JP4145701B2 - Air purification device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、湿式の空気浄化装置において、装置内を無菌に保持する空気浄化装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、液晶工場等に備えられているクリーンルームでは、クリーンルーム内の汚染空気を空気浄化装置を介して浄化し、循環利用する方法が一般に用いられている。このような中、空気浄化装置には、湿式浄化法が備えられる場合が多い。該湿式浄化法は、特許文献1に示すように、クリーンルーム内の汚染空気中に存在する特有の汚染物質を、液剤と接触させて除去することにより汚染空気を浄化する方法であり、浄化した汚染空気は浄化空気としてクリーンルームに循環されるものである。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−33221号公報(p4、図1参照)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような湿式浄化法を備えた空気浄化装置では、クリーンルームより取り込んだ汚染空気や、汚染空気中の汚染物質に接触させる液剤から装置内に微生物が侵入し、さらに繁殖する場合が多い。
【0005】
上記事情に鑑み、本発明は、装置内への微生物の侵入、及び微生物の繁殖を抑制し、無菌状態を保持することの可能な空気浄化装置を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の空気浄化装置は、汚染空気中の汚染物質を液剤に吸収させて、汚染空気を浄化する湿式の空気浄化装置本体と、該空気浄化装置本体の側面下部に備えられた送風口に連通されて、空気浄化装置本体の内方に汚染空気を送入する送風装置と、該空気浄化装置本体の上部に備えられた開口部に連通されて、空気浄化装置本体により浄化された汚染空気を浄化空気として外方に排気する排気装置を備える空気浄化装置であって、該空気浄化装置本体は、内方を水平に塞ぐようにして、前記送風口の上方より前記開口部に向かって順に配される、充填材、前記液剤を充填材に散水する第1の散水ノズル、及び汚染空気中の液滴を除去するデミスタと、前記空気浄化装置本体の底部に配置され、液剤が貯留する液槽よりなる洗浄部を備えてなり、前記第1の散水ノズルには、液剤を除菌する水用ろ過フィルタが備えられるとともに、前記送風装置及び前記排気装置の各々には、内方断面を塞ぐように抗菌フィルタが備えられて、空気浄化装置本体の内方に無菌空間が形成され、かつ、前記空気浄化装置本体には、前記洗浄部の上部に位置する前記デミスタのさらに上方位置から殺菌水を散布するための第2の散水ノズルが設置されていて、前記第1の散水ノズルによる液剤の散水と前記第2の散水ノズルによる殺菌水の散布とが切り替え可能に構成されていることを特徴としている。
【0007】
請求項2記載の空気浄化装置は、前記充填材が、前記空気浄化装置本体に対して着脱可能で、かつ上下端面が開口しているユニットケースと、該ユニットケースの内方に立設した状態で充填される複数の充填材本体により構成されることを特徴としている。
【0008】
請求項3記載の空気浄化装置は、前記充填材本体が、表裏面に水平軸から45°の一方向の波紋が形成されるステンレス金網と、該ステンレス金網の表面全面に固着手段を介して固定され、耐久性、耐薬品性及び親水性を備える表面積の大きい表面材により構成されるとともに、外形状を前記ユニットケースの垂直方向の内断面と同様に成形しており、水平軸から45°の一方向に波紋が形成された充填材本体と、これと直交する方向に波紋が形成された充填材本体とを、前記ユニットケースの内方に、表面を同一方向に向けて面どうしが接するように交互に配置することを特徴としている。
【0009】
請求項4記載の空気浄化装置は、前記充填材本体が、前記ステンレス金網の表裏面に前記表面材を固着手段を介して固定されることにより成形されており、水平軸から45°の一方向に波紋が形成された複数の該充填材本体を、前記ユニットケースの内方に、面どうしが接するように表裏面を交互に配置することを特徴としている。
【0011】
請求項5記載の空気浄化装置は、前記液槽に貯留した貯留液を排水する排水管には、貯留液中の粒子を粒径別に測定する微生物モニタリング装置が備えられることを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の空気浄化装置は、空気浄化装置本体内へクリーンルームの汚染空気を供給する送風装置に、抗菌フィルタを備えるとともに、空気浄化装置本体内で汚染空気中の汚染物質を除去する際に用いられる液剤を散布する散布ノズルに、水用ろ過フィルタを備えることにより、空気浄化装置本体内に無菌空間を形成し、微生物の侵入や繁殖を抑制するものである。
【0013】
図1に示すように、空気浄化装置1は、空気浄化装置本体2と、送風装置16と、排気装置15とにより構成されている。空気浄化装置本体2は、クリーンルーム内の汚染空気21に含まれる汚染物質を、液剤を用いて除去する湿式浄化法に準ずる洗浄部7を備えるものであり、一般に用いられているものと同様の筒型塔形状の外殻3に覆われている。
該外殻3の天端には、開口部4が設けられており、該開口部4は、前記洗浄部7で浄化された浄化空気22をクリーンルームに排出する排気装置15と連通している。該排気装置15は、排気送風ファン15a、加熱コイル15b、及び抗菌フィルタ15cを備えてなり、抗菌フィルタ15cは、通過する浄化空気22に微生物が含まれる場合にこの微生物を除去するものであり、加熱コイル15bは、通過する浄化空気22をクリーンルームに要求される所定温度に加熱するものであり、排気送風ファン15aは、これらの後処理を終了した浄化空気22をクリーンルーム内に均一に排気するものである。
【0014】
前記外殻3の中間部には、上方にデミスタ8が、内方を塞ぐように水平に配置されており、下方向に向かって順に、第1の散水ノズル9、充填材10、整流用孔開板13が配置され、外殻3の底部に液槽6が備えられて前記洗浄部7が構成されている。
前記デミスタ8は、一般に微細な液滴の発生を伴う処理ガス中の液滴を除去する部材として用いられているもので、例えばステンレス繊維やガラス繊維等を網目状に重ねる、またはポリプロピレン繊維等をろ布状に織る等の加工を施すことにより成形されるものである。
【0015】
また、前記第1の散水ノズル9は、汚染空気21中に含まれる汚染物質を吸収する液剤18を、前記外殻3の内方に散水するもので、散水される液剤18は、汚染空気21に含まれる汚染物質の種類に応じて、水、アルカリ性液剤、酸性液剤等が用いられている。これらの液剤18は、第1の散水ノズル9に直結された貯水槽14に貯留されており、前記第1の散水ノズル9に備えられた水用ろ過フィルター9aを介して除菌された後、外殻3に供給される。
ここで、該水用ろ過フィルター9aは、一般に液体内に残存する微生物を除去する機能を有するもので、本実施の形態では、ろ過径を段階的に小さくした複数の水用ろ過フィルター9aを第1の散水ノズル9に備える構成としている。このとき、一般的に細菌や真菌類は、0.5μm以上の粒径を有する物質として知られているため、水用ろ過フィルター9aの最終のろ過径を0.1μmに設定すれば、液剤18の微生物は完全に除去できる。
