JP4309489B2

JP4309489B2 - Deposition equipment

Info

Publication number: JP4309489B2
Application number: JP09745498A
Authority: JP
Inventors: 計二宮地; 幸一星野
Original assignee: Asahi Sunac Corp
Current assignee: Asahi Sunac Corp
Priority date: 1998-04-09
Filing date: 1998-04-09
Publication date: 2009-08-05
Anticipated expiration: 2018-04-09
Also published as: JPH11292279A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板などのワークに対して成膜するための成膜装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
例えばプリント基板にソルダレジスト層を成膜するために、プリント基板に液状のフォトレジスト剤をコーティングする場合、従来では、図５あるいは図６に示すようなシステムが知られている。
【０００３】
これらのうち図５のものは、ワークとしてのプリント基板１が着脱可能に装着されるハンガーなどの搬送体（図示せず）を、ワーク着脱エリア２と成膜エリア３との間で往復移動させる構成となっている。このものの場合、ワーク着脱エリア２においてプリント基板１を搬送体に装着し、そのプリント基板１を成膜エリア３に移動させて、ここでプリント基板１にフォトレジスト剤をコーティングし、この後、プリント基板１をワーク着脱エリア３に戻し、フォトレジスト剤がコーティングされたプリント基板１を搬送体から外すと共に、次のプリント基板１を搬送体に装着するということを繰り返すようになっている。
【０００４】
図６のものは、ワーク装着エリア４と、成膜エリア３と、ワーク外しエリア５とがライン状に並んでいて、搬送体が矢印Ｘ方向へ順次移動される構成となっている。このものの場合、ワーク装着エリア４において搬送体に装着されたプリント基板１は、成膜エリア３においてフォトレジスト剤がコーティングされ、この後、ワーク外しエリア５において外される。ワーク装着エリア４において、次に来た搬送体にプリント基板１を順次装着していくことにより、連続してコーティングすることができる。
【０００５】
しかしながら、上記したもののうち、図５に示したものの場合には、搬送体に装着されたプリント基板１をコーティングして外すまでは、次のプリント基板１を搬送体に装着することができず、したがって、次の準備をしておくということができないため、生産効率が悪い。
【０００６】
また、図６に示したものの場合には、ワーク装着エリア４において順次次のプリント基板１を装着して準備しておくことができるため、上述のものに比べて生産効率が良い。しかしながら、ワーク装着エリア４と、成膜エリア３と、ワーク外しエリア５とがライン状に並んでいるため、そのライン方向に大きなスペースを必要とする。しかも、ワーク装着エリア４とワーク外しエリア５とが離れているため、それぞれに作業者が必要となり、この面での効率が悪いという欠点がある。
【０００７】
本発明は上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、生産効率が高く、しかもコンパクトな構成とすることが可能な成膜装置を提供するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、ワークが着脱可能に装着される第１，第２の搬送体と、これら第１，第２の搬送体に対してワークを着脱する共通のワーク着脱エリアとワークに対して成膜手段のスプレイにより成膜する共通の成膜エリアとの間に設けられた案内手段と、前記第１，第２の搬送体を、前記案内手段を介して前記ワーク着脱エリアと成膜エリアとの間で往復移動させる共通の駆動機構と、前記第１，第２の搬送体を前記駆動機構に選択的に連結する選択連結手段とを具備し、前記案内手段は、第１の搬送体を案内する第１の案内レールと第２の搬送体を案内する第２の案内レールとを備えていて、前記成膜エリアにおいて、前記成膜手段とワークとの間の距離を一定にする手段を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
上記した手段によれば、第１，第２の搬送体のうちの一方の搬送体に装着したワークに対して成膜している間に、ワーク着脱エリアにおいて、他方の搬送体から既に成膜されたワークを外すと共に、次に成膜するワークをその搬送体に装着しておくことができるため、生産効率が高い。また、搬送体に対してワークを装着する場所と外す場所とが同じワーク着脱エリアで、しかも、ワーク着脱エリアは、第１，第２の搬送体に対して共通であるから、効率が良い。さらに、第１，第２の搬送体としては、共通のワーク着脱エリアと共通の成膜エリアとの間で移動させれば良いので、大きなスペースを必要としない。成膜手段とワークとの間の距離を一定にすることで、ワークに対する成膜を常に良好に行うことが可能になる。
【００１１】
上記した構成において、選択連結手段により、第１，第２の搬送体を駆動機構に交互に連結することで、第１，第２の搬送体を、ワーク着脱エリアから成膜エリアに対して交互に投入して、成膜することができる。しかも、第１，第２の搬送体を移動させる駆動機構を共通としているので、構成の簡素化を図ることができると共に、コストを極力低減できるようになる。成膜エリアにおいて、第１の搬送体を案内する第１の案内レールと、第２の搬送体を案内する第２の案内レールとが別々にある構成でありながらも、成膜手段とワークとの間の距離を一定にすることで、ワークに対する成膜を常に良好に行うことが可能になる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例について図１ないし図４を参照して説明する。
