JP4309489B2 - Deposition equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板などのワークに対して成膜するための成膜装置に関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】
例えばプリント基板にソルダレジスト層を成膜するために、プリント基板に液状のフォトレジスト剤をコーティングする場合、従来では、図5あるいは図6に示すようなシステムが知られている。
【0003】
これらのうち図5のものは、ワークとしてのプリント基板1が着脱可能に装着されるハンガーなどの搬送体(図示せず)を、ワーク着脱エリア2と成膜エリア3との間で往復移動させる構成となっている。このものの場合、ワーク着脱エリア2においてプリント基板1を搬送体に装着し、そのプリント基板1を成膜エリア3に移動させて、ここでプリント基板1にフォトレジスト剤をコーティングし、この後、プリント基板1をワーク着脱エリア3に戻し、フォトレジスト剤がコーティングされたプリント基板1を搬送体から外すと共に、次のプリント基板1を搬送体に装着するということを繰り返すようになっている。
【0004】
図6のものは、ワーク装着エリア4と、成膜エリア3と、ワーク外しエリア5とがライン状に並んでいて、搬送体が矢印X方向へ順次移動される構成となっている。このものの場合、ワーク装着エリア4において搬送体に装着されたプリント基板1は、成膜エリア3においてフォトレジスト剤がコーティングされ、この後、ワーク外しエリア5において外される。ワーク装着エリア4において、次に来た搬送体にプリント基板1を順次装着していくことにより、連続してコーティングすることができる。
【0005】
しかしながら、上記したもののうち、図5に示したものの場合には、搬送体に装着されたプリント基板1をコーティングして外すまでは、次のプリント基板1を搬送体に装着することができず、したがって、次の準備をしておくということができないため、生産効率が悪い。
【0006】
また、図6に示したものの場合には、ワーク装着エリア4において順次次のプリント基板1を装着して準備しておくことができるため、上述のものに比べて生産効率が良い。しかしながら、ワーク装着エリア4と、成膜エリア3と、ワーク外しエリア5とがライン状に並んでいるため、そのライン方向に大きなスペースを必要とする。しかも、ワーク装着エリア4とワーク外しエリア5とが離れているため、それぞれに作業者が必要となり、この面での効率が悪いという欠点がある。
【0007】
本発明は上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、生産効率が高く、しかもコンパクトな構成とすることが可能な成膜装置を提供するにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、ワークが着脱可能に装着される第1,第2の搬送体と、これら第1,第2の搬送体に対してワークを着脱する共通のワーク着脱エリアとワークに対して成膜手段のスプレイにより成膜する共通の成膜エリアとの間に設けられた案内手段と、前記第1,第2の搬送体を、前記案内手段を介して前記ワーク着脱エリアと成膜エリアとの間で往復移動させる共通の駆動機構と、前記第1,第2の搬送体を前記駆動機構に選択的に連結する選択連結手段とを具備し、前記案内手段は、第1の搬送体を案内する第1の案内レールと第2の搬送体を案内する第2の案内レールとを備えていて、前記成膜エリアにおいて、前記成膜手段とワークとの間の距離を一定にする手段を備えたことを特徴とするものである。
【0009】
上記した手段によれば、第1,第2の搬送体のうちの一方の搬送体に装着したワークに対して成膜している間に、ワーク着脱エリアにおいて、他方の搬送体から既に成膜されたワークを外すと共に、次に成膜するワークをその搬送体に装着しておくことができるため、生産効率が高い。また、搬送体に対してワークを装着する場所と外す場所とが同じワーク着脱エリアで、しかも、ワーク着脱エリアは、第1,第2の搬送体に対して共通であるから、効率が良い。さらに、第1,第2の搬送体としては、共通のワーク着脱エリアと共通の成膜エリアとの間で移動させれば良いので、大きなスペースを必要としない。成膜手段とワークとの間の距離を一定にすることで、ワークに対する成膜を常に良好に行うことが可能になる。
【0011】
