JP4596834B2 - 電子回路検査装置および電子回路検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、電子回路の良否を判別する電子回路検査装置および電子回路検査方法に関するものである。

この種の電子回路検査装置として、特開平１１−１７４１０４号公報に開示された受動素子試験装置が知られている。この受動素子試験装置では、受動素子（例えばコンデンサやコイルなど）に対して検査用信号を印加すると共にその検査用信号の周波数を所定の周波数帯域内で低域から高域へと変化させて（掃引させて）、そのときの検査用信号の振幅特性や、検査用信号に起因して受動素子を流れる電流の検査用信号に対する位相特性などの伝送特性を測定し、この測定結果に基づいて受動素子の良否を判別している。
特開平１１−１７４１０４号公報（第３頁、図１）

ところが、上記した電子回路検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この電子回路検査装置では、受動素子に印加している検査用信号の周波数を所定の周波数帯域内で低域から高域へと変化させるために、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどの高価な検査機器を備える必要がある。したがって、装置が高価になる結果、検査コストが高騰するという問題点がある。また、この電子回路検査装置では、検査用信号の周波数を所定の周波数帯域内で低域から高域へと変化させつつ、多くの周波数ポイントで受動素子の伝送特性を測定しているため、検査時間が長くなるという問題点もある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、検査に要するコストを低減しつつ検査時間を短縮し得る電子回路検査装置および電子回路検査方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の電子回路検査装置は、検査対象の電子回路に所定の周波数の検査用信号を供給しつつ当該電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の位相差を測定する測定部と、当該電子回路の良否を判別する判別部とを備え、前記測定部は、前記所定の周波数の検査用信号として、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記判別部は、前記各検査用信号の供給時に測定された前記各位相差の極性の違いの有無に基づいて前記電子回路の良否を判別する。この場合、本発明における電子回路には、複数の電子部品で構成されている電子回路のみならず、１つの電子部品で構成されている電子回路も含まれるものとする。

また、請求項２記載の電子回路検査装置は、検査対象の電子回路に所定の周波数の検査用信号を供給しつつ当該電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の位相差を測定する測定部と、当該電子回路の良否を判別する判別部とを備え、前記測定部は、前記所定の周波数の検査用信号として、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記判別部は、前記各検査用信号の供給時に測定された前記各位相差の極性が互いに異なるときに前記電子回路が良品であると判別する。

また、請求項３記載の電子回路検査装置は、検査対象の電子回路に所定の周波数の検査用信号を供給しつつ当該電子回路を流れる交流電流および当該検査用信号の交流電圧間の位相差を測定する測定部と、当該電子回路の良否を判別する判別部とを備え、前記測定部は、前記所定の周波数の検査用信号として、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記判別部は、前記各検査用信号の供給時に測定された前記各位相差の極性が互いに異なり、かつ当該各位相差のうちの一方の極性が予め規定された極性と一致するときに前記電子回路が良品であると判別する。

また、請求項４記載の電子回路検査装置は、検査対象の電子回路に対して、この順に周波数が高くなると共に、良品の前記電子回路が有する共振周波数がいずれかの周波数間に位置する第１、第２および第３の検査用信号のいずれか１つを供給しつつ当該電子回路を流れる交流電流および当該検査用信号の交流電圧間の位相差および当該電子回路のインピーダンスの絶対値を測定する測定部と、当該電子回路の良否を判別する判別部とを備え、前記測定部は、前記第１および第２の検査用信号の各周波数間に前記共振周波数が位置するときには、前記第１および第２の検査用信号の供給時において前記各位相差を測定すると共に、前記第２および第３の検査用信号の供給時において前記各インピーダンスの絶対値を測定し、前記第２および第３の検査用信号の各周波数間に前記共振周波数が位置するときには、前記第２および第３の検査用信号の供給時において前記各位相差を測定すると共に、前記第１および第２の検査用信号の供給時において前記各インピーダンスの絶対値を測定し、前記判別部は、前記各位相差の極性が互いに異なり、かつ前記各インピーダンスの絶対値の差分の極性が予め規定された極性と一致するときに前記電子回路が良品であると判別する。

また、請求項５記載の電子回路検査方法は、検査対象の電子回路に対して、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記各検査用信号の供給時に測定された前記電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の各位相差の極性の違いの有無に基づいて前記電子回路の良否を判別する。

また、請求項６記載の電子回路検査方法は、検査対象の電子回路に対して、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記各検査用信号の供給時に測定された前記電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の各位相差の極性が互いに異なるときに前記電子回路が良品であると判別する。