まず、図１ないし図３において、搬送装置１１は図中左右方向に延びていて、その長手方向の左から約２／３の部分はコーティング室１２内に収容され、右側の残りの部分がコーティング室１２の出入り口１２ａから外部へ突出している。コーティング室１２内の奥側には、搬送装置１１の一側部に位置させて塗装装置１３が設けられていて、この塗装装置１３に、成膜手段を構成するスプレイガン１４が設けられている。この場合、スプレイガン１４は、上下方向に移動させるようになっていて、このスプレイガン１４で塗装できる範囲を成膜エリア１５とし、また、搬送装置１１においてコーティング室１２から突出した部分を、ワーク着脱エリア１６としている。
【００１３】
上記搬送装置１１は、カバー２０により覆われている。搬送装置１１におけるワーク着脱エリア１６側の端部の一側部には、モータ２１が設けられている。このモータ２１の回転軸には、図４に示すようにスプロケットホイール２２が設けられ、また、搬送装置１１におけるコーティング室１２内の奥側端部の一側部にはスプロケットホイール２３が設けられていて、これら両スプロケットホイール２２，２３間にチェーン２４が掛け渡されている。ここで、モータ２１と、スプロケットホイール２２，２３と、チェーン２４とにより駆動機構２５を構成している。チェーン２４は、チェーンカバー２６により覆われている。
【００１４】
上記チェーン２４にはスライドベース２７が連結されていて、このスライドベース２７は、上記駆動機構２５により図３中、左右方向に往復移動されるようになっている。スライドベース２７の下部には車輪２８が取り付けられている。スライドベース２７の上面側には、図４において左右両側に位置させて、選択連結手段を構成する第１，第２の連結用シリンダ２９，３０が設けられている。これら第１，第２の連結用シリンダ２９，３０は、上端部に上下動可能な連結部２９ａ，３０ａを有している。
【００１５】
搬送装置１１における幅方向の左右両側部には、それぞれ長手方向に沿って延びる支持レール３１，３２が対向する状態で設けられている。また、これら支持レール３１，３２間で、かつ、上記スライドベース２７の上方に位置するようにしてレール支持ベース３３が固定状態に設けられていて、このレール支持ベース３３上に、案内手段を構成する第１，第２の案内レール３４，３５が、搬送装置１１の長手方向に沿って延びるように設けられている。
【００１６】
これら第１，第２の案内レール３４，３５は、図３に示すように、成膜エリア１５では平行状態で接近していて、コーティング室１２の出入り口１２ａ付近では次第に離れていく状態となり、そして、ワーク着脱エリア１６では平行状態で、かつ成膜エリア１５部分よりも大きく離間した状態となっている。
【００１７】
上記支持レール３１，３２には、第１，第２の可動支持体３６，３７が、これら支持レール３１，３２に沿って移動可能に設けられている。これら第１，第２の可動支持体３６，３７には、それぞれ２本の支持バー３８，３８が平行状態に設けられている。各支持バー３８の先端部は、第１，第２の案内レール３４，３５間のほぼ中央部にまで延びている。
【００１８】
第１の可動支持体３６の両支持バー３８，３８により、第１の搬送体４１が支持され、また、第２の可動支持体３７の両支持バー３８，３８により、第２の搬送体４２が支持されている。第１の搬送体４１と第２の搬送体４２とは、形状が左右対称である以外は同様な構成であるので、一方の第１の搬送体４１側の構成を代表して説明する。
【００１９】
第１の搬送体４１は、ベース４３と、このベース４３に固定状態に設けられた２個の筒部４４，４４と、これら筒部４４，４４間に位置してベース４３に固定状態に設けられ、上端部に回転軸４５ａを有したロータリアクチュエータ４５と、このロータリアクチュエータ４５の回動軸４５ａに連結された支柱部４６と、この支柱部４６の上端部に連結されたワーク支持具４７と、前記ベース４３の下部に設けられ、対応する第１の案内レール３４を両側から挟むように配置された対をなすローラ４８，４８とから構成されていて、２個の筒部４４，４４に上記支持バー３８，３８を相対的に挿入することにより、支持バー３８，３８にその軸方向に移動可能な状態で支持されている。
【００２０】
ここで、ワーク支持具４７は、上部が開放したコ字形をなしていて、ワークとしてのプリント基板４９が上方から着脱可能に装着される構成となっている。また、ロータリアクチュエータ４５は、ワーク支持具４７を介してプリント基板４９を水平面内で回動させる構成となっていて、プリント基板４９を上記スプレイガン１４に対して表裏反転させるための反転機構を構成している。
【００２１】
しかしてこの場合、第１の可動支持体３６が支持レール３１に沿って移動すると、第１の搬送体４１は、支持バー３８，３８を介してその第１の可動支持体３６と共に支持レール３１に沿って移動すると共に、第１の案内レール３４の横方向の屈曲に沿って支持バー３８に対してその軸方向に移動し、結果的に第１の案内レール３４に沿って移動する。また、この場合、図４に示すように、第１の搬送体４１の中心Ａ１（この場合、ロータリアクチュエータ４５の回動軸４５ａの中心）は、第１の案内レール３４に対して第２の案内レール３５側へ寸法Ｂ分ずれていて、第１の搬送体４１が成膜エリア１５を移動する状態では、その第１の搬送体４１の中心Ａ１が、第１の案内レール３４と第２の案内レール３５との間の中心線Ａ２（図３参照）上に位置するようになっている。
【００２２】
第２の搬送体４２も上記した第１の搬送体４１と同様な構成となっていて、第２の可動支持体３７が支持レール３２に沿って移動すると、第２の搬送体４２は、第２の可動支持体３７の支持バー３８，３８を介して第２の可動支持体３７と共に支持レール３２に沿って移動すると共に、第２の案内レール３５の横方向の屈曲に沿って支持バー３８に対して軸方向に移動し、結果的に第２の案内レール３５に沿って移動する。また、第２の搬送体４２の中心Ａ１（ロータリアクチュエータ４５の回動軸４５ａの中心）は、第２の案内レール３５に対して第１の案内レール３４側へ寸法Ｂ分ずれていて（図４参照）、第２の搬送体４２が成膜エリア１５を移動する状態では、第２の搬送体４２の中心Ａ１が、第１の案内レール３４と第２の案内レール３５との間の中心線Ａ２上に位置するようになっている。
