JP4457227B2 - Carbon-coated ferromagnetic metal spherical particles and method for producing the same - Google Patents

Carbon-coated ferromagnetic metal spherical particles and method for producing the same Download PDF

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Description

本発明は、炭素により表面が被覆された強磁性金属球形粒子の構造とその製造方法に関
する。
The present invention relates to a structure of a ferromagnetic metal spherical particle whose surface is coated with carbon and a method for producing the same.

鉄、ニッケル、コバルトからなる旧分類で呼ばれるところの鉄族元素は、最外殻d電子
の存在により、強磁性を示す。一方、これらの鉄族元素は炭素と共晶系をつくるため、多
量のグラファイトを含有する金属粉末(以下、「強磁性金属グラファイト粉末」と称する
)の形成が可能であり、種々の工業的応用に供せられている。
The iron group element, which is called the old classification consisting of iron, nickel and cobalt, exhibits ferromagnetism due to the presence of the outermost shell d electron. On the other hand, since these iron group elements form a eutectic system with carbon, it is possible to form a metal powder containing a large amount of graphite (hereinafter referred to as “ferromagnetic metal graphite powder”), and various industrial applications. It is offered to.

このような強磁性金属グラファイト粉末としては、ニッケルグラファイト粉末が市販さ
れており、低摩耗材として摺動部品製造などに応用されている。また、ニッケルグラファ
イト粉末は、プラズマ溶射法により航空機エンジンのベース素材表面にコーティングする
ための材料としても重要である。さらに、このニッケルグラファイト粉末に薄く金を被覆
したものは金被覆ニッケルグラファイト粉末として市販され、半導体デバイスのパッケー
ジ材料に供せられている。これらの市販されているニッケルグラファイト粉末は、粒径が
10μmないし30μmの不定形の外見を有し、かつ、表面にニッケル相とカーボン相が
露出した組織構造すなわち共晶系に一般的な組織構造を有している。また、その表面形状
は、粗であり、直径数十nm程度の多数の孔及び窪みを有している。
As such a ferromagnetic metal graphite powder, nickel graphite powder is commercially available, and is applied to the manufacture of sliding parts as a low wear material. Nickel graphite powder is also important as a material for coating an aircraft engine base material surface by plasma spraying. Further, a thin gold-coated nickel graphite powder is commercially available as a gold-coated nickel graphite powder and is used as a packaging material for semiconductor devices. These commercially available nickel graphite powders have an irregular appearance with a particle size of 10 μm to 30 μm, and have a structure having a nickel phase and a carbon phase exposed on the surface, that is, a general structure for eutectic systems. have. Moreover, the surface shape is rough and has many holes and depressions with a diameter of about several tens of nanometers.

このような組織構造のため、従来、市販されていたニッケルグラファイト粉末は、腐食
性雰囲気下で用いると露出したニッケル相が腐食されるという欠点、及び不定形形状のた
め、さらなる低摩耗性の改善は実現困難という問題点を有していた。このような問題点の
存在などの事情もあって、強磁性という特徴を利用したニッケルグラファイト粉末の応用
や腐食性雰囲気下で使用可能な低磨耗材としてのニッケルグラファイト粉末の応用は開発
されていなかった。上記の構造上の問題点が解決されれば、これらの新しいニッケルグラ
ファイト粉末の応用が拓かれるものと期待される。
Due to such a structural structure, the nickel graphite powder that has been commercially available in the past has a drawback that the exposed nickel phase is corroded when used in a corrosive atmosphere, and because of the irregular shape, further improvement in low wear is achieved. Had the problem of being difficult to implement. Due to the existence of such problems, the application of nickel graphite powder using the characteristics of ferromagnetism and the application of nickel graphite powder as a low wear material that can be used in corrosive atmospheres have not been developed. It was. If the above structural problems are solved, it is expected that applications of these new nickel graphite powders will be developed.

Ni,Co,Feなどの磁性金属粉末に炭素を被覆したものも知られている(例えば、
特許文献1〜3)。すなわち、特許文献1では、ニッケル粉末を加熱した試料台に乗せベ
ンゼンを含むガスにさらす方法により、表面に熱分解炭素を堆積したニッケル粉末が製造
され、電池用電極材料として供せられている。しかしながら、この製造方法では、ニッケ
ル粉末の試料台に接した表面はベンゼンを含むガスにさらされないため炭素は堆積せず、
したがって、腐食性雰囲気下で使用可能なニッケル粉末の提供は困難である。
Also known are carbon-coated magnetic powders such as Ni, Co, and Fe (for example,
Patent Documents 1 to 3). That is, in Patent Document 1, nickel powder having pyrolytic carbon deposited on its surface is manufactured by a method in which nickel powder is placed on a heated sample stage and exposed to a gas containing benzene, and is provided as an electrode material for a battery. However, in this manufacturing method, the surface in contact with the nickel powder sample stage is not exposed to the gas containing benzene, so carbon is not deposited.
Therefore, it is difficult to provide nickel powder that can be used in a corrosive atmosphere.

また、特許文献2では、Fe、Ni、Coなどの粉末とカーボンブラックを混合し不活
性ガス中で1600℃〜2800℃で加熱し45℃/min以下の冷却速度で冷却する方
法により、グラファイト被覆金属粒子が製造されているが、冷却速度が遅いため安価でか
つ大量の製造は困難である。特許文献3には、カーボンロッドに金属粉末を充填させ、ア
ーク放電させる方法により炭素被覆を有するナノ水準金属微粒子の製造が記載されている
が、アーク放電法は大量生産に適さない。
Further, in Patent Document 2, graphite coating is performed by mixing powder of Fe, Ni, Co, etc. and carbon black, heating in an inert gas at 1600 ° C. to 2800 ° C., and cooling at a cooling rate of 45 ° C./min or less. Although metal particles are manufactured, it is difficult to manufacture a large amount at a low cost because of a slow cooling rate. Patent Document 3 describes the production of nano-level metal fine particles having a carbon coating by filling a carbon rod with metal powder and performing arc discharge, but the arc discharge method is not suitable for mass production.

このように、従来知られていた製造方法による炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子は、
均一な厚さの炭素により被覆されていないため腐食性雰囲気下での使用が困難(特許文献
1に記載)という欠点や大量かつ安価に生産することが困難(特許文献2及び3に記載)
という欠点を有していた。
Thus, carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles by a conventionally known production method are
It is difficult to use in a corrosive atmosphere because it is not coated with a uniform thickness of carbon (described in Patent Document 1) and difficult to produce in large quantities at low cost (described in Patent Documents 2 and 3).
Had the disadvantages.

一方、炭素のみからなるグラフェンシートが円筒形に丸まってできるカーボンナノチュ
ーブ(以降CNTと呼ぶ)とグラフェンシートが繊維軸に対して垂直若しくは傾斜又は平
行に積層されてできるカーボンナノファイバー(以降CNFと呼ぶ)は、電子放出源やリ
チウムイオン2次電池電極、燃料電池電極などへの応用が期待され、量産化製造技術の開
発が活発に行われている。
On the other hand, a carbon nanotube (hereinafter referred to as CNT) formed by rounding a graphene sheet made only of carbon into a cylindrical shape and a carbon nanofiber (hereinafter referred to as CNF) formed by laminating a graphene sheet perpendicularly, inclined, or parallel to the fiber axis. ) Is expected to be applied to electron emission sources, lithium ion secondary battery electrodes, fuel cell electrodes, etc., and mass production technology is being actively developed.

これらの応用におけるデバイスの高性能特性を実現するためには、CNTやCNFを所
望の位置に所望の分布を持って配置させる必要がある。特に、CNTは優れた機械的、電
気的性質を有するため、CNTを所望の位置に所望の分布を持って配置させる技術の応用
価値は高い。例えば、CNTを平面ディスプレイの電子放出源として用いる場合には、溶
媒に分散させたCNTを電子放出源電極上にエアブラシにより吹き付けることによりCN
Tを形成している。また、ニッケルなどの触媒金属膜を所望の位置に所望の形状で設置さ
せた後、メタンやアセチレンを原料ガスとした化学気相成長法により触媒金属膜上に選択
的にCNTを形成することも可能である。
In order to realize the high-performance characteristics of the device in these applications, it is necessary to arrange the CNTs and CNFs at desired positions with a desired distribution. In particular, since CNTs have excellent mechanical and electrical properties, the application value of a technique for arranging CNTs at desired positions with a desired distribution is high. For example, when CNT is used as an electron emission source of a flat display, CN is obtained by spraying CNT dispersed in a solvent onto an electron emission source electrode with an air brush.
T is formed. Alternatively, after a catalytic metal film such as nickel is placed in a desired shape at a desired position, CNTs can be selectively formed on the catalytic metal film by chemical vapor deposition using methane or acetylene as a source gas. Is possible.

上記の配置法のうち、化学気相成長法を用いる方法は高価な成長装置が必要という欠点
がある。吹き付け法を用いる方法は所望の形状にCNTを配置するために高価な写真食刻
装置が必要という欠点がある。
Among the above arrangement methods, the method using the chemical vapor deposition method has a drawback that an expensive growth apparatus is required. The method using the spraying method has a drawback that an expensive photolithography apparatus is required to arrange the CNTs in a desired shape.

強磁性金属粒子の表面にCNTやCNFを形成できれば、CNTやCNFを所望の位置
に所望の分布を持って配置させるために外部磁場によって強磁性金属粒子を操作すること
により、高価な装置を必要とせずに所望の形状にCNTやCNFを配置することができる
と期待される。しかし、従来技術ではCNTやCNFが表面に形成され、かつ、外部磁場
により精密に操作可能な形状を有する強磁性金属粒子は実現されていなかった。
If CNT and CNF can be formed on the surface of the ferromagnetic metal particles, an expensive device is required by manipulating the ferromagnetic metal particles with an external magnetic field in order to place the CNT and CNF in a desired position with a desired distribution. It is expected that CNTs and CNFs can be arranged in a desired shape. However, in the prior art, ferromagnetic metal particles having a shape in which CNT and CNF are formed on the surface and can be precisely manipulated by an external magnetic field have not been realized.

