JP4520880B2 - しみ検査方法及びしみ検査装置 - Google Patents
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Description
しかし、画像が輝度シェーディング特性を有する場合、輝度シェーディング自体が傾きであるため、Sobelフィルタではエッジの検出が困難である場合が多い。
まず、ローパスフィルタ(Low Pass Filter, LPF)を用い、元画像からノイズ成分を除去する。これによって、輝度シェーディングの特性のみをもった画像が生成される。次に、得られた輝度シェーディング特性を元画像から減じる。このようにして画像から輝度シェーディングを除去して、しみの検出を行う。
しかし、画像全領域について平滑化曲線を求め、平坦化曲面を得るためには、膨大な処理時間を要する。このため、処理時間の制約が厳しい固体撮像装置等の検査には適していない。
={f(i+2,j)−f(i+1,j)}−{f(i−1,j)−f(i−2,j)}
={f(i+2,j)−f(i+1,j)}+{f(i−2,j)−f(i−1,j)}・・・(式1)
(式1)に基づいて、2次微分値を求める。
fvv(i,j)={f(i,j+2)−f(i,j+1)}+{f(i,j−2)−f(i,j−1)}・・・(式2)
(式2)に基づいて、2次微分値を求める。
図4(B)に示した垂直方向微分フィルタ13bと同様に、垂直方向に近接する画素間の1次微分値を求め、垂直方向について輝度シェーディングの影響を除く。また離れた画素間の2次微分値を求め、しみのエッジ部を強調する。また、水平方向については平均化を行う。
図5(B)に示すフィルタは、水平方向に、行の中央部の係数が大きくなるように重み付けがなされている。
図8(C)は、2値化処理部30で2値化処理されたデータを示す。しきい値を用い、一定値以上の輝度部分と、それ以下の輝度部分を2値化する。
図8(D)を参照する。2値化された輝度データからノイズを除去する。図には、ノイズ除去部31でノイズを除去された2値化データを示す。このデータが判定処理部32に入力される。
図8(E)を参照する。しきい値を用い、たとえば一定値以上の幅のある部分をしみとして判定する。この場合、異なる複数のしきい値(変調可能なしきい値)を用いることが可能である。最初のしきい値を用いて判定が妥当に行われないときには、次のしきい値を用いてしみの有無の判定を行う。
11 色分解部
12 リサイズ部
12a ノイズ除去部
12b 画像圧縮部
13 2次微分フィルタリング部
13a 水平方向微分フィルタ
13b 垂直方向微分フィルタ
13c 加算器
13d 比較器
14 ノイズ除去部
15 2値化処理部
16 ノイズ除去部
17 判定処理部
20 画像
30 2値化処理部
31 ノイズ除去部
32 判定処理部
Claims (25)
- (a)輝度データを準備する工程と、
(b)前記輝度データの第1の方向に沿う輝度値から一群の1次微分値を求め、1次微分値から一群の2次微分値を求め、2次微分値に基づいて第1のデータを出力する工程と、
(c)前記輝度データの前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿う輝度値から一群の1次微分値を求め、1次微分値から一群の2次微分値を求め、2次微分値に基づいて第2のデータを出力する工程と
を有し、
更に、
(d)前記第1のデータと前記第2のデータとを加算して第3のデータを出力する工程、
または、
(e)前記第1のデータと前記第2のデータとを比較し、絶対値の大きい方を選択して第4のデータを出力する工程
を含むしみ検査方法。 - 前記2次微分値は、隣接しない位置の1次微分値から求める請求項1に記載のしみ検査方法。
- 前記2次微分値は、一定間隔離れた位置の1次微分値から求める請求項1に記載のしみ検査方法。
- 前記第1の方向と前記第2の方向とが直交する方向である請求項1〜3のいずれか1項に記載のしみ検査方法。
- 前記工程(a)において準備される輝度データが、原輝度データを圧縮、またはノイズ除去することにより得られる請求項1〜4のいずれか1項に記載のしみ検査方法。
- 前記輝度データが、色分解された画像の輝度データである請求項1〜5のいずれか1項に記載のしみ検査方法。
- 前記2次微分値のノイズを除去する工程を含む請求項1〜6のいずれか1項に記載のしみ検査方法。
- 前記工程(d)が、加算した後、ノイズを除去する工程を含む請求項1〜7のいずれか1項に記載のしみ検査方法。
- 前記工程(e)が、比較、選択した後、ノイズを除去する工程を含む請求項1〜7のいずれか1項に記載のしみ検査方法。
- 更に、
(h)前記工程(d)の後に、前記第3のデータに2値化処理を施す工程を含む請求項1〜8のいずれか1項に記載のしみ検査方法。 - 更に、
(i)前記工程(e)の後に、前記第4のデータに2値化処理を施す工程を含む請求項1〜7及び9のいずれか1項に記載のしみ検査方法。 - 前記工程(h)において、2値化処理を施した後、ノイズを除去する請求項10に記載のしみ検査方法。
- 前記工程(i)において、2値化処理を施した後、ノイズを除去する請求項11に記載のしみ検査方法。
- 複数の画素について求めた中央値を用いノイズを除去する請求項5、7〜9、12及び13のいずれか1項に記載のしみ検査方法。
- 更に、
(j)前記工程(d)、(e)、(h)、(i)のいずれかに続けて、変調可能なしきい値を用いて、しみの有無を判定する工程を含む請求項1〜14のいずれか1項に記載のしみ検査方法。 - 輝度データの第1の方向に沿う輝度値から一群の1次微分値を求め、1次微分値から一群の2次微分値を求める第1の2次微分フィルタと、前記輝度データの前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿う輝度値から一群の1次微分値を求め、1次微分値から一群の2次微分値を求める第2の2次微分フィルタと