【００２３】
第１，第２の搬送体４１，４２の各ワーク支持具４７は、搬送装置１１におけるカバー２０から上方へ突出していて、このカバー２０には、図１に示すように、第１，第２の搬送体４１，４２の各支柱部４６の移動軌跡に沿って、開口部５０がＹ字状に形成されている。
【００２４】
次に、上記構成において、プリント基板４９に、例えばフォトレジスト剤をコーティングする場合について説明する。
いま、図１、図２及び図３に実線で示すように、第１，第２の搬送体４１，４２、並びにスライドベース２７がワーク着脱エリア１６にあるとする。この状態で、まず、第１の搬送体４１のワーク支持具４７にプリント基板４９を装着しておく。
【００２５】
そして、スライドベース２７上における一方の第１の連結シリンダ２９を駆動させると、その連結部２９ａが上昇し、対応する第１の可動支持体３６を連結した状態となる（図４参照）。なお、この場合、第２の連結シリンダ３０の連結部３０ａは、対応する第２の可動支持体３７から離間していて、非連結状態となっている。
【００２６】
この状態で、駆動機構２５によりスライドベース２７が、図１〜図３中、矢印Ｃ方向へ移動されると、第１の連結シリンダ２９を介して第１の可動支持体３６が同矢印Ｃ方向へ移動される。この第１の可動支持体３６の移動に伴い、支持バー３８，３８を介して第１の搬送体４１が第１の案内レール３４に沿って矢印Ｃ方向へ移動され、これに伴い、ワーク支持具４７に装着されたプリント基板４９が、出入り口１２ａからコーティング室１２内に投入される。
【００２７】
そして、プリント基板４９が成膜エリア１５に入ると、スプレイガン１４により、そのプリント基板４９の片面にフォトレジスト剤がコーティングされるようになる。このとき、プリント基板４９は、第１の案内レール３４と第２の案内レール３５との間の中心線Ａ２（図３参照）に沿って、矢印Ｃ方向へ移動する。
【００２８】
第１の搬送体４１が最も奥まで到達して（図１〜図３の二点鎖線参照）、プリント基板４９の片面に対するフォトレジスト剤のコーティングが終了すると、ロータリアクチュエータ４５が駆動されて、ワーク支持具４７ごとプリント基板４９が、スプレイガン１４に対して表裏反転される。そして、第１の搬送体４１が矢印Ｃとは反対の矢印Ｄ方向へ順次移動され、スプレイガン１４により、プリント基板４９の残りの片面にフォトレジスト剤がコーティングされるようになる。このときも、プリント基板４９は、第１の案内レール３４と第２の案内レール３５との間の中心線Ａ２に沿って移動する。
【００２９】
プリント基板４９に対するフォトレジスト剤のコーティングが完了したら、第１の搬送体４１の移動に伴いプリント基板４９は、出入り口１２ａからワーク着脱エリア１６まで搬送される。
【００３０】
このようにして第１の搬送体４１に装着されたプリント基板４９に対してフォトレジスト剤をコーティングしている間に、ワーク着脱エリア１６において、第２の搬送体４２のワーク支持具４７に次のプリント基板４９を装着して、準備をしておく。
【００３１】
第１の搬送体４１に装着されたプリント基板４９がワーク着脱エリア１６まで戻ったら、第１の連結シリンダ２９の連結部２９ａを下降させ、その連結部２９ａと第１の可動支持体３６との連結を解除させる一方、第２の連結シリンダ３０の連結部３０ａを上昇させ、その連結部３０ａを第２の可動支持体３７と連結させる。
【００３２】
この状態で、駆動機構２５によりスライドベース２７が、図１〜図３中、矢印Ｃ方向へ移動されると、今度は、第２の連結シリンダ３０を介して第２の可動支持体３７が同矢印Ｃ方向へ移動され、この第２の可動支持体３７の移動に伴い、支持バー３８，３８を介して第２の搬送体４２が第２の案内レール３５に沿って矢印Ｃ方向へ移動され、これに伴い、ワーク支持具４７に装着されたプリント基板４９が、出入り口１２ａからコーティング室１２内に投入される。
【００３３】
そして、上述の場合と同様に、プリント基板４９が成膜エリア１５に入ると、スプレイガン１４により、そのプリント基板４９の片面にフォトレジスト剤がコーティングされる。このときも、プリント基板４９は、第１の案内レール３４と第２の案内レール３５との間の中心線Ａ２に沿って移動する。
【００３４】
第２の搬送体４２が最も奥まで到達して、プリント基板４９の片面に対するフォトレジスト剤のコーティングが終了すると、ロータリアクチュエータ４５が駆動されて、ワーク支持具４７ごとプリント基板４９が、スプレイガン１４に対して表裏反転される。そして、第２の搬送体４２が矢印Ｄ方向へ順次移動され、スプレイガン１４により、プリント基板４９の残りの片面にフォトレジスト剤がコーティングされるようになる。このときも、プリント基板４９は、第１の案内レール３４と第２の案内レール３５との間の中心線Ａ２に沿って移動する。
【００３５】
プリント基板４９に対するフォトレジスト剤のコーティングが完了したら、第２の搬送体４２の移動に伴いプリント基板４９は、出入り口１２ａからワーク着脱エリア１６まで搬送される。
【００３６】
このようにして第２の搬送体４２に装着されたプリント基板４９に対してフォトレジスト剤をコーティングしている間に、ワーク着脱エリア１６において、既にフォトレジスト剤のコーティングが完了したプリント基板４９を第１の搬送体４１から外すと共に、次のプリント基板４９をワーク支持具４７に装着して、次の準備をしておく。
【００３７】
このようにして、第１，第２の搬送体４１，４２を、ワーク着脱エリア１６から成膜エリア１５に対して交互に投入することを繰り返すことにより、プリント基板４９に対するフォトレジスト剤のコーティングが行われる。
【００３８】
上記した実施例によれば、次のような効果を得ることができる。