特許文献4には、強磁性金属粒子が存在する炭素フィブリルのクラスターが記載されて
いる。この文献における炭素フィブリルとは米国特許5,171,560及び米国特許4
,855,091にその製法が記載されたものであって、本明細書で云うところのCNF
に相当するものであり、CNTを指すものではない。また、特許文献4に記載の炭素フィ
ブリルは、二酸化ケイ素などの担体物質上に担持された強磁性金属粒子をベンゼンなどの
気体流にさらすことにより形成されるものであって、炭素フィブリルの直径は強磁性金属
粒子の寸法と同程度となり、かつ、炭素フィブリルの軸方向の長さはその直径よりもはる
かに大きくなる。この結果、強磁性金属粒子の形状が外部磁場によりその配置を精密に制
御可能な等方的形状の球形であったとしても、強磁性金属粒子から成長した炭素フィブリ
ルの寸法が強磁性金属粒子の寸法よりも大きいため異方的形状となる。
Patent Document 4 describes a cluster of carbon fibrils in which ferromagnetic metal particles are present. The carbon fibrils in this document are US Pat. No. 5,171,560 and US Pat.
, 855, 091, the production method of which is described in the present specification.
It does not indicate CNT. The carbon fibril described in Patent Document 4 is formed by exposing ferromagnetic metal particles supported on a carrier material such as silicon dioxide to a gas stream such as benzene, and the diameter of the carbon fibril is The size is the same as the size of the ferromagnetic metal particle, and the length of the carbon fibril in the axial direction is much larger than its diameter. As a result, even if the shape of the ferromagnetic metal particle is an isotropic spherical shape whose arrangement can be precisely controlled by an external magnetic field, the size of the carbon fibril grown from the ferromagnetic metal particle is Since it is larger than the dimension, it has an anisotropic shape.

実際、特許文献4の発明の詳細な説明[0043]には、炭素フィブリルに付随する強
磁性金属粒子の量は炭素フィブリルの量に較べはるかに少ない旨記述されている。この結
果、必然的に異方的形状となる。このような形状を有する強磁性金属粒子付の炭素フィブ
リルのクラスターは、形状異方性がはなはだしいため操作性に劣り、したがって、外部磁
場により炭素フィブリルの配置を精密に制御することは困難となる。長さ方向の軸の寸法
が強磁性金属球形粒子の寸法よりはるかに大きくなく、望ましくは長さ方向の軸が強磁性
金属球形粒子の表面と平行なCNTやCNFを強磁性金属球形粒子上に形成できれば、形
状等方性に優れるため操作性に優り、所望の形状にCNTやCNFを配置することができ
るが、このような形状を有する強磁性金属球形粒子とその製造方法は、これまでに知られ
ていなかった。
In fact, the detailed description of the invention of Patent Document 4 [0043] states that the amount of ferromagnetic metal particles associated with carbon fibrils is much less than the amount of carbon fibrils. This necessarily results in an anisotropic shape. A cluster of carbon fibrils with ferromagnetic metal particles having such a shape is inferior in operability because of its remarkable shape anisotropy. Therefore, it is difficult to precisely control the arrangement of carbon fibrils by an external magnetic field. The dimension of the longitudinal axis is not much larger than the dimension of the ferromagnetic metal spherical particle, and preferably the CNT or CNF whose longitudinal axis is parallel to the surface of the ferromagnetic metal spherical particle is placed on the ferromagnetic metal spherical particle. If it can be formed, it is excellent in operability because it is excellent in shape isotropy, and CNT and CNF can be arranged in a desired shape. Ferromagnetic metal spherical particles having such a shape and a method for producing the same are heretofore known. It was not known.

球状粒子の製造技術として、熱プラズマによる製造方法が知られている(特許文献5,
6)。特許文献5には、プラズマ流を上方に向けて発生し、それに対し向流的に粒子を供
給すること、供給機構の付与が有効であることが記載されている。この粉末供給法では、
プラズマ流の温度が下がった所に粉末を供給するので、高融点化合物の球状化には不利で
あると思われる。
As a technique for producing spherical particles, a production method using thermal plasma is known (Patent Document 5, Patent Document 5).
6). Patent Document 5 describes that it is effective to generate a plasma flow upward and supply particles counter-currently thereto, and to provide a supply mechanism. In this powder supply method,
Since the powder is supplied to the place where the temperature of the plasma flow is lowered, it seems to be disadvantageous for the spheroidization of the high melting point compound.

特許文献6では、プラズマ下流部にプラズマフレーム炉を設けてプラズマフレームの均
質化を図っている。原料供給は、プラズマフレーム炉の下流部で行うのでやはり、高融点
化合物の球状化には適さない。
In Patent Document 6, a plasma flame furnace is provided in the downstream portion of the plasma to homogenize the plasma flame. Since the raw material supply is performed in the downstream part of the plasma flame furnace, it is also not suitable for spheroidizing the high melting point compound.

本発明者らは、プラズマ中に粉末供給プローブを用いて粉末を供給する方法による3,07
0℃という高融点をもつ炭化チタンの球状化方法に関して報告した(非特許文献1)。さ
らに、本発明者らは、熱プラズマ処理を用いた炭素粒子などの無機材料合成技術を開発し
ている(非特許文献2、特許文献7)。
The inventors have used 3,073 by a method of supplying powder into a plasma using a powder supply probe.
A method for spheroidizing titanium carbide having a high melting point of 0 ° C. was reported (Non-patent Document 1). Furthermore, the present inventors have developed a technique for synthesizing inorganic materials such as carbon particles using thermal plasma treatment (Non-patent Document 2, Patent Document 7).

特開平5−28994号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-28994 特開平9−143502(特許第3482420号)公報JP-A-9-143502 (Patent No. 3482420) 特表平9−506210号公報Japanese National Patent Publication No. 9-506210 特表2002−507055号公報Japanese translation of PCT publication No. 2002-507055 特開平4−246104号公報JP-A-4-246104 特開平10−189291号公報JP-A-10-189291 特開2003−272624号公報JP 2003-272624 A ”Spheroidization of Titanium Carbide Powders by Induction Thermal Plasma Processing”, Y.L. Li and T. Ishigaki, J. Am. Ceram. Soc., 84(9), 1929-1936(2001)“Spheroidization of Titanium Carbide Powders by Induction Thermal Plasma Processing”, Y.L.Li and T. Ishigaki, J. Am. Ceram. Soc., 84 (9), 1929-1936 (2001) 高温学会誌、第28巻第3号(2002年5月)、第98−106頁Journal of High Temperature Society, Vol. 28, No. 3 (May 2002), pp. 98-106

本発明が解決しようとする第1の課題は、従来の強磁性金属グラファイト粉末の欠点で
ある容易腐食性ならびに磨耗性を改善した炭素表面被覆形強磁性金属球体粒子を大量かつ
安価に生産可能な製造方法を提供するところにある。また、第2の課題は、前記強磁性金
属球体表面をCNT及び/又はCNFで修飾することにより、高価な装置を必要とせずに
、強磁性の特性を利用して、CNT及び/又はCNFを所望の位置に所望の分布を持って
配置可能とする新規材料とその製造方法を提供するところにある。
The first problem to be solved by the present invention is that carbon surface-coated ferromagnetic metal sphere particles having improved easy corrosion and wear, which are disadvantages of conventional ferromagnetic metal graphite powder, can be produced in large quantities and at low cost. A manufacturing method is provided. In addition, the second problem is that the surface of the ferromagnetic metal sphere is modified with CNT and / or CNF, so that the CNT and / or CNF can be converted using the ferromagnetic properties without using an expensive device. It is an object of the present invention to provide a novel material that can be arranged at a desired position with a desired distribution and a method for manufacturing the same.

ここで、「表面をCNT及び/又はCNFで修飾する」とは、表面の一部又は全面にC
NT及び/又はCNFが配置された状態を指すが、表面上でのCNT及び/又はCNFの
個々の配置形態や分布までを規定するものではない。CNT及び/又はCNFの長さ方向
の軸は強磁性金属球体表面に対して平行であっても平行でなくてもよいが、平行でない場
合にはその軸長は、強磁性金属球体の直径の2倍を越えないことが要求される。2倍を越
えるとCNT及び/又はCNFで修飾された強磁性金属球体の形状は、修飾といえないほ
ど形状等方性を失い、外部磁場による操作の容易性を失うからである。ただし、長さ方向
の軸が強磁性金属球体表面に対して平行な場合は、直径の2倍を越える軸長であってもC
NT及び/又はCNFは強磁性金属球体に接して配置されるため、「表面をCNT及び/
又はCNFで修飾する」と云う。
Here, “the surface is modified with CNT and / or CNF” means that a part of or the entire surface is C.
This refers to a state in which NT and / or CNF are arranged, but does not define the individual arrangement form and distribution of CNT and / or CNF on the surface. The longitudinal axis of CNT and / or CNF may or may not be parallel to the surface of the ferromagnetic metal sphere, but if it is not parallel, its axial length is the diameter of the ferromagnetic metal sphere. It is required not to exceed twice. This is because the shape of the ferromagnetic metal sphere modified with CNT and / or CNF loses its shape isotropy to the extent that it cannot be said to be modified, and the ease of operation by an external magnetic field is lost. However, when the axis in the length direction is parallel to the surface of the ferromagnetic metal sphere, even if the axis length exceeds twice the diameter, C
Since NT and / or CNF are arranged in contact with the ferromagnetic metal sphere, “the surface is CNT and / or
Or modified with CNF ".

前記の第1の課題を解決するためには、鉄族元素と炭素からなる融体を固化することに
より、緻密な炭素層により被覆され、かつ、粒子形状が球状をなす強磁性金属粒子が製造
されればよい。しかし、鉄族元素は炭素と共晶を形成するため、鉄族元素と炭素からなる
融体が固化する際に、通常、鉄族元素を含む固相が表面に露出してしまう。このため、鉄
族元素が表面に露出せず炭素層により表面が被覆された構造は、従来用いられてきた大量
かつ安価に生産可能な製造方法によっては実現されていなかった。
In order to solve the first problem, a ferromagnetic metal particle that is coated with a dense carbon layer and has a spherical particle shape is produced by solidifying a melt composed of an iron group element and carbon. It only has to be done. However, since an iron group element forms a eutectic with carbon, when a melt comprising the iron group element and carbon is solidified, a solid phase containing the iron group element is usually exposed on the surface. For this reason, the structure in which the iron group element is not exposed on the surface and the surface is covered with the carbon layer has not been realized by a manufacturing method that can be produced in large quantities and at low cost.

そこで、本発明者らにおいては、鋭意研究した結果、強磁性金属グラファイト粉末に熱
プラズマ処理を施す合成法を採用することにより、炭素で完全に被覆され、したがって表
面に強磁性金属が露出されず、かつ球状形状を有する炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子
をはじめて見出した。炭素皮膜は高結晶性ほど耐腐食性が向上するが、この方法によれば
、結晶化度の高い炭素皮膜が形成される。
Therefore, as a result of earnest research, the present inventors have completely covered with carbon by adopting a synthesis method in which the ferromagnetic metal graphite powder is subjected to thermal plasma treatment, so that the ferromagnetic metal is not exposed on the surface. In addition, the present inventors have found for the first time carbon-coated ferromagnetic metal spherical particles having a spherical shape. The higher the crystallinity of the carbon film, the better the corrosion resistance. However, according to this method, a carbon film having a high degree of crystallinity is formed.