を含むフィルタ手段
を有し、
前記フィルタ手段が、更に、
前記第1の2次微分フィルタの出力と、前記第2の2次微分フィルタの出力とを加算する加算器、
または、
前記第1の2次微分フィルタの出力と、前記第2の2次微分フィルタの出力とを比較し、絶対値の大きい方を選択する比較器
を含むしみ検査装置。 - 前記第1または第2の2次微分フィルタは、隣接しない位置で2次微分値を求める請求項16に記載のしみ検査装置。
- 前記第1または第2の2次微分フィルタは、一定間隔離れた位置で2次微分値を求める請求項16に記載のしみ検査装置。
- 前記第1の方向と前記第2の方向とが直交する方向である請求項16〜18のいずれか1項に記載のしみ検査装置。
- 更に、前記フィルタ手段で処理の行われたデータを2値化処理する2値化処理手段を含む請求項16〜19のいずれか1項に記載のしみ検査装置。
- 更に、前記フィルタ手段で処理の行われたデータ、または、前記2値化処理手段で処理の行われたデータをもとに、しみの有無を判定する判定手段を含む請求項16〜20のいずれか1項に記載のしみ検査装置。
- 更に、原輝度データを圧縮、またはノイズ除去することにより、前記フィルタ手段で処理を行う前記輝度データを生成する圧縮手段を含む請求項16〜21のいずれか1項に記載のしみ検査装置。
- 更に、前記フィルタ手段で処理の行われた後のデータであって前記2値化処理手段で2値化処理されていないデータのノイズを除去する、または、前記2値化処理手段で2値化処理を施された後のデータであって前記判定手段でしみの有無を判定する前のデータのノイズを除去するノイズ除去手段を含む請求項16〜22のいずれか1項に記載のしみ検査装置。
- 前記ノイズ除去手段が、複数の画素について求めた中央値を用いノイズを除去する請求項23に記載のしみ検査装置。
- 更に、元画像を色分解する色分解手段であって、色分解された後のデータが、前記フィルタ手段で処理を行う輝度データに用いられる色分解手段を含む請求項16〜24のいずれか1項に記載のしみ検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005041112A JP4520880B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | しみ検査方法及びしみ検査装置 |
US11/349,962 US7668344B2 (en) | 2005-02-17 | 2006-02-09 | Stain inspection method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005041112A JP4520880B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | しみ検査方法及びしみ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006226837A JP2006226837A (ja) | 2006-08-31 |
JP4520880B2 true JP4520880B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=36931965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005041112A Expired - Fee Related JP4520880B2 (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | しみ検査方法及びしみ検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7668344B2 (ja) |
JP (1) | JP4520880B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008249413A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Fujinon Corp | 欠陥検出方法および装置 |
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-
2005
- 2005-02-17 JP JP2005041112A patent/JP4520880B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-02-09 US US11/349,962 patent/US7668344B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006226837A (ja) | 2006-08-31 |
US20060193497A1 (en) | 2006-08-31 |
US7668344B2 (en) | 2010-02-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060621 |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100521 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |