JP4542448B2 - レジスト剥離除去装置 - Google Patents
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- リソグラフィ工程において一方向に一定の速度で搬送される基板の表面に有するレジストを剥離して除去するレジスト剥離除去装置であって、
処理チャンバーと、
前記処理チャンバーを横断して設置され、前記基板を搬入し、搬出するための基板搬送装置と、
前記処理チャンバー内に設置されて前記基板の表面に剥離液を吹き付ける第1のノズルと、前記処理チャンバー内で前記第1のノズルの前記基板の搬送方向下流側に設置されて水蒸気を吹き付ける第2のノズルとを具備したノズル機構と、
前記第1のノズルに供給する剥離液を加熱する剥離液加熱器および剥離液を加圧する剥離液加圧器と、
前記第2のノズルに水蒸気を供給する水蒸気発生器とを有し、
前記第1のノズルと前記第2のノズルの前記基板の搬送方向の間隔を可変とするノズル間隔制御機構を備えたことを特徴とするレジスト剥離除去装置。 - 前記基板の搬送速度とそのレジストの膜質に応じた前記剥離液の吹き付け温度と吹き付け流量と吹き付け圧力、前記水蒸気の吹き付け密度と吹き付け圧力をパラメータとして、前記第1のノズルと前記第2のノズルの前記基板の搬送方向の間隔を可変とするノズル間隔制御機構に間隔制御信号を与えるノズル制御装置を備えたことを特徴とする請求項1に記載のレジスト剥離除去装置。
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