また、請求項７記載の電子回路検査方法は、検査対象の電子回路に対して、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記各検査用信号の供給時に測定された前記電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の各位相差の極性が互いに異なり、かつ当該各位相差のうちの一方の極性が予め規定された極性と一致するときに前記電子回路が良品であると判別する。

また、請求項８記載の電子回路検査方法は、検査対象の電子回路に対して、この順に周波数が高くなると共に、良品の前記電子回路が有する共振周波数がいずれかの周波数間に位置する第１、第２および第３の検査用信号のいずれか１つを供給し、前記第１および第２の検査用信号の各周波数間に前記共振周波数が位置するときには、前記第１および第２の検査用信号の供給時において前記電子回路を流れる交流電流および当該供給した検査用信号の交流電圧との間の各位相差を測定すると共に、前記第２および第３の検査用信号の供給時において前記電子回路についての各インピーダンスの絶対値を測定し、前記第２および第３の検査用信号の各周波数間に前記共振周波数が位置するときには、前記第２および第３の検査用信号の供給時において前記各位相差を測定すると共に、前記第１および第２の検査用信号の供給時において前記各インピーダンスの絶対値を測定し、前記各位相差の極性が互いに異なり、かつ前記各インピーダンスの絶対値の差分の極性が予め規定された極性と一致するときに前記電子回路が良品であると判別する。

請求項１，２記載の電子回路検査装置および請求項５，６記載の電子回路検査方法によれば、電子回路の良否検査に際して、良品の電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数および高い周波数の２種類の検査用信号を供給しつつ、電子回路についての各周波数における各位相差を測定するだけで、各位相差の極性の違いの有無に基づいて電子回路の良否を判別（検査）することができる。この場合、例えば、各位相差の極性が互いに異なるときに電子回路が良品であると判別する。したがって、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどの高価な検査機器を不要にできる結果、装置コストを安価にすることができ、これによって検査に要するコストを十分に低減することができる。また、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどを使用する従来方法とは異なり、検査用信号の周波数を所定の周波数帯域内で低域から高域へと変化させ（掃引させ）つつ多数の周波数ポイントで振幅特性や位相特性などの伝送特性を測定する必要がないため、検査時間を大幅に短縮することができる。

請求項３記載の電子回路検査装置および請求項７記載の電子回路検査方法によれば、電子回路の良否検査に際して、良品の電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数および高い周波数の２種類の検査用信号を供給しつつ、電子回路についての各周波数における各位相差を測定して、各位相差の極性が互いに異なり、かつ各位相差の極性のうちの一方が予め規定された極性と一致するときにのみ電子回路が良品であると判別することにより、直列共振周波数を有する電子回路と並列共振周波数を有する電子回路とが混在していたとしても、共振周波数の種類を含めて電子回路の良否を判別することができる。

請求項４記載の電子回路検査装置および請求項８記載の電子回路検査方法によれば、電子回路の良否検査に際して、良品の電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の２種類の検査用信号および共振周波数よりも高い周波数の１種類の検査用信号の合計３種類の検査用信号のいずれか１つを供給しつつ、電子回路についての共振周波数よりも低い周波数および高い周波数での各位相差、および共振周波数よりも低い各周波数での各インピーダンスの絶対値を測定するだけで、電子回路の良否を検査することができる。このため、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどの高価な検査機器を不要にできる結果、装置コストを安価にすることができ、これによって検査に要するコストを十分に低減することができる。また、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどを使用する検査方法とは異なり、検査用信号の周波数を所定の周波数帯域内で低域から高域へと変化させ（掃引させ）つつ多数の周波数ポイントで振幅特性や位相特性などの伝送特性を測定する必要がないため、検査時間を大幅に短縮することができる。また、各位相差の極性が互いに異なり、かつ各インピーダンスの絶対値の差分の極性が予め規定された極性と一致するときに電子回路が良品であると判別することにより、直列共振回路の電子回路と並列共振回路の電子回路とが混在していたとしても、共振回路の種類を含めて電子回路の良否を判別することができる。

以下、本発明に係る電子回路検査装置および電子回路検査方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、電子回路検査装置１の構成について、図１を参照して説明する。

同図に示すように、電子回路検査装置１は、測定部２、判別部３、ＲＡＭ４、ＲＯＭ５、操作部６および表示部７を備え、所定の共振周波数（直列共振周波数）ｆｒを有する電子回路（一例として図２に示す電子回路）２１および所定の共振周波数（並列共振周波数）ｆｒを有する電子回路（一例として図３に示す電子回路）２２の双方についての良否を検査可能に構成されている。

