、温調板を上部電極41に積層するといった構造が不要であるから製造コストを大幅に低く抑えられる。
Such a
更に上部電極41の上側のガスの拡散空間を周縁部と中央部とに区画すると共に区画された拡散空間44a〜44cごとに独立してガスの流量調整を行うことができるため、中央部側の処理ガスの流量を周縁部側よりも大きくすることで基板Sに対して高い面内均一性を持って処理ガスを供給することができ、そしてこのようなガス供給制御により、周縁部のガス供給路の圧力が低くなってガス供給路内で異常放電が起こりやすい状態になっても既述のように絶縁部分のガス供給路52をラビリンス構造にしているため、異常放電の発生が抑えられる。
Furthermore, the gas diffusion space on the upper side of the
また処理容器30内を真空引きして所定の圧力にするには、拡散空間44a〜44cの雰囲気も吸引される必要があるが、背景技術の欄で説明したようにプラズマ処理装置の大型化により、このような拡散空間の容積は従来に比べて増加し、その結果として前記真空引きに要する時間は従来よりも長くなり、基板の処理速度が低下していることも問題となっている。しかしマトリクス状に配列したガス供給孔41a群においてそのピッチを25mm以下に設定することで後述の評価試験が示すようにこの真空引きの時間を短縮化することができる。
In order to evacuate the inside of the
続いてプラズマエッチング装置3の上部ガス供給機構の他の構成例について図9を参照しながら説明する。なお図中既述の実施形態と同じ構成となっている部分については同じ番号を用いている。この実施形態の上部ガス供給機構7は4枚の上部電極71と上部電極ベース72とガス供給部53とを備えており、これらの上部電極71は、図10に示すようにあたかも既述の上部電極41が十文字に4つに分割されたような形状を有している。図10に示す各辺L3、L4の長さは例えば共に1.5m以下である。なお図中71aはガス供給孔である。また上部電極ベース72は既述の上部電極ベース42と同様に構成されているが、その下面には十字型の梁73が設けられており、その梁73の4つの端部は、上部電極ベース72の周縁のフランジ部72aに接続されている。
Next, another configuration example of the upper gas supply mechanism of the
4枚の上部電極71は平面視、矩形状に配置され、その周縁部は、図11に示すように上部電極71の形状に対応するように形成された封止部材をなす樹脂製のシール材であるOリング74を介して、梁73及びフランジ部72aに夫々密着するように図示しないボルトにより着脱自在に固定されており、互いに区画された4つの拡散空間75aが形成されている。この拡散空間75aは前記Oリング74により高い気密性を持つように形成される。また上部電極ベース72と上部電極71との導電性即ち高周波の電流経路を確保するために、弾性体からなる導電性部材である、帯状の金属製の薄板をコイル状に巻いて構成したシールドスパイラル76がOリング74を囲み、各上部電極71の周縁部及び上部電極ベース72に復元範囲内で押し潰された状態で介在し、密着するように設けられている。なお図が煩雑になるのを防ぐために図10においてはOリング74及びシールドスパイラル76の図示を省略している。
The four
上部電極ベース72上には各拡散空間75aに対応する位置に4つのガス供給部53が設けられており、このガス供給部53は既述のガス供給部5と略同様に構成されている。
Four
各ガス供給部53の流路部材54にはガス供給管61の一端が接続されており、このガス供給管61の上流側は図12(a)に示すように合流し、ガス供給系65を介して処理ガス供給源64に接続されている。
One end of a
また上部電極ベース72には図12(b)に示すように平面視、上下左右に夫々対称で且つ梁73及びフランジ部72aに沿ったグリッド状の流体流路77が形成されており、上部電極ベース72の一角から対角へ向けてこの流体流路77を温調された流体が流通することにより、流体流路77の真下に形成された梁73及びフランジ部72aが温調され、それらを介して上部電極71が温調されるようになっている。この流体流路77にはいくつもの分岐点が設けられているが、上記のように上部電極ベース72の一角から対角まで流体流路77を流体が流通するにあたり、流体が各分岐点からどの経路に流れ込んでも、一定の距離を移動することになるため、流体のコンダクタンスは同等となり、温調流体が流路77全体を均等に流通し、各上部電極71を均一に温調することができる。
As shown in FIG. 12 (b), the