なお、前記第1の散水ノズル9では、液剤18を循環利用させることなく、前記貯水槽14により供給された液剤18のみを散水する構成としている。
【0016】
次に、前記充填材10は、前記液剤18と汚染空気21との接触効率を向上することを目的に用いられるもので、図2に示すように、ユニットケース11と、ユニットケース11に充填される複数の充填材本体12により構成されている。該ユニットケース11は、上面及び下面を開放された枠状であり、かつ前記外殻3の内方に合致する平面視形状を有しており、一部が開放可能で内方に充填する充填材本体12の出し入れが自在な構成を有している。
また、充填材本体12は、上方に位置する前記第1の散水ノズル9より散水された粒径状の液剤18が表面に付着しやすいように、親水性でかつ表面積が大きく形成されており、酸、アルカリ、有機ガスに触れても分解したり脆弱になることのない耐久性があり、また耐薬品性を有するだけでなく、自身からも汚染物を発生しない材料であれば、何れを用いても良い。さらに、充填材本体12が抗菌性を有していれば、より好ましい。
【0017】
本実施の形態において、充填材本体12は、図3(a)に示すように、表面積を大きくすることを目的にハニカム状に織った親水性のポリエステル布を表面材12aとし、これを同じく表面積を大きくすることを目的に表裏面に波紋が形成された板状のステンレス金網12bの表面全面に、融着または縫製などの固着手段を介して一体的に固定することにより構成されている。また、該充填材本体12の外形状は、平面視が前記ユニットケース11の内断面形状と同様で、かつ波紋が水平軸より45°の一方向に傾斜して表裏面に配置されるように成形されている。
【0018】
上述する充填材本体12は、図2(a)に示すように、表面から見て波紋が水平軸より45°の一方向に傾斜して配置されているものと、これと直交する方向に波紋が配置されているものの2種類を製作されている。これら充填材本体12a及び充填材本体12bを、表面を同一方向に向けた状態で面どうしが接するように交互に積層し、垂直に配置してユニットケース11の内方を充填することにより、充填材10が構成されるものである。
このように構成された充填材10は、所定の層厚を持って外殻3の内方を水平に塞ぐように配置されるが、微生物が繁殖した際に、洗浄及び殺菌作業を実施できるよう、外殻3に対して着脱可能に構成されている。
【0019】
なお、本実施の形態において、前記充填材本体12は、ステンレス金網12bの表面にのみ表面材12aを固着する構成を示したが、必ずしもこれにこだわるものではなく、図3(b)に示すように、ステンレス金網12bの表裏面の両者に表面材12aを固着する構成としても良い。この場合には、ユニットケース11の内方を充填する際に、複数の充填材本体12を表裏面を交互に配置した上で、面どうしが接するようにこれらを垂直に配置すればよい。
また、本実施の形態では、ユニットケース11が長方体に形成されているが、必ずしもこれにこだわるものではなく、外殻3の内方を水平に塞ぐように配置でき、かつ着脱自在とすることが可能であれば、何れの形状に製作しても良い。これに伴い、前記充填材本体12もユニットケース11の内断面形状に合わせてその形状を変化させるものである。
【0020】
上述する構成の充填材10は、図2(b)に示すように、隣り合う充填材本体12どうしが、直交して配された波紋の頂部どうしで点状に当接する構成となっている。このため、前記第1の散水ノズル9より液剤18が散布されると、ある波紋の頂部を流れる液剤18が、当接点で移流して隣接する頂部に拡散し、充填材本体12の表面全体に、均一に水膜を形成するができるものである。
また、前記充填材本体12は、前記表面材12aをステンレス金網12bに縫製により固着する場合において、図3(a)(b)に示すように、波紋の溝部12cに沿って縫い合わせを行うことにより、波紋の溝部を流れる液剤18を充填材本体12全体に拡散させて広い範囲にわたり水膜を形成でき、充填材本体12の表面全体に対してより均一に水膜を形成することができる。
【0021】
次に、洗浄部7を構成する前記液槽6は、汚染空気21に含まれる汚染物質を吸収し、前記充填材10を構成する充填材本体12の表裏面を重力に従い流下した液剤18を、貯留液剤19として一次貯留するものである。該液槽6には、貯留液剤19を排水する排水管6aが備えられており、排水された貯留液剤19は、図示しない有機排水処理槽で処理されることとなる。
【0022】
一方、外殻3の下方で前記液槽6よりやや上部の側方には、送風口5が設けられており、該送風口5には、前記送風装置16が連通されている。該送風装置16は、外殻3の送風口5に一方の端部が固着され、外殻3と連通する送風管17と、該送風管17の内方に備えられ、内断面を塞ぐように配される冷却コイル17a、及び抗菌フィルタ17bにより構成されている。
このような送風装置16は、クリーンルーム内の汚染空気21を送風管17の内方に取り込み、前記冷却コイル17aを介して冷却した後、抗菌フィルタ17bを介して汚染空気21中の微生物を除去した上で、空気浄化装置本体2の内方に汚染空気21を送入する。
【0023】
このように、前記空気浄化装置1は、空気浄化装置本体2を構成する外殻3の送風口5に連通する送風装置16に抗菌フィルタ17bが備えられ、外殻3の開口部4に連通する排気装置15に抗菌フィルタ15cが備えられ、前記第1の散水ノズル9には、水用ろ過フィルタ9aが備えられることから、空気浄化装置本体2の内方には、完全な無菌空間が形成されることとなる。
【0024】
上述する構成の空気浄化装置1を用いた汚染空気21の浄化手順を、図1を参照しながら以下に詳述する。工場等で排出された汚染空気21は、前記送風装置16の送風管17に取り込まれて水平流となり、冷却コイル17aにより冷却されるとともに、抗菌フィルタ17bを通過して微生物を除去された上で、空気浄化装置本体2を構成する外殻3の下方に設けられた送風口5より、内方へ送入される。
【0025】
該外殻3の内方へ送入された汚染空気21は上昇し、前記整流用孔開板13を通過することにより整流化された上で、充填材10を通過する。このとき、該充填材10を構成する充填材本体12の表面には、第1の散水ノズル9より散水された粒状の液剤18が付着して表面に水膜が形成されており、充填材10を通過する汚染空気21はこの水膜に効率よく気液接触し、汚染空気21中の汚染物質が水膜を形成している液剤18に移行する。
さらに充填材10を通過し上昇した汚染空気21は、再度第1の散水ノズル9より散水された粒状の液剤18に直に気液接触し、汚染空気21中に残留する汚染物質が移行し、汚染空気21は浄化される。
【0026】
これらの工程を経て浄化された浄化空気22は、液剤18による液滴をデミスタ8に捕集された上で、外殻3の上方に設けられた開口部4より排気装置15に排気され、抗菌フィルタ15cを通過して再度除菌するとともに、加熱コイル15bを介して所望の温度に加熱された後、排気送風ファン15aを用いて外方へ排気される。
【0027】