まず、それぞれプリント基板４９が着脱可能に装着される第１，第２の搬送体４１，４２を、ワーク着脱エリア１６から成膜エリア１５に対して交互に投入するようにしているので、一方の搬送体に装着したプリント基板４９に対してコーティングをしている間に、ワーク着脱エリア１６において、他方の搬送体から既にコーティングされたプリント基板４９を外すと共に、次にコーティングするプリント基板４９をその搬送体に装着して準備をしておくことができるため、生産効率が高い。
【００３９】
また、搬送体４１，４２に対してプリント基板４９を装着する場所と外す場所とが同じワーク着脱エリア１６で、しかも、ワーク着脱エリア１６は、第１，第２の搬送体４１，４２に対して共通であるから、ワーク装着エリアとワーク外しエリアとが離れている場合とは違い、作業者は一人でよく、効率が良い。
【００４０】
さらに、第１，第２の搬送体４１，４２としては、共通のワーク着脱エリア１６と共通の成膜エリア１５との間で移動させれば良いので、大きなスペースを必要とせず、コンパクトにできる。
【００４１】
そして、第１，第２の搬送体４１，４２を移動させる駆動機構２５を共通としているので、駆動機構をそれぞれに対応して設ける場合に比べて、構成の簡素化を図ることができると共に、コストを極力低減できるようになる。
【００４２】
また、本実施例においては、第１の搬送体４１を案内する第１の案内レール３４と、第２の搬送体４２を案内する第２の案内レール３５とが別々となっている構成であるが、それら第１，第２の搬送体４１，４２のそれぞれの中心Ａ１と、対応する第１，第２の案内レール３４，３５の位置とを横方向にずらしていて、成膜エリア１５において、それら第１，第２の搬送体４１，４２の中心Ａ１が、第１及び第２の案内レール３４及び３５間の中心線Ａ２上を移動する構成としているので、第１，第２の搬送体４１，４２に装着されたプリント基板４９とスプレイガン１４との間の距離を常に一定にすることができ、常に良好にコーティングを行うことができる。
【００４３】
さらに、第１，第２の搬送体４１，４２にロータリアクチュエータ４５を設けていて、装着されたプリント基板４９をスプレイガン１４に対して表裏反転させる構成としているので、プリント基板４９の表裏両面をコーティングする場合でも、一つのスプレイガン１４で対応できる。
【００４４】
本発明は、上記した実施例にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張することができる。
ワーク着脱エリア１６において、第１，第２の搬送体４１，４２の少なくとも一方を退避させるところがあれば、案内手段としては１本のレールとすることもできる。
【００４５】
プリント基板４９とスプレイガン１４との間の距離を一定にする手段としては、スプレイガン１４を、プリント基板４９に対して移動させることで対応することもできる。
ワーク支持具４７に対するプリント基板４９の装着及び外し作業は、人手ではなく、機械で自動的に行う構成とすることもできる。
【００４６】
ワークとしては、プリント基板４９に限られず、パネルなどのようなものでも良く、また、スプレイガン１４によるコーティングに限られず、ワークに対してスクリーン印刷する場合にも適用できる。
【００４７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば次のような効果を得ることができる。
請求項１の成膜装置によれば、第１，第２の搬送体のうちの一方の搬送体に装着したワークに対して成膜している間に、ワーク着脱エリアにおいて、他方の搬送体から既に成膜されたワークを外すと共に、次に成膜するワークをその搬送体に装着しておくことができるため、生産効率が高い。また、搬送体に対してワークを装着する場所と外す場所とが同じワーク着脱エリアで、しかも、ワーク着脱エリアは、第１，第２の搬送体に対して共通であるから、効率が良い。さらに、第１，第２の搬送体としては、共通のワーク着脱エリアと共通の成膜エリアとの間で移動させれば良いので、大きなスペースを必要としない。成膜手段とワークとの間の距離を一定にすることで、ワークに対する成膜を常に良好に行うことが可能になる。
【００４８】
選択連結手段により、第１，第２の搬送体を駆動機構に交互に連結することで、第１，第２の搬送体を、ワーク着脱エリアから成膜エリアに対して交互に投入して、成膜することができ、上記の作用効果を得ることができるようになる。しかも、第１，第２の搬送体を移動させる駆動機構を共通としているので、構成の簡素化を図ることができると共に、コストを極力低減できるようになる。
【００４９】
また、成膜エリアにおいて、第１の搬送体を案内する第１の案内レールと、第２の搬送体を案内する第２の案内レールとが別々にある構成でありながらも、成膜手段とワークとの間の距離を一定にすることで、ワークに対する成膜を常に良好に行うことが可能になる。
【００５０】
請求項２の成膜装置によれば、ワークの表裏両面に成膜する場合でも、成膜手段としては片側のみに設置することで対応できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す平面図
【図２】破断側面図
【図３】横断平面図
【図４】右側から見た要部の拡大縦断側面図
【図５】従来のシステムを説明するための平面図
【図６】他の従来のシステムを説明するための平面図
【符号の説明】
１１は搬送装置、１２はコーティング室、１３は塗装装置、１４はスプレイガン（成膜手段）、１５は成膜エリア、１６はワーク着脱エリア、２１はモータ、２４はチェーン、２５は駆動機構、２７はスライドベース、２９，３０は第１，第２の連結用シリンダ（選択連結手段）、３１，３２は支持レール、３４，３５は第１，第２の案内レール（案内手段）、３６，３７は第１，第２の可動支持体、４１，４２は第１，第２の搬送体、４５はロータリアクチュエータ（反転機構）、４７はワーク支持具、４９はプリント基板（ワーク）を示す。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a film forming apparatus for forming a film on a workpiece such as a substrate.