この実施形態によれば上部電極を分割した構成にしているため、各上部電極71が小型になり、このため、上部電極の製作が容易になり、価格を低減できる。特にガス供給孔71aの加工作業が容易になることから、当該ガス供給孔71aのピッチを狭くすることができ、例えばそのピッチを25mm以下にすることができるのでガス供給孔71aの個々のコンダクタンスが小さくても真空引き時間を短縮化できる。また小型であるため、メンテナンス時において上部電極ベース72から各上部電極71を取り外すことや再度取り付けを行うことが容易に行える。さらに異常放電などにより上部電極71が破損した場合であってもその破損箇所が含まれる上部電極71だけを交換すればよいため、コストの増加を防ぐことができる。分割電極である上部電極71の寸法については、一辺が1.5m以下であることが好ましい。
According to this embodiment, since the upper electrode is divided, each
続いて図13を参照しながら他の上部ガス供給機構の構成例について説明する。この上部ガス供給機構8は、9枚の矩形の上部電極81と上部電極ベース82とを備えている。この9枚の上部電極81は、平面視、矩形状に配列され、図14に示すように既述の上部電極41が後述の梁83に沿って9枚に分割されたような構成となっており、その一辺の長さは例えば上部電極71と同様に1.5m以下になるように形成されている。また各上部電極81の隣り合う側壁は図13の点線の枠内で示すように、互いに並行する斜面として形成されている。これはエッチング処理中に処理ガスが処理空間から上部電極81,81の隙間に流れ込み、堆積物を形成してもこのように合わせ目が斜めになっていることで、摩擦により基板Sにその堆積物がパーティクルとして落下することを抑えることを目的としている。なおこのような構成は既述のように上部電極41を4分割した場合にも適用できる。図中81aは処理ガスの供給孔である。
Next, a configuration example of another upper gas supply mechanism will be described with reference to FIG. The upper
前記上部電極ベース82における既述の上部電極ベース42,72との差異点としては平面視、井桁に梁83が形成されていることが挙げられる。各上部電極81の周縁部は、この梁83及び上部電極ベース82の周縁部をなすフランジ部82aに密着するように当該上部電極ベース82に固定され、それによって基板Sの中央に処理ガスを供給する1つの拡散領域84aと、基板Sの周縁部にガスを供給する8つの拡散空間84bとが形成されている。図中85はバッフル板であるが、これについては後述する。
A difference between the
上部電極ベース82の上部には各拡散空間84a,84bに対応する位置に夫々セラミックスにより構成される流路部材55a,55bが設けられている。拡散空間84aに対応する流路部材55aの上部にはガス供給管61の一端が、接続されており、また拡散空間84bに対応する流路部材55bの上部にはガス供給管62の一端が接続されている。この流路部材55a,55bは、互いに同様に構成され、その内部に既述の流路部材51aのガス供給路52に類似した4分岐するガス供給路56を備えている。しかし図15に示すようにガス供給路56はその下端において収束せずに拡散空間84a,84bに向かい、それらに開口するように構成されている。
On the upper part of the
前記バッフル板85は導電性部材により構成されており、各拡散空間84a,84bにおいてそのガス供給路56を塞ぎ、且つその周縁部が上部電極ベース82に密着している。図15においてH2で示す絶縁距離であるガス供給管61とバッフル板85との距離(流路部材55bの高さ)は例えば50mm〜150mmである。なお上記ガス供給路52と同様ガス供給路56において分岐は4つとすることに限られず、2つでもよい。
The
各ガス供給管61,62の上流側は互いに合流し、処理ガスの供給源64に接続されている。そしてガス供給管61,62に介設されたガス供給系65により拡散空間84a、拡散空間84bに供給する処理ガスの流量を夫々制御し、基板Sの中央部に供給する処理ガスの流量と基板Sの周縁部に供給する処理ガスの流量とを制御できるようになっている。
The upstream sides of the