測定部２は、信号源１１、電流検出回路１２、電圧検出回路１３および演算回路１４を備えて構成されて、電子回路に交流電圧を供給したときに流れる交流電流とこの交流電圧との位相差θを測定する。この場合、信号源１１は、入力した周波数データＤ１によって示される周波数の検査用信号（交流電圧）を生成して電子回路に供給（印加）する。一例として信号源１１は、図４〜図７に示すように、０．１ｋＨｚから１０００ｋＨｚまでの周波数範囲内に含まれる周波数であってこの順に高くなる８つの周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，・・・，ｆ７，ｆ８の検査用信号を周波数データＤ１の内容に応じて選択して出力する。本例では、一例として、各周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，・・・，ｆ７，ｆ８は、同図に示すように、対数周波数軸上においてほぼ等間隔になるように予め規定されている。電流検出回路１２は、検査用信号が供給された際に電子回路を流れる交流電流Ｉを検出すると共に電圧信号Ｖｉに変換して出力する。電圧検出回路１３は、電子回路の両端に発生する電圧Ｖを検出して出力する。演算回路１４は、電圧信号Ｖｉおよび電圧Ｖに基づいて、電圧Ｖに対する交流電流Ｉの位相差θ（度）を算出する。

判別部３は、ＣＰＵ等で構成されると共に、ＲＯＭ５に記憶されている動作プログラムに従って作動し、操作部６から入力した周波数データＤ１および基準極性データＤ２（本発明における予め規定された極性に相当する）をＲＡＭ４に記憶させる。この場合、周波数データＤ１については、周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，・・・，ｆ７，ｆ８のうちからオペレータによって２つの周波数（所定の周波数）が選択される。また、判別部３は、周波数データＤ１によって示された２つの各周波数を順次読み出して、その周波数を示す周波数データＤ１を測定部２に出力する。さらに、判別部３は、測定部２によって測定された位相差θに基づいて電子回路の良否を判別する判別処理を実行し、判別処理の結果を表示部７に表示させる。

次に、電子回路検査装置１による電子回路の検査処理（本発明に係る電子回路検査方法）を説明する。最初に、図２に示す共振周波数（直列共振周波数）ｆｒを有する電子回路２１を検査する例について説明する。

まず、測定部２に電子回路２１を接続し、次いで、操作部６を操作して周波数データＤ１および基準極性データＤ２（電子回路２１では負極性）を判別部３に入力する。一例として、良品の電子回路２１が位相差θについて図４に示すような周波数特性を有しているときには、共振周波数ｆｒよりも低い１つの周波数と、共振周波数ｆｒよりも高い１つの周波数とを選択し、この２つの周波数を示す周波数データＤ１を判別部３に出力させる。なお、周波数を選択する際には、共振周波数ｆｒに極く近い周波数を除くのが好ましい。共振周波数ｆｒに極く近い周波数を選択した場合、電子回路２１の共振周波数ｆｒが良品としての許容範囲内で変化したときに、選択した周波数における位相差θの極性が反転するおそれがあるためである。例えば、共振周波数ｆｒよりも低い周波数として周波数ｆ５を選択した場合、周波数ｆ５における位相差θは標準的な良品のときには負極性であるが、共振周波数ｆｒが良品としての許容範囲内で低周波数側に変化して周波数ｆ５を下回ったときには正極性に反転する。このため、共振周波数ｆｒの変動が良品としての許容範囲内であるにも拘わらず、周波数ｆ５における負極性であるべき位相差θの極性が正極性となる結果、判別部３が、良品と判別すべき電子回路２１を誤って不良品と判別することがある。したがって、共振周波数ｆｒに極く近い周波数ｆ５を除き、共振周波数ｆｒよりも低い周波数として周波数ｆ４を選択し、かつ共振周波数ｆｒよりも高い周波数として周波数ｆ６をそれぞれ選択する。この際には、この２つの周波数ｆ４，ｆ６を示す周波数データＤ１が操作部６から判別部３に出力される。また、操作部６を操作することにより、各周波数ｆ４，ｆ６のうちのいずれか一方（本例では一例として周波数ｆ４）の検査用信号を良品の電子回路２１に供給したときの位相差θについての極性を基準極性データＤ２として判別部３に出力する。判別部３は、入力した周波数データＤ１および基準極性データＤ２をＲＡＭ４に記憶させた後に、電子回路２１に対する判別処理を実行する。