[0002]
[Problems to be solved by the invention]
For example, when a liquid photoresist agent is coated on a printed circuit board in order to form a solder resist layer on the printed circuit board, a system as shown in FIG. 5 or FIG. 6 is conventionally known.
[0003]
Among these, the thing of FIG. 5 reciprocates the conveyance body (not shown), such as a hanger to which the printed circuit board 1 as a work is detachably attached, between the work attaching / detaching area 2 and the film forming area 3. It has a configuration. In this case, the printed circuit board 1 is mounted on the conveyance body in the work attaching / detaching area 2, and the printed circuit board 1 is moved to the film forming area 3, where the printed circuit board 1 is coated with a photoresist agent, and then printed. The substrate 1 is returned to the work attaching / detaching area 3, the printed circuit board 1 coated with the photoresist agent is removed from the transport body, and the next printed circuit board 1 is repeatedly mounted on the transport body.
[0004]
In FIG. 6, the work mounting area 4, the film formation area 3, and the work removal area 5 are arranged in a line, and the transfer body is sequentially moved in the arrow X direction. In this case, the printed circuit board 1 mounted on the carrier in the work mounting area 4 is coated with a photoresist agent in the film forming area 3, and then removed in the work removing area 5. In the workpiece mounting area 4, the printed circuit board 1 is sequentially mounted on the next transporting body, whereby coating can be continuously performed.
[0005]
However, among those described above, in the case shown in FIG. 5, the next printed circuit board 1 cannot be mounted on the transport body until the printed circuit board 1 mounted on the transport body is coated and removed. Therefore, the production efficiency is poor because the next preparation cannot be made.
[0006]
In the case of the one shown in FIG. 6, since the next printed circuit board 1 can be sequentially mounted and prepared in the workpiece mounting area 4, the production efficiency is better than that described above. However, since the work attachment area 4, the film formation area 3, and the work removal area 5 are arranged in a line, a large space is required in the line direction. In addition, since the workpiece mounting area 4 and the workpiece removal area 5 are separated from each other, an operator is required for each of them, and there is a disadvantage that the efficiency in this aspect is poor.
[0007]
The present invention has been made in view of the above, an object of the production efficiency is high, yet to provide a film forming apparatus capable of a compact structure.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides a first and a second transport body to which a work is detachably mounted, and a common work for attaching and detaching the work to and from the first and second transport bodies. Guide means provided between the attachment / detachment area and a common film formation area for forming a film by spraying the film formation means on the workpiece, and the first and second transport bodies via the guide means. A common drive mechanism for reciprocating movement between a work attaching / detaching area and a film forming area; and a selective connecting means for selectively connecting the first and second transfer bodies to the drive mechanism, the guide means Comprises a first guide rail for guiding the first transport body and a second guide rail for guiding the second transport body, and in the film formation area, between the film forming means and the workpiece. It is characterized in that it is provided with means for making the distances constant .
[0009]
According to the above-described means, while the film is formed on the work mounted on one of the first and second transport bodies, the film is already formed from the other transport body in the work attachment / detachment area. Since the work to be formed can be removed and the work to be deposited next can be mounted on the transfer body, the production efficiency is high. Further, the place where the workpiece is attached to and removed from the carrier is the same workpiece attaching / detaching area, and the workpiece attaching / detaching area is common to the first and second carriers, so that the efficiency is high. Further, since the first and second transfer bodies only need to be moved between the common work attachment / detachment area and the common film formation area, a large space is not required. By making the distance between the film forming means and the workpiece constant, it becomes possible to always perform film formation on the workpiece satisfactorily.
[0011]
In the configuration described above, the first and second transport bodies are alternately connected to the film forming area from the work attaching / detaching area by alternately connecting the first and second transport bodies to the drive mechanism by the selective connecting means. To form a film. In addition, since the drive mechanism for moving the first and second transport members is shared, the configuration can be simplified and the cost can be reduced as much as possible. In the film formation area, the first guide rail for guiding the first transport body and the second guide rail for guiding the second transport body are separately provided, but the film forming means and the workpiece By making the distance between the two constant, film formation on the workpiece can always be performed satisfactorily.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
First, in FIG. 1 to FIG. 3, the conveying device 11 extends in the left-right direction in the figure, and about 2/3 from the left in the longitudinal direction is accommodated in the coating chamber 12, and the remaining part on the right is coated. Projecting from the doorway 12a of the chamber 12 to the outside. A coating device 13 is provided on the inner side of the coating chamber 12 so as to be positioned on one side of the transport device 11, and a spray gun 14 constituting a film forming unit is provided in the coating device 13. . In this case, the spray gun 14 is moved in the vertical direction, and the area that can be coated with the spray gun 14 is defined as a film formation area 15, and the portion protruding from the coating chamber 12 in the transfer device 11 is a workpiece. A detachable area 16 is provided.