また図13及び図16(a)に示すようにガス供給管61,62には分岐管91,92の一端が夫々接続されており、分岐管91,92の他端は互いに合流して配管93を構成し、その配管93はHe(ヘリウム)ガスの供給源94に接続されている。分岐管91,92には夫々バルブV1,バルブV2が夫々介設されており、配管93には圧力制御機構95が介設されている。圧力制御機構95は、流量調整バルブとそのバルブの下流側の圧力を検出する圧力計とを備えており、ガス供給路56の圧力が低くなり、ガス供給路56内の異常放電が起こるような圧力になったときは、高周波を印加させないようにするとともに、圧力計の検出結果に基づいて前記流量調整バルブの開度が調整され、配管93の下流側に設定された所定の流量のHeガスを供給する。また同様な機能は、ガス供給管61,62のガス流量を検出して行うこともできる。
Further, as shown in FIGS. 13 and 16 (a), one ends of
処理ガスが各拡散空間84a,84bに供給される際に、基板Sの中央部または周縁部のいずれかの流量が例えば予め決められた基準流量よりも低くなるようにレシピが組まれると、制御部6Aの制御信号を受けて、バルブV1,V2のうちその基準流量よりも下回った側に対応するバルブ(V1あるいはV2)が開く。既述のように周縁部側の拡散空間への処理ガスの供給量を低くすることが多いが、この場合にはバルブV2が開くことになる。この場合を例にとると、例えば処理ガスの供給と同時に、Heガスが分岐管92を介して処理ガスと共に対応する流路部材55bに流入する。このときのHeガスの流量は、そのときの処理ガスの供給量が基準流量から不足している分だけを補償するように設定され、この結果その流路部材55bのガス供給路56が所定の圧力になるように制御され、既述のパッシェンの法則により放電開始電圧が高くなることで、放電の発生がより確実に抑えられるようになっている。
When the processing gas is supplied to the
上部電極ベース82には図16(b)に示すように既述の上部電極ベース72の流体流路77に類似した平面視、上下左右に対称なグリッド状の流体流路86が設けられており、当該流体流路86は、上部電極ベース82のフランジ部82a及び梁83上を通過するように形成されている。そして流体流路77と同様に上部電極ベース82の一角からその対角に向けて流体が流通し、流路77における各分岐点から流体がどの経路に流れ込んでも、その角から対角に至るまでの流体が通る経路の距離が同じになり、流体流路86全体を流体が均一に流れるようになっている。
As shown in FIG. 16B, the
なお上部電極ベース82において図17に示すように温調流体流路を形成してもよい。図17(a),図17(b)は夫々この温調流体流路87の平面図、斜視図であり、図17(c)は上部電極ベース82の縦断側面図である。この流路87は上部電極ベース82の幅方向に伸びる中心ラインに沿って対称且つ上下2段の立体構造となっており、図17(a),(b)においては上段側の流路87aを実線で、下段側の流路87bを点線で夫々示している。上段側の流路87aは、中央の拡散空間84aの投影領域を囲み、上部電極ベース82の一辺に向かうように形成され、その一辺に向かう途中で下段側の流路87bに連絡している。下段側の流路87bは、上部電極ベース82のフランジ部82aに沿って前記辺と対向する辺に向かう途中で分岐して上部電極ベース82の4隅の拡散空間84bの投影領域を囲むように形成されている。このように温調流体流路87を構成しても、温調流体は上部電極ベース82に供給されてから排出されるまでに一定の距離を移動することで、流体流路87を均等に流通し、各上部電極81を均一に温調することができる。
In addition, as shown in FIG. 17, a temperature control fluid channel may be formed in the
またこの上部電極ベース82に設けられるガス供給部の流路部材は図18に示すように構成してもよい。図18に示す流路部材57は例えばセラミックスにより構成され、流路部材53と同様に直線状のガス供給路58を備えており、その供給路58の下端が拡径されるように流路部材57の下部はフランジ状に構成されている。そしてガス供給路58の拡径部に供給されたガスは既述のバッフル板85により、拡散空間84a,84b全体に拡散するように供給される。ガス供給路58における放電を抑えるために図18中H3で示す流路部材57の高さは例えば100mm〜300mmになるように構成される。
Further, the flow path member of the gas supply section provided on the
