JP4714227B2 - 圧電駆動装置、圧電駆動制御方法及び電子デバイス - Google Patents
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Classifications
-
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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-
- H—ELECTRICITY
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-
- H—ELECTRICITY
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
100 圧電駆動装置
102 変位電極
104 固定電極
106 基板
108 台座部
110 積層体
120 基体
122 第1面
124 第2面
130 第1圧電体
132 面
134 面
140 第2圧電体
142 面
144 面
150 第3圧電体
160 第1電極
162 第2電極
164 第1センス電極
166 絶縁層
168 第2センス電極
180 駆動電圧生成部
182 補償電圧生成部
184 電圧印加部
186 第1電源部
188 第2電源部
190 センス部
192 制御部
194 格納部
196 制御テーブル
202 変位部
600 圧電駆動装置
610 積層体
662 第2電極
666 絶縁層
668 センス電極
700 圧電駆動装置
782 補償電圧生成部
792 制御部
796 制御テーブル
800 圧電駆動装置
810 積層体
862 第2電極
892 制御部
896 制御テーブル
Claims (8)
- 力の印加により変形が可能な基体と、
前記基体の第1面に直接または他の層を介して形成された第1圧電体と、
前記第1面と略平行な前記基体の第2面に直接または他の層を介して形成された第2圧電体と、
前記第1圧電体、前記第2圧電体および前記基体を有する積層体の変位量に応じた駆動電圧を生成する駆動電圧生成部と、
前記積層体の変位量が前記駆動電圧に対して線形となるように補償する補償電圧を生成する補償電圧生成部と、
前記駆動電圧および前記補償電圧の各々を前記第1圧電体および前記第2圧電体の各々に印加する電圧印加部と、
を備える圧電駆動装置。 - 前記補償電圧生成部は、前記駆動電圧を増加する場合および前記駆動電圧を減少する場合の各々について前記駆動電圧ごとの前記積層体の変位量を予め測定して求めた補償電圧の値に基づき、前記駆動電圧に応じた前記補償電圧を生成する、
請求項1に記載の圧電駆動装置。 - 前記積層体の変位により前記第2圧電体に生成される変位電圧を検出するセンス部、をさらに備え、
前記補償電圧生成部は、前記駆動電圧を増加する場合および前記駆動電圧を減少する場合の各々について前記駆動電圧ごとの前記積層体の変位量を予め測定して求めた前記センス部が検出した前記変位電圧に対応する前記補償電圧の値に基づき、前記補償電圧を生成する、
請求項1又は2に記載の圧電駆動装置。 - 前記基体の前記第1面、前記基体の前記第2面、前記第1圧電体の前記基体に面する側とは逆の面または前記第2圧電体の前記基体に面する側とは逆の面に、直接または他の層を介して形成された第3圧電体と、
前記第1圧電体、前記第2圧電体、前記第3圧電体および前記基体を有する積層体の変位により前記第3圧電体に生成される変位電圧を検出するセンス部と、をさらに備え、
前記補償電圧生成部は、前記駆動電圧を増加する場合および前記駆動電圧を減少する場合の各々について前記駆動電圧ごとの前記積層体の変位量を予め測定して求めた前記センス部が検出した前記変位電圧に対応する前記補償電圧の値に基づき、前記補償電圧を生成する、
請求項1又は2に記載の圧電駆動装置。 - 前記補償電圧生成部は、前記補償電圧に重畳して変調電圧を印加する、
請求項1から4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置。 - 力の印加により変形が可能な基体、前記基体の第1面に直接または他の層を介して形成された第1圧電体、および、前記第1面と略平行な前記基体の第2面に直接または他の層を介して形成された第2圧電体、を有する積層体を用意する段階と、
前記積層体の変位量に応じた駆動電圧を生成する駆動電圧生成段階と、
前記積層体の変位量が前記駆動電圧に対して線形となるように補償する補償電圧を生成する補償電圧生成段階と、
前記駆動電圧および前記補償電圧の各々を前記第1圧電体および前記第2圧電体の各々に印加する電圧印加段階と、
を備える圧電駆動制御方法。 - 前記補償電圧生成段階は、前記駆動電圧を増加する場合および前記駆動電圧を減少する場合の各々について前記駆動電圧ごとの前記積層体の変位量を予め測定して求めた補償電圧の値に基づき、前記駆動電圧に応じた前記補償電圧を生成する、
請求項6に記載の圧電駆動制御方法。 - 力の印加により変形が可能な基体、前記基体の第1面に直接または他の層を介して形成された第1圧電体、前記第1面と略平行な前記基体の第2面に直接または他の層を介して形成された第2圧電体、前記第1圧電体、前記第2圧電体および前記基体を有する積層体の変位量に応じた駆動電圧を生成する駆動電圧生成部、前記積層体の変位量が前記駆動電圧に対して線形となるように補償する補償電圧を生成する補償電圧生成部、ならびに、前記駆動電圧および前記補償電圧の各々を前記第1圧電体および前記第2圧電体の各々に印加する電圧印加部、を有する圧電駆動装置と、
前記圧電駆動装置の変位部に配置した変位電極と、
前記変位電極との間で可変容量を形成する固定電極と、
を備える電子デバイス。
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