具体的には、判別部３は、ＲＡＭ４に記憶されている一つの周波数ｆ４に対応する周波数データＤ１を読み出して測定部２に出力する。測定部２では、信号源１１が、入力した周波数データＤ１の内容に応じて周波数ｆ４の検査用信号を生成して電子回路２１に供給（印加）する。また、電流検出回路１２が、電子回路２１を流れている交流電流Ｉを検出すると共に電圧信号Ｖｉに変換して出力する。また、電圧検出回路１３が、電子回路２１の両端に発生する電圧Ｖを検出して出力する。また、演算回路１４は、電圧信号Ｖｉおよび電圧Ｖに基づいて、電圧Ｖに対する交流電流Ｉの位相差θ（θ４：図４参照）を算出し、算出した位相差θ４を判別部３に出力する。判別部３は、入力した位相差θ４を周波数ｆ４に対応させてＲＡＭ４に記憶させる。次いで、判別部３は、ＲＡＭ４に記憶されている残りの一つの周波数ｆ６に対応する周波数データＤ１を読み出して測定部２に出力する。また、測定部２は、周波数ｆ４を示す周波数データＤ１を入力したときと同様にして、周波数ｆ６の検査用信号を電子回路２１に供給したときの位相差θ６（図４参照）を算出して判別部３に出力する。判別部３は、入力した位相差θ６を周波数ｆ６に対応させてＲＡＭ４に記憶させる。

次いで、判別部３は、ＲＡＭ４に記憶させた各周波数ｆ４，ｆ６における各位相差θ４，θ６の極性の違いの有無を判別し、各位相差θ４，θ６の極性が異なるときには、さらにＲＡＭ４に記憶されている基準極性データＤ２と位相差θ４の極性とを比較して両極性が一致するか否かを判別する。この際に、判別部３は、各位相差θ４，θ６の極性が異なり、かつ基準極性データＤ２と位相差θ４の極性とが一致しているときには、電子回路２１が良品であると判別する。一方、これ以外のときには、判別部３は、電子回路２１を不良品であると判別する。この場合、図２に示す電子回路２１を構成する各電子部品（抵抗３１、コンデンサ３２およびコイル３３などの受動素子）が互いに正常に接続され、かつ各電子部品の値（抵抗値、キャパシタンス、インダクタンス）がすべて許容範囲内であるとき、すなわち電子回路２１が良品であるときには、電子回路２１の共振周波数ｆｒは常に両周波数ｆ４，ｆ６の間に位置するため、図４に示すように、各位相差θ４，θ６の極性は常に異なり、かつ位相差θ４の極性は常に負極性になる。したがって、各位相差θ４，θ６の極性が異なり、かつ基準極性と位相差θ４の極性とが一致しているときには、電子回路２１を良品と判別することができる。

次いで、判別部３は、その判別結果を表示部７に表示させる。これにより、オペレータは、表示部７に表示された判別結果に基づいて、電子回路２１の良否を検査することができる。

このように、この電子回路検査装置１、および電子回路検査装置１によって実行される電子回路検査方法によれば、所定の共振周波数ｆｒを有する電子回路２１の良否検査に際して、共振周波数ｆｒよりも低い周波数ｆ４の検査用信号および共振周波数ｆｒよりも高い周波数ｆ６の検査用信号の２種類の検査用信号を供給しつつ、電子回路２１についての各周波数ｆ４，ｆ６における各位相差θ４，θ６を測定するだけで、各位相差θ４，θ６の極性の違いの有無に基づいて電子回路２１の良否を検査することができる。したがって、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどの高価な検査機器を不要にできる結果、装置コストを安価にすることができ、これによって検査に要するコストを十分に低減することができる。また、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどを使用する従来方法とは異なり、検査用信号の周波数を所定の周波数帯域内で低域から高域へと変化させ（掃引させ）つつ多数の周波数ポイントで振幅特性や位相特性などの伝送特性を測定する必要がないため、検査時間を大幅に短縮することができる。さらに、各位相差θ４，θ６の極性のうちの一方（上記の例では位相差θ４）が予め規定された基準極性データＤ２と一致するときにのみ電子回路２１が良品であると判別することにより、直列共振周波数を有する電子回路２１と並列共振周波数を有する電子回路２２とが混在していたとしても、共振周波数の種類を含めて電子回路２１，２２の良否を判別することができる。