ところで、図1に示すように、前記液槽6に備えられた排水管6aには、液槽6の貯留液剤19をモニタリングするモニタリング装置24が備えられている。該モニタリング装置24には、水中の粒子を粒径別に測定できる計測機器24a、ドレン槽24b及び栄養剤タンク24cが備えられており、ドレン槽24bに排水管6aを流下する貯留液剤19を一次貯留し、これに栄養剤タンク24cから無菌の栄養を添加した状態で無菌の空気を暴気して酸素を供給し、一定時間放置する。この後、ドレン槽24bに一次貯留した貯留液剤19の濁りを計測機器24aで測定することにより、水中の粒子を粒径別に測定する。このような方法により、一般的に0.5μ以上の粒径を有する物質として知られている細菌や真菌類を検知するものである。
なお、モニタリング装置24は必ずしもこれにこだわるものではなく、貯留液剤19中に残存する粒子を粒径別に測定し、細菌や真菌類を検知できる装置であれば、何れを用いる構成としても良い。
【0028】
また、前記外殻3の内方で、前記デミスタ8の上方には、第2の散水ノズル23が備えられている。該第2の散水ノズル23は、前記外殻3の内方全体に殺菌水20を散布し、外殻3の内方に流入、もしくは繁殖した微生物を死滅させるものである。ここで、殺菌水20は、前記貯水槽14に備えられた殺菌薬剤用タンク14aより、貯水槽14に殺菌薬剤20aが供給されることにより、液剤18と混ざり合って生成されるもので、該第2の散水ノズル23は、貯水槽14に連結されている。なお、本実施の形態において、殺菌水20には1.0〜5.0%濃度の過酸化水素水を用いている。
【0029】
これら第2の散水ノズル23及びモニタリング装置24を用いた空気浄化装置本体2の除菌方法を以下に示す。
まず、前記モニタリング装置24により、前記貯留液剤19中の微生物を確認し、確認された場合には、前記汚染空気21の浄化作業を速やかに中断し、前記貯水槽14に殺菌薬剤用タンク14aより殺菌薬剤20aを供給して液剤18から殺菌水20を生成する。この後、前記貯水槽14との連結を第1の散水ノズル9から第2の散水ノズル23に切り替えて、外殻3の内方に第2の散水ノズル23を介して殺菌水20を散布する。
【0030】
これら散布された殺菌水20は、外殻3の内壁のみならず、デミスタ8、第1の散水ノズル9、充填材10、及び整流用孔開板13を除菌しながら流下し、前記液槽6に一次貯留され、前記排水管6aを介して排水される。排水された貯留液剤19を前記モニタリング装置24を用いてモニタリングし、微生物が除菌されたことを確認した時点で、第2の散水ノズル23による殺菌水20の散布を中止する。
この後、前記貯水槽14の殺菌水20を廃棄し、液剤18に切り返えた後、前記貯水槽14との連結を第2の散水ノズル23から第1の散水ノズル9に切り替えて、外殻3の内方に第1の散水ノズル9を介して液剤18を散布し、汚染空気21の浄化作業を再開する。
【0031】
なお、前記第2の散水ノズル23を用いた前記外殻3への殺菌水20の散布作業は、必ずしも上述するようなモニタリング装置24により微生物が確認された後のみに行うものではなく、空気浄化装置1の稼働にあたり、事前に実施しても良く、事前の殺菌作業は、より外殻3の内方への微生物の繁殖を抑制することができるものである。
【0032】
これらの効果を把握すべく、本実施の形態で示した空気浄化装置1を用いて、汚染空気21中の汚染物質の除去率を算定した。なお、諸条件としては、前記汚染空気21の流入風速を1.5m/s、空気浄化装置本体2に備えられた外殻3の断面積を0.3×0.3m、充填材10の部材厚を1.0m、液剤18の液ガス比を0.12kg/m3 として設定した場合を想定している。
その結果、空気浄化装置1は、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合ガスが汚染物質として含まれている汚染空気21に対して、これら汚染物質を89.2〜99.0%程度まで除去できることが確認された。
なお、このとき、空気浄化装置本体2は、事前に第2の散水ノズル23より外殻3の内方に殺菌水20を散布して、除菌作業を終了した後に作業を行っている。また、第1の散水ノズル9には、10μm、0.5μm、0.2μmの3段階の水用ろ過フィルター9aを備えることとし、前記液剤18は、これらを順に通過して微生物を事前に除去している。このため、上述する条件で2週間にわたり空気浄化装置1を連続運転したが、前記モニタリング装置24で微生物を検知することはなかった。
【0033】
上述する構成によれば、前記空気浄化装置1は、第1の散水ノズル9に前記液剤18に含まれる微生物を事前に除去するための水用ろ過フィルター9aが備えられるとともに、前記汚染空気21の供給口である送風装置16に、汚染空気21に含まれる微生物を事前に除去する抗菌フィルタ17bが備えられていることから、外部から空気浄化装置本体2の内方への微生物の侵入を事前に防ぐ無菌空間を形成することができ、前記空気浄化装置本体2内への微生物の侵入や繁殖を抑制することが可能となる。
また、空気浄化装置本体2で微生物が発生した場合にも、排気装置15に抗菌フィルタ15cが備えられているため、浄化空気22は該抗菌フィルタ15cを通過して微生物を除去された上でクリーンルームに排気されることとなり、クリーンルームを汚染することはない。
さらに、空気浄化装置1の洗浄部7は、上方から前記液剤18を散布して、充填材10の表面に水膜を形成させ、該充填材10の下方より上方に向けて汚染空気を通過させることにより、水膜に汚染空気を接触させて汚染物質を吸収させる、いわゆる濡面式除去方法であるため、汚染空気と水が対向流で接触するため、汚染物質の除去に際し高い除去効率を維持することが可能となる。
【0034】
前記空気浄化装置本体2に備えられた充填材10は、複数の充填材本体12とこれを格納するユニットケース11により構成されており、空気浄化装置本体2に対して着脱可能に構成されていることから、微生物の繁殖が見られた際にも容易に充填材本体12に至るまで清掃を実施することができるため、メンテナンスの煩雑性を回避できるとともに、メンテナンスに係るコストを大幅に削減することが可能となる。
【0035】
前記充填材本体12は、表裏面に波紋が形成されたステンレス金網12bの表面に、耐久性、耐薬品性、及び親水性を備える表面積の大きい表面材12aを一体的に固着手段を介して固定することにより形成され、ユニットケース11の内方に、波紋が水平軸45°の一方向に配される充填材本体12と、これと直交するように波紋が配された充填材本体12を製作し、これらを面どうしが接するように表面を同一方向に向けて交互に配置した。これにより、隣り合う充填材本体12は、波紋の頂部どうしが点で当接するため、波紋の頂部を上方向から下方向に流下した液剤18は、当接部で移流して拡散し、充填材本体12の全体に均一な水膜を形成することが可能となる。
【0036】
また、前記充填材本体12をステンレス金網12bの表裏面に表面材12aを固定すれば、波紋が上下端面から一方の45°方向に配されるものと、これと直交する方向に波紋が配されるものの2種類を製作する必要がなく、充填材本体12の製作を簡略化することが可能となる。
【0037】
さらに、前記外殻3における洗浄部7の上方には、第2の散水ノズル23が備えられており、前記外殻3の内方に殺菌水20を散水することから、前記空気浄化装置本体2の内方に微生物が侵入、もしくは繁殖した際にも容易に滅菌作業を実施することが可能となる。また、汚染空気21の浄化作業の事前に、第2の散水ノズル23を用いて除菌作業を実施しておくことにより、外殻3の内方における微生物の繁殖をより効果的に抑制することが可能となる。