[0013]
The transport device 11 is covered with a cover 20. A motor 21 is provided on one side of the end of the transfer device 11 on the workpiece attachment / detachment area 16 side. As shown in FIG. 4, a sprocket wheel 22 is provided on the rotating shaft of the motor 21, and a sprocket wheel 23 is provided on one side of the inner end of the coating chamber 12 in the transport device 11. A chain 24 is stretched between the sprocket wheels 22 and 23. Here, the motor 21, the sprocket wheels 22 and 23, and the chain 24 constitute a drive mechanism 25. The chain 24 is covered with a chain cover 26.
[0014]
A slide base 27 is connected to the chain 24, and the slide base 27 is reciprocated in the left-right direction in FIG. Wheels 28 are attached to the lower part of the slide base 27. On the upper surface side of the slide base 27, there are provided first and second connecting cylinders 29, 30 which are located on both the left and right sides in FIG. These first and second connecting cylinders 29 and 30 have connecting portions 29a and 30a that can move up and down at their upper ends.
[0015]
Support rails 31 and 32 extending along the longitudinal direction are provided on both left and right sides in the width direction of the transport device 11 so as to face each other. A rail support base 33 is provided between the support rails 31 and 32 and above the slide base 27 in a fixed state, and guide means are formed on the rail support base 33. The first and second guide rails 34 and 35 are provided so as to extend along the longitudinal direction of the transport device 11.
[0016]
As shown in FIG. 3, these first and second guide rails 34 and 35 are approaching in a parallel state in the film forming area 15, gradually becoming separated in the vicinity of the entrance 12a of the coating chamber 12, and The workpiece attachment / detachment area 16 is in a parallel state and is separated from the film formation area 15 by a larger distance.
[0017]
The support rails 31 and 32 are provided with first and second movable support bodies 36 and 37 movably along the support rails 31 and 32. The first and second movable supports 36 and 37 are provided with two support bars 38 and 38 in parallel. The front end portion of each support bar 38 extends to a substantially central portion between the first and second guide rails 34 and 35.
[0018]
The first transport body 41 is supported by both support bars 38, 38 of the first movable support body 36, and the second transport body 42 is supported by both support bars 38, 38 of the second movable support body 37. Is supported. Since the first transport body 41 and the second transport body 42 have the same configuration except that the shapes are bilaterally symmetrical, the configuration on the first transport body 41 side will be described as a representative.
[0019]
The first transport body 41 is provided with a base 43, two cylindrical portions 44, 44 provided in a fixed state on the base 43, and between the cylindrical portions 44, 44 provided in a fixed state on the base 43. A rotary actuator 45 having a rotation shaft 45a at the upper end, a support 46 connected to the rotation shaft 45a of the rotary actuator 45, and a work support 47 connected to the upper end of the support 46. And a pair of rollers 48 and 48 provided at the lower portion of the base 43 and arranged so as to sandwich the corresponding first guide rail 34 from both sides. By relatively inserting the support bars 38, 38, the support bars 38, 38 are supported so as to be movable in the axial direction.
[0020]
Here, the workpiece support 47 has a U-shape with an open top, and is configured such that a printed circuit board 49 as a workpiece is detachably mounted from above. The rotary actuator 45 is configured to rotate the printed circuit board 49 in a horizontal plane via the work support 47, and configures a reversing mechanism for reversing the printed circuit board 49 with respect to the spray gun 14. is doing.
[0021]
In this case, when the first movable support body 36 moves along the support rail 31, the first transport body 41 is supported together with the first movable support body 36 via the support bars 38 and 38. , And along the lateral bending of the first guide rail 34, it moves in the axial direction with respect to the support bar 38 and consequently moves along the first guide rail 34. In this case, as shown in FIG. 4, the center A <b> 1 of the first transport body 41 (in this case, the center of the rotation shaft 45 a of the rotary actuator 45) is the second guide rail 34 with respect to the second guide rail 34. In a state where the first transfer body 41 is shifted by the dimension B toward the guide rail 35 and the first transfer body 41 moves in the film forming area 15, the center A1 of the first transfer body 41 is the same as the first guide rail 34 and the second guide rail 34. It is located on the center line A2 (see FIG. 3) between the guide rail 35 and the guide rail 35.
[0022]
The second transport body 42 has the same configuration as the first transport body 41 described above, and when the second movable support body 37 moves along the support rail 32, the second transport body 42 It moves along the support rail 32 together with the second movable support 37 via the support bars 38 of the second movable support 37, and the support bar 38 along the lateral bending of the second guide rail 35. And move along the second guide rail 35 as a result. Further, the center A1 of the second transport body 42 (the center of the rotation shaft 45a of the rotary actuator 45) is shifted from the second guide rail 35 by the dimension B toward the first guide rail 34 (see FIG. 4), in a state where the second transport body 42 moves in the film forming area 15, the center A1 of the second transport body 42 is the center between the first guide rail 34 and the second guide rail 35. It is located on line A2.
[0023]
Each work support 47 of the first and second transport bodies 41 and 42 protrudes upward from the cover 20 in the transport apparatus 11, and the cover 20 has first and second as shown in FIG. An opening 50 is formed in a Y shape along the movement trajectory of each support 46 of the transport bodies 41 and 42.
[0024]
Next, the case where the printed circuit board 49 is coated with, for example, a photoresist agent in the above configuration will be described.
Now, suppose that the 1st, 2nd conveyance bodies 41 and 42 and the slide base 27 exist in the workpiece | work attachment / detachment area 16 as shown with a continuous line in FIG.1, FIG2 and FIG.3. In this state, first, the printed circuit board 49 is mounted on the work support 47 of the first transport body 41.
[0025]
Then, when one of the first connecting cylinders 29 on the slide base 27 is driven, the connecting portion 29a rises and the corresponding first movable support 36 is connected (see FIG. 4). In this case, the connecting portion 30a of the second connecting cylinder 30 is separated from the corresponding second movable support member 37 and is not connected.