上記した構成において、選択連結手段により、第1,第2の搬送体を駆動機構に交互に連結することで、第1,第2の搬送体を、ワーク着脱エリアから成膜エリアに対して交互に投入して、成膜することができる。しかも、第1,第2の搬送体を移動させる駆動機構を共通としているので、構成の簡素化を図ることができると共に、コストを極力低減できるようになる。成膜エリアにおいて、第1の搬送体を案内する第1の案内レールと、第2の搬送体を案内する第2の案内レールとが別々にある構成でありながらも、成膜手段とワークとの間の距離を一定にすることで、ワークに対する成膜を常に良好に行うことが可能になる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例について図1ないし図4を参照して説明する。
まず、図1ないし図3において、搬送装置11は図中左右方向に延びていて、その長手方向の左から約2/3の部分はコーティング室12内に収容され、右側の残りの部分がコーティング室12の出入り口12aから外部へ突出している。コーティング室12内の奥側には、搬送装置11の一側部に位置させて塗装装置13が設けられていて、この塗装装置13に、成膜手段を構成するスプレイガン14が設けられている。この場合、スプレイガン14は、上下方向に移動させるようになっていて、このスプレイガン14で塗装できる範囲を成膜エリア15とし、また、搬送装置11においてコーティング室12から突出した部分を、ワーク着脱エリア16としている。
【0013】
上記搬送装置11は、カバー20により覆われている。搬送装置11におけるワーク着脱エリア16側の端部の一側部には、モータ21が設けられている。このモータ21の回転軸には、図4に示すようにスプロケットホイール22が設けられ、また、搬送装置11におけるコーティング室12内の奥側端部の一側部にはスプロケットホイール23が設けられていて、これら両スプロケットホイール22,23間にチェーン24が掛け渡されている。ここで、モータ21と、スプロケットホイール22,23と、チェーン24とにより駆動機構25を構成している。チェーン24は、チェーンカバー26により覆われている。
【0014】
上記チェーン24にはスライドベース27が連結されていて、このスライドベース27は、上記駆動機構25により図3中、左右方向に往復移動されるようになっている。スライドベース27の下部には車輪28が取り付けられている。スライドベース27の上面側には、図4において左右両側に位置させて、選択連結手段を構成する第1,第2の連結用シリンダ29,30が設けられている。これら第1,第2の連結用シリンダ29,30は、上端部に上下動可能な連結部29a,30aを有している。
【0015】
搬送装置11における幅方向の左右両側部には、それぞれ長手方向に沿って延びる支持レール31,32が対向する状態で設けられている。また、これら支持レール31,32間で、かつ、上記スライドベース27の上方に位置するようにしてレール支持ベース33が固定状態に設けられていて、このレール支持ベース33上に、案内手段を構成する第1,第2の案内レール34,35が、搬送装置11の長手方向に沿って延びるように設けられている。
【0016】
これら第1,第2の案内レール34,35は、図3に示すように、成膜エリア15では平行状態で接近していて、コーティング室12の出入り口12a付近では次第に離れていく状態となり、そして、ワーク着脱エリア16では平行状態で、かつ成膜エリア15部分よりも大きく離間した状態となっている。
【0017】
上記支持レール31,32には、第1,第2の可動支持体36,37が、これら支持レール31,32に沿って移動可能に設けられている。これら第1,第2の可動支持体36,37には、それぞれ2本の支持バー38,38が平行状態に設けられている。各支持バー38の先端部は、第1,第2の案内レール34,35間のほぼ中央部にまで延びている。
【0018】
第1の可動支持体36の両支持バー38,38により、第1の搬送体41が支持され、また、第2の可動支持体37の両支持バー38,38により、第2の搬送体42が支持されている。第1の搬送体41と第2の搬送体42とは、形状が左右対称である以外は同様な構成であるので、一方の第1の搬送体41側の構成を代表して説明する。
【0019】
第1の搬送体41は、ベース43と、このベース43に固定状態に設けられた2個の筒部44,44と、これら筒部44,44間に位置してベース43に固定状態に設けられ、上端部に回転軸45aを有したロータリアクチュエータ45と、このロータリアクチュエータ45の回動軸45aに連結された支柱部46と、この支柱部46の上端部に連結されたワーク支持具47と、前記ベース43の下部に設けられ、対応する第1の案内レール34を両側から挟むように配置された対をなすローラ48,48とから構成されていて、2個の筒部44,44に上記支持バー38,38を相対的に挿入することにより、支持バー38,38にその軸方向に移動可能な状態で支持されている。