【0038】
また、前記空気浄化装置本体2の底部に備えられた液槽6の排水管6aには、水中の粒子を粒径別に測定するモニタリング装置24が備えられていることから、液槽6に一次貯留された貯留液剤19中に繁殖する微生物の有無を検知でき、容易に空気浄化装置本体2の清掃の必要性を判断することができる。
【0039】
【発明の効果】
請求項1記載の空気浄化装置によれば、汚染空気中の汚染物質を液剤に吸収させて、汚染空気を浄化する湿式の空気浄化装置本体と、該空気浄化装置本体の側面下部に備えられた送風口に連通されて、空気浄化装置本体の内方に汚染空気を送入する送風装置と、該空気浄化装置本体の上部に備えられた開口部に連通されて、空気浄化装置本体により浄化された汚染空気を浄化空気として外方に排気する排気装置を備える空気浄化装置であって、該空気浄化装置本体は、内方を水平に塞ぐようにして、前記送風口の上方より前記開口部に向かって順に配される、充填材、前記液剤を充填材に散水する第1の散水ノズル、及び汚染空気中の液滴を除去するデミスタと、前記空気浄化装置本体の底部に配置され、液剤が貯留する液槽よりなる洗浄部を備えてなり、前記第1の散水ノズルには、液剤を除菌する水用ろ過フィルタが備えられるとともに、前記送風装置及び前記排気装置の各々には、内方断面を塞ぐように抗菌フィルタが備えられて、空気浄化装置本体の内方に無菌空間が形成され、かつ、前記空気浄化装置本体には、前記洗浄部の最上部に位置する前記デミスタのさらに上方位置から殺菌水を散布するための第2の散水ノズルが設置されていて、前記第1の散水ノズルによる液剤の散水と前記第2の散水ノズルによる殺菌水の散布とが切り替え可能に構成されている。
【0040】
これにより、外部から空気浄化装置本体の内方への微生物の侵入を事前に防ぐ無菌空間を形成することができ、空気浄化装置本体内への微生物の繁殖を抑制することが可能となる。
また、空気浄化装置本体で微生物が発生した場合にも、排気装置に抗菌フィルタが備えられているため、浄化空気は該抗菌フィルタを通過して微生物を除去された上でクリーンルームに排気されることとなり、クリーンルームを汚染することはない。
さらに、空気浄化装置の洗浄部は、上方から前記液剤を散布して、充填材の表面に水膜を形成させ、該充填材の下方より上方に向けて汚染空気を通過させることにより、水膜に汚染空気を接触させて汚染物質を吸収させる、いわゆる濡面式除去方法であるため、汚染空気と水が対向流で接触するため、汚染物質の除去に際し高い除去効率を維持することが可能となる。
しかも、前記空気浄化装置本体には第2の散水ノズルより殺菌水が散布可能であることから、前記空気浄化装置本体の内方に微生物が侵入、もしくは繁殖した際にも容易に滅菌作業を実施することが可能である。また、汚染空気の浄化作業の事前に、第2の散水ノズルを用いて除菌作業を実施しておくことにより、外殻の内方における微生物の繁殖をより効果的に抑制することが可能である。
【0041】
請求項2記載の空気浄化装置によれば、前記充填材が、前記空気浄化装置本体に対して着脱可能で、かつ上下端面が開口しているユニットケースと、該ユニットケースの内方に立設した状態で充填される複数の充填材本体により構成されることから、微生物の繁殖が見られた際にも容易に充填材本体に至るまで清掃を実施することができるため、メンテナンスの煩雑性を回避できるとともに、メンテナンスに係るコストを大幅に削減することが可能となる。
【0042】
請求項3記載の空気浄化装置によれば、前記充填材本体が、表裏面に水平軸から45°の一方向の波紋が形成されるステンレス金網と、該ステンレス金網の表面全面に固着手段を介して固定され、耐久性、耐薬品性及び親水性を備える表面積の大きい表面材により構成されるとともに、外形状を前記ユニットケースの垂直方向の内断面と同様に成形しており、水平軸から45°の一方向に波紋が形成された充填材本体と、これと直交する方向に波紋が形成された充填材本体とを、前記ユニットケースの内方に、表面を同一方向に向けて面どうしが接するように交互に配置する。
これにより、隣り合う充填材本体は、波紋の頂部どうしが点で当接するため、波紋の頂部を上方向から下方向に流下した液剤は、当接部で移流して拡散し、充填材本体の全体に均一な水膜を形成することが可能となる。
【0043】
請求項4記載の空気浄化装置によれば、前記充填材本体が、前記ステンレス金網の表裏面に前記表面材を固着手段を介して固定されることにより成形されており、水平軸から45°の一方向に波紋が形成された複数の該充填材本体を、前記ユニットケースの内方に、面どうしが接するように表裏面を交互に配置することから、波紋が上下端面から一方の45°方向に配される充填材本体と、これと直交する方向に波紋が配される充填材本体の2種類を製作する必要がなく、充填材本体の製作を簡略化することが可能となる。
【0045】
請求項5記載の空気浄化装置によれば、前記液槽に貯留した貯留液を排水する排水管には、貯留液中の粒子を粒径別に測定する微生物モニタリング装置が備えられることから、液槽に一次貯留された貯留液剤中に繁殖する微生物の有無を検知でき、容易に空気浄化装置本体の清掃の必要性を判断することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の空気浄化装置の概略を示す図である。
【図2】 本発明の空気浄化装置の充填材の詳細を示す図である。
【図3】 本発明の空気浄化装置の充填材本体の詳細を示す図である。
【符号の説明】
1 空気浄化装置
2 空気浄化装置本体
3 外殻
4 開口部
5 送風口
6 液槽
6a 排水管
7 洗浄部
8 デミスタ
9 第1の散水ノズル
9a 水用ろ過フィルター
10 充填材
11 ユニットケース
12 充填材本体
12a 表面材
12b ステンレス金網
13 整流用孔開板
14 貯水槽
14a 殺菌薬剤用タンク
15 排気装置
15a 排気送風ファン
15b 加熱コイル
15c 抗菌フィルタ
16 送風装置
17 送風管
17a 冷却コイル
17b 抗菌フィルタ
18 液剤
19 貯留液剤
20 殺菌水
21 汚染空気
22 浄化空気
23 第2の散水ノズル
24 モニタリング装置
24a 計測機器
24b ドレン槽
24c 栄養剤タンク[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an air purification device that holds an inside of a device aseptically in a wet air purification device.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a clean room provided in a liquid crystal factory or the like, a method of purifying polluted air in the clean room through an air purifier and circulatingly using it is generally used. Under such circumstances, the air purification apparatus is often provided with a wet purification method. As shown in
