JP4094525B2 - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1における実装基板表面処理を行うプラズマ処理装置の概略構成図である。図1において、図7と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
(ここで、jは虚数部を表す)
プラズマ処理の終点評価の容易さという観点からは、電気的信号としてインピーダンスを用いることが好ましい。電圧および電流も、プラズマ処理が進むにつれて、インピーダンスの場合と同様、絶対値が小さくなるという変化を示すため、終点評価に用いられ得るが、インピーダンスに比べて測定値が振動的で、終点評価が難しい場合もあり得る。また、位相差(電圧波形からの電流波形の位相のずれ)については、プラズマ処理の時間経過とともに、その値が−90°に近づいていくという挙動を示すために、終点検出のための電気的信号として使用し得るが、変化量が微量であるため、使用するセンサの精度が高いことが要求され得る。
図6は、実際に、図1に示す構成を有するプラズマ処理装置において、アルゴンガスを用いて、実装基板をプラズマ処理し、図2および図3に示すものと同様の方法でプラズマ処理の終点検出を行った際の、インピーダンスおよびインピーダンス差の経時的変化の様子を示すグラフである。図6(a)は、処理対象の実装基板、および清潔な基板をプラズマ処理した際のインピーダンスを示す。図6(b)は、それらの差分を取ったものをプロットしたものである。この実験では、酸性人口汗液(0.5gのL−ヒスチジン塩酸塩一水和物、5gの塩化ナトリウム、および2.2gのリン酸二水素ナトリウム二水和物を水に溶解し、0.1mol/Lの水酸化ナトリウム溶液約15mlと水とを加え、pHが5.5で全容が約1Lになるようにしたもの)をポリイミドのフイルム基板に付着させたものを処理対象の実装基板として用い、基板上の塩素の除去を目的として実験を行った。清潔な基板としては、純水で60℃にて1時間煮沸処理をしたポリイミドのフイルム基板を用いた。図6(b)において、インピーダンスの差分値の時間微分(経時的変化率)が微小範囲内に収まったことを検出して、実装基板に付着した塩素の除去が終了した時点として認識した。このようにして、より正確な実装基板のプラズマ処理の終点検出が可能になり、基板に不要なダメージを与えることなく、プラズマ処理を終了させることができた。
さらに、上記実施形態の応用例を本発明の実施の形態2として、図1を参照しながら説明する。この実施の形態2に係るプラズマ処理装置の概略構成図の構成要素については、図1と同様であるので、説明を省略する。
113・・・データ記憶部
114・・・制御部
201・・・反応室
202・・・反応ガス導入口
203・・・真空排気口
205・・・高周波電極
206・・・実装基板
207・・・対向電極
210・・・センサ
Claims (6)
- 実装基板表面の洗浄または改質を行うためのプラズマ処理装置であって、
プラズマ処理を行うための反応室と、
前記反応室内に配置された、プラズマを発生させるための電極と、
前記電極に高周波電力を印加するための高周波電源と、
基準となる実装基板をプラズマ処理した際に計測された電気的信号の経時的変化についてのデータを予め格納するためのデータ格納部を含む終点判定部とを備え、
前記終点判定部は、前記プラズマ処理時に前記高周波電力を印加することにより発生する電気的信号を計測し、前記データ格納部から読み出される基準となる実装基板をプラズマ処理した際に計測された電気的信号と、プラズマ処理対象の実装基板について計測された電気的信号との差分値を算出し、当該差分値の経時的変化率が、所定の範囲の値に収束したときを、プラズマ処理の終点と判定する、装置。 - 実装基板表面の洗浄または改質を行うためのプラズマ処理装置であって、
プラズマ処理を行うための反応室と、
前記反応室内に配置された、プラズマを発生させるための電極と、
前記電極に高周波電力を印加するための高周波電源と、
終点判定部とを備え、
前記終点判定部は、
前記プラズマ処理時に前記高周波電力を印加することにより発生する電気的信号を計測するためのセンサと、
前記電気的信号の経時的変化パターンと、基準の経時的変化パターンとを照合することによって、前記プラズマ処理の終点を判定するためのデータ処理部と、
基準となる実装基板をプラズマ処理した際に計測された電気的信号の経時的変化についてのデータを予め格納するためのデータ格納部とを含み、
前記データ格納部から読み出される基準となる実装基板をプラズマ処理した際に計測された電気的信号と、プラズマ処理対象の実装基板について計測された電気的信号との差分値を算出し、当該差分値の経時的変化率が、所定の範囲の値に収束したときを、プラズマ処理の終点と判定する、装置。 - プラズマ処理を行うための反応室と、
前記反応室内に配置された、前記プラズマを発生させるための電極と、