【0020】
ここで、ワーク支持具47は、上部が開放したコ字形をなしていて、ワークとしてのプリント基板49が上方から着脱可能に装着される構成となっている。また、ロータリアクチュエータ45は、ワーク支持具47を介してプリント基板49を水平面内で回動させる構成となっていて、プリント基板49を上記スプレイガン14に対して表裏反転させるための反転機構を構成している。
【0021】
しかしてこの場合、第1の可動支持体36が支持レール31に沿って移動すると、第1の搬送体41は、支持バー38,38を介してその第1の可動支持体36と共に支持レール31に沿って移動すると共に、第1の案内レール34の横方向の屈曲に沿って支持バー38に対してその軸方向に移動し、結果的に第1の案内レール34に沿って移動する。また、この場合、図4に示すように、第1の搬送体41の中心A1(この場合、ロータリアクチュエータ45の回動軸45aの中心)は、第1の案内レール34に対して第2の案内レール35側へ寸法B分ずれていて、第1の搬送体41が成膜エリア15を移動する状態では、その第1の搬送体41の中心A1が、第1の案内レール34と第2の案内レール35との間の中心線A2(図3参照)上に位置するようになっている。
【0022】
第2の搬送体42も上記した第1の搬送体41と同様な構成となっていて、第2の可動支持体37が支持レール32に沿って移動すると、第2の搬送体42は、第2の可動支持体37の支持バー38,38を介して第2の可動支持体37と共に支持レール32に沿って移動すると共に、第2の案内レール35の横方向の屈曲に沿って支持バー38に対して軸方向に移動し、結果的に第2の案内レール35に沿って移動する。また、第2の搬送体42の中心A1(ロータリアクチュエータ45の回動軸45aの中心)は、第2の案内レール35に対して第1の案内レール34側へ寸法B分ずれていて(図4参照)、第2の搬送体42が成膜エリア15を移動する状態では、第2の搬送体42の中心A1が、第1の案内レール34と第2の案内レール35との間の中心線A2上に位置するようになっている。
【0023】
第1,第2の搬送体41,42の各ワーク支持具47は、搬送装置11におけるカバー20から上方へ突出していて、このカバー20には、図1に示すように、第1,第2の搬送体41,42の各支柱部46の移動軌跡に沿って、開口部50がY字状に形成されている。
【0024】
次に、上記構成において、プリント基板49に、例えばフォトレジスト剤をコーティングする場合について説明する。
いま、図1、図2及び図3に実線で示すように、第1,第2の搬送体41,42、並びにスライドベース27がワーク着脱エリア16にあるとする。この状態で、まず、第1の搬送体41のワーク支持具47にプリント基板49を装着しておく。
【0025】
そして、スライドベース27上における一方の第1の連結シリンダ29を駆動させると、その連結部29aが上昇し、対応する第1の可動支持体36を連結した状態となる(図4参照)。なお、この場合、第2の連結シリンダ30の連結部30aは、対応する第2の可動支持体37から離間していて、非連結状態となっている。
【0026】
この状態で、駆動機構25によりスライドベース27が、図1〜図3中、矢印C方向へ移動されると、第1の連結シリンダ29を介して第1の可動支持体36が同矢印C方向へ移動される。この第1の可動支持体36の移動に伴い、支持バー38,38を介して第1の搬送体41が第1の案内レール34に沿って矢印C方向へ移動され、これに伴い、ワーク支持具47に装着されたプリント基板49が、出入り口12aからコーティング室12内に投入される。
【0027】
そして、プリント基板49が成膜エリア15に入ると、スプレイガン14により、そのプリント基板49の片面にフォトレジスト剤がコーティングされるようになる。このとき、プリント基板49は、第1の案内レール34と第2の案内レール35との間の中心線A2(図3参照)に沿って、矢印C方向へ移動する。
【0028】
第1の搬送体41が最も奥まで到達して(図1〜図3の二点鎖線参照)、プリント基板49の片面に対するフォトレジスト剤のコーティングが終了すると、ロータリアクチュエータ45が駆動されて、ワーク支持具47ごとプリント基板49が、スプレイガン14に対して表裏反転される。そして、第1の搬送体41が矢印Cとは反対の矢印D方向へ順次移動され、スプレイガン14により、プリント基板49の残りの片面にフォトレジスト剤がコーティングされるようになる。このときも、プリント基板49は、第1の案内レール34と第2の案内レール35との間の中心線A2に沿って移動する。
【0029】