[0026]
In this state, when the slide base 27 is moved in the direction of the arrow C in FIGS. 1 to 3 by the drive mechanism 25, the first movable support 36 is moved in the direction of the arrow C via the first connecting cylinder 29. Moved to. Along with the movement of the first movable support 36, the first transport body 41 is moved along the first guide rail 34 in the direction of arrow C via the support bars 38, 38. A printed circuit board 49 mounted on the tool 47 is put into the coating chamber 12 through the entrance 12a.
[0027]
When the printed board 49 enters the film formation area 15, the spray gun 14 coats a photoresist agent on one side of the printed board 49. At this time, the printed circuit board 49 moves in the direction of arrow C along the center line A2 (see FIG. 3) between the first guide rail 34 and the second guide rail 35.
[0028]
When the first conveyance body 41 reaches the innermost position (see the two-dot chain line in FIGS. 1 to 3) and the coating of the photoresist agent on one surface of the printed circuit board 49 is completed, the rotary actuator 45 is driven, The printed circuit board 49 together with the support 47 is turned upside down with respect to the spray gun 14. Then, the first transport body 41 is sequentially moved in the direction of the arrow D opposite to the arrow C, and the remaining one side of the printed circuit board 49 is coated with the photoresist agent by the spray gun 14. Also at this time, the printed circuit board 49 moves along the center line A <b> 2 between the first guide rail 34 and the second guide rail 35.
[0029]
When the coating of the photoresist agent on the printed circuit board 49 is completed, the printed circuit board 49 is transported from the doorway 12a to the workpiece attaching / detaching area 16 as the first transport body 41 moves.
[0030]
In this manner, while the photoresist agent is coated on the printed circuit board 49 mounted on the first transport body 41, the work support 47 of the second transport body 42 is placed next to the work attachment / detachment area 16. A printed circuit board 49 is mounted and prepared.
[0031]
When the printed circuit board 49 mounted on the first transport body 41 returns to the workpiece attachment / detachment area 16, the connection portion 29a of the first connection cylinder 29 is lowered, and the connection portion 29a and the first movable support body 36 are lowered. While releasing the connection, the connecting portion 30 a of the second connecting cylinder 30 is raised and the connecting portion 30 a is connected to the second movable support body 37.
[0032]
In this state, when the slide base 27 is moved in the direction of arrow C in FIGS. 1 to 3 by the drive mechanism 25, the second movable support body 37 is now moved through the second connecting cylinder 30. As the second movable support 37 is moved, the second transport body 42 is moved along the second guide rail 35 in the arrow C direction along with the movement of the second movable support 37. Accordingly, the printed circuit board 49 mounted on the work support 47 is introduced into the coating chamber 12 through the entrance 12a.
[0033]
As in the case described above, when the printed circuit board 49 enters the film formation area 15, a photoresist agent is coated on one surface of the printed circuit board 49 by the spray gun 14. Also at this time, the printed circuit board 49 moves along the center line A <b> 2 between the first guide rail 34 and the second guide rail 35.
[0034]
When the second transport body 42 reaches the innermost position and the coating of the photoresist agent on one side of the printed circuit board 49 is completed, the rotary actuator 45 is driven, and the printed circuit board 49 together with the work support 47 is moved to the spray gun 14. Is reversed. Then, the second transfer body 42 is sequentially moved in the direction of arrow D, and the remaining one side of the printed circuit board 49 is coated with the photoresist agent by the spray gun 14. Also at this time, the printed circuit board 49 moves along the center line A <b> 2 between the first guide rail 34 and the second guide rail 35.
[0035]
When the coating of the photoresist agent on the printed circuit board 49 is completed, the printed circuit board 49 is transported from the doorway 12a to the workpiece attaching / detaching area 16 as the second transport body 42 moves.
[0036]
In this way, while the photoresist agent is coated on the printed circuit board 49 mounted on the second transport body 42, the printed circuit board 49 that has already been coated with the photoresist agent is removed from the work attachment / detachment area 16. While removing from the 1st conveyance body 41, the next printed circuit board 49 is mounted | worn with the workpiece support 47, and the next preparation is carried out.
[0037]
In this way, the first and second transport bodies 41 and 42 are alternately put into the film forming area 15 from the work attaching / detaching area 16, thereby coating the printed circuit board 49 with the photoresist agent. Done.
[0038]
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
First, since the first and second transport bodies 41 and 42 to which the printed circuit board 49 is detachably mounted are alternately inserted from the work attaching / detaching area 16 to the film forming area 15, While coating the printed circuit board 49 mounted on the transport body, in the work attachment / detachment area 16, the already-printed printed circuit board 49 is removed from the other transport body and the next printed circuit board 49 to be coated is removed. Production efficiency is high because it can be prepared by being mounted on the carrier.
[0039]
Further, the place where the printed circuit board 49 is attached to and removed from the conveyance bodies 41 and 42 is the same workpiece attachment / detachment area 16, and the workpiece attachment / detachment area 16 is located with respect to the first and second conveyance bodies 41 and 42. Therefore, unlike the case where the work attachment area and the work removal area are separated from each other, only one worker is required and the efficiency is high.
[0040]
Further, since the first and second transfer bodies 41 and 42 may be moved between the common work attaching / detaching area 16 and the common film forming area 15, a large space is not required and the apparatus can be made compact. .
[0041]
And since the drive mechanism 25 for moving the first and second transport bodies 41 and 42 is made common, the configuration can be simplified as compared with the case where the drive mechanisms are provided correspondingly, respectively. Cost can be reduced as much as possible.