さらに、熱プラズマ処理における高周波投入電力と冷却速度を制御することにより、前
記の第2の課題であるCNTやCNFで表面が修飾された炭素表面被覆形強磁性金属球形
粒子をはじめて見出した。高周波電力の増加により、より炭素リッチ組成の混合物の溶融
が可能になる。また、冷却速度を増大するとCNT、CNFの析出量が増加する。
Furthermore, the present inventors have found for the first time carbon-coated ferromagnetic metal spherical particles whose surface is modified with CNT or CNF, which is the second problem, by controlling the high-frequency input power and cooling rate in the thermal plasma treatment. Increasing the high frequency power allows melting of a more carbon rich composition mixture. Further, when the cooling rate is increased, the amount of CNT and CNF deposited increases.

本発明は上記知見に基づいてなされたものであり、その構成は、以下(1)〜(5)に
記載のとおりである。
This invention is made | formed based on the said knowledge, The structure is as following (1)-(5).

(1)
鉄、ニッケル、コバルトからなる元素群から選ばれた1種以上の金属元素と炭素との共晶点組成を含む組成の共晶合金からなる球状の強磁性金属核と、上記球状強磁性金属核の表面の全面を被覆する該強磁性金属元素と炭素とを含有する液滴から析出したグラファイト殻とを具備し、前記グラファイト殻の網目状の亀裂にカーボンナノチューブ及び/又はカーボンナノファイバーが形成されたことを特徴とする炭素被覆形強磁性金属球形粒子。
(1)
A spherical ferromagnetic metal nucleus composed of a eutectic alloy having a composition including a eutectic point composition of one or more metal elements selected from the group consisting of iron, nickel and cobalt and carbon, and the spherical ferromagnetic metal nucleus A graphite shell deposited from droplets containing the ferromagnetic metal element and carbon covering the entire surface of the surface of the glass, and carbon nanotubes and / or carbon nanofibers are formed in the network-like cracks of the graphite shell. Carbon-coated ferromagnetic metal spherical particles characterized by the above.

)鉄、ニッケル、コバルトからなる元素群から選ばれた1種以上の金属元素と炭素との共晶組成における炭素含有量より炭素リッチの金属―炭素の複合又は混合粉末を、
気相中において熱プラズマ処理を行うことにより上記粉末を溶解して球形の融体を形成する工程、
該融体を気相中において共晶点以上の温度で炭素の析出温度以下に冷却することにより炭素を融体表面に析出させて球形の融体表面を高融点成分の炭素からなるグラファイトを被覆する工程、
グラファイトによって被覆された球形融体を気相中において該共晶点以下に冷却することにより鉄、ニッケル、コバルトからなる元素群から選ばれた1種以上の金属元素と炭素との共晶点組成を含む組成の共晶合金からなる球形核とグラファイト構成される球形構造物を形成するとともにグラファイト殻に亀裂を形成させて球形核表面の一部を気相に露出する工程、
露出した鉄、ニッケル、コバルトからなる元素群から選ばれた1種以上の元素の触媒作用により気相中の活性炭素を用いてカーボンナノチューブ及び/又はカーボンナノファイバーをグラファイト殻の亀裂に形成する工程、
とを含むことを特徴とする炭素被覆形強磁性金属球形粒子の製造方法。
( 2 ) A carbon-rich metal-carbon composite or mixed powder from the carbon content in the eutectic composition of one or more metal elements selected from the element group consisting of iron, nickel, and cobalt, and carbon,
A step of melting the powder to form a spherical melt by performing a thermal plasma treatment in the gas phase;
By cooling the melt in the gas phase at a temperature equal to or higher than the eutectic point and below the carbon deposition temperature, carbon is deposited on the surface of the melt, and the spherical melt surface is coated with graphite composed of high melting point carbon. The process of
Eutectic point composition of one or more metal elements selected from the group consisting of iron, nickel and cobalt and carbon by cooling a spherical melt coated with graphite below the eutectic point in the gas phase Forming a spherical structure composed of a spherical nucleus composed of a eutectic alloy having a composition containing graphite and a graphite shell , and forming a crack in the graphite shell to expose a part of the surface of the spherical nucleus to the gas phase;
Forming the exposed iron, nickel, mosquitoes over carbon nanotubes and / or carbon nanofibers using activated carbon in the gas phase by the catalytic action of one or more elements selected from the element group consisting of cobalt crack graphite shell The process of
And a method for producing carbon-coated ferromagnetic metal spherical particles.

本発明によって、これまで困難であった炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の大量かつ
安価に生産可能な製造方法及びその表面がCNT及び/又はCNFにより修飾された炭素
表面被覆形強磁性金属球形粒子が実現可能になった理由、及び作用などにつきニッケルグ
ラファイトを例にとって現象論的に考察すると以下のように説明できる。
According to the present invention, a production method capable of producing carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles in large quantities and at low cost, which has been difficult until now, and a carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical surface whose surface is modified with CNT and / or CNF. The reason why the particles have become feasible and the action can be explained as follows by considering phenomenologically by taking nickel graphite as an example.

まず、市販のニッケルグラファイト(Sulzer Metco社製造)粉末の組織構
造を示し、そのような組織構造となる原因について考察する。このニッケルグラファイト
粉末の平均組成は、そのカタログにNi75重量%、炭素25重量%と記述されているも
のである。また、融点1455℃のニッケルと融点3827℃の炭素との共晶組成は、ニ
ッケルが98重量%の組成であり、その共晶点は1327℃である。
First, the structure of commercially available nickel graphite (manufactured by Sulzer Metco) powder is shown, and the cause of such a structure is discussed. The average composition of the nickel graphite powder is described in the catalog as Ni 75% by weight and carbon 25% by weight. The eutectic composition of nickel having a melting point of 1455 ° C. and carbon having a melting point of 3827 ° C. is a composition in which nickel is 98% by weight and the eutectic point is 1327 ° C.

図1は、この市販のNi75重量%含有ニッケルグラファイト粒子の走査電子顕微鏡像
(図1(a))、エネルギー分散型X線分光スペクトル(図1(b))、及びCu Kα
照射によるX線回折スペクトル(図1(c))である。図1(a)の走査電子顕微鏡像か
ら、ニッケルグラファイト粉末は、粒径が10μmないし30μmの不定形の外見を有し
、その表面形状は粗であり、直径数十nm程度の多数の孔及び窪みを有していることがわ
かる。図1(b)のエネルギー分散型X線分光スペクトルは、ニッケルグラファイト粉末
の表面から約200nmの深さにわたる組成情報を与える。スペクトル強度から計算され
たこの表面部分の組成は、Ni63.82重量%であった。この値は、カタログデータで
あるNi75重量%という平均組成値より若干小さい。
FIG. 1 shows a scanning electron microscope image (FIG. 1 (a)), energy dispersive X-ray spectroscopy spectrum (FIG. 1 (b)), and Cu Kα of the commercially available nickel graphite particles containing 75% by weight of Ni.
It is the X-ray diffraction spectrum by irradiation (FIG.1 (c)). From the scanning electron microscope image of FIG. 1A, the nickel graphite powder has an irregular appearance with a particle size of 10 μm to 30 μm, its surface shape is rough, and a large number of pores with a diameter of about several tens of nanometers and It turns out that it has a hollow. The energy dispersive X-ray spectroscopic spectrum of FIG. 1B gives composition information over a depth of about 200 nm from the surface of the nickel graphite powder. The composition of this surface portion calculated from the spectral intensity was 63.82% by weight of Ni. This value is slightly smaller than the average composition value of Ni 75% by weight, which is catalog data.

表面から深さ2nmの深さにわたる組成情報を与えるオージェ電子分光分析も行ったが
、Niの組成はエネルギー分散型X線分光スペクトルから求めた値と同程度であった。従
って、ニッケルグラファイト粉末の表面は、平均組成値より若干多い炭素が存在するもの
の、多量のニッケルが表面に露出した構造を有していることがわかる。また、図1(c)
のX線回折スペクトルはグラファイトとNi金属からの回折を示し、ニッケルグラファイ
ト粉末が炭素相とニッケル相からなる共晶であることを支持している。
Auger electron spectroscopic analysis giving composition information over a depth of 2 nm from the surface was also performed, but the Ni composition was comparable to the value obtained from the energy dispersive X-ray spectroscopic spectrum. Therefore, it can be seen that the surface of the nickel graphite powder has a structure in which a large amount of nickel is exposed on the surface, although there is slightly more carbon than the average composition value. In addition, FIG.
The X-ray diffraction spectrum shows diffraction from graphite and Ni metal, and supports that the nickel graphite powder is a eutectic composed of a carbon phase and a nickel phase.

以上の結果から、市販のニッケルグラファイト粉末では、表面にニッケル相とカーボン
相が露出した組織構造、すなわち、共晶系に一般的な組織構造、を有していることがわか
る。このように、炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子は、従来の量産技術では実現されて
いなかった。
From the above results, it can be seen that the commercially available nickel graphite powder has a structure in which the nickel phase and the carbon phase are exposed on the surface, that is, a general structure in the eutectic system. Thus, carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles have not been realized by conventional mass production techniques.

本発明者らは、前述のとおり熱プラズマ処理を用いた無機材料合成技術を開発している
(非特許文献2、特許文献7)。熱プラズマの特徴は、イオン系が電子系と熱平衡にあり
、このため1万℃以上の高温のプラズマイオン温度まで実現できるところにある。したが
って、このプラズマ中にキャリアガスを用いて原料粉末を投入すると、原料粉末は1万℃
以上にも加熱される。
As described above, the present inventors have developed an inorganic material synthesis technique using thermal plasma treatment (Non-patent Document 2, Patent Document 7). The feature of thermal plasma is that the ion system is in thermal equilibrium with the electron system, and therefore, a plasma ion temperature as high as 10,000 ° C. or higher can be realized. Therefore, when raw material powder is introduced into this plasma using a carrier gas, the raw material powder is 10,000 ° C.
Also heated.