プリント基板49に対するフォトレジスト剤のコーティングが完了したら、第1の搬送体41の移動に伴いプリント基板49は、出入り口12aからワーク着脱エリア16まで搬送される。
【0030】
このようにして第1の搬送体41に装着されたプリント基板49に対してフォトレジスト剤をコーティングしている間に、ワーク着脱エリア16において、第2の搬送体42のワーク支持具47に次のプリント基板49を装着して、準備をしておく。
【0031】
第1の搬送体41に装着されたプリント基板49がワーク着脱エリア16まで戻ったら、第1の連結シリンダ29の連結部29aを下降させ、その連結部29aと第1の可動支持体36との連結を解除させる一方、第2の連結シリンダ30の連結部30aを上昇させ、その連結部30aを第2の可動支持体37と連結させる。
【0032】
この状態で、駆動機構25によりスライドベース27が、図1〜図3中、矢印C方向へ移動されると、今度は、第2の連結シリンダ30を介して第2の可動支持体37が同矢印C方向へ移動され、この第2の可動支持体37の移動に伴い、支持バー38,38を介して第2の搬送体42が第2の案内レール35に沿って矢印C方向へ移動され、これに伴い、ワーク支持具47に装着されたプリント基板49が、出入り口12aからコーティング室12内に投入される。
【0033】
そして、上述の場合と同様に、プリント基板49が成膜エリア15に入ると、スプレイガン14により、そのプリント基板49の片面にフォトレジスト剤がコーティングされる。このときも、プリント基板49は、第1の案内レール34と第2の案内レール35との間の中心線A2に沿って移動する。
【0034】
第2の搬送体42が最も奥まで到達して、プリント基板49の片面に対するフォトレジスト剤のコーティングが終了すると、ロータリアクチュエータ45が駆動されて、ワーク支持具47ごとプリント基板49が、スプレイガン14に対して表裏反転される。そして、第2の搬送体42が矢印D方向へ順次移動され、スプレイガン14により、プリント基板49の残りの片面にフォトレジスト剤がコーティングされるようになる。このときも、プリント基板49は、第1の案内レール34と第2の案内レール35との間の中心線A2に沿って移動する。
【0035】
プリント基板49に対するフォトレジスト剤のコーティングが完了したら、第2の搬送体42の移動に伴いプリント基板49は、出入り口12aからワーク着脱エリア16まで搬送される。
【0036】
このようにして第2の搬送体42に装着されたプリント基板49に対してフォトレジスト剤をコーティングしている間に、ワーク着脱エリア16において、既にフォトレジスト剤のコーティングが完了したプリント基板49を第1の搬送体41から外すと共に、次のプリント基板49をワーク支持具47に装着して、次の準備をしておく。
【0037】
このようにして、第1,第2の搬送体41,42を、ワーク着脱エリア16から成膜エリア15に対して交互に投入することを繰り返すことにより、プリント基板49に対するフォトレジスト剤のコーティングが行われる。
【0038】
上記した実施例によれば、次のような効果を得ることができる。
まず、それぞれプリント基板49が着脱可能に装着される第1,第2の搬送体41,42を、ワーク着脱エリア16から成膜エリア15に対して交互に投入するようにしているので、一方の搬送体に装着したプリント基板49に対してコーティングをしている間に、ワーク着脱エリア16において、他方の搬送体から既にコーティングされたプリント基板49を外すと共に、次にコーティングするプリント基板49をその搬送体に装着して準備をしておくことができるため、生産効率が高い。
【0039】
また、搬送体41,42に対してプリント基板49を装着する場所と外す場所とが同じワーク着脱エリア16で、しかも、ワーク着脱エリア16は、第1,第2の搬送体41,42に対して共通であるから、ワーク装着エリアとワーク外しエリアとが離れている場合とは違い、作業者は一人でよく、効率が良い。
【0040】
さらに、第1,第2の搬送体41,42としては、共通のワーク着脱エリア16と共通の成膜エリア15との間で移動させれば良いので、大きなスペースを必要とせず、コンパクトにできる。
【0041】
そして、第1,第2の搬送体41,42を移動させる駆動機構25を共通としているので、駆動機構をそれぞれに対応して設ける場合に比べて、構成の簡素化を図ることができると共に、コストを極力低減できるようになる。
【0042】