[0003]
[Patent Document 1]
JP 2000-33221 A (see p4, FIG. 1)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in an air purification apparatus equipped with such a wet purification method, there are many cases where microorganisms enter the apparatus from contaminated air taken in from a clean room or a liquid agent brought into contact with contaminants in the contaminated air and further propagate.
[0005]
In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide an air purification device capable of suppressing the invasion of microorganisms into the apparatus and the growth of microorganisms and maintaining a sterile condition.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The air purification device according to
[0007]
The air purification device according to
[0008]
The air purifier according to claim 3, wherein the filler main body is fixed to the front and back surfaces of a stainless steel wire net having a 45 ° ripple in one direction from the horizontal axis by fixing means on the entire surface of the stainless steel wire mesh. It is composed of a surface material with a large surface area having durability, chemical resistance and hydrophilicity, and the outer shape is molded in the same manner as the vertical inner cross section of the unit case, and is 45 ° from the horizontal axis. A filler main body with ripples formed in one direction and a filler main body with ripples formed in a direction perpendicular thereto are in contact with the inner surface of the unit case with the surfaces facing in the same direction. It is characterized by being arranged alternately.
[0009]
The air purification device according to claim 4, wherein the filler body is formed by fixing the surface material to the front and back surfaces of the stainless steel wire mesh through fixing means, and is unidirectional at 45 ° from the horizontal axis. The plurality of filler main bodies having ripples formed thereon are alternately arranged on the front and back surfaces so that the surfaces are in contact with the inside of the unit case.
[0011]
Claim 5The air purification device described aboveLiquid tankThe drainage pipe for draining the stored liquid stored in the tank is equipped with a microorganism monitoring device for measuring particles in the stored liquid according to particle size.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The air purification device of the present invention includes an antibacterial filter in a blower that supplies clean room contaminated air into the air purification device body, and is used when removing contaminants in the contaminated air within the air purification device body. By providing a water filtration filter in the spray nozzle for spraying the liquid agent, an aseptic space is formed in the main body of the air purification device, and the invasion and propagation of microorganisms are suppressed.
[0013]
As shown in FIG. 1, the
An opening 4 is provided at the top end of the outer shell 3, and the opening 4 communicates with an
[0014]
In the middle part of the outer shell 3, a