なお、本発明は、上記した構成に限定されない。例えば、位相差θ４の極性に対応する極性を基準極性データＤ２としてＲＡＭ４に記憶させる例について説明したが、位相差θ６の極性に対応する極性を基準極性データＤ２として規定することもできる。また、図２に示すような直列共振周波数を有する電子回路２１について検査する例について説明したが、図３に示す電子回路２２についても、電子回路２２を構成する各電子部品（抵抗３４、コンデンサ３５およびコイル３６）が互いに正常に並列接続され、かつ各電子部品の値（抵抗値、キャパシタンス、インダクタンス）がすべて許容範囲内であるとき、すなわち電子回路２２が良品であるときには、図６に示すように、共振周波数ｆｒよりも低い周波数（この例では周波数ｆ４）における位相差θの極性と共振周波数ｆｒよりも高い周波数（この例では周波数ｆ６）における位相差θの極性との間に常に違いが存在する（逆極性になる）ため、電子回路検査装置１は、電子回路２１に対する良否判別と同様にして、電子回路２２に対する良否を判別することができる。また、共振回路の種類（直列共振または並列共振）がすべて同一の電子回路を検査するときには、共振周波数ｆｒの前後における位相差θの極性自体は問題とならない。したがって、このような電子回路を検査するときには、判別部３に対して、ＲＡＭ４に記憶させた各周波数ｆ４，ｆ６における各位相差θ４，θ６の極性の違いの有無を判別させ、その有無に基づいて電子回路２１の良否を判別させる。具体的には、判別部３に対して、各位相差θ４，θ６の極性が異なるときには、基準極性データＤ２を用いた同一性の判別を行わせることなく、電子回路２１を良品と判別させ、各位相差θ４，θ６の極性が同じときには不良品と判別させる。

また、上記した電子回路検査装置１では、電子回路を流れている交流電流Ｉ（電圧信号Ｖｉ）と電子回路の両端に発生する電圧Ｖとの位相差θ、およびこの位相差θの極性に基づいて電子回路の良否を判別しているが、位相差θの極性に代えて、電子回路についてのインピーダンスの絶対値Ｚに基づいてその電子回路の良否を判別することもできる。以下、電子回路を流れている交流電流Ｉ（電圧信号Ｖｉ）と電子回路の両端に発生する電圧Ｖとの位相差θ、および電子回路のインピーダンスの絶対値Ｚに基づいて電子回路の良否を判別する電子回路検査装置１Ａについて説明する。

最初に、電子回路検査装置１Ａの構成について、図１を参照して説明する。なお、電子回路検査装置１と同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。

同図に示すように、電子回路検査装置１Ａは、測定部２Ａ、判別部３Ａ、ＲＡＭ４、ＲＯＭ５、操作部６および表示部７を備え、電子回路２１，２２の双方についての良否を検査可能に構成されている。

測定部２Ａは、信号源１１、電流検出回路１２、電圧検出回路１３および演算回路１４Ａを備えて構成されて、電子回路２１（または２２）に交流電圧の検査用信号を供給したときに流れる交流電流とこの交流電圧との位相差θ、および電子回路２１（または２２）についてのインピーダンスの絶対値Ｚを測定する。この場合、測定部２Ａでは、演算回路１４Ａが、電圧信号Ｖｉおよび電圧Ｖに基づいて、両者間の位相差θと、電子回路２１についてのインピーダンスの絶対値Ｚとを算出する。

判別部３Ａは、操作部６から入力した周波数データＤ１および基準極性データＤ２をＲＡＭ４に記憶する。この場合、周波数データＤ１については、その順に周波数が高くなる周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，・・・，ｆ７，ｆ８のうちからオペレータによって３つの周波数（所定の周波数）が選択される。この場合、３つの周波数の内のいずれかの間に共振周波数ｆｒが位置するように選択される。また、判別部３Ａは、３つの各周波数に対応する周波数データＤ１を順次読み出して測定部２Ａに出力する。さらに、判別部３Ａは、測定部２Ａによって測定された位相差θおよびインピーダンスの絶対値Ｚに基づいて電子回路の良否を判別する判別処理を実行し、判別処理の結果を表示部７に表示させる。