本発明の方法の特徴は、固体原料粉を用いて、熱プラズマ球状化を行うことにより、炭
素表面被覆形強磁性金属球形粒子の製造が可能になった点にある。本発明の対象とする共
晶化合物系は、液相生成温度は、共晶温度〜炭素の融解温度3,827℃であり、液相生成温
度が高いが、この方法により球状化が可能になった。なお、Fe−C;共晶温度1,153℃
、共晶組成:炭素4.2重量%,Co−C;共晶温度1,320℃、共晶組成:炭素2.6重量%,
Ni−C;共晶温度1,327℃、共晶組成:炭素0.6重量%である。
The method of the present invention is characterized in that carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles can be produced by thermal plasma spheronization using solid raw material powder. The eutectic compound system targeted by the present invention has a liquid phase formation temperature ranging from the eutectic temperature to the melting temperature of carbon of 3,827 ° C., and the liquid phase formation temperature is high. Fe-C; eutectic temperature 1,153 ° C
Eutectic composition: carbon 4.2 wt%, Co—C; eutectic temperature 1,320 ° C., eutectic composition: carbon 2.6 wt%,
Ni-C; eutectic temperature 1,327 ° C., eutectic composition: carbon 0.6% by weight.

本発明の方法により、プラズマのもつ高エネルギーと高温からの冷却過程を利用して、
共晶化合物の融液の冷却過程を制御して特殊な構造を持った炭素表面被覆形金属球形粒子
が合成可能となった。熱プラズマプロセスで行うと必然的に速い冷却速度が実現し、通常
102〜5x104℃/秒の冷却速度となる。
By the method of the present invention, utilizing the high energy of plasma and the cooling process from high temperature,
By controlling the cooling process of the eutectic compound melt, carbon surface-coated metal spherical particles with a special structure can be synthesized. The thermal plasma process inevitably achieves a fast cooling rate, usually
The cooling rate is 10 2 to 5 × 10 4 ° C / second.

例えば、粉末として前述した市販のニッケルグラファイト粉末を用い、プラズマ中のイ
オン温度を適切に調整すると、炭素とニッケルを含む液滴がプラズマ中で形成される。こ
のとき、液滴の形状は、表面エネルギーが最小となる球形の形状となる。キャリアガスに
よって運ばれ、プラズマ中を通過した液滴は急速に冷却される。この冷却過程で、まず、
高融点成分である炭素がグラファイトとして液滴状の融体表面に析出する。表面に析出す
るのは、液滴内部に較べ液滴表面の温度が低いためである。また、グラファイトの表面エ
ネルギーが小さいこと、及び、グラファイトの比重が液滴の比重よりはるかに小さいこと
も、このグラファイト表面析出構造が構造的に安定であることを保証している。
For example, when the above-described commercially available nickel graphite powder is used as the powder and the ion temperature in the plasma is appropriately adjusted, droplets containing carbon and nickel are formed in the plasma. At this time, the shape of the droplet is a spherical shape with a minimum surface energy. The droplets carried by the carrier gas and passing through the plasma are rapidly cooled. In this cooling process,
Carbon, which is a high melting point component, is deposited on the melt surface in the form of droplets as graphite. The reason for precipitation on the surface is that the temperature of the droplet surface is lower than that inside the droplet. Also, the low surface energy of graphite and the specific gravity of graphite being much smaller than the specific gravity of the droplets also ensure that this graphite surface precipitation structure is structurally stable.

冷却が進み、共晶点温度の1327℃以下になるとグラファイトにより被覆された液相
は固化し、ニッケル核を有する炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子が合成される。熱プラ
ズマ処理を用いた無機材料合成技術では、炭素とニッケルを含む液滴の形成及び上記液滴
の冷却が気相中において行われることが大きな特徴である。このため、球形形状を有しか
つ一様な厚さのグラファイト層によって被覆された炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子が
実現する。
When cooling progresses and the eutectic point temperature is 1327 ° C. or lower, the liquid phase coated with graphite is solidified, and carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles having nickel nuclei are synthesized. A major feature of the inorganic material synthesis technique using thermal plasma treatment is that formation of droplets containing carbon and nickel and cooling of the droplets are performed in the gas phase. This realizes a carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particle having a spherical shape and coated with a graphite layer having a uniform thickness.

以上の説明では、冷却過程において熱平衡を仮定している。実際には過冷却が生じ、グ
ラファイト層に被覆されたニッケルを主成分とする液滴中の炭素組成は共晶組成である2
重量%以上になるものと思われる。
In the above description, thermal equilibrium is assumed in the cooling process. In actuality, supercooling occurs, and the carbon composition in the nickel-based droplets coated on the graphite layer is a eutectic composition 2
It seems to become more than weight%.

CNT又はCNFの生成に鉄族元素が触媒として関与することはよく知られている。し
かし、鉄族元素が存在すれば必ずCNTやCNFが合成されるというものではない。事実
、図1に示したニッケルグラファイト粉末には、CNTやCNFは存在しない。CNTや
CNFが合成されるためには、充分な活動度を有する炭素、すなわち、炭素ラジカルや炭
素イオンからなる活性炭素が必要であり、市販のニッケルグラファイト粉末の製造方法で
はこのような活性炭素の存在は実現していないからである。
It is well known that iron group elements participate as catalysts in the production of CNT or CNF. However, CNT and CNF are not necessarily synthesized if iron group elements are present. In fact, CNT and CNF are not present in the nickel graphite powder shown in FIG. In order to synthesize CNT and CNF, carbon having sufficient activity, that is, activated carbon composed of carbon radicals and carbon ions, is necessary. Because existence has not been realized.

一方、熱プラズマ処理を用いた本発明の方法では、プラズマ中に金属―炭素の複合又は
混合粉末が供給されるため、プラズマ中に炭素ラジカル及び炭素イオンが存在する。熱プ
ラズマ状態は10,000℃以上の高温なので炭素は原子状あるいはイオン化した状態になる。
これらは、化学的に活性なのでCNTあるいはCNFとして析出するようになる。この存
在と粒子表面の微量の鉄族元素の存在とにより、CNT及び/又はCNFが効率的に生成
され、CNT及び/又はCNFで表面が修飾された炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子が
実現する。炭素ラジカル及び炭素イオンからなる活性炭素の生成量は、熱プラズマ処理の
プロセス条件によって制御可能である。
On the other hand, in the method of the present invention using thermal plasma treatment, since a metal-carbon composite or mixed powder is supplied into the plasma, carbon radicals and carbon ions exist in the plasma. Since the thermal plasma state is a high temperature of 10,000 ° C. or higher, the carbon is in an atomic or ionized state.
Since these are chemically active, they are deposited as CNT or CNF. Due to this presence and the presence of a small amount of iron group elements on the particle surface, CNT and / or CNF are efficiently produced, and a carbon surface coated ferromagnetic metal spherical particle whose surface is modified with CNT and / or CNF is realized. To do. The amount of activated carbon produced from carbon radicals and carbon ions can be controlled by the process conditions of the thermal plasma treatment.

前に述べたように、高周波電力の増加により、より炭素リッチ組成の混合物の溶融が可
能になる。同時に、炭素ラジカル及び炭素イオンからなる活性炭素の生成量も増加して、
CNT、CNFの析出量が増加する。プラズマ中のヘリウム含有量を大きくすると、冷却
速度を増大してCNT、CNFの析出量が増加する。同じ、高周波電力でも粉末供給量を
大きくすると、炭素ラジカル及び炭素イオンからなる活性炭素の生成量が減少するので、
CNT、CNFの析出量も減少する。このため、CNT及び/又はCNFで表面が修飾さ
れない炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の形成も可能である。
As previously mentioned, the increase in high frequency power allows for a more carbon rich composition to melt. At the same time, the amount of activated carbon consisting of carbon radicals and carbon ions increases,
The amount of CNT and CNF deposited increases. Increasing the helium content in the plasma increases the cooling rate and increases the amount of CNT and CNF deposited. If the powder supply amount is increased even with the same high-frequency power, the amount of activated carbon composed of carbon radicals and carbon ions decreases,
The amount of deposited CNT and CNF also decreases. Therefore, it is possible to form carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles whose surface is not modified with CNT and / or CNF.

このように、これまで困難であった炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子及びその表面が
CNT及び/又はCNFにより修飾された炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子が本発明に
よって実現可能になった理由は、本発明者らが開発した熱プラズマ処理を用いた無機材料
合成法の作用によるものである。
Thus, the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles and the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles whose surfaces have been modified with CNT and / or CNF have been realized by the present invention. The reason is due to the action of the inorganic material synthesis method using thermal plasma treatment developed by the present inventors.

以上の構成によって、本発明は、耐腐食性と低磨耗性に優れた炭素表面被覆形強磁性金
属球形粒子の大量かつ安価に生産可能な製造方法の提供及び上記の炭素表面被覆形強磁性
金属球形粒子の表面がCNT及び/又はCNFにより修飾された構造体の提供に成功した
ものである。また、これによって従来の強磁性金属グラファイト粉末に比し耐腐食性と低
摩耗性に優れた摺動部品用材料の実現、及び、CNTT及び/又はCNFを所望の位置に
所望の分布を持って配置可能とする新規材料の提供に成功したものである。
With the above configuration, the present invention provides a method for producing a carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particle excellent in corrosion resistance and low wear resistance in a large amount and at low cost, and the carbon surface-coated ferromagnetic metal described above. The surface of the spherical particle has been successfully provided with a structure modified with CNT and / or CNF. In addition, this realizes a material for sliding parts that is superior in corrosion resistance and low wear resistance compared to conventional ferromagnetic metal graphite powder, and has a desired distribution of CNTT and / or CNF in desired positions. We have succeeded in providing new materials that can be placed.

これらの新規材料の提供の結果、腐食性環境下でも使用可能な摺動部分を有するマイク
ロマシーンや、強磁性特性を利用して外部磁場によりCNT及び/又はCNFの位置と分
布を制御し精密に組み立てられたCNT及び/又はCNF電極を有する超小型リチウムイ
オン2次電池や超小型燃料電池の実現が可能となると予測される。
As a result of the provision of these new materials, the position and distribution of CNTs and / or CNFs can be precisely controlled by external magnetic fields using micromachines that have sliding parts that can be used even in corrosive environments and ferromagnetic properties. It is expected that an ultra-compact lithium ion secondary battery or an ultra-compact fuel cell having assembled CNT and / or CNF electrodes can be realized.

さらに、本発明による炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子は、耐腐食性と強磁性とを兼
ね備えているので、生体に関係したバイオデバイスに有用な材料に発展するものと期待さ
れる。すなわち、網膜に埋め込まれるバイオニック・アイの電極材料や薬剤投与自動調節
用体内埋め込み式ナノポンプのボールベアリング材料や体熱を電力に変える超小型発電装
置部品材料などの多彩な応用が期待され、本発明は産業の発展に大いに寄与するものと期
待される。
Furthermore, since the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles according to the present invention have both corrosion resistance and ferromagnetism, they are expected to develop into materials useful for biodevices related to living bodies. In other words, various applications such as bionic eye electrode materials embedded in the retina, ball bearing materials for implantable nanopumps for automatic adjustment of drug administration, and materials for ultra-small power generator components that convert body heat into electric power are expected. The invention is expected to greatly contribute to industrial development.