The
[0015]
The first
Here, the
The first watering
[0016]
Next, the
Further, the filler
[0017]
In the present embodiment, as shown in FIG. 3A, the filler
[0018]
As shown in FIG. 2 (a), the filler
The
[0019]
In the present embodiment, the filler
Further, in the present embodiment, the
[0020]
As shown in FIG. 2B, the
Further, when the
[0021]
next,Cleaning
[0022]
On the other hand, a blower port 5 is provided below the outer shell 3 and slightly above the
Such an
[0023]
As described above, in the
[0024]
A procedure for purifying the contaminated
[0025]
The
Further, the contaminated
[0026]
The purified
[0027]
Incidentally, as shown in FIG. 1, the
Note that the
[0028]
A
[0029]
A method of sterilizing the air purification device
First, the
[0030]
The sprayed sterilizing
Thereafter, the sterilizing
[0031]
Note that the operation of spraying the sterilizing
[0032]
In order to grasp these effects, the removal rate of the pollutant in the
As a result, the
In addition, at this time, the air purification apparatus
[0033]
According to the configuration described above, the
In addition, even when microorganisms are generated in the air purification device
Further, the cleaning unit 7 of the
[0034]
The
[0035]
In the filler
[0036]
Moreover, if the
[0037]
Further, a
[0038]
Also, provided at the bottom of the air purification device body 2Liquid tank6 is provided with a
[0039]
【The invention's effect】
According to the air purification device of the first aspect, the wet air purification device main body for purifying the contaminated air by absorbing the pollutant in the contaminated air into the liquid agent, and the lower portion of the side surface of the air purification device main body are provided. The air purification device main body communicates with the air blowing device, and the air purification device main body communicates with the air blowing device that feeds the contaminated air into the inside of the air purification device main body, and the opening provided in the upper portion of the air purification device main body. An air purifier including an exhaust device that exhausts the contaminated air outward as purified air, and the air purifier main body horizontally covers the inside from the top of the blower opening to the opening. Disposed in order, a filler, a first watering nozzle for sprinkling the liquid agent on the filler, a demister for removing droplets in the contaminated air, and a bottom part of the air purification device main body. It consists of a reservoirCleaning sectionThe first watering nozzle is provided with a water filtration filter for sterilizing the liquid agent, and each of the blower device and the exhaust device has an antibacterial filter so as to block an inner cross section. A sterile space is formed inside the air purification deviceThe air purification device main body is provided with a second watering nozzle for spraying sterilizing water from a further upper position of the demister located at the uppermost part of the cleaning unit. It is comprised so that switching of spraying of the liquid agent by a watering nozzle and spraying of sterilizing water by the 2nd watering nozzle is possible..