[0042]
In the present embodiment, the first guide rail 34 that guides the first transport body 41 and the second guide rail 35 that guides the second transport body 42 are separate. However, the center A1 of each of the first and second transport bodies 41 and 42 and the position of the corresponding first and second guide rails 34 and 35 are shifted laterally in the film formation area 15. Since the center A1 of the first and second transport bodies 41 and 42 moves on the center line A2 between the first and second guide rails 34 and 35, the first and second transport bodies The distance between the printed circuit board 49 mounted on the bodies 41 and 42 and the spray gun 14 can be always constant, and coating can be always performed satisfactorily.
[0043]
Further, the rotary actuator 45 is provided on the first and second transport bodies 41 and 42 so that the mounted printed circuit board 49 is turned upside down with respect to the spray gun 14. Even in the case of coating, a single spray gun 14 can be used.
[0044]
The present invention is not limited to the embodiments described above, and can be modified or expanded as follows.
If there is a place where at least one of the first and second transport bodies 41 and 42 is retracted in the work attaching / detaching area 16, a single rail can be used as the guiding means.
[0045]
As means for making the distance between the printed circuit board 49 and the spray gun 14 constant, it is possible to cope by moving the spray gun 14 with respect to the printed circuit board 49.
The mounting and removing work of the printed circuit board 49 with respect to the work support 47 can be automatically performed by a machine instead of by hand.
[0046]
The work is not limited to the printed circuit board 49 but may be a panel or the like. The work is not limited to coating with the spray gun 14 and can be applied to screen printing on the work.
[0047]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, the following effects can be obtained according to the present invention.
According to the film forming apparatus of claim 1, while the film is formed on the work attached to one of the first and second transport bodies, the other transport body is provided in the work attaching / detaching area. Since the workpieces that have already been deposited can be removed and the workpiece to be deposited next can be mounted on the carrier, the production efficiency is high. Further, the place where the workpiece is attached to and removed from the carrier is the same workpiece attaching / detaching area, and the workpiece attaching / detaching area is common to the first and second carriers, so that the efficiency is high. Further, since the first and second transfer bodies only need to be moved between the common work attachment / detachment area and the common film formation area, a large space is not required. By making the distance between the film forming means and the workpiece constant, it becomes possible to always perform film formation on the workpiece favorably.
[0048]
By selecting coupling means, first, by alternately connected to the second conveyance member drive mechanism, the first, second carrier, it was put from the work detachable area alternately to the deposition area Thus, a film can be formed, and the above-described effects can be obtained. In addition, since the drive mechanism for moving the first and second transport members is shared, the configuration can be simplified and the cost can be reduced as much as possible.
[0049]
In the film formation area, the first guide rail that guides the first transport body and the second guide rail that guides the second transport body are separately provided, By making the distance between the workpieces constant, it is possible to always perform film formation on the workpieces satisfactorily.
[0050]
According to the film forming apparatus of the second aspect , even when the film is formed on both the front and back surfaces of the work, the film forming means can be dealt with by installing only on one side.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cutaway side view. FIG. 3 is a cross-sectional plan view. FIG. FIG. 6 is a plan view for explaining another conventional system.
11 is a transfer device, 12 is a coating chamber, 13 is a coating device, 14 is a spray gun (film forming means), 15 is a film forming area, 16 is a work attaching / detaching area, 21 is a motor, 24 is a chain, 25 is a drive mechanism, 27 is a slide base, 29 and 30 are first and second connecting cylinders (selective connecting means), 31 and 32 are support rails, 34 and 35 are first and second guide rails (guide means), 36, Reference numeral 37 denotes first and second movable supports, 41 and 42 denote first and second transport bodies, 45 denotes a rotary actuator (reversing mechanism), 47 denotes a work support, and 49 denotes a printed circuit board (work).

Claims

ワークが着脱可能に装着される第１，第２の搬送体と、
これら第１，第２の搬送体に対してワークを着脱する共通のワーク着脱エリアとワークに対して成膜手段のスプレイにより成膜する共通の成膜エリアとの間に設けられた案内手段と、
前記第１，第２の搬送体を、前記案内手段を介して前記ワーク着脱エリアと成膜エリアとの間で往復移動させる共通の駆動機構と、
前記第１，第２の搬送体を前記駆動機構に選択的に連結する選択連結手段とを具備し、
前記案内手段は、第１の搬送体を案内する第１の案内レールと第２の搬送体を案内する第２の案内レールとを備えていて、前記成膜エリアにおいて、前記成膜手段とワークとの間の距離を一定にする手段を備えたことを特徴とする成膜装置。 A first and a second transport body on which a workpiece is detachably mounted;
Guide means provided between a common work attachment / detachment area for attaching / detaching the work to / from the first and second transport bodies and a common film formation area for forming a film by spraying the film formation means with respect to the work; ,
A common drive mechanism for reciprocally moving the first and second transfer bodies between the work attaching / detaching area and the film forming area via the guide means;
Selective connection means for selectively connecting the first and second transport members to the drive mechanism;
The guide means includes a first guide rail for guiding the first transport body and a second guide rail for guiding the second transport body. In the film formation area, the film formation means and the workpiece are provided. A film forming apparatus comprising means for making the distance between the head and the head constant .

第１，第２の搬送体は、装着されたワークを成膜手段に対して反転させる反転機構を備えていることを特徴とする請求項１記載の成膜装置。 2. The film forming apparatus according to claim 1, wherein the first and second transfer bodies are provided with a reversing mechanism for reversing the mounted work with respect to the film forming means .