本発明による炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の第1の形態は、核となる球形をなす
強磁性金属の表面が該強磁性金属元素と炭素とを含有する液滴から析出した一様な厚さの
殻となる炭素層によって被覆された組織構造を有するものである。第2の形態は、該第1
の形態の炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の表面がCNT及び/又はCNFによって修
飾された組織構造を有するものである。
The first aspect of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles according to the present invention is a uniform surface in which the surface of a spherical ferromagnetic metal is deposited from a droplet containing the ferromagnetic metal element and carbon. It has a tissue structure covered with a carbon layer that is a shell of thickness. The second form is the first
The surface of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles in the form of 1 has a tissue structure modified with CNT and / or CNF.

炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の形状は、低摩擦特性を得るためには、短軸が長軸
の80%以上となる球形が望ましい。ここで、完全な球形が実現しにくいのは重力の影響
による。
The shape of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles is preferably a spherical shape whose minor axis is 80% or more of the major axis in order to obtain low friction characteristics. Here, it is difficult to realize a perfect sphere due to the influence of gravity.

ここで、核となる球形をなす強磁性金属は、少なくとも鉄、ニッケル、コバルトからな
る元素群から選ばれた1種以上の元素と炭素との共晶点組成を含む組成の共晶合金からな
る。このため、本発明による炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子は、外部磁場によって操
作可能となるため、炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の空間的位置は外部磁場により制
御可能となる。また、核となる球形をなす強磁性金属は、上記元素群の元素のほかに以下
の高融点元素群から選ばれた1種以上の元素を含むことが可能である。
Here, the spherical spherical ferromagnetic metal is composed of a eutectic alloy having a composition including a eutectic point composition of at least one element selected from the group consisting of iron, nickel, and cobalt and carbon. . For this reason, since the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles according to the present invention can be operated by an external magnetic field, the spatial position of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles can be controlled by an external magnetic field. Further, the ferromagnetic metal having a spherical shape as a nucleus can contain one or more elements selected from the following refractory element groups in addition to the elements of the above element group.

すなわち、上記の高融点元素群は、ベリリウム、ボロン、シリコン、チタン、バナジウ
ム、クロム、マンガン、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、パ
ラジウム、ハフニウム、タンタル、タングステン、レニウム、イリジウム、白金から構成
される。上記の高融点元素群から選ばれた1種以上の元素の合計モル%は、炭素表面被覆
形強磁性金属球形粒子を外部磁場により効率的に操作可能とするには、炭素表面被覆形強
磁性金属球形粒子に含まれる鉄、ニッケル、コバルトからなる鉄族元素群から選ばれた1
種以上の元素の合計モル%以下であることが望ましい。
That is, the high melting point element group is composed of beryllium, boron, silicon, titanium, vanadium, chromium, manganese, zirconium, niobium, molybdenum, ruthenium, rhodium, palladium, hafnium, tantalum, tungsten, rhenium, iridium, and platinum. The The total mol% of one or more elements selected from the above-mentioned refractory element group is required to enable the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles to be efficiently operated by an external magnetic field. 1 selected from an iron group element group consisting of iron, nickel and cobalt contained in metal spherical particles
It is desirable that it is not more than the total mol% of elements of seeds or more.

さらに、核となる球形をなす強磁性金属は窒素を含むことが可能である。この場合窒素
は、強磁性金属中に含まれる他の元素と結合して窒化物を形成するので、窒素の含有量は
、窒化物形成に必要な最大窒素含有量以下に規定される。窒化物形成に必要な最大窒素含
有量を越えた場合には核となる強磁性金属球の内部に窒素の気泡が形成されるため材料強
度が脆弱となり望ましくない。窒化物形成に必要な最大窒素含有量以下では、炭素表面被
覆形強磁性金属球形粒子の耐腐食性が窒化物形成により強化され、かつ、材料強度の低下
も生じない。
Furthermore, the ferromagnetic metal having a spherical shape as a nucleus can contain nitrogen. In this case, nitrogen combines with other elements contained in the ferromagnetic metal to form a nitride, so the nitrogen content is defined to be equal to or less than the maximum nitrogen content necessary for nitride formation. When the maximum nitrogen content necessary for nitride formation is exceeded, nitrogen bubbles are formed inside the ferromagnetic metal spheres serving as nuclei, and the material strength becomes fragile. Below the maximum nitrogen content required for nitriding, the corrosion resistance of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles is enhanced by nitriding, and the material strength does not decrease.

炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の粒径は、熱プラズマに投入する原料粉末の粒径に
よって決定されるので、原料粉末の粒径を適切に選べば、粒径が10nm以上の超微粒子
から粒径が100μm以下の粗大粒子まで自由に製造可能である。粒径が10nm未満の
原料粉末は、熱プラズマ投入により気化するため粒径の制御は困難であり、粒径が100
μm以上の原料粉末は、熱容量が大きいため熱プラズマ処理によっても原料は液化せず球
形粒子が得られにくい。
Since the particle size of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles is determined by the particle size of the raw material powder to be introduced into the thermal plasma, if the particle size of the raw material powder is appropriately selected, the particle size is from ultrafine particles having a particle size of 10 nm or more Coarse particles having a particle size of 100 μm or less can be produced freely. Since the raw material powder having a particle size of less than 10 nm is vaporized by the introduction of thermal plasma, it is difficult to control the particle size.
Since the raw material powder of μm or more has a large heat capacity, the raw material is not liquefied even by thermal plasma treatment, and it is difficult to obtain spherical particles.

また、核となる球形強磁性金属の表面を被覆する炭素層の厚さは3nm以上で300n
m未満であることが望ましい。耐腐食性を有するためには、炭素層の厚さは、3nm以上
であることが望ましいからであり、粒子の外形を球形に保つためには、炭素層の厚さが3
00nm未満であることが望ましいからである。
Further, the thickness of the carbon layer covering the surface of the spherical ferromagnetic metal serving as the nucleus is 3 nm or more and 300 n
Desirably less than m. This is because the thickness of the carbon layer is desirably 3 nm or more in order to have corrosion resistance, and in order to keep the outer shape of the particles spherical, the thickness of the carbon layer is 3
This is because the thickness is desirably less than 00 nm.

上記の炭素層がグラファイト層であるときは、グラファイト層がナノメータサイズのグ
ラファイトグレインの集合からなり、かつ、グラファイトグレインのc軸が核となる球形
強磁性金属の表面に垂直に配向することが望ましい。このような配向の場合は、グラファ
イト層を構成するグラフェンシート面が核となる球形強磁性金属の表面に平行になるため
、グラファイト層は腐食性イオンの侵入に対し高い障壁特性を示し、したがって、耐腐食
性に優れた炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子が実現可能となるからである。
When the carbon layer is a graphite layer, it is desirable that the graphite layer is composed of a collection of nanometer-sized graphite grains and that the c-axis of the graphite grains is oriented perpendicular to the surface of the spherical ferromagnetic metal having the nucleus. . In such an orientation, the graphene sheet surface constituting the graphite layer is parallel to the surface of the spherical spherical ferromagnetic metal, so that the graphite layer exhibits high barrier properties against the invasion of corrosive ions. This is because carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles having excellent corrosion resistance can be realized.

グラファイト表面を修飾するCNT及び/又はCNFに関しては、CNT又はCNFの
みで表面を修飾していても、両者が共存で表面を修飾していてもよい。また、CNT又は
CNFはそれぞれ互いに束になったバンドル状態であっても、空間的に独立した孤立状態
であってもよい。CNT又はCNFの長さ方向の軸は、表面に対し平行、すなわち、表面
の法線に対し直角であっても、表面の法線に対し90°未満であってもよい。
Regarding the CNT and / or CNF that modifies the graphite surface, the surface may be modified only with CNT or CNF, or both may coexist to modify the surface. Further, the CNTs or CNFs may be in a bundled state where they are bundled with each other or in a spatially independent isolated state. The longitudinal axis of the CNT or CNF may be parallel to the surface, ie, perpendicular to the surface normal, or less than 90 ° to the surface normal.

特に、表面の法線に対し直角の場合は、CNT又はCNFがバンドルされた束が表面を
マスクメロン状の網目模様をもって修飾した構造の実現が可能である。マスクメロン状の
網目は、共晶組成の融体が固化するときの体積変化によって、融体表面を被覆するグラフ
ァイト層に亀裂が生じて形成される。また、この亀裂により鉄族元素が気相に露出するた
め、鉄族元素の触媒作用によりCNTやCNFが形成される。
In particular, when the surface is normal to the normal to the surface, it is possible to realize a structure in which a bundle of bundles of CNTs or CNFs is modified with a mask melon-like network pattern. The mask melon-like network is formed by cracking the graphite layer covering the surface of the melt due to the volume change when the eutectic melt is solidified. Further, since the iron group element is exposed to the gas phase due to the crack, CNT and CNF are formed by the catalytic action of the iron group element.

炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子形成に至る冷却過程で、粒子の自転速度が大きい場
合は、粒子表面と気相中の分子及び活性種との衝突が頻繁に行われるため、CNT又はC
NFは表面法線に直角に成長するものと考えられる。一方、粒子の自転速度が小さい場合
には、CNT又はCNFの長さ方向の軸は、表面法線方向を向きやすくなる。粒子の自転
は、熱プラズマ装置に原料粉末を投入する際に与えられた角運動量が主たる原因であるの
で、投入の際の角運動量を制御することにより原理的に制御可能である。また、たとえば
、投入直後の粉末に対し高周波磁場を印加することなどにより粉末の自転は抑制される。
このようにして、CNT又はCNFの長さ方向の軸が表面の法線に対してなす角も、90
°又は90°未満に制御可能となる。
In the cooling process leading to the formation of carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles, when the rotation speed of the particles is large, collisions between the particle surface and molecules and active species in the gas phase frequently occur.
NF is considered to grow perpendicular to the surface normal. On the other hand, when the rotation speed of the particles is small, the axis in the length direction of CNT or CNF tends to face the surface normal direction. The rotation of particles is mainly caused by the angular momentum given when the raw material powder is charged into the thermal plasma apparatus, and can be controlled in principle by controlling the angular momentum at the time of charging. Further, for example, the rotation of the powder is suppressed by applying a high frequency magnetic field to the powder immediately after the addition.
In this way, the angle formed by the longitudinal axis of CNT or CNF with respect to the normal of the surface is 90
It becomes controllable to ° or less than 90 °.