また上部ガス供給機構8において上部電極ベースは図19に示すように構成してもよい。この上部電極ベース101は、上部電極ベース82と略同様に構成され、梁83により区画された計9つの拡散空間84a,84bを備えているが、図19(a)に示すようにその上部には中央の拡散空間84aと4隅の拡散空間84bとに対応する位置に、例えば既述のガス供給部5を介してガス供給管61,62が接続されている。また図19(b)に示すように梁83において各拡散空間84b同士を区画する部分には横方向に連通孔83cが設けられている。上部電極ベース82の上部4隅のガス供給部5を構成する流路部材51a及びガス供給路45に処理ガスが供給されると、その処理ガスは対応する4隅の拡散空間84bから、孔83cを介して隣接する拡散空間84bに流通し、基板Sの周縁部全体に供給されるようになっている。このような構成とすることでベース101周縁部の1つあたりの流路部材51aに供給される処理ガスの流量が低下することを抑えることができるため、これらの流路部材51aで放電が起こることをより確実に抑えることができる。
In the upper
なお図20に示すように上部ガス供給機構を構成してもよい。この上部ガス供給機構110は、16枚の上部電極111、上部電極ベース112及び後述するガス供給部5Aを備えており、ガス供給孔111aを備えた上部電極111は、上部電極41が縦横に16等分されたように形成されている。そして上部電極ベース112においては、図21に示すようにこの16枚の上部電極111に対応するように梁113は井桁状に形成されており、上部電極111と上部電極ベース112とに囲まれた計16個の区画された拡散空間が形成される。区画された中央の4つの領域、その周囲に形成される12個の領域を夫々拡散空間114a,114bとする。そして図22(a)のようにガス供給管61,62による配管網が形成され、拡散空間114a,拡散空間114bに供給される処理ガスの流量が夫々制御され、基板Sの中央部に供給する処理ガスの流量と周縁部に供給する処理ガスの流量とが夫々独立して制御される。
Note that the upper gas supply mechanism may be configured as shown in FIG. The upper
また図22(b)に示すように格子状に温調流体の流路116が形成されており、この流体流路116は梁113及び上部電極ベース112のフランジ部112aの上方を通過するように形成されている。そして上部電極ベース82の流路86と同様に上部電極のベース112の一角から対角へ向けて流体が流れ、前記梁113及び上部電極ベース112のフランジ部112aを介して各上部電極111を冷却するように構成されている。
Further, as shown in FIG. 22B, temperature control fluid channels 116 are formed in a lattice shape, and the fluid channels 116 pass above the
ガス供給部5Aは既述のガス供給部5と略同様に構成されているが、流路部材51a〜51cに代わり流路部材5Bを備えている。図23に示すようにその内部に設けられているガス供給路5Cは流路部材51のガス供給路52と異なり、直線上に形成されている。そして既述の放電の発生を抑えるために、図中H4で表される流路部材5Bの高さ、つまり絶縁距離は、例えば100mm〜300mmに設定される。
The
異常放電防止の対策として今まで述べてきた手法をまとめると、図8、図15に示すように絶縁性の流路部材の流路をラビリンス構造とすること、図18及び図23に示すように流路の長さを例えば200mmと大きく設定すること及び図16(a)に示すように流路の圧力制御機構を設けること、の3つが挙げられるが、いずれの実施形態においてもこれらを単独で実施してもよいし、あるいは前2者の各対策に加えて圧力制御機構を更に組み合わせるようにしてもよい。 Summarizing the techniques described so far as measures for preventing abnormal discharge, the flow path of the insulating flow path member has a labyrinth structure as shown in FIGS. 8 and 15, and as shown in FIGS. For example, the length of the flow path is set to be as large as 200 mm, and the pressure control mechanism for the flow path is provided as shown in FIG. 16 (a). It may be implemented, or a pressure control mechanism may be further combined in addition to the countermeasures of the former two.