次に、電子回路検査装置１Ａによる電子回路（一例として電子回路２１）の検査処理（本発明に係る電子回路検査方法）を説明する。

まず、測定部２Ａに電子回路２１を接続し、次いで、操作部６を操作して周波数データＤ１および基準極性データＤ２を判別部３Ａに入力する。この場合、良品の電子回路２１は、位相差θおよびインピーダンスの絶対値Ｚについて、図４および図５に示す周波数特性を有している。このため、上記の３つの周波数として、共振周波数ｆｒよりも低い２つの周波数ｆ３，ｆ４と、共振周波数ｆｒよりも高い１つの周波数ｆ６とを選択し、この各周波数ｆ３，ｆ４，ｆ６を示す周波数データＤ１を判別部３Ａに入力する。なお、電子回路検査装置１についての理由と同じ理由により、電子回路検査装置１Ａにおいても、周波数を選択する際には共振周波数ｆｒに極く近い周波数（同図では周波数ｆ５）を除くのが好ましい。また、操作部６を操作することにより、周波数ｆ３でのインピーダンスの絶対値Ｚ３から周波数ｆ４でのインピーダンスの絶対値Ｚ４を減算した値（良品の電子回路２１についての値）の極性（正極性）を基準極性データＤ２として判別部３Ａに入力する。判別部３Ａは、入力した周波数データＤ１および基準極性データＤ２をＲＡＭ４に記憶させた後、電子回路２１に対する判別処理を実行する。

具体的には、判別部３Ａは、ＲＡＭ４に記憶されている３つの周波数ｆ３，ｆ４，ｆ６に対応する周波数データＤ１を順次読み出して測定部２Ａに出力する。測定部２Ａでは、信号源１１が、入力した周波数データＤ１の内容に応じて、周波数ｆ３の検査用信号（第１の検査用信号）、周波数ｆ４の検査用信号（第２の検査用信号）、および周波数ｆ６の検査用信号（第３の検査用信号）を順次生成して電子回路２１に供給（印加）する。また、各周波数ｆ３，ｆ４，ｆ６の検査用信号のいずれか１つを電子回路２１に供給している状態において、電流検出回路１２は、電子回路２１を流れている交流電流Ｉを検出すると共に電圧信号Ｖｉに変換して出力する。電圧検出回路１３は、電子回路２１の両端に発生する電圧Ｖを検出して出力する。演算回路１４Ａは、電圧信号Ｖｉおよび電圧Ｖに基づいて、各周波数ｆ４，ｆ６での電圧Ｖに対する交流電流Ｉの位相差θ（θ４，θ６：図４参照）、および各周波数ｆ３，ｆ４での電子回路２１についてのインピーダンスの絶対値Ｚ３，Ｚ４（Ｚ３，Ｚ４：図５参照）を算出して判別部３Ａに出力する。判別部３Ａは、入力した各位相差θ４，θ６、および各絶対値Ｚ３，Ｚ４を、対応する周波数ｆ３，ｆ４，ｆ６にそれぞれ対応させてＲＡＭ４に記憶させる。

次いで、判別部３Ａは、ＲＡＭ４に記憶させた各周波数ｆ４，ｆ６における各位相差θ４，θ６の極性の違いの有無を判別し、各位相差θ４，θ６の極性が異なるときには、絶対値Ｚ３から絶対値Ｚ４を減算した値の極性データＤｐ１を算出すると共に、極性データＤｐ１と基準極性データＤ２とが一致しているか否かを判別する。この際に、判別部３Ａは、各位相差θ４，θ６の極性が異なり、かつ極性データＤｐ１と基準極性データＤ２とが一致しているときには、電子回路２１が良品であると判別する。一方、これ以外のときには、判別部３Ａは、電子回路２１を不良品であると判別する。この場合、図２に示す電子回路２１が良品のときには、電子回路２１の共振周波数ｆｒは常に両周波数ｆ４，ｆ６の間に位置する。このため、図４に示すように、各位相差θ４，θ６の極性に違いが常に存在し、かつ図５に示すように、極性データＤｐ１は常に正（正極性）になる。したがって、各位相差θ４，θ６の極性が異なり、かつ極性データＤｐ１と基準極性データＤ２とが一致しているときには、電子回路２１を良品と判別することができる。次いで、判別部３Ａは、その判別結果を表示部７に表示させる。これにより、オペレータは、表示部７に表示された判別結果に基づいて、電子回路２１の良否を検査することができる。

