JP4115969B2 - 液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置 - Google Patents
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Description
従って、液晶表示素子が一般的な画面表示装置として多用途に使用されるためには、軽量薄型、低消費電力という特徴を維持しながらも、高精細、高輝度、大面積など、高品位の画像をどれだけ実現できるかが重要な問題とされている。
即ち、従来の基板貼り合わせ装置は、大きく外観を成すフレーム10、ステージ部21、22、密封剤吐出部(図示せず)、及び液晶滴下部30、チャンバー部31、32、チャンバー移動手段、ステージ移動手段とで構成される。
この状態で前記下部ステージ22を持つ下部チャンバーユニット32は、チャンバー移動手段40によって、図1に示したように、密封剤塗布及び液晶滴下のための工程位置S1上に移動される。次いで、該状態で密封剤吐出部及び液晶滴下部30による密封剤の塗布及び液晶滴下が完了すると、再び前記チャンバー移動手段40によって、図2に示したように、基板間貼り合わせのための工程位置S2上に移動する。
次いで、前記真空状態でステージ移動手段50によって上部ステージ21が下向に移動しながら、前記上部ステージ21に付着固定された基板51が、下部ステージ22に付着固定された基板52に密着されると共に、継続的な加圧による各基板間の貼り合わせを行うことで液晶表示パネルの製造が完了する。
前記開閉手段は、ソレノイドバルブを含むことを特徴とする。
図3は本発明による液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置の断面図で、図4は本発明による液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置の真空ポンプ連結状態を示した概略的な構造図で、図5は本発明による液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置のチャンバープレートの反りを説明するための概略的な構造図である。
そして、前記上部チャンバーユニット210及び下部チャンバーユニット220は、前記ベースフレーム100の上段及び下段にそれぞれ装着されて、相互に結合されるように動作する。
この時、前記上部チャンバープレート212に形成される任意の空間内部には上部ステージ230が固定されていて、前記上部ステージは前記上部チャンバーユニットと連動するように装着される。
これと共に、前記下部チャンバーユニット220は、前記ベースフレーム100に固定された下部ベース221と、該下部ベース221の上面に前後及び左右方向への移動が可能に装着され、その内部は任意の空間を持つ四角状から成る下部チャンバープレート222とを含んで構成される。
勿論、前記下部チャンバーユニット220には、前記ベースフレーム100と下部ベース221間に相互間の安定的な固定のための支持プレート223が更に具備されることもできる。
これと共に、前記下部ベース221と下部チャンバープレート222間には少なくとも一つ以上のサポート部225が具備され、該サポート部225は前記下部チャンバープレート222が前記下部ベース221から所定間隔離隔された状態を維持するように支持する。
従って、前記サポート部225によって前記下部チャンバープレート222は前記下部ベース221から自由に移動する。
また、前記駆動軸320は、前記駆動モータ310の二つの軸に対して水平方向に駆動力を伝逹するようにそれぞれ連結されて、前記連結軸330は、前記駆動軸320に対して垂直方向に駆動力を伝逹するように連結される。
また、前記各吸着プレート232、242には、真空吸入力を伝逹する複数の真空ホール(図示せず)が形成される。
そして、前記連動手段510は、前記各チャンバーユニット210、220が同一方向に向いて同一距離だけ移動し得るように連動させる役割を行う。
そして、前記真空ポンピング手段610、621、622は、少なくとも何れか一つのチャンバーユニット210、220に具備されていて、該各チャンバーユニット210、220の内側空間を真空にする役割を行う。
そして、該密閉された空間は、前記真空ポンピング装置によって選択的に高真空状態になる。
これと共に、第2低真空ポンプ622は、上部チャンバープレート212の側部及び下部チャンバープレート222の側面を貫く第1低真空チャンバー配管641及び第2低真空ポンプ配管642と、各基板110、120の真空吸着のために各ステージ230、240内部に形成された真空管路に連結された基板吸着用配管(図示せず)とにそれぞれ連結される。
これと共に、前記第2低真空ポンプ622が連通される各配管641、642、650はベントのための配管としても使用され、該ベントの時には真空状態を成す各チャンバーユニット210、220の内側空間が大気圧状態に変更され得るように、ガス(例えば、 N2ガス)が注入される。
222 下部プレート
230 上部ステージ
240 下部ステージ
410 上部低真空チャンバー
420 下部低真空チャンバー
212a、222a 貫通ホール
222c 受容ホール
250 密封部材
242、232 静電チャック
Claims (7)
- 上部チャンバープレート上に形成された上部低真空チャンバーと、
下部チャンバープレートの背面に形成される下部低真空チャンバーと、
該下部チャンバープレートの上面に沿って所定の高さに突出するように装着されて前記上部チャンバープレートに接続されることで、その内部に高真空チャンバーを形成する密封部材と、
前記上部チャンバープレート及び下部チャンバープレートにそれぞれ形成され、前記上部低真空チャンバーと前記高真空チャンバーを貫通し、前記下部低真空チャンバーと前記高真空チャンバーを貫通する少なくとも二つの貫通ホールと、
該各貫通ホールを開閉する少なくとも二つの開閉手段と、
前記各低真空チャンバーと高真空チャンバーを、それぞれ低真空状態と高真空状態にする真空ポンピング手段と、
前記高真空チャンバーの内側空間の前記上部チャンバープレート及び下部チャンバープレートにそれぞれ備えられて、それぞれ基板を固定する上部ステージ及び下部ステージとを含んで構成されることを特徴とする液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置。 - 前記少なくとも二つの貫通ホールは、前記上部プレート及び下部プレートのそれぞれの中央部に形成されることを含んで構成されることを特徴とする請求項1記載の液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置。
- 前記上部チャンバープレート及び前記上部低真空チャンバーは、駆動装置により上下に移動するように設置されることを特徴とする請求項1記載の液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置。
- 前記上部ステージ及び下部ステージは、それぞれ前記上部プレート及び下部プレートに固定ブロックによって固定されることを特徴とする請求項1記載の液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置。
- 前記上部ステージの底面或いは下部ステージの上面のうち、少なくともいずれか一つの面には静電力を提供して基板の固定ができるように、少なくとも一つ以上の静電チャックが装着されると共に、真空力の伝逹を受けて基板の吸着固定ができるように、少なくとも一つ以上の真空ホールが形成されて成ることを特徴とする請求項1記載の液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置。
- 前記密封部材は、ゴム材質から成るオーリングを含んで成ることを特徴とする 請求項1記載の液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置。
- 前記開閉手段は、ソレノイドバルブを含むことを特徴とする請求項1記載の液晶表示パネル製造用基板貼り合わせ装置。
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