JP4717887B2 - スパッタリング装置 - Google Patents
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Description
図12は、有機EL素子201の構造を説明するための模式的な断面図である。
この有機EL素子201は、基板211上に、下部電極214と、有機層217、218と上部電極219とがこの順序で積層されており、上部電極219と下部電極214の間に電圧を印加すると、有機層217、218の内部又は界面で発光する。上部電極219をITO膜(インジウム錫酸化物膜)等の透明導電膜で構成させると、発光光は上部電極219を透過し、外部に放出される。
蒸着法では、蒸着源から昇華または蒸発によって放出される粒子は、中性の低エネルギー(数eV程度)粒子であるので、上部電極219や有機EL素子の保護膜を形成する場合は、有機膜217、218にダメージを与えず、良好な界面を形成できるといったメリットがある。
このスパッタリング装置110は、真空槽111を有しており、該真空槽111内には、二台のターゲット121a、121bが裏面をバッキングプレート122a、122bに取りつけられ、表面は互いに一定距離だけ離間して平行に対向配置されている。
しかし、上記スパッタリング装置110では、スパッタによってターゲット121a、121bの中央部分が縁部分よりも深く掘れるという現象が生じる。
ターゲット121a、121bの一部分だけが深く掘れると、他の部分の膜厚減少量が少なくても、ターゲット121a、121bを交換しなければならず、従来のスパッタリング装置110ではターゲットの使用効率が悪かった。
本発明は、真空槽と、板状の第一、第二のターゲットと、リング形状であって、そのリングの厚み方向に磁化された第一、第二のリング磁石とを有し、前記第一、第二のターゲットは表面が互いに平行になるよう向けられた状態で前記真空槽内に所定間隔を空けて配置され、前記第一、第二のリング磁石は、前記第一、第二のターゲットの裏面位置に配置され、S極とN極のいずれか一方を第一の磁極、他方を第二の磁極とすると、前記第一のリング磁石は第一の磁極が第一のターゲットの裏面側に向けられ、前記第二のリング磁石は第二の磁極が前記第二のターゲットの裏面側に向けられ、前記第一、第二のターゲット間の空間の開口から成膜対象物の表面に向けてスパッタ粒子が放出されるよう構成されたスパッタリング装置であって、前記第一のリング磁石のリングの内側には、前記第一のターゲットの裏面に前記第一の磁極が向けられた第一の磁石部材が配置され、前記第二のリング磁石のリングの内側には、前記第二のターゲットの裏面に前記第二の磁極が向けられた第二の磁石部材が配置され、前記第一のリング磁石の裏面と前記第一の磁石部材の裏面とは、第一のヨークの表面に密着して配置され、前記第二のリング磁石の裏面と前記第二の磁石部材の裏面とは、第二のヨークの表面に密着して配置され、前記第一、第二のターゲット表面に形成される磁場の強度のうち、前記第一、第二のターゲット表面に対して垂直な垂直磁場成分の強度は、上限値と下限値の差が100ガウス以下になるように前記第一のリング磁石と、前記第一の磁石部材と、前記第二のリング磁石と、前記第二の磁石部材とが固定されたスパッタリング装置である。
本発明は、請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のスパッタリング装置であって、前記第一、第二のリング磁石と、前記第一、第二の磁石部材は、前記第一、第二のターゲットに対して相対的に固定されたスパッタリング装置である。
尚、本願に用いる第一、第二のターゲットは板状であり、その表面は、少なくともスパッタリングされる前は平坦になっている。第一、第二のターゲットはスパッタリングによってエロージョンされた部分に凹部が形成されるが、本発明でターゲット表面とはスパッタされる前の平坦な表面である。従って、水平磁場成分とは、スパッタリングされる前の平坦な表面に対して平行な磁場成分のことであり、垂直磁場成分とは、スパッタリング前の平坦な表面に対して垂直な磁場成分のことである。
第一、第二のターゲット表面に形成される水平磁場成分の強度分布は、絶対値が100ガウス以下と狭くなるように第一のリング磁石と、第一の磁石部材と、第二のリング磁石と、第二の磁石部材とが固定されているか、又は、第一、第二のターゲット表面に対して垂直な垂直磁場成分の強度は、上限値と下限値の差が100ガウス以下になるように第一のリング磁石と、前記第一の磁石部材と、前記第二のリング磁石と、前記第二の磁石部材とが固定されて、第一、第二のターゲット表面が均一にスパッタされる。従って、第一、第二のターゲットの各部分は均一に膜厚が減少するので、第一、第二のターゲットの使用効率が高い。
このスパッタリング装置1は、縦型のインターバック式の装置であり、真空槽11を有している。真空槽11は搬送室9と該搬送室9に接続されたスパッタ室16とを有している。