また各実施形態で示した各上部ガス供給機構は、上部電極に高周波を印加するようなプラズマ処理装置だけでなく、下部電極に高周波が印加されるような処理装置にも適用できる。図24は、上部ガス供給機構8をそのようなプラズマ処理装置に適用した例であり、図中121は載置台を兼用する基板Sの下部電極である。図中122は例えば13.56MHzのプラズマ発生用の高周波電源であり、図中123は例えば3.2MHzのバイアス印加用の高周波電源である。これらの高周波電源122,123はマッチングボックス124を介して、前記下部電極121に接続されている。より詳しく説明すると、マッチングボックス124は筐体を備え、その筐体中に各高周波電源122用、123用の整合回路122a,123aが夫々設けられており、各整合回路122a,123aの後段で各高周波電源122、123からの給電ラインは結線され、図のように下部電極121の中心部に接続されている。また図中125、126は絶縁部材であり、下部電極121を支持し、処理容器30から絶縁している。また上部電極ベース82aには高周波電源47が接続される代わりにインピーダンス調整器127が接続されている。そして高周波電源122,123から夫々所定の高周波が下部電極121に印加されると、下部電極121と上部電極81との間にプラズマが形成され、基板Sにエッチング処理が行われる。
Each upper gas supply mechanism shown in each embodiment can be applied not only to a plasma processing apparatus that applies a high frequency to the upper electrode, but also to a processing apparatus that applies a high frequency to the lower electrode. FIG. 24 shows an example in which the upper
(評価試験1)
ガス供給孔41aを縦横に等間隔に配列した既述のプラズマエッチング装置3を用いて処理容器30内を酸素ガスにより26.7Pa(200mTorr)に調圧された状態から、真空引きが完了するまでの時間を測定した。ガス供給孔41aの配列パターンについてはそのピッチを表1のように3通りに設定した。なおピッチとは図5に置けるL1(=L2)に相当する。
(Evaluation Test 1)
From the state in which the inside of the
評価結果は表1及び図25に示すとおりである。ピッチが50mmのとき、所要時間50秒であったが、ピッチを25mmに設定したときの所要時間は16秒であり、またピッチを12.5mmに設定したときの所要時間は3秒であった。真空引きの所要時間は実用上20秒以下であることが好ましいため、この試験の結果からピッチは25mm以下であることが好ましいといえる。 The evaluation results are as shown in Table 1 and FIG. The required time was 50 seconds when the pitch was 50 mm, but the required time was 16 seconds when the pitch was set to 25 mm, and the required time was 3 seconds when the pitch was set to 12.5 mm. . Since the time required for evacuation is preferably 20 seconds or less in practice, it can be said that the pitch is preferably 25 mm or less from the result of this test.
(評価試験2)
評価試験2として、表面にアモルファスシリコン(a−Si)膜が形成された基板Sについて背景技術に示した拡散空間が区画されていないプラズマエッチング装置を用いて基板Sの中央部、中間部、周縁部夫々のエッチングレートを測定した。またこの評価試験2のエッチング装置としては、図24に示すように載置台を兼用する下部電極121にプラズマ形成用の高周波及びバイアス印加用の高周波が夫々印加される装置を用いた。なお処理する基板Sは既述の大きさを有している。処理中の処理容器30内の圧力は6.67Pa(50mT)に設定し、処理ガスとしてはCl2(塩素)/SF6系ガスを用いた。ガス供給孔は、上部電極全面に存在するもの(シャワー開口面積が100%)と上部電極の中央部のみに存在する(シャワー開口面積が50%)上部電極とを用いることにより、開口面積を2通りに変化させて試験を行った。
(Evaluation test 2)
As the
