JP4523927B2 - 触媒強化化学気相蒸着装置及び有機電界発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
図2に示すように、本発明の第1実施形態では、フィラメント150はシャワーヘッド130の中心軸に対して左右対称的に配置されている。また、フィラメント150に印加される電源を供給する電極160は、シャワーヘッド上の左右側上部にそれぞれ一つずつ形成されている。これにより、フィラメント150は全体的に一つの線で連結されている。そして、基板110はシャワーヘッド130のサイズよりは小さくなっていて、基板110のエッジ部分で蒸着される膜が中心部分と均一度に差がないように配置される。
図3に示すように、本発明の第2実施形態は、同一間隔を有する並列型フィラメント構造を有する。
図4に示すように、本発明の第3実施形態は、同一サイズと同一間隔を有する一字型フィラメントが平行するように繰り返されたフィラメント構造を有する。
図5に示すように、本発明の第4実施形態は、シャワーヘッド130の両端側のフィラメント150間の間隔を狭く配列した並列型フィラメント構造を有する。
図6に示すように、本発明の第5実施形態は、一定間隔で形成されたガスノズル140を取り囲んだフィラメント150が対称で繰り返された構造のフィラメント配列構造を有する。
図7に示すように、本発明の第6実施形態は、同一サイズと同一間隔を有する直列型フィラメント配列構造を有する。
図8に示すように、本発明の第7実施形態は、中心部に並列型フィラメントを含んでガスノズル140を取り囲んだフィラメント150が対称であるフィラメント配列構造を有する。
図9に示すように、本発明の第8実施形態は、櫛状パターンが上下に連結されて対称であるフィラメント配列構造を有する。
図10に示すように、本発明の第9実施形態は、櫛状パターンが上下部に繰り返される構造のフィラメント配列構造を有する。
図11に示すように、本発明の実施形態10では、並列型フィラメント構造のうちフィラメントがジグザグ型で配置された構造を有する。
図12に示すように、本発明の実施形態11では、並列型フィラメントが対角線方向に平行するように配置されている。
図13に示すように、本発明の第12実施形態では、実施形態10のジグザグ型フィラメント構造が対角線方向に配置されている。
図14に示すように、本発明の実施形態13では、フィラメント間の間隔が順次的に大きくなる四角形フィラメントパターンが繰り返されるフィラメント構造を有する。
110、120 基板
130 シャワーヘッド
140 ガスノズル
150 フィラメント
160 電極
170 壁ヒーター
180 セラミックボルト
210 第1電極
220 有機膜層
230 第2電極
240 無機膜
Claims (21)
- 2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含む触媒強化化学気相蒸着装置であって、
前記シャワーヘッドの下方に長方形の基板を設置し、
前記ガスノズルは、前記基板の短辺と平行な方向には等間隔に配列され、前記基板の長辺と平行な方向には前記基板の外側へいくにしたがって間隔が狭くなるように配列され、
前記フィラメントは、前記基板の短辺と平行な方向に直線的に設置され、前記基板の長辺と平行な方向には前記ガスノズルの設置位置に対応して配列されていることを特徴とする触媒強化化学気相蒸着装置。 - 2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含む触媒強化化学気相蒸着装置であって、
前記シャワーヘッドの下方に基板を設置し、
前記ガスノズルは前記基板の上部全体に配列され、
前記フィラメントは、前記基板の中心付近から前記ガスノズルが設置されている位置の外側を取り囲むように左右対称に設置されていることを特徴とする触媒強化化学気相蒸着装置。 - 2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含む触媒強化化学気相蒸着装置であって、
前記シャワーヘッドの下方に長方形の基板を設置し、
前記ガスノズルは、前記基板の長辺方向の中心部分と両端部分でそれぞれ均等に配列され、
前記フィラメントは、前記中心部分では前記基板の短辺と平行な方向に直線的に設置され、前記両端部分では前記ガスノズルが設置されている位置の外側を取り囲むように設置されていることを特徴とする触媒強化化学気相蒸着装置。 - 2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含む触媒強化化学気相蒸着装置であって、
前記シャワーヘッドの下方に基板を設置し、
前記ガスノズルは前記基板の上部全体に均等に配列され、
前記フィラメントはジグザグの櫛状パターンで設置されていることを特徴とする触媒強化化学気相蒸着装置。 - 2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含む触媒強化化学気相蒸着装置であって、
前記シャワーヘッドの下方に基板を設置し、
前記ガスノズルは前記基板の上部全体に均等に配列され、
前記フィラメントは螺旋状に外側に向かって順次大きくなるように折り曲げて設置されていることを特徴とする触媒強化化学気相蒸着装置。 - 前記フィラメントは、タングステン、タンタル、ニッケル及びクロムのうちいずれか一元素で形成することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の触媒強化化学気相蒸着装置。
- 前記フィラメントの厚さは、0.3mm以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の触媒強化化学気相蒸着装置。
- 前記フィラメントの厚さは、0.3mmないし2.0mmであることを特徴とする請求項7に記載の触媒強化化学気相蒸着装置。
- 前記ガスノズルは、SiN:H薄膜の場合、シラン/アンモニア/窒素の、SiON薄膜の場合、シラン/アンモニア/一酸化窒素の蒸着ソースガスを噴射することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の触媒強化化学気相蒸着装置。
- 基板と、前記基板上部に形成された第1電極と、前記第1電極上部に形成された最小限有機発光層を含む有機膜と、前記有機膜上部に形成された第2電極と、前記第2電極上部に形成された無機膜を含む有機電界発光素子の製造方法であって、