また、本実施例においては、第1の搬送体41を案内する第1の案内レール34と、第2の搬送体42を案内する第2の案内レール35とが別々となっている構成であるが、それら第1,第2の搬送体41,42のそれぞれの中心A1と、対応する第1,第2の案内レール34,35の位置とを横方向にずらしていて、成膜エリア15において、それら第1,第2の搬送体41,42の中心A1が、第1及び第2の案内レール34及び35間の中心線A2上を移動する構成としているので、第1,第2の搬送体41,42に装着されたプリント基板49とスプレイガン14との間の距離を常に一定にすることができ、常に良好にコーティングを行うことができる。
【0043】
さらに、第1,第2の搬送体41,42にロータリアクチュエータ45を設けていて、装着されたプリント基板49をスプレイガン14に対して表裏反転させる構成としているので、プリント基板49の表裏両面をコーティングする場合でも、一つのスプレイガン14で対応できる。
【0044】
本発明は、上記した実施例にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張することができる。
ワーク着脱エリア16において、第1,第2の搬送体41,42の少なくとも一方を退避させるところがあれば、案内手段としては1本のレールとすることもできる。
【0045】
プリント基板49とスプレイガン14との間の距離を一定にする手段としては、スプレイガン14を、プリント基板49に対して移動させることで対応することもできる。
ワーク支持具47に対するプリント基板49の装着及び外し作業は、人手ではなく、機械で自動的に行う構成とすることもできる。
【0046】
ワークとしては、プリント基板49に限られず、パネルなどのようなものでも良く、また、スプレイガン14によるコーティングに限られず、ワークに対してスクリーン印刷する場合にも適用できる。
【0047】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば次のような効果を得ることができる。
請求項1の成膜装置によれば、第1,第2の搬送体のうちの一方の搬送体に装着したワークに対して成膜している間に、ワーク着脱エリアにおいて、他方の搬送体から既に成膜されたワークを外すと共に、次に成膜するワークをその搬送体に装着しておくことができるため、生産効率が高い。また、搬送体に対してワークを装着する場所と外す場所とが同じワーク着脱エリアで、しかも、ワーク着脱エリアは、第1,第2の搬送体に対して共通であるから、効率が良い。さらに、第1,第2の搬送体としては、共通のワーク着脱エリアと共通の成膜エリアとの間で移動させれば良いので、大きなスペースを必要としない。成膜手段とワークとの間の距離を一定にすることで、ワークに対する成膜を常に良好に行うことが可能になる。
【0048】
選択連結手段により、第1,第2の搬送体を駆動機構に交互に連結することで、第1,第2の搬送体を、ワーク着脱エリアから成膜エリアに対して交互に投入して、成膜することができ、上記の作用効果を得ることができるようになる。しかも、第1,第2の搬送体を移動させる駆動機構を共通としているので、構成の簡素化を図ることができると共に、コストを極力低減できるようになる。
【0049】
また、成膜エリアにおいて、第1の搬送体を案内する第1の案内レールと、第2の搬送体を案内する第2の案内レールとが別々にある構成でありながらも、成膜手段とワークとの間の距離を一定にすることで、ワークに対する成膜を常に良好に行うことが可能になる。
【0050】
請求項2の成膜装置によれば、ワークの表裏両面に成膜する場合でも、成膜手段としては片側のみに設置することで対応できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す平面図
【図2】破断側面図
【図3】横断平面図
【図4】右側から見た要部の拡大縦断側面図
【図5】従来のシステムを説明するための平面図
【図6】他の従来のシステムを説明するための平面図
【符号の説明】
11は搬送装置、12はコーティング室、13は塗装装置、14はスプレイガン(成膜手段)、15は成膜エリア、16はワーク着脱エリア、21はモータ、24はチェーン、25は駆動機構、27はスライドベース、29,30は第1,第2の連結用シリンダ(選択連結手段)、31,32は支持レール、34,35は第1,第2の案内レール(案内手段)、36,37は第1,第2の可動支持体、41,42は第1,第2の搬送体、45はロータリアクチュエータ(反転機構)、47はワーク支持具、49はプリント基板(ワーク)を示す。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a film forming apparatus for forming a film on a workpiece such as a substrate.