図26は、上記評価試験2の結果を示したグラフである。シャワー開口面積が50%のとき、基板全体の平均エッチングレートは毎分2700Åであり、シャワー開口面積が100%のとき、基板全体の平均エッチングレートは毎分3000Åである。またグラフ中30%,14%という数値は夫々基板全体のエッチングレートの均一性を示している。このグラフから上部電極41の開口面積が小さくなると、基板Sの周縁部に比べて中央部のエッチングレートが早くなっていることが分かる。このことから、既述の実施形態の上部電極ベース42,82,112のように処理ガスの拡散空間を梁で区画し、処基板の中央部と周縁部とで夫々供給される処理ガスの流量を制御できるように構成することにより、基板各部のエッチングレートを任意に制御できることが分かる。なお従来、基板各部へのガス供給量を調整するためにシャワーの開口面積を変えるには上部電極を再設計及び再製作する必要があり、これには大きなコストがかかっていたが、既述の実施形態においては梁を利用して基板S各部への供給量を変更できるので、そのようにコストがかさむことを抑えることができる。
FIG. 26 is a graph showing the results of the
(評価試験3−1)
続いて評価試験3−1として図24に示すように上部ガス供給機構8を備え、下部電極121にプラズマ形成用の高周波及びバイアス用の高周波が供給されるプラズマエッチング装置を用いて一定量の処理ガスを基板Sに供給してプラズマを形成するにあたり、基板S中央部へ供給するガス流量に対する基板S周縁部へ供給するガス流量を変化させて、その周縁部に対応する流路部材における放電の有無を測定した。ただしその流路部材としては図27に示すものを用いた。この図の流路部材59は流路部材57と同様のガス供給路58を備えているが、上部電極ベース82上に突出した上部59aのみがセラミックスにより構成され、フランジ部を構成する下部59bは金属であるSUSにより構成されている。図27中H5で示す上部電極ベース82とガス供給管61(62)との距離(上部59aの高さ)H5は50mmに設定した。処理中におけるバイアス印加用の高周波電源の電力は5kWに、プラズマ形成用の高周波電源122の電力は15kWに夫々設定した。また処理中の処理容器30内の圧力は6.67Pa(50mT)に設定し、処理ガスとしてはO2(酸素)/Cl2(塩素)系ガスを用いた。なお既述のようなHeガス供給源94からのHeガスの供給は行っていない。
(Evaluation Test 3-1)
Subsequently, as an evaluation test 3-1, as shown in FIG. 24, an upper
下記の表2は試験の結果を示している。表中C/E流量比とは、基板中央部に対応する拡散空間84aに供給されるガス流量:基板周縁部に対応する1つの拡散空間84bに供給されるガス流量の比を指している。この表2に示すように、周縁部のガス流量が少ないときには流路部材59に、既述のパッシェンの法則に従い、放電が発生していることが分かる。また周縁部にガスを供給しないときには上部電極に異常放電が発生した。
Table 2 below shows the results of the test. The C / E flow rate ratio in the table refers to the ratio of the gas flow rate supplied to the
(評価試験3−2)
評価試験3−1と同様の試験を行ったが、流路部材としては図18に示した流路部材57を用いた。下記の表3はそのときの結果を示したものであり、いずれのC/E流量比においてもガス供給部は暗く、放電は観察されなかった。上部電極の異常放電も見られなかった。
(Evaluation Test 3-2)
A test similar to the evaluation test 3-1 was performed, but the
(評価試験3−3)
評価試験3−1と同様の試験を行ったが、流路部材としては図15に示した流路部材55bを用いた。下記の表4はそのときの結果を示したものであり、評価試験3−2と同様の結果になった。
(Evaluation Test 3-3)
A test similar to the evaluation test 3-1 was performed, but the
上記の評価試験3−1〜3−3により、実施の形態に示したように流路部材を構成することで、その流路部材の流路における放電の発生を抑えて、上部電極に異常放電が発生することを抑えることができることが確認された。 By configuring the flow path member as shown in the embodiment by the above evaluation tests 3-1 to 3-3, the occurrence of discharge in the flow path of the flow path member is suppressed, and the upper electrode is abnormally discharged. It was confirmed that it is possible to suppress the occurrence of.