CNT又はCNFの長さ方向の軸長は、気相中の分子及び活性種の濃度と冷却過程にお
ける粒子の滞在時間の増大とともに増大する。この濃度と滞在時間を制御することにより
、長さ方向の軸が粒子の表面と角度をなす軸長を粒子の直径の2倍を越えないように制御
することができる。
The axial length of CNT or CNF in the longitudinal direction increases with increasing concentrations of molecules and active species in the gas phase and particle residence time in the cooling process. By controlling the concentration and the residence time, the axial length of the axis in the length direction forming an angle with the particle surface can be controlled so as not to exceed twice the diameter of the particle.

CNT又はCNFは、リチウムイオン2次電池や超小型燃料電池の電極として有望であ
る。また、これらの応用では、CNT又はCNF中へのリチウムイオンの侵入容易性が重
要である。炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子上のCNF又はCNTは、CNT又はCN
Fの長さ方向の軸が表面の法線に対してなす角が90°未満であるほうが、CNT又はC
NF中を拡散したリチウムイオンが鉄族元素と接触しやすく電極として望ましいのである
が、90°であってもその効果は失われない。
CNT or CNF is promising as an electrode of a lithium ion secondary battery or a micro fuel cell. In these applications, the ease of penetration of lithium ions into CNT or CNF is important. CNF or CNT on carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles is CNT or CN
The angle formed by the longitudinal axis of F with respect to the surface normal is less than 90 °.
Lithium ions diffused in NF are desirable as an electrode because they easily come into contact with iron group elements, but the effect is not lost even at 90 °.

これは、CNT又はCNFの形成機構、すなわち、グラファイト層に生じた亀裂により
気相に露出した鉄族元素が触媒となって成長するという形成機構のため、90°であって
もCNT又はCNF中を拡散したリチウムイオンは鉄族元素と接触しやすいからである。
一方、グラファイト層は、炭素と鉄族元素との融体から析出したものであり、かつ、グラ
フェンシートが強磁性金属表面に平行であるため、リチウムイオンは侵入しにくい。この
ため、リチウムイオン侵入によるグラフェンシートの剥離は生じにくく、高信頼の電極が
実現可能となる。
This is because the formation mechanism of CNT or CNF, that is, the formation mechanism in which the iron group element exposed to the gas phase due to cracks generated in the graphite layer grows as a catalyst. This is because the lithium ions that diffused are likely to come into contact with iron group elements.
On the other hand, the graphite layer is precipitated from a melt of carbon and an iron group element, and the graphene sheet is parallel to the surface of the ferromagnetic metal, so that lithium ions hardly enter. For this reason, exfoliation of the graphene sheet due to lithium ion penetration hardly occurs, and a highly reliable electrode can be realized.

熱プラズマ装置としては、鉄族元素と炭素の共晶点温度から炭素の沸点を越える500
0℃以下の温度領域を空間的に分布させて形成でき、かつそれらの温度を調節できる装置
であることが望ましく、特願2002−73218(特開2003−272624号公報
)中に記載の熱プラズマ装置が適切である。
As a thermal plasma apparatus, the eutectic point temperature of iron group element and carbon exceeds the boiling point of carbon 500
It is desirable that the apparatus can be formed by spatially distributing a temperature region of 0 ° C. or lower and the temperature thereof can be adjusted, and thermal plasma described in Japanese Patent Application No. 2002-73218 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-272624). The device is appropriate.

図2は、この装置(プラズマトーチ)の概略構成図である。熱プラズマ処理が施される
強磁性金属グラファイト粉末はプラズマトーチ中に連続的に導入され、下部において回収
される。図2の装置(プラズマトーチ)10は、水冷二重管11の外に高周波コイル12
を巻き、その内部に高周波電磁誘導により熱プラズマを形成するものである。水冷二重管
11の上部は蓋13が取り付けられており、蓋13には熱プラズマ処理に供する強磁性金
属グラファイト粉末とキャリアガスとを供給する粉末供給用水冷プローブ14が設置され
ている。また装置(プラズマトーチ)10内部には、主としてプラズマ流を形成するため
のセントラルガスGp、主としてプラズマ流の外側を包むためのシースガスGsが導入さ
れる。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of this apparatus (plasma torch). Ferromagnetic metal graphite powder subjected to thermal plasma treatment is continuously introduced into the plasma torch and recovered at the bottom. The apparatus (plasma torch) 10 in FIG. 2 includes a high-frequency coil 12 in addition to a water-cooled double tube 11.
And a thermal plasma is formed in the inside by high frequency electromagnetic induction. A lid 13 is attached to the upper part of the water-cooled double tube 11, and a water-cooling probe 14 for supplying powder for supplying ferromagnetic metal graphite powder and carrier gas for thermal plasma processing is installed on the lid 13. Further, a central gas Gp for mainly forming a plasma flow and a sheath gas Gs for mainly wrapping the outside of the plasma flow are introduced into the apparatus (plasma torch) 10.

熱プラズマの発生条件としては、通常、周波数0.5〜6MHz、投入電力3〜60k
Wとすればよく、トーチ内部の圧力は1〜100kPaとすればよく、特に10〜80k
Paとすることが好ましい。
As conditions for generating thermal plasma, the frequency is usually 0.5 to 6 MHz and the input power is 3 to 60 k.
W may be used, and the pressure inside the torch may be 1 to 100 kPa, particularly 10 to 80 k.
Pa is preferable.

セントラルガス、シースガス及びキャリアガスは、いずれも少なくともArを含むこと
が望ましい。また、熱プラズマ処理により形成される炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子
中に窒素を含有させるためには、セントラルガス、シースガス及びキャリアガスのいずれ
か1つ以上のガス中に窒素を混合させることが有効である。さらに、シースガスは、トー
チ内壁を保護するためにHe又はHを含むことが望ましい。セントラルガスとシースガ
スとの合計流量は、通常、2〜200リットル/分、好ましくは30〜130リットル/
分とすればよい。このような条件下で発生する熱プラズマ中に導入される強磁性金属グラ
ファイト粉末量は、1分あたりの導入量で1〜500gとすることが望ましい。キャリア
ガスの流量は1〜100リットル/分とすればよい。
The central gas, the sheath gas, and the carrier gas desirably include at least Ar. Further, in order to contain nitrogen in carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles formed by thermal plasma treatment, nitrogen is mixed in one or more of the central gas, sheath gas and carrier gas. Is effective. Furthermore, it is desirable that the sheath gas contains He or H 2 in order to protect the inner wall of the torch. The total flow rate of the central gas and the sheath gas is usually 2 to 200 liters / minute, preferably 30 to 130 liters / minute.
Just minutes. The amount of ferromagnetic metal graphite powder introduced into the thermal plasma generated under such conditions is desirably 1 to 500 g in terms of the amount introduced per minute. The flow rate of the carrier gas may be 1 to 100 liters / minute.

図2の装置を用いることにより、鉄族元素と炭素の共晶温度(Ni−C:1327℃、
Fe−C:1153℃、Co−C:1320℃)〜5000℃の範囲の温度領域を含むプ
ラズマイオン温度での熱プラズマ処理が可能となる。本発明では、1000〜5000℃
の温度領域における粉末の滞留時間を、0.001〜10秒、特に0.02〜0.5秒程
度とすることが好ましい。
By using the apparatus of FIG. 2, the eutectic temperature of the iron group element and carbon (Ni—C: 1327 ° C.,
Fe-C: 1153 [deg.] C., Co-C: 1320 [deg.] C.) to 5000 [deg.] C. enables thermal plasma treatment at a plasma ion temperature including a temperature range. In the present invention, 1000 to 5000 ° C.
The residence time of the powder in the temperature region is preferably about 0.001 to 10 seconds, particularly about 0.02 to 0.5 seconds.

プラズマトーチの大きさは特に限定されないが、例えば、図2に示す構造とする場合に
は、管径10〜1000mm程度、高さ50〜3000mm、特に1000〜3000m
m程度とすることが炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子を大量かつ安価に生産するために
は好ましい。上記のサイズのプラズマトーチを用いた場合、最大で毎分1kgの炭素表面
被覆形強磁性金属球形粒子が生産可能である。しかし、プラズマイオン温度と滞留時間を
前記のように制御できる性能を持つ装置であれば、他の装置であってもよい。
The size of the plasma torch is not particularly limited. For example, in the case of the structure shown in FIG. 2, the tube diameter is about 10 to 1000 mm, the height is 50 to 3000 mm, and particularly 1000 to 3000 m.
In order to produce carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles in a large amount and at a low cost, it is preferable to set it to about m. When the plasma torch of the above size is used, a maximum of 1 kg of carbon surface coated ferromagnetic metal spherical particles per minute can be produced. However, other apparatuses may be used as long as the apparatus has the performance capable of controlling the plasma ion temperature and the residence time as described above.

熱プラズマ処理に供する金属―炭素の複合又は混合粉末は、鉄族金属と炭素との共晶組
成における炭素含有量より炭素リッチであることが重要である。好ましくは、鉄族金属−
炭素系共晶組成の2倍〜150倍程度の炭素を含むことが好ましい。これらの粉末には、さらに、ベリリウム、ボロン、シリコン、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、ハフニウム、タンタル、タングステン、レニウム、イリジウム、白金から構成される高融点元素群から選ばれた1種以上の元素を含むことも可能である。また、窒素を含むことも可能である。
It is important that the metal-carbon composite or mixed powder subjected to the thermal plasma treatment is richer in carbon than the carbon content in the eutectic composition of the iron group metal and carbon. Preferably, an iron group metal
It is preferable to contain about 2 to 150 times as much carbon as the carbon-based eutectic composition. These powders are further composed of beryllium, boron, silicon, titanium, vanadium, chromium, manganese, zirconium, niobium, molybdenum, ruthenium, rhodium, palladium, hafnium, tantalum, tungsten, rhenium, iridium, platinum. It is also possible to include one or more elements selected from the melting point element group. Nitrogen can also be included.

