JP4771042B2 - 圧電素子搭載装置、およびこれを用いた液滴吐出装置、画像出力装置 - Google Patents
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Description
を備える圧電素子搭載装置が提供される。
図1は、本実施形態に係る圧電素子搭載装置(フレキシブル電子デバイス10)の構成を示す斜視図である。フレキシブル電子デバイス10は、フレキシブル基板1、圧電素子2、支持台15により構成される。圧電素子2は、フレキシブル基板1のうち、支持台15に支持されている箇所に囲まれた領域の表面上に設けられている。すなわち、フレキシブル基板1のうち圧電素子2直下の領域は、支持台15に支持されていない。また、圧電素子2は、フレキシブル基板1の表面上に、マトリクス状に複数配置され、その動作がアクティブマトリクス方式により制御されるようになっている。なお、圧電素子2には、電歪素子が含まれるものとする。
図11は、本実施形態に係る圧電素子搭載装置の構成を示す斜視図である。本実施形態に係る圧電素子搭載装置であるフレキシブル電子デバイス10は、支持台15、フレキシブル基板1、圧電素子2、振動板3により構成されている。振動板3を備えている点が実施形態1と異なる。
本実施形態は、圧電素子を受動デバイスとして用いる例について示す。本実施形態のフレキシブル電子デバイス10は、実施形態1と同様に、図1の電子デバイス10の構成を備える。また、図2のフレキシブル電子デバイス10の断面構造を備える。
本実施形態のフレキシブル電子デバイス10は、実施形態2と同様に、図11の電子デバイス10の構成を備える。また、図12のフレキシブル電子デバイス10の断面構造を備える。
本実施形態は、上記動作を行うフレキシブル電子デバイス10をインクジェットプリントヘッドに応用したものである。
2 圧電素子
3 振動板
4、4a、4b 電気接続点
5 薄膜トランジスタ回路
6 絶縁基板
7 フィルム
8 圧電・電歪材料
9 信号電極
9a、9b データ信号線
10 フレキシブル電子デバイス
11 共通電極
12 スイッチ回路
13 共通線
14 制御回路
15 支持台
30,60 インクジェットプリントヘッド
31 インク室/流路
32 圧力室
33 ノズル
34 印刷対象
61 薄肉基板
62 中間層
63 圧電/電歪膜
64 電極膜
65 電極取り出し部
66 凹溝
67 隔壁
68 駆動システム
71 フレキシブルプリント配線基板
72 コア材
73 接合材
74 アクチュエータ素子
75 信号電極
76 共通電極
77a、b ステンレス薄板
78 バンプ
79 電気配線
100 ガラス基板
101,104 酸化シリコン膜
102 シリコン膜
103,106 フォトレジスト
105 ゲート電極
107 層間膜
108 コンタクトホール
Claims (10)
- フレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板に設けられている圧電素子と、
前記フレキシブル基板に設けられ、前記圧電素子と接続され、スイッチング素子として機能する薄膜トランジスタと、
前記圧電素子に接して設けられた、前記フレキシブル基板とは別の振動板と、
を備えることを特徴とする圧電素子搭載装置。 - フレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板に設けられている圧電素子と、
前記フレキシブル基板に設けられ、前記圧電素子と接続され、スイッチング素子として機能する薄膜トランジスタと、
前記フレキシブル基板を支持する支持部材と、を備え、
前記圧電素子は、前記フレキシブル基板のうち、前記支持部材により支持される箇所に挟まれた領域に設けられ、
前記薄膜トランジスタは、前記フレキシブル基板のうち、前記支持部材により支持される箇所に設けられていることを特徴とする圧電素子搭載装置。 - 請求項2に記載の圧電素子搭載装置において、
前記圧電素子に接して設けられた、前記フレキシブル基板とは別の振動板を備えることを特徴とする圧電素子搭載装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の圧電素子搭載装置において、
前記圧電素子は、前記フレキシブル基板にマトリクス状に複数配置されていることを特徴とする圧電素子搭載装置。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の圧電素子搭載装置において、
前記フレキシブル基板は、薄化処理されたものであることを特徴とする圧電素子搭載装置。 - 請求項1乃至5いずれかに記載の圧電素子搭載装置において、
前記圧電素子は、前記フレキシブル基板の表面上に設けられており、前記薄膜トランジスタは、前記フレキシブル基板の内部に設けられていることを特徴とする圧電素子搭載装置。 - 請求項1乃至6いずれかに記載の圧電素子搭載装置において、
前記圧電素子に電気信号を送信し、前記圧電素子の動作を制御する回路をさらに備え、
前記薄膜トランジスタは、前記圧電素子と前記回路との間において、スイッチング素子として機能することを特徴とする圧電素子搭載装置。 - 請求項1乃至7いずれかに記載の圧電素子搭載装置において、
前記圧電素子から電気信号を受信し、前記圧電素子の動作を読取る回路をさらに備え、
前記薄膜トランジスタは、前記圧電素子と前記回路との間において、スイッチング素子として機能することを特徴とする圧電素子搭載装置。 - 液体を格納する液体格納部と、
前記液体格納部に格納されている前記液体に圧力を加え得るように構成されている圧電素子搭載装置と、を備え、
前記圧電素子搭載装置は、請求項1乃至8いずれかに記載の圧電素子搭載装置であることを特徴とする液滴吐出装置。 - 液滴を飛翔させて画像出力を行う画像出力装置であって、
請求項9に記載の液滴吐出装置を備えることを特徴とする画像出力装置。
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