S 基板
33 載置台
4 上部ガス供給機構
41 上部電極
42 上部電極ベース
43a,43b 梁
5 ガス供給部
51 流路部材
Claims (16)
前記処理容器内に設けられ、基板が載置される下部電極と、
前記基板に前記処理ガスを供給するための多数のガス供給孔を備え、前記下部電極に対向して設けられた矩形状の板状の上部電極と、
前記上部電極の上面側を覆い、その上部電極との間に前記ガス供給孔に連通した処理ガスの拡散空間を形成する、平面形状が矩形状である上部電極ベースと、
この上部電極ベースの内周面により囲まれる領域内にて上部電極の上面と上部電極ベースの下面とを接続するように当該上部電極ベースに一体的に設けられ、前記拡散空間を複数に区画するように直線状に配置された複数の梁と、
前記上部電極ベースにて、前記複数の梁の各々の直上に当該梁に沿うように設けられ、上部電極を温調するための温調流体が通流する流体流路と、
前記上部電極ベースに設けられ、前記拡散空間へ処理ガスを導入するガス供給路と、
上部電極と下部電極との間に高周波電力を供給して処理ガスをプラズマ化するための高周波電源と、
を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 In a plasma processing apparatus for supplying a processing gas into a processing container to turn it into plasma and processing a rectangular substrate with the plasma,
A lower electrode provided in the processing vessel and on which a substrate is placed;
A plurality of gas supply holes for supplying the processing gas to the substrate, and a rectangular plate-like upper electrode provided to face the lower electrode;
An upper electrode base having a rectangular planar shape that covers the upper surface side of the upper electrode and forms a processing gas diffusion space communicating with the gas supply hole between the upper electrode and the upper electrode;
Provided integrally with the upper electrode base so as to connect the upper surface of the upper electrode and the lower surface of the upper electrode base within a region surrounded by the inner peripheral surface of the upper electrode base, and divides the diffusion space into a plurality of parts. A plurality of beams arranged in a straight line like
In the upper electrode base , a fluid flow path that is provided immediately above each of the plurality of beams along the beam, and through which a temperature adjusting fluid for adjusting the temperature of the upper electrode flows,
A gas supply path that is provided in the upper electrode base and introduces a processing gas into the diffusion space;
A high-frequency power source for supplying high-frequency power between the upper electrode and the lower electrode to turn the processing gas into plasma,
A plasma processing apparatus comprising:
組み合わせて角型の環状に形成されたことを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。2. The plasma processing apparatus according to claim 1, wherein the plasma processing apparatus is formed into a square annular shape in combination.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007010576A JP4826483B2 (en) | 2007-01-19 | 2007-01-19 | Plasma processing equipment |
KR1020080005316A KR100980525B1 (en) | 2007-01-19 | 2008-01-17 | Plasma processing apparatus |
TW097102009A TWI445075B (en) | 2007-01-19 | 2008-01-18 | Plasma processing device |
CN2008100030764A CN101236891B (en) | 2007-01-19 | 2008-01-18 | Plasma processing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007010576A JP4826483B2 (en) | 2007-01-19 | 2007-01-19 | Plasma processing equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008177428A JP2008177428A (en) | 2008-07-31 |
JP4826483B2 true JP4826483B2 (en) | 2011-11-30 |
Family
ID=39704216
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007010576A Active JP4826483B2 (en) | 2007-01-19 | 2007-01-19 | Plasma processing equipment |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4826483B2 (en) |
KR (1) | KR100980525B1 (en) |
CN (1) | CN101236891B (en) |
TW (1) | TWI445075B (en) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI498053B (en) | 2008-12-23 | 2015-08-21 | Ind Tech Res Inst | Plasma excitation module |
KR101118477B1 (en) * | 2009-11-26 | 2012-03-12 | 주식회사 테스 | Gas distribution plate and process chamber having the same |
US8916793B2 (en) | 2010-06-08 | 2014-12-23 | Applied Materials, Inc. | Temperature control in plasma processing apparatus using pulsed heat transfer fluid flow |
US9338871B2 (en) | 2010-01-29 | 2016-05-10 | Applied Materials, Inc. | Feedforward temperature control for plasma processing apparatus |
US20110256692A1 (en) * | 2010-04-14 | 2011-10-20 | Applied Materials, Inc. | Multiple precursor concentric delivery showerhead |
JP5666888B2 (en) * | 2010-11-25 | 2015-02-12 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing apparatus and processing system |