前記無機膜は触媒強化化学気相蒸着装置で形成され、
前記触媒強化化学気相蒸着装置は、2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含み、
前記シャワーヘッドの下方に長方形の基板が設置され、
前記ガスノズルは、前記基板の短辺と平行な方向には等間隔に配列され、前記基板の長辺と平行な方向には前記基板の外側へいくにしたがって間隔が狭くなるように配列され、
前記フィラメントは、前記基板の短辺と平行な方向に直線的に設置され、前記基板の長辺と平行な方向には前記ガスノズルの設置位置に対応して配列されていることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。 - 基板と、前記基板上部に形成された第1電極と、前記第1電極上部に形成された最小限有機発光層を含む有機膜と、前記有機膜上部に形成された第2電極と、前記第2電極上部に形成された無機膜を含む有機電界発光素子の製造方法であって、
前記無機膜は触媒強化化学気相蒸着装置で形成され、
前記触媒強化化学気相蒸着装置は、2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含み、
前記シャワーヘッドの下方に基板を設置し、
前記ガスノズルは前記基板の上部全体に配列され、
前記フィラメントは、前記基板の中心付近から前記ガスノズルが設置されている位置の外側を取り囲むように左右対称に設置されていることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。 - 基板と、前記基板上部に形成された第1電極と、前記第1電極上部に形成された最小限有機発光層を含む有機膜と、前記有機膜上部に形成された第2電極と、前記第2電極上部に形成された無機膜を含む有機電界発光素子の製造方法であって、
前記無機膜は触媒強化化学気相蒸着装置で形成され、
前記触媒強化化学気相蒸着装置は、2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含み、
前記シャワーヘッドの下方に長方形の基板を設置し、
前記ガスノズルは、前記基板の長辺方向の中心部分と両端部分でそれぞれ均等に配列され、
前記フィラメントは、前記中心部分では前記基板の短辺と平行な方向に直線的に設置され、前記両端部分では前記ガスノズルが設置されている位置の外側を取り囲むように設置されていることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。 - 基板と、前記基板上部に形成された第1電極と、前記第1電極上部に形成された最小限有機発光層を含む有機膜と、前記有機膜上部に形成された第2電極と、前記第2電極上部に形成された無機膜を含む有機電界発光素子の製造方法であって、
前記無機膜は触媒強化化学気相蒸着装置で形成され、
前記触媒強化化学気相蒸着装置は、2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含み、
前記シャワーヘッドの下方に基板を設置し、
前記ガスノズルは前記基板の上部全体に均等に配列され、
前記フィラメントはジグザグの櫛状パターンで設置されていることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。 - 基板と、前記基板上部に形成された第1電極と、前記第1電極上部に形成された最小限有機発光層を含む有機膜と、前記有機膜上部に形成された第2電極と、前記第2電極上部に形成された無機膜を含む有機電界発光素子の製造方法であって、
前記無機膜は触媒強化化学気相蒸着装置で形成され、
前記触媒強化化学気相蒸着装置は、2個以上の電極と、前記電極に各端が接続されたフィラメント、及び前記フィラメント側に噴射口が向くように配列された複数個のガスノズルで構成されるシャワーヘッドを含み、
前記シャワーヘッドの下方に基板を設置し、
前記ガスノズルは前記基板の上部全体に均等に配列され、
前記フィラメントは螺旋状に外側に向かって順次大きくなるように折り曲げて設置されていることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。 - 前記フィラメントは、タングステン、タンタル、ニッケル及びクロムのうちいずれか一元素で形成することを特徴とする請求項10乃至請求項14のいずれか1項に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記フィラメントの厚さは、0.3mm以上であることを特徴とする請求項10乃至請求項14のいずれか1項に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記フィラメントの厚さは、0.3mmないし2.0mmであることを特徴とする請求項16に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記ガスノズルは、SiN:H薄膜の場合、シラン/アンモニア/窒素、SiON薄膜の場合、シラン/アンモニア/一酸化窒素の蒸着ソースガスを噴射することを特徴とする請求項10乃至請求項14のいずれか1項に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記無機膜は、窒化シリコン及び窒酸化シリコンのいずれかであることを特徴とする請求項10乃至請求項14のいずれか1項に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記第1電極は、透明電極及び下部層に反射膜を含む透明電極のいずれかであることを特徴とする請求項10乃至請求項14のいずれか1項に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記第2電極は、マグネシウム、カルシウム、アルミニウム、銀、及びこれらの合金で構成された群から選択された1種の物質で形成され、反射電極及び光を透過することができる透過電極のいずれかであることを特徴とする請求項10乃至請求項14のいずれか1項に記載の有機電界発光素子の製造方法。
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