[0002]
[Problems to be solved by the invention]
For example, when a liquid photoresist agent is coated on a printed circuit board in order to form a solder resist layer on the printed circuit board, a system as shown in FIG. 5 or FIG. 6 is conventionally known.
[0003]
Among these, the thing of FIG. 5 reciprocates the conveyance body (not shown), such as a hanger to which the printed circuit board 1 as a work is detachably attached, between the work attaching / detaching
[0004]
In FIG. 6, the work mounting area 4, the
[0005]
However, among those described above, in the case shown in FIG. 5, the next printed circuit board 1 cannot be mounted on the transport body until the printed circuit board 1 mounted on the transport body is coated and removed. Therefore, the production efficiency is poor because the next preparation cannot be made.
[0006]
In the case of the one shown in FIG. 6, since the next printed circuit board 1 can be sequentially mounted and prepared in the workpiece mounting area 4, the production efficiency is better than that described above. However, since the work attachment area 4, the
[0007]
The present invention has been made in view of the above, an object of the production efficiency is high, yet to provide a film forming apparatus capable of a compact structure.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides a first and a second transport body to which a work is detachably mounted, and a common work for attaching and detaching the work to and from the first and second transport bodies. Guide means provided between the attachment / detachment area and a common film formation area for forming a film by spraying the film formation means on the workpiece, and the first and second transport bodies via the guide means. A common drive mechanism for reciprocating movement between a work attaching / detaching area and a film forming area; and a selective connecting means for selectively connecting the first and second transfer bodies to the drive mechanism, the guide means Comprises a first guide rail for guiding the first transport body and a second guide rail for guiding the second transport body, and in the film formation area, between the film forming means and the workpiece. It is characterized in that it is provided with means for making the distances constant .
[0009]
According to the above-described means, while the film is formed on the work mounted on one of the first and second transport bodies, the film is already formed from the other transport body in the work attachment / detachment area. Since the work to be formed can be removed and the work to be deposited next can be mounted on the transfer body, the production efficiency is high. Further, the place where the workpiece is attached to and removed from the carrier is the same workpiece attaching / detaching area, and the workpiece attaching / detaching area is common to the first and second carriers, so that the efficiency is high. Further, since the first and second transfer bodies only need to be moved between the common work attachment / detachment area and the common film formation area, a large space is not required. By making the distance between the film forming means and the workpiece constant, it becomes possible to always perform film formation on the workpiece satisfactorily.
[0011]
In the configuration described above, the first and second transport bodies are alternately connected to the film forming area from the work attaching / detaching area by alternately connecting the first and second transport bodies to the drive mechanism by the selective connecting means. To form a film. In addition, since the drive mechanism for moving the first and second transport members is shared, the configuration can be simplified and the cost can be reduced as much as possible. In the film formation area, the first guide rail for guiding the first transport body and the second guide rail for guiding the second transport body are separately provided, but the film forming means and the workpiece By making the distance between the two constant, film formation on the workpiece can always be performed satisfactorily.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
First, in FIG. 1 to FIG. 3, the
[0013]
The
[0014]
A
[0015]
[0016]
As shown in FIG. 3, these first and
[0017]
The support rails 31 and 32 are provided with first and second
[0018]
The
[0019]
The
[0020]
Here, the
[0021]
In this case, when the first
[0022]
The
[0023]
Each
[0024]
Next, the case where the printed
Now, suppose that the 1st,
[0025]
Then, when one of the first connecting
[0026]
In this state, when the
[0027]
When the printed
[0028]
When the
[0029]
When the coating of the photoresist agent on the printed
[0030]
In this manner, while the photoresist agent is coated on the printed
[0031]
When the printed
[0032]
In this state, when the
[0033]
As in the case described above, when the printed
[0034]
When the
[0035]
When the coating of the photoresist agent on the printed
[0036]
In this way, while the photoresist agent is coated on the printed
[0037]
In this way, the first and
[0038]
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
First, since the first and
[0039]
Further, the place where the printed
[0040]
Further, since the first and
[0041]
And since the
[0042]
In the present embodiment, the
[0043]
Further, the
[0044]
The present invention is not limited to the embodiments described above, and can be modified or expanded as follows.