JP5837793B2 (en) | 2010-11-30 | 2015-12-24 | 株式会社日立国際電気 | Substrate processing apparatus, semiconductor device manufacturing method, and baffle structure of substrate processing apparatus |
WO2012090715A1 (en) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | 三洋電機株式会社 | Plasma treatment device |
US10274270B2 (en) | 2011-10-27 | 2019-04-30 | Applied Materials, Inc. | Dual zone common catch heat exchanger/chiller |
JP5848140B2 (en) * | 2012-01-20 | 2016-01-27 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing equipment |
US20140027060A1 (en) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | Applied Matericals, Inc | Gas distribution apparatus for substrate processing systems |
US10174422B2 (en) | 2012-10-25 | 2019-01-08 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for selective gas injection and extraction |
JP6034655B2 (en) * | 2012-10-25 | 2016-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing equipment |
JP6078354B2 (en) * | 2013-01-24 | 2017-02-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing equipment |
CN105814664B (en) * | 2013-11-18 | 2019-05-17 | 国际电气高丽株式会社 | Reaction induced unit, substrate board treatment and membrane deposition method |
CN103745904B (en) * | 2013-12-31 | 2016-08-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | A kind of dry etching machine and lithographic method thereof |
JP6374781B2 (en) * | 2014-12-10 | 2018-08-15 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing method |
JP2016096342A (en) * | 2015-11-26 | 2016-05-26 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing device |
JP6851188B2 (en) * | 2016-11-28 | 2021-03-31 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma processing equipment and shower head |
WO2018185836A1 (en) * | 2017-04-04 | 2018-10-11 | 株式会社Fuji | Atmospheric pressure plasma device |
JP7008497B2 (en) | 2017-12-22 | 2022-01-25 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate processing equipment and temperature control method |
KR102510329B1 (en) * | 2018-06-25 | 2023-03-17 | 도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤 | Activated gas generating device and film forming processing device |
CN113013011B (en) * | 2019-12-20 | 2022-11-29 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | Gas distribution device and plasma processing apparatus |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW273067B (en) | 1993-10-04 | 1996-03-21 | Tokyo Electron Co Ltd | |
JPH07273038A (en) * | 1994-03-29 | 1995-10-20 | Fuji Electric Co Ltd | Rf plasma cvd system |
JP3310171B2 (en) * | 1996-07-17 | 2002-07-29 | 松下電器産業株式会社 | Plasma processing equipment |
US6123775A (en) * | 1999-06-30 | 2000-09-26 | Lam Research Corporation | Reaction chamber component having improved temperature uniformity |
KR100526928B1 (en) * | 2003-07-16 | 2005-11-09 | 삼성전자주식회사 | Etching Apparatus |
US7645341B2 (en) * | 2003-12-23 | 2010-01-12 | Lam Research Corporation | Showerhead electrode assembly for plasma processing apparatuses |
JP4158729B2 (en) * | 2004-03-16 | 2008-10-01 | 富士電機ホールディングス株式会社 | Plasma CVD equipment |
JP4550507B2 (en) * | 2004-07-26 | 2010-09-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Plasma processing equipment |
JP4559202B2 (en) * | 2004-07-30 | 2010-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | Plasma etching equipment |
JP4593381B2 (en) * | 2005-06-20 | 2010-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | Upper electrode, plasma processing apparatus, and plasma processing method |
-
2007
- 2007-01-19 JP JP2007010576A patent/JP4826483B2/en active Active
-
2008
- 2008-01-17 KR KR1020080005316A patent/KR100980525B1/en active IP Right Grant
- 2008-01-18 CN CN2008100030764A patent/CN101236891B/en active Active
- 2008-01-18 TW TW097102009A patent/TWI445075B/en active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080068572A (en) | 2008-07-23 |
CN101236891A (en) | 2008-08-06 |
CN101236891B (en) | 2010-07-28 |
TWI445075B (en) | 2014-07-11 |
KR100980525B1 (en) | 2010-09-06 |
TW200845186A (en) | 2008-11-16 |
JP2008177428A (en) | 2008-07-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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