第一、第二のターゲット21a、21bは表面が互いに向き合っており、第一のターゲット21aの表面と第二のターゲット21bの表面の間の空間でスパッタ空間が構成される。
真空槽11の外部には電源25が配置されており、電源25はバッキングプレート22a、22bに接続されているが、真空槽11には接続されておらず、成膜雰囲気を維持したまま、真空槽11を接地電位に置いた状態で、電源25から、バッキングプレート22a、22bに電圧印加すると、スパッタ空間にプラズマが生成され、第一、第二のターゲット21a、21がスパッタされて第一、第二のターゲット21a、21b表面からスパッタ空間にスパッタ粒子が放出される。
搬送経路14は成膜対象物5が開口39と正対する位置を開口39と平行に通過するように延設されており、成膜対象物5が搬送経路14に沿って上流側から下流側に移動すると開口39から放出されたスパッタ粒子が成膜対象物5に均等に到達する。
また、第一、第二の磁石部材24a、24bも互いに同じ形状であって、第一、第二の磁石部材24a、24bは真空槽11と第一、第二のターゲット21a、21bを挟んで互いに対向するように位置している。
更に、図4(c)に示したように、第一、第二の磁石部材64a、64bの列設方向と直交する方向の幅を、列設方向の長さよりも長くしてもよい。
その測定結果を下記表1と図7(a)〜(c)に示す。
その測定結果を下記表2と図8(a)〜(c)に示す。
Claims (4)
- 真空槽と、
板状の第一、第二のターゲットと、
リング形状であって、そのリングの厚み方向に磁化された第一、第二のリング磁石とを有し、
前記第一、第二のターゲットは表面が互いに平行になるよう向けられた状態で前記真空槽内に所定間隔を空けて配置され、
前記第一、第二のリング磁石は、前記第一、第二のターゲットの裏面位置に配置され、
S極とN極のいずれか一方を第一の磁極、他方を第二の磁極とすると、
前記第一のリング磁石は第一の磁極が第一のターゲットの裏面側に向けられ、前記第二のリング磁石は第二の磁極が前記第二のターゲットの裏面側に向けられ、
前記第一、第二のターゲット間の空間の開口から成膜対象物の表面に向けてスパッタ粒子が放出されるよう構成されたスパッタリング装置であって、
前記第一のリング磁石のリングの内側には、前記第一のターゲットの裏面に前記第一の磁極が向けられた第一の磁石部材が配置され、
前記第二のリング磁石のリングの内側には、前記第二のターゲットの裏面に前記第二の磁極が向けられた第二の磁石部材が配置され、
前記第一のリング磁石の裏面と前記第一の磁石部材の裏面とは、第一のヨークの表面に密着して配置され、
前記第二のリング磁石の裏面と前記第二の磁石部材の裏面とは、第二のヨークの表面に密着して配置され、
前記第一、第二のターゲット表面に形成される磁場の強度のうち、前記第一、第二のターゲット表面に対して平行な水平磁場成分の強度は、絶対値が100ガウス以下になるように前記第一のリング磁石と、前記第一の磁石部材と、前記第二のリング磁石と、前記第二の磁石部材とが固定されたスパッタリング装置。 - 真空槽と、
板状の第一、第二のターゲットと、
リング形状であって、そのリングの厚み方向に磁化された第一、第二のリング磁石とを有し、
前記第一、第二のターゲットは表面が互いに平行になるよう向けられた状態で前記真空槽内に所定間隔を空けて配置され、
前記第一、第二のリング磁石は、前記第一、第二のターゲットの裏面位置に配置され、
S極とN極のいずれか一方を第一の磁極、他方を第二の磁極とすると、
前記第一のリング磁石は第一の磁極が第一のターゲットの裏面側に向けられ、前記第二のリング磁石は第二の磁極が前記第二のターゲットの裏面側に向けられ、
前記第一、第二のターゲット間の空間の開口から成膜対象物の表面に向けてスパッタ粒子が放出されるよう構成されたスパッタリング装置であって、
前記第一のリング磁石のリングの内側には、前記第一のターゲットの裏面に前記第一の磁極が向けられた第一の磁石部材が配置され、
前記第二のリング磁石のリングの内側には、前記第二のターゲットの裏面に前記第二の磁極が向けられた第二の磁石部材が配置され、
前記第一のリング磁石の裏面と前記第一の磁石部材の裏面とは、第一のヨークの表面に密着して配置され、
前記第二のリング磁石の裏面と前記第二の磁石部材の裏面とは、第二のヨークの表面に密着して配置され、
前記第一、第二のターゲット表面に形成される磁場の強度のうち、前記第一、第二のターゲット表面に対して垂直な垂直磁場成分の強度は、上限値と下限値の差が100ガウス以下になるように前記第一のリング磁石と、前記第一の磁石部材と、前記第二のリング磁石と、前記第二の磁石部材とが固定されたスパッタリング装置。 - 前記第一、第二のリング磁石と、前記第一、第二の磁石部材は、前記第一、第二のターゲットに対して相対的に固定された請求項1記載のスパッタリング装置。
- 前記第一、第二のリング磁石と、前記第一、第二の磁石部材は、前記第一、第二のターゲットに対して相対的に固定された請求項2記載のスパッタリング装置。
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