If there is a place where at least one of the first and
[0045]
As means for making the distance between the printed
The mounting and removing work of the printed
[0046]
The work is not limited to the printed
[0047]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, the following effects can be obtained according to the present invention.
According to the film forming apparatus of claim 1, while the film is formed on the work attached to one of the first and second transport bodies, the other transport body is provided in the work attaching / detaching area. Since the workpieces that have already been deposited can be removed and the workpiece to be deposited next can be mounted on the carrier, the production efficiency is high. Further, the place where the workpiece is attached to and removed from the carrier is the same workpiece attaching / detaching area, and the workpiece attaching / detaching area is common to the first and second carriers, so that the efficiency is high. Further, since the first and second transfer bodies only need to be moved between the common work attachment / detachment area and the common film formation area, a large space is not required. By making the distance between the film forming means and the workpiece constant, it becomes possible to always perform film formation on the workpiece favorably.
[0048]
By selecting coupling means, first, by alternately connected to the second conveyance member drive mechanism, the first, second carrier, it was put from the work detachable area alternately to the deposition area Thus, a film can be formed, and the above-described effects can be obtained. In addition, since the drive mechanism for moving the first and second transport members is shared, the configuration can be simplified and the cost can be reduced as much as possible.
[0049]
In the film formation area, the first guide rail that guides the first transport body and the second guide rail that guides the second transport body are separately provided, By making the distance between the workpieces constant, it is possible to always perform film formation on the workpieces satisfactorily.
[0050]
According to the film forming apparatus of the second aspect , even when the film is formed on both the front and back surfaces of the work, the film forming means can be dealt with by installing only on one side.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cutaway side view. FIG. 3 is a cross-sectional plan view. FIG. FIG. 6 is a plan view for explaining another conventional system.
11 is a transfer device, 12 is a coating chamber, 13 is a coating device, 14 is a spray gun (film forming means), 15 is a film forming area, 16 is a work attaching / detaching area, 21 is a motor, 24 is a chain, 25 is a drive mechanism, 27 is a slide base, 29 and 30 are first and second connecting cylinders (selective connecting means), 31 and 32 are support rails, 34 and 35 are first and second guide rails (guide means), 36,
Claims (2)
これら第1,第2の搬送体に対してワークを着脱する共通のワーク着脱エリアとワークに対して成膜手段のスプレイにより成膜する共通の成膜エリアとの間に設けられた案内手段と、
前記第1,第2の搬送体を、前記案内手段を介して前記ワーク着脱エリアと成膜エリアとの間で往復移動させる共通の駆動機構と、
前記第1,第2の搬送体を前記駆動機構に選択的に連結する選択連結手段とを具備し、
前記案内手段は、第1の搬送体を案内する第1の案内レールと第2の搬送体を案内する第2の案内レールとを備えていて、前記成膜エリアにおいて、前記成膜手段とワークとの間の距離を一定にする手段を備えたことを特徴とする成膜装置。 A first and a second transport body on which a workpiece is detachably mounted;
Guide means provided between a common work attachment / detachment area for attaching / detaching the work to / from the first and second transport bodies and a common film formation area for forming a film by spraying the film formation means with respect to the work; ,
A common drive mechanism for reciprocally moving the first and second transfer bodies between the work attaching / detaching area and the film forming area via the guide means;
Selective connection means for selectively connecting the first and second transport members to the drive mechanism;
The guide means includes a first guide rail for guiding the first transport body and a second guide rail for guiding the second transport body. In the film formation area, the film formation means and the workpiece are provided. A film forming apparatus comprising means for making the distance between the head and the head constant .
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