[0040]
Thereby, it is possible to form an aseptic space for preventing microorganisms from entering the inside of the air purification device main body from the outside in advance, and it is possible to suppress the propagation of microorganisms into the air purification device main body.
In addition, even when microorganisms are generated in the air purification device main body, the exhaust device is equipped with an antibacterial filter, so that the purified air passes through the antibacterial filter and is removed into the clean room after removing the microorganisms. And will not pollute the clean room.
Further, the cleaning unit of the air purifying device sprays the liquid agent from above, forms a water film on the surface of the filler, and passes the contaminated air from below to below the filler, thereby forming a water film This is a so-called wet surface removal method that allows contaminant air to contact with water and absorbs the pollutant, so that the contaminated air and water come in contact with each other in a counterflow, so that it is possible to maintain high removal efficiency when removing contaminants. Become.
In addition, since the sterilizing water can be sprayed from the second watering nozzle to the air purification device main body, the sterilization work can be easily performed even when microorganisms enter or propagate inside the air purification device main body. Is possible. In addition, by performing the sterilization work using the second watering nozzle in advance of the purification work of the contaminated air, it is possible to more effectively suppress the growth of microorganisms inside the outer shell. is there.
[0041]
According to the air purification device of
[0042]
According to the air purification device of claim 3, the filler main body is formed of a stainless steel wire net having a 45 ° ripple in one direction from the horizontal axis on the front and back surfaces, and a fixing means on the entire surface of the stainless steel wire mesh. It is composed of a surface material with a large surface area that has durability, chemical resistance and hydrophilicity, and has an outer shape molded in the same manner as the inner cross section in the vertical direction of the unit case. ° The filler body with ripples formed in one direction and the filler body with ripples formed in the direction perpendicular to the inner surface of the unit case with the surfaces facing in the same direction Arrange them alternately so that they touch each other.
As a result, the adjacent filler main bodies abut the tops of the ripples at the points, so the liquid agent that has flowed down the top of the ripples from the upper direction to the lower side is transferred and diffused at the contact parts, and the filler main body A uniform water film can be formed throughout.
[0043]
According to the air purification device of claim 4, the main body of the filler is formed by fixing the surface material to the front and back surfaces of the stainless steel wire mesh through fixing means, and is 45 ° from the horizontal axis. Since the front and back surfaces are alternately arranged so that the surfaces are in contact with the inner side of the unit case, the plurality of filler main bodies having ripples formed in one direction, and the ripples are in one 45 ° direction from the upper and lower end surfaces. There is no need to produce two types of filler bodies, i.e., a filler body with ripples arranged in a direction perpendicular thereto, and the production of the filler body can be simplified.
[0045]
Claim 5According to the air purification device described above,Liquid tankThe drainage pipe that drains the stored liquid stored in the tank is equipped with a microbial monitoring device that measures particles in the stored liquid according to particle size,Liquid tankTherefore, it is possible to detect the presence or absence of microorganisms that propagate in the stored liquid agent that is primarily stored, and to easily determine the necessity of cleaning the air purification device main body.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an outline of an air purification device of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing details of the filler of the air purification device of the present invention.