前記電極に高周波電力を印加するための高周波電源と、
前記高周波電力を印加することにより発生する電気的信号に基づいて、前記プラズマ処理の終点を判定する終点判定部とを備えるプラズマ処理装置において、実装基板表面の洗浄または改質のためのプラズマ処理を行う方法であって、
前記電極に高周波電力を印加してプラズマを発生させる工程と、
前記電気的信号の経時的変化を計測する工程と、
前記電気的信号の経時的変化率が、基準の経時的変化パターンから算出される経時的変化率とほぼ一致したときを、前記プラズマ処理の終点と判定する工程とを含む、方法。 - プラズマ処理を行うための反応室と、
前記反応室内に配置された、前記プラズマを発生させるための電極と、
前記電極に高周波電力を印加するための高周波電源と、
前記高周波電力を印加することにより発生する電気的信号に基づいて、前記プラズマ処理の終点を判定する終点判定部と、
基準となる実装基板をプラズマ処理した際に計測された電気的信号の経時的変化についてのデータを予め格納するためのデータ格納部とを備えるプラズマ処理装置において、実装基板表面の洗浄または改質のためのプラズマ処理を行う方法であって、
前記電極に高周波電力を印加してプラズマを発生させる工程と、
前記電気的信号の経時的変化を計測する工程と、
前記基準となる実装基板について計測された前記電気的信号を前記データ格納部から読み出し、当該基準となる実装基板についての電気的信号と、プラズマ処理対象の前記実装基板について計測された前記電気的信号との差分値を算出し、当該差分値の経時的変化率が、所定の範囲の値に収束したときを、プラズマ処理の終点と判定する工程とを含む、方法。 - プラズマ処理を行うための反応室と、
前記反応室内に配置された、前記プラズマを発生させるための電極と、
前記電極に高周波電力を印加するための高周波電源と、
前記高周波電力を印加することにより発生する電気的信号に基づいて、前記プラズマ処理の終点を判定する終点判定部と、
基準となる実装基板をプラズマ処理した際に計測された電気的信号の経時的変化についてのデータを予め格納するためのデータ格納部とを備えるプラズマ処理装置において、実装基板表面の洗浄または改質のためのプラズマ処理を行う方法であって、
前記電極に高周波電力を印加してプラズマを発生させる工程と、
前記電気的信号の経時的変化を計測する工程と、
前記基準となる実装基板について計測された前記電気的信号を前記データ格納部から読み出し、当該基準となる実装基板についての電気的信号の経時的変化率と、プラズマ処理対象の前記実装基板について計測された電気的信号の経時的変化率との、電気的信号の絶対値が互いに等しいところでの差分値を算出し、当該差分値が所定の範囲の値に収束したときを、プラズマ処理の終点と判定する工程とを含む、方法。 - プラズマ処理を行うための反応室と、
前記反応室内に配置された、前記プラズマを発生させるための電極と、
前記電極に高周波電力を印加するための高周波電源と、
前記高周波電力を印加することにより発生する電気的信号に基づいて、前記プラズマ処理の終点を判定する終点判定部とを備えるプラズマ処理装置において、実装基板表面の洗浄または改質のためのプラズマ処理を行う方法であって、
前記電極に高周波電力を印加してプラズマを発生させる工程と、
前記電気的信号の経時的変化を計測する工程と、
前記電気的信号の経時的変化パターンと、基準の経時的変化パターンとを照合することにより、前記プラズマ処理の終点を判定する工程とを含み、
前記プラズマ処理のための反応ガスとして、当該プラズマ処理開始時から酸素ガス、水蒸気、気化アルコール、またはCF 4 を用い、当該プラズマ処理終了前のある時点で、前記反応ガスを希ガスまたは窒素に変更する、方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003369283A JP4094525B2 (ja) | 2003-10-29 | 2003-10-29 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005136086A JP2005136086A (ja) | 2005-05-26 |
JP2005136086A5 JP2005136086A5 (ja) | 2005-10-27 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP4094525B2 (ja) |
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KR101770720B1 (ko) * | 2015-11-12 | 2017-08-23 | 세메스 주식회사 | 전력 공급 장치, 전압 데이터 캘리브레이션 방법, 및 그를 이용하는 기판 처리 장치 |
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