以下、炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の実施例を示して、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるものではない。
図2に示すようなプラズマトーチを用い、Ni75重量%、炭素25重量%のニッケル
グラファイト粉末(平均粒径30μm、Sulzer Metco社製造)を連続的に供給して熱プラズマ処理をほどこした。熱プラズマの発生条件は、投入した高周波電力が25kW、プラズマトーチ内の圧力は66kPaであり、セントラルガスGpはAr(30リットル/分)、シースガスGsはAr(85リットル/分)とHe(10リットル/分)の混合ガス、キャリアガスはAr(10リットル/分)である。導入されるニッケルグラファイト粉末量は12g/分である。このときの平均冷却速度は、2,500℃/秒であった。この供給量で10分間供給して、120gの粉末が得られた。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described by showing examples of carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles, but the present invention is not limited to the following examples.
Using a plasma torch as shown in FIG. 2, nickel graphite powder (average particle size 30 μm , manufactured by Sulzer Metco) with 75% by weight of Ni and 25% by weight of carbon was continuously supplied to perform thermal plasma treatment. The generation conditions of the thermal plasma are: the input high frequency power is 25 kW, the pressure in the plasma torch is 66 kPa, the central gas Gp is Ar (30 liters / minute), the sheath gas Gs is Ar (85 liters / minute) and He (10 Liter / minute) and the carrier gas is Ar (10 liter / minute). The amount of nickel graphite powder introduced is 12 g / min. The average cooling rate at this time was 2,500 ° C./second. This amount was supplied for 10 minutes to obtain 120 g of powder.

図3は、熱プラズマ処理された試料の走査型電子顕微鏡像であり、図3(a)は低倍率
像、図3(b)は高倍率像である。図3(a)より熱プラズマ処理された試料は長軸が2
3μmで短軸が21μmのやや歪んだ球形をなしていることがわかる。熱処理前の形状(
図1(a))は、不定形の外見を有し、その表面形状は粗であり、直径数十nm程度の多
数の孔及び窪みを有していた。球形に変化したのは、ニッケルグラファイト粉末が熱プラ
ズマ処理の過程において炭素の融点程度に加熱された結果、表面張力により球状の融体と
なったことを反映している。
FIG. 3 is a scanning electron microscope image of a sample subjected to thermal plasma treatment, FIG. 3A is a low-magnification image, and FIG. 3B is a high-magnification image. From Fig. 3 (a), the sample treated with thermal plasma has a long axis of 2
It can be seen that it has a slightly distorted spherical shape with a minor axis of 21 μm at 3 μm. Shape before heat treatment (
FIG. 1 (a)) had an irregular appearance, its surface shape was rough, and it had a large number of holes and depressions with a diameter of about several tens of nanometers. The change to the spherical shape reflects that the nickel graphite powder was heated to about the melting point of carbon in the course of the thermal plasma treatment, resulting in a spherical melt due to surface tension.

球状表面には、低倍率走査型電子顕微鏡像である図3(a)に示されるように、約30
0nmの直径を有する束がマスクメロン状の網目模様を持って形成されている。この網目
模様をなす束を透過電子顕微鏡で観察した結果、この束はCNFからなり、かつ、CNF
の長さ方向の軸は球表面の法線に対し90°の角度をなしていることが判明した。高倍率
の走査電子顕微鏡像である図3(b)には、球状の表面には約30nmの直径を有するC
NFの束が認められる。また、直径30nmの束の付近を高倍率の透過電子顕微鏡で観察
した結果、直径が1.1nm、1.5nm、及び3.5nmの3種類の単層CNTの存在
が確認された。
On the spherical surface, as shown in FIG. 3 (a), which is a low magnification scanning electron microscope image, about 30
A bundle having a diameter of 0 nm is formed with a mask melon-like mesh pattern. As a result of observing the bundle having the mesh pattern with a transmission electron microscope, the bundle is made of CNF, and CNF
It has been found that the longitudinal axis of is at an angle of 90 ° with the normal of the sphere surface. FIG. 3B, which is a high-magnification scanning electron microscope image, shows a spherical surface with C having a diameter of about 30 nm.
NF bundles are observed. Moreover, as a result of observing the vicinity of a bundle having a diameter of 30 nm with a high-power transmission electron microscope, the presence of three types of single-walled CNTs having diameters of 1.1 nm, 1.5 nm, and 3.5 nm was confirmed.

図4は、熱プラズマ処理によって得られた球状粒子の断面の透過電子顕微鏡像である。
左側は、球状粒子の内部のニッケル核であり、ニッケルの粒界やニッケル中の転位が認め
られる。右側は、球状粒子の表面部分の断面であり、多様な径のアモルファスの炭素粒子
及びアモルファスのニッケル粒子が認められる。これらのアモルファス粒子は、熱プラズ
マ処理における冷却過程で気相から凝縮して熱プラズマ処理された試料上に付着したもの
であり、したがって、疎であり、超音波洗浄などの処理により試料上から除去可能であっ
た。図3の走査電子顕微鏡像では、これらのアモルファス粒子の集合体は認められない。
FIG. 4 is a transmission electron microscope image of a cross section of the spherical particles obtained by the thermal plasma treatment.
On the left side are nickel nuclei inside the spherical particles, and nickel grain boundaries and dislocations in nickel are observed. The right side is a cross section of the surface portion of the spherical particles, and amorphous carbon particles and amorphous nickel particles having various diameters are observed. These amorphous particles are condensed from the gas phase during the cooling process in the thermal plasma treatment and adhere to the sample subjected to the thermal plasma treatment, and therefore are sparse and removed from the sample by a process such as ultrasonic cleaning. It was possible. In the scanning electron microscope image of FIG. 3, an aggregate of these amorphous particles is not recognized.

左側と右側の間に存在する厚さ100nmの領域は、ニッケル核を包む結晶化した殻状
のグラファイト層である。さらに多数の試料観察を行った結果、この結晶化したグラファ
イト層は、熱プラズマ処理をほどこされた球状粒子の表面を一様な厚さ100nmでもっ
て被覆しており、したがって、ニッケル核はグラファイト殻の内部に封入され、球状粒子
の表面にはニッケル核は露出していないことが判明した。すなわち、熱プラズマ処理を用
いた合成法の採用により、一様な厚さを持ったグラファイト層を有する炭素殻によって被
覆され、したがって表面にニッケル核が露出されず、かつ、球状形状を有する炭素表面被
覆形強磁性金属球形粒子が実現した。
A region of 100 nm thickness existing between the left side and the right side is a crystallized shell-like graphite layer surrounding a nickel nucleus. Furthermore, as a result of many sample observations, this crystallized graphite layer covered the surface of spherical particles subjected to thermal plasma treatment with a uniform thickness of 100 nm. It was found that nickel nuclei were not exposed on the surface of the spherical particles. That is, by adopting a synthesis method using thermal plasma treatment, the carbon surface is covered with a carbon shell having a graphite layer having a uniform thickness, so that no nickel nuclei are exposed on the surface, and the carbon surface has a spherical shape Coated ferromagnetic metal spherical particles were realized.

図5は、このグラファイト層の格子像であり、0.335nmの間隔のグラフェンシー
トの存在を示す格子像が顕著に認められ、グラファイト層の結晶化の度合いが極めて高い
ことを示している。また、グラファイト層を構成するグラフェンシート面は、球状粒子表
面に平行となっている。この配置は、グラファイト層形成時における球形粒子の表面エネ
ルギーを小さくする配置に対応している。このような緻密なグラファイト層に被覆されて
いるため、本実施例により製造された炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子は、顕著な耐腐
食特性を示した。
FIG. 5 is a lattice image of this graphite layer, and a lattice image indicating the presence of a graphene sheet with a spacing of 0.335 nm is remarkably recognized, indicating that the degree of crystallization of the graphite layer is extremely high. The graphene sheet surface constituting the graphite layer is parallel to the spherical particle surface. This arrangement corresponds to an arrangement for reducing the surface energy of the spherical particles when forming the graphite layer. Since it was covered with such a dense graphite layer, the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles produced according to this example exhibited remarkable corrosion resistance.

図3、図4及び図5から、熱プラズマ処理による球状粒子の形成過程は以下のように推
察される。熱プラズマ処理における炭素の融点程度の加熱過程により、ニッケルグラファ
イト粉末はニッケルと炭素を均一に含有する球状の融体となった後、冷却過程において、
まず、球状の融体表面にグラファイト層が一様な厚さを持って形成される。冷却されるに
つれ、グラファイト層の厚さは増大し100nmに達する。
From FIG. 3, FIG. 4 and FIG. 5, the formation process of the spherical particles by the thermal plasma treatment is inferred as follows. In the cooling process after the nickel graphite powder becomes a spherical melt containing nickel and carbon uniformly by the heating process of about the melting point of carbon in the thermal plasma treatment,
First, a graphite layer having a uniform thickness is formed on the surface of a spherical melt. As it cools, the thickness of the graphite layer increases and reaches 100 nm.

さらに、共晶点以下に冷却されると、融体は固化し、このときの体積変化により、グラ
ファイト表面にはマスクメロン網目模様の亀裂が生じる。それと同時に、ニッケルが気相
に露出されるため、ニッケルの触媒効果及び気相中の炭素ラジカル及び炭素イオンの存在
によりCNF及び/又はCNTが粒子表面の亀裂部分に形成される。なお、単層CNTの
存在は、透過電子顕微鏡観察のほか、マイクロラマン分光におけるブリージングモードの
スペクトルの存在からも確認された。このようにして、CNT及び/又はCNFで表面が
修飾された炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子が実現した。
Further, when cooled below the eutectic point, the melt is solidified, and due to the volume change at this time, a crack of a mask melon network pattern is generated on the graphite surface. At the same time, since nickel is exposed to the gas phase, CNF and / or CNT are formed in the crack portion of the particle surface due to the catalytic effect of nickel and the presence of carbon radicals and carbon ions in the gas phase. The presence of single-walled CNTs was confirmed not only by observation with a transmission electron microscope but also from the presence of a breathing mode spectrum in micro-Raman spectroscopy. In this way, carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles whose surface was modified with CNT and / or CNF were realized.

本実施例では、熱プラズマを発生させる高周波電力が大きく、かつ、共晶点近傍での冷
却速度が小さかったため、グラファイト層表面はCNT及び/又はCNFで修飾された。
また、CNT又はCNFの形成過程で粒子は回転していたため、CNT又はCNFの長さ
方向の軸は粒子表面に平行となったものと思われる。また、CNT及び/又はCNFで表
面が修飾された炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の粒径は、原料のニッケルグラファイ
ト粉末の粒径によって決定されるので、ニッケルグラファイト粉末の粒径を選択すること
により、炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子の粒径を制御することも可能である。
In this example, the surface of the graphite layer was modified with CNT and / or CNF because the high-frequency power for generating thermal plasma was large and the cooling rate near the eutectic point was small.
In addition, since the particles were rotating in the process of forming CNT or CNF, it seems that the axis in the length direction of CNT or CNF was parallel to the particle surface. Further, since the particle diameter of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles whose surface is modified with CNT and / or CNF is determined by the particle diameter of the raw material nickel graphite powder, the particle diameter of the nickel graphite powder is selected. Thus, it is possible to control the particle size of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles.