FIG. 3 is a view showing details of a filler main body of the air purification apparatus of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Air purification device
2 Air purifier body
3 outer shell
4 openings
5 Blower
6 Liquid tank
6a Drain pipe
7 Cleaning section
8 Demister
9 First watering nozzle
9a Water filtration filter
10 Filler
11 Unit case
12 Filler body
12a Surface material
12b stainless steel wire mesh
13 Opening plate for rectification
14 Water tank
14a Tank for disinfectant drug
15 Exhaust device
15a Exhaust fan
15b Heating coil
15c Antibacterial filter
16 Blower
17 Air duct
17a Cooling coil
17b Antibacterial filter
18 liquids
19 Reservoir
20 Bactericidal water
21 Contaminated air
22 Purified air
23 Second watering nozzle
24 Monitoring device
24a Measuring equipment
24b Drain tank
24c nutrient tank
Claims (5)
該空気浄化装置本体の側面下部に備えられた送風口に連通されて、空気浄化装置本体の内方に汚染空気を送入する送風装置と、
該空気浄化装置本体の上部に備えられた開口部に連通されて、空気浄化装置本体により浄化された汚染空気を浄化空気として外方に排気する排気装置を備える空気浄化装置であって、
該空気浄化装置本体は、内方を水平に塞ぐようにして、前記送風口の上方より前記開口部に向かって順に配される、充填材、前記液剤を充填材に散水する第1の散水ノズル、及び汚染空気中の液滴を除去するデミスタと、前記空気浄化装置本体の底部に配置され、液剤が貯留する液槽よりなる洗浄部を備えてなり、
前記第1の散水ノズルには、液剤を除菌する水用ろ過フィルタが備えられるとともに、前記送風装置及び前記排気装置の各々には、内方断面を塞ぐように抗菌フィルタが備えられて、空気浄化装置本体の内方に無菌空間が形成され、
かつ、前記空気浄化装置本体には、前記洗浄部の上部に位置する前記デミスタのさらに上方位置から殺菌水を散布するための第2の散水ノズルが設置されていて、前記第1の散水ノズルによる液剤の散水と前記第2の散水ノズルによる殺菌水の散布とが切り替え可能に構成されていることを特徴とする空気浄化装置。A wet air purification device main body that purifies the contaminated air by absorbing the pollutants in the contaminated air into the liquid agent;
A blower connected to the blower opening provided at the lower side of the side surface of the air purification device main body, and for sending contaminated air into the inside of the air purification device main body;
An air purification device comprising an exhaust device that communicates with an opening provided in an upper portion of the air purification device main body and exhausts the contaminated air purified by the air purification device main body outward as purified air,
The air purification device main body is arranged in order from the upper side of the air blowing port toward the opening so as to horizontally block the inside, and a first watering nozzle that sprinkles the filling material and the liquid agent into the filling material. and a demister to remove droplets of pollution in the air, is disposed at the bottom of the air cleaner main body, it comprises a cleaning unit for liquid is composed of a liquid tank for storing,
The first watering nozzle is provided with a water filter for sterilizing the liquid agent, and each of the blower and the exhaust device is provided with an antibacterial filter so as to close an inner cross section, Aseptic space is formed inside the purification device body ,
And in the said air purification apparatus main body, the 2nd watering nozzle for spraying sterilizing water from the further upper position of the said demister located in the upper part of the said washing | cleaning part is installed, and the said 1st watering nozzle An air purifier configured to be able to switch between spraying of a liquid agent and spraying of sterilizing water by the second watering nozzle .
前記充填材が、前記空気浄化装置本体に対して着脱可能で、かつ上下端面が開口しているユニットケースと、該ユニットケースの内方に立設した状態で充填される複数の充填材本体により構成されることを特徴とする空気浄化装置。The air purification device according to claim 1,
A unit case in which the filler is detachable from the air purification device main body and whose upper and lower end surfaces are open, and a plurality of filler main bodies filled in a standing manner in the unit case An air purifier characterized by comprising.
前記充填材本体が、表裏面に水平軸から45°の一方向の波紋が形成されるステンレス金網と、該ステンレス金網の表面全面に固着手段を介して固定され、耐久性、耐薬品性及び親水性を備える表面積の大きい表面材により構成されるとともに、外形状を前記ユニットケースの垂直方向の内断面と同様に成形しており、
水平軸から45°の一方向に波紋が形成された充填材本体と、これと直交する方向に波紋が形成された充填材本体とを、前記ユニットケースの内方に、表面を同一方向に向けて面どうしが接するように交互に配置することを特徴とする空気浄化装置。The air purification apparatus according to claim 2,
The filler main body is fixed on the front and back surfaces of a stainless steel wire mesh having a 45 ° ripple in one direction from the horizontal axis by fixing means on the entire surface of the stainless steel wire mesh, and has durability, chemical resistance and hydrophilicity. The outer shape is formed in the same manner as the inner cross section in the vertical direction of the unit case.
A filler main body with ripples formed in one direction of 45 ° from the horizontal axis and a filler main body with ripples formed in a direction perpendicular thereto are directed inward of the unit case and in the same direction. An air purification device characterized by being alternately arranged so that the surfaces touch each other.
前記充填材本体が、前記ステンレス金網の表裏面に前記表面材を固着手段を介して固定されることにより成形されており、
水平軸から45°の一方向に波紋が形成された複数の該充填材本体を、前記ユニットケースの内方に、面どうしが接するように表裏面を交互に配置することを特徴とする空気浄化装置。In the air purification apparatus of Claim 3,
The filler main body is formed by fixing the surface material to the front and back surfaces of the stainless steel wire mesh through fixing means,
A plurality of the filler main bodies having ripples formed in one direction of 45 ° from the horizontal axis are alternately arranged on the front and back surfaces of the unit case so that the surfaces are in contact with each other. apparatus.
前記液槽に貯留した貯留液を排水する排水管には、貯留液中の粒子を粒径別に測定する微生物モニタリング装置が備えられることを特徴とする空気浄化装置。 In the air purifying device according to any one of claims 1 to 4 ,
An air purification apparatus, wherein a drainage pipe for draining a stored liquid stored in the liquid tank is provided with a microorganism monitoring apparatus that measures particles in the stored liquid according to particle size.
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