このように、この電子回路検査装置１Ａ、および電子回路検査装置１Ａによって実行される電子回路検査方法によれば、共振周波数ｆｒを有する電子回路２１の良否検査に際して、共振周波数ｆｒよりも低い周波数ｆ３，ｆ４の２種類の検査用信号および共振周波数ｆｒよりも高い周波数ｆ６の１種類の検査用信号の合計３種類の検査用信号のいずれか１つを供給しつつ、電子回路２１についての各周波数ｆ４，ｆ６での各位相差θ、および各周波数ｆ３，ｆ４での各インピーダンスの絶対値Ｚを測定するだけで、電子回路２１の良否を検査することができる。このため、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどの高価な検査機器を不要にできる結果、装置コストを安価にすることができ、これによって検査に要するコストを十分に低減することができる。また、ネットワークアナライザやスペクトラムアナライザなどを使用する検査方法とは異なり、検査用信号の周波数を所定の周波数帯域内で低域から高域へと変化させ（掃引させ）つつ多数の周波数ポイントで振幅特性や位相特性などの伝送特性を測定する必要がないため、検査時間を大幅に短縮することができる。また、極性データＤｐ１が予め規定された基準極性データＤ２と一致しているときにのみ電子回路２１が良品であると判別することにより、直列共振回路の電子回路２１と並列共振回路の電子回路２１とが混在していたとしても、共振回路の種類を含めて電子回路２１，２２の良否を判別することができる。

なお、本発明は、上記した構成に限定されない。例えば、上記の３つの周波数として、共振周波数ｆｒよりも低い２つの周波数ｆ３，ｆ４と、共振周波数ｆｒよりも高い１つの周波数ｆ６とを選択する構成に代えて、共振周波数ｆｒよりも低い１つの周波数ｆ４と、共振周波数ｆｒよりも高い２つの周波数ｆ６，ｆ７とを選択し、電子回路２１についての各周波数ｆ４，ｆ６での各位相差θ、および各周波数ｆ６，ｆ７での各インピーダンスの絶対値Ｚ６，Ｚ７（図５参照）に基づいて電子回路２１の良否を判別することもできる。また、図２に示すような直列共振周波数を有する電子回路２１を検査する例について説明したが、図３に示すような並列共振周波数を有する電子回路２２についても、良品のときには、図６，７に示すように、電子回路２２の共振周波数ｆｒは常に両周波数ｆ４，ｆ６の間に位置して、電子回路２２についての周波数ｆ４，ｆ６での位相差θ４，θ６の極性に違いが常に存在し、かつ絶対値Ｚ３から絶対値Ｚ４を減算した値（または絶対値Ｚ７から絶対値Ｚ６を減算した値）の極性データＤｐ１は常に負極性になる。したがって、各位相差θ４，θ６の極性が異なり、かつ極性データＤｐ１が基準極性データＤ２（ここでは負極性を示すデータ）と一致しているか否かを判別することにより、電子回路２２についても、電子回路２１と同様にしてその良否を判別することができる。なお、図６，７に示すように、良品のときには、電子回路２２についての周波数ｆ４，ｆ６での位相差θ４，θ６の極性が異なり、かつ絶対値Ｚ４から絶対値Ｚ３を減算した値（または絶対値Ｚ６から絶対値Ｚ７を減算した値）の極性データＤｐ１が正極性になるため、各位相差θ４，θ６の極性が異なり、かつ極性データＤｐ１が基準極性データＤ２（ここでは正極性を示すデータ）と一致しているか否かを判別することにより、同様にしてその良否を判別することができる。

また、上記した電子回路検査装置１，１Ａによる両判別処理を選択的に切り替えて１台の電子回路検査装置に実行させる構成を採用することもできる。この電子回路検査装置では、ＲＯＭ５に両判別処理を実行可能な動作プログラムが予め記憶されており、操作部６を操作していずれかの動作プログラムを指定することにより、判別部３がその動作プログラムに従って判別処理を実行する。

また、直列共振回路の一例として図２に示す電子回路２１を、また並列共振回路の一例として図３に示す電子回路２２を挙げて説明したが、電子回路検査装置１，１Ａは、共振周波数を有する限り任意の回路構成の電子回路に対しても同様にしてその良否を検査することができる。

電子回路検査装置１（１Ａ）の構成を示すブロック図である。 電子回路２１の回路図である。 電子回路２２の回路図である。 電子回路２１の位相差θについての周波数特性図である。 電子回路２１のインピーダンスＺについての周波数特性図である。 電子回路２２の位相差θについての周波数特性図である。 電子回路２２のインピーダンスＺについての周波数特性図である。

符号の説明

１，１Ａ 電子回路検査装置
２，２Ａ 測定部
３，３Ａ 判別部
２１，２２ 電子回路
ｆ３，ｆ４，ｆ６，ｆ７ 所定の周波数
Ｚ インピーダンスの絶対値
θ 位相差

Claims (8)