一般に、気相中の炭素ラジカル及び炭素イオンの濃度は、熱プラズマ中の最高温度が高
いほど高くなる。最高温度が炭素の融点である3827℃以下の場合には、炭素ラジカル
や炭素イオンの濃度が低いため、亀裂部分には共晶組成の融体中の炭素がグラファイトと
して析出するだけで、CNFやCNTは形成されにくかった。
In general, the concentration of carbon radicals and carbon ions in the gas phase increases as the maximum temperature in the thermal plasma increases. When the maximum temperature is 3827 ° C. or lower, which is the melting point of carbon, since the concentration of carbon radicals and carbon ions is low, the carbon in the melt of the eutectic composition precipitates as graphite in the cracked portion, and CNF and CNT was difficult to form.

すなわち、本実施例では、熱プラズマ条件を適切に制御することにより、球状強磁性金
属核の表面の全面を被覆する炭素からなる殻が、グラファイトからなることを特徴とする
炭素被覆形強磁性金属球形粒子と、球状強磁性金属核の表面の全面を被覆する炭素からな
る殻が、グラファイトと、CNF若しくはCNT又はCNF及びCNTの双方とからなる
ことを特徴とする炭素被覆形強磁性金属球形粒子との双方が、製造可能であった。
That is, in this embodiment, the carbon-coated ferromagnetic metal is characterized in that the shell made of carbon covering the entire surface of the spherical ferromagnetic metal nucleus is made of graphite by appropriately controlling the thermal plasma conditions. A carbon-coated ferromagnetic metal spherical particle characterized in that a spherical particle and a shell made of carbon covering the entire surface of the spherical ferromagnetic metal nucleus are composed of graphite and both CNF or CNT or CNF and CNT. Both could be manufactured.

さらに、熱プラズマ条件を発生させる高周波電力の制御及び共晶点近傍での冷却速度の
制御により、グラファイト層表面を修飾するCNT又はCNFの存在量も制御可能であっ
た。また、CNT又はCNFの長さ方向の軸は、粒子の回転速度によって制御されるため
、軸方向を表面の法線に対し90°又は90°未満に制御可能であった。
Furthermore, the amount of CNT or CNF that modifies the surface of the graphite layer could be controlled by controlling the high-frequency power that generates the thermal plasma conditions and the cooling rate near the eutectic point. Further, since the axis in the length direction of CNT or CNF is controlled by the rotation speed of the particles, the axis direction can be controlled to 90 ° or less than 90 ° with respect to the surface normal.

本実施例では、ニッケルグラファイト粉末を原料として用いたが、他の鉄族元素である
鉄又はコバルトもCNT及び/又はCNF形成における触媒作用を有するので、鉄又はコ
バルトと炭素を含有する粉末を原料として用いた場合にも、CNT又はCNFで表面が修
飾された炭素表面被覆形強磁性金属球形粒子は製造可能である。
In this example, nickel graphite powder was used as a raw material, but iron or cobalt, which is another iron group element, also has a catalytic action in the formation of CNT and / or CNF, so a powder containing iron or cobalt and carbon is used as a raw material. When used as a carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particle whose surface is modified with CNT or CNF can be produced.

本発明は、本発明者らが開発した熱プラズマ処理技術を鉄、ニッケル、コバルトからな
る元素群から選ばれた1種以上の金属元素と炭素との共晶組成における炭素含有量より炭
素リッチの金属―炭素の複合又は混合粉末に適用することにより、炭素表面被覆形強磁性
金属球形粒子及びCNT及び/又はCNFで表面が修飾された炭素表面被覆形強磁性金属
球形粒子が実現可能となったものである。本発明による炭素表面被覆形強磁性金属球形粒
子は、耐腐食性と強磁性とを兼ね備えているので、生体に関係したバイオデバイスに有用
な材料に発展するものと期待される。
In the present invention, the thermal plasma treatment technology developed by the present inventors is carbon richer than the carbon content in the eutectic composition of one or more metal elements selected from the element group consisting of iron, nickel, and cobalt and carbon. By applying to metal-carbon composite or mixed powder, carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles and carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles whose surface is modified with CNT and / or CNF can be realized. Is. Since the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles according to the present invention have both corrosion resistance and ferromagnetism, they are expected to be developed into materials useful for biodevices related to living bodies.

また、本発明によるCNT及び/又はCNFで表面が修飾された炭素表面被覆形強磁性
金属球形粒子の強磁性特性を利用すれば、外部磁場によりCNT及び/又はCNFの位置
と分布を制御し精密に組み立てられたCNT及び/又はCNF電極を有する超小型リチウ
ムイオン2次電池や超小型燃料電池の実現が可能となると予測され、広く産業の発展に大
きく寄与し、貢献するものと期待される。
In addition, if the ferromagnetic properties of the carbon surface-coated ferromagnetic metal spherical particles whose surface is modified with CNT and / or CNF according to the present invention are used, the position and distribution of CNT and / or CNF are controlled by an external magnetic field. It is expected that ultra-compact lithium ion secondary batteries and ultra-compact fuel cells having CNT and / or CNF electrodes assembled to each other will be realized, and it is expected to contribute greatly to and contribute to industrial development.

本発明に用いた原料であるニッケルグラファイト粉末の図面代用走査電子顕微鏡像((a))、エネルギー分散型X線分光スペクトル((b))、及びCu Kα照射によるX線回折スペクトル((c))である。Scanning electron microscope image ((a)), energy dispersive X-ray spectroscopic spectrum ((b)), and X-ray diffraction spectrum by Cu Kα irradiation ((c)) of nickel graphite powder as a raw material used in the present invention. ). 本発明において熱プラズマ処理を行うために用いた高周波プラズマの発生装置(プラズマトーチ)の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the generator (plasma torch) of the high frequency plasma used in order to perform a thermal plasma process in this invention. 本発明に用いたCNT及びCNFで表面が修飾された炭素表面被覆形ニッケル球形粒子の図面代用走査電子顕微鏡像であり、(a)は低倍率像、(b)は高倍率像である。It is a scanning electron microscopic image of drawing substitute of the carbon surface covering type nickel spherical particle by which the surface was modified by CNT and CNF used for the present invention, (a) is a low magnification image, and (b) is a high magnification image. 本発明に用いたCNT及びCNFで表面が修飾された炭素表面被覆形ニッケル球形粒子の断面を示す図面代用透過電子顕微鏡像である。It is a drawing-substitution transmission electron microscope image showing a cross section of carbon surface-coated nickel spherical particles whose surface is modified with CNT and CNF used in the present invention. 本発明に用いたCNT及びCNFで表面が修飾された炭素表面被覆形ニッケル球形粒子のグラファイト層の断面を示す図面代用格子像である。It is a drawing-substituting lattice image showing a cross section of a graphite layer of carbon surface-coated nickel spherical particles whose surface is modified with CNT and CNF used in the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

10;高周波熱プラズマの発生装置(プラズマトーチ)
11;水冷二重管
12;高周波コイル
13;蓋
14;粉末供給用水冷プローブ
Gp セントラルガス
Gs シースガス
10: High-frequency thermal plasma generator (plasma torch)
11; water-cooled double tube 12; high-frequency coil 13; lid 14; powder-cooled water-cooled probe Gp central gas Gs sheath gas

Claims (2)

鉄、ニッケル、コバルトからなる元素群から選ばれた1種以上の金属元素と炭素との共晶点組成を含む組成の共晶合金からなる球状の強磁性金属核と、上記球状強磁性金属核の表面の全面を被覆する該強磁性金属元素と炭素とを含有する液滴から析出したグラファイト殻とを具備し、前記グラファイト殻の網目状の亀裂にカーボンナノチューブ及び/又はカーボンナノファイバーが形成されたことを特徴とする炭素被覆形強磁性金属球形粒子。 A spherical ferromagnetic metal nucleus composed of a eutectic alloy having a composition including a eutectic point composition of one or more metal elements selected from the group consisting of iron, nickel and cobalt and carbon, and the spherical ferromagnetic metal nucleus A graphite shell deposited from droplets containing the ferromagnetic metal element and carbon covering the entire surface of the surface of the glass, and carbon nanotubes and / or carbon nanofibers are formed in the network-like cracks of the graphite shell. Carbon-coated ferromagnetic metal spherical particles characterized by the above. 鉄、ニッケル、コバルトからなる元素群から選ばれた1種以上の金属元素と炭素との共晶組成における炭素含有量より炭素リッチの金属―炭素の複合又は混合粉末を、
気相中において熱プラズマ処理を行うことにより上記粉末を溶解して球形の融体を形成する工程、
該融体を気相中において共晶点以上の温度で炭素の析出温度以下に冷却することにより炭素を融体表面に析出させて球形の融体表面を高融点成分の炭素からなるグラファイトを被覆する工程、
グラファイトによって被覆された球形融体を気相中において該共晶点以下に冷却することにより鉄、ニッケル、コバルトからなる元素群から選ばれた1種以上の金属元素と炭素との共晶点組成を含む組成の共晶合金からなる球形核とグラファイト構成される球形構造物を形成するとともにグラファイト殻に亀裂を形成させて球形核表面の一部を気相に露出する工程、
露出した鉄、ニッケル、コバルトからなる元素群から選ばれた1種以上の元素の触媒作用により気相中の活性炭素を用いてカーボンナノチューブ及び/又はカーボンナノファイバーをグラファイト殻の亀裂に形成する工程、
とを含むことを特徴とする炭素被覆形強磁性金属球形粒子の製造方法。
A metal-carbon composite or mixed powder richer in carbon than the carbon content in the eutectic composition of one or more metal elements selected from the element group consisting of iron, nickel and cobalt and carbon,
A step of melting the powder to form a spherical melt by performing a thermal plasma treatment in the gas phase;
By cooling the melt in the gas phase at a temperature equal to or higher than the eutectic point and below the carbon deposition temperature, carbon is deposited on the surface of the melt, and the spherical melt surface is coated with graphite composed of high melting point carbon. The process of
Eutectic point composition of one or more metal elements selected from the group consisting of iron, nickel and cobalt and carbon by cooling a spherical melt coated with graphite below the eutectic point in the gas phase Forming a spherical structure composed of a spherical nucleus composed of a eutectic alloy having a composition containing graphite and a graphite shell , and forming a crack in the graphite shell to expose a part of the surface of the spherical nucleus to the gas phase;
Forming the exposed iron, nickel, mosquitoes over carbon nanotubes and / or carbon nanofibers using activated carbon in the gas phase by the catalytic action of one or more elements selected from the element group consisting of cobalt crack graphite shell The process of
And a method for producing carbon-coated ferromagnetic metal spherical particles.
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