1. 検査対象の電子回路に所定の周波数の検査用信号を供給しつつ当該電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の位相差を測定する測定部と、当該電子回路の良否を判別する判別部とを備え、
   前記測定部は、前記所定の周波数の検査用信号として、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、
   前記判別部は、前記各検査用信号の供給時に測定された前記各位相差の極性の違いの有無に基づいて前記電子回路の良否を判別する電子回路検査装置。
2. 検査対象の電子回路に所定の周波数の検査用信号を供給しつつ当該電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の位相差を測定する測定部と、当該電子回路の良否を判別する判別部とを備え、
   前記測定部は、前記所定の周波数の検査用信号として、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、
   前記判別部は、前記各検査用信号の供給時に測定された前記各位相差の極性が互いに異なるときに前記電子回路が良品であると判別する電子回路検査装置。
3. 検査対象の電子回路に所定の周波数の検査用信号を供給しつつ当該電子回路を流れる交流電流および当該検査用信号の交流電圧間の位相差を測定する測定部と、当該電子回路の良否を判別する判別部とを備え、
   前記測定部は、前記所定の周波数の検査用信号として、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、
   前記判別部は、前記各検査用信号の供給時に測定された前記各位相差の極性が互いに異なり、かつ当該各位相差のうちの一方の極性が予め規定された極性と一致するときに前記電子回路が良品であると判別する電子回路検査装置。
4. 検査対象の電子回路に対して、この順に周波数が高くなると共に、良品の前記電子回路が有する共振周波数がいずれかの周波数間に位置する第１、第２および第３の検査用信号のいずれか１つを供給しつつ当該電子回路を流れる交流電流および当該検査用信号の交流電圧間の位相差および当該電子回路のインピーダンスの絶対値を測定する測定部と、当該電子回路の良否を判別する判別部とを備え、
   前記測定部は、前記第１および第２の検査用信号の各周波数間に前記共振周波数が位置するときには、前記第１および第２の検査用信号の供給時において前記各位相差を測定すると共に、前記第２および第３の検査用信号の供給時において前記各インピーダンスの絶対値を測定し、前記第２および第３の検査用信号の各周波数間に前記共振周波数が位置するときには、前記第２および第３の検査用信号の供給時において前記各位相差を測定すると共に、前記第１および第２の検査用信号の供給時において前記各インピーダンスの絶対値を測定し、
   前記判別部は、前記各位相差の極性が互いに異なり、かつ前記各インピーダンスの絶対値の差分の極性が予め規定された極性と一致するときに前記電子回路が良品であると判別する電子回路検査装置。
5. 検査対象の電子回路に対して、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記各検査用信号の供給時に測定された前記電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の各位相差の極性の違いの有無に基づいて前記電子回路の良否を判別する電子回路検査方法。
6. 検査対象の電子回路に対して、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記各検査用信号の供給時に測定された前記電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の各位相差の極性が互いに異なるときに前記電子回路が良品であると判別する電子回路検査方法。
7. 検査対象の電子回路に対して、良品の前記電子回路が有する共振周波数よりも低い周波数の検査用信号および当該共振周波数よりも高い周波数の検査用信号を供給し、前記各検査用信号の供給時に測定された前記電子回路を流れる交流電流と当該検査用信号の交流電圧との間の各位相差の極性が互いに異なり、かつ当該各位相差のうちの一方の極性が予め規定された極性と一致するときに前記電子回路が良品であると判別する電子回路検査方法。
8. 検査対象の電子回路に対して、この順に周波数が高くなると共に、良品の前記電子回路が有する共振周波数がいずれかの周波数間に位置する第１、第２および第３の検査用信号のいずれか１つを供給し、
   前記第１および第２の検査用信号の各周波数間に前記共振周波数が位置するときには、前記第１および第２の検査用信号の供給時において前記電子回路を流れる交流電流および当該供給した検査用信号の交流電圧との間の各位相差を測定すると共に、前記第２および第３の検査用信号の供給時において前記電子回路についての各インピーダンスの絶対値を測定し、前記第２および第３の検査用信号の各周波数間に前記共振周波数が位置するときには、前記第２および第３の検査用信号の供給時において前記各位相差を測定すると共に、前記第１および第２の検査用信号の供給時において前記各インピーダンスの絶対値を測定し、
   前記各位相差の極性が互いに異なり、かつ前記各インピーダンスの絶対値の差分の極性が予め規定された極性と一致するときに前記電子回路が良品であると判別する電子回路検査方法。

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