JP4084969B2 - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプリント基板、半導体パッケージ、フラットパネルディスプレイ等におけるパターンの欠陥を外観検査するパターン検査装置及びパターン検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、この種のパターン検査装置では、プリント基板等における被検査パターン（例えば、配線パターンやパッド等。）の撮像データに基づき生成した濃淡画像（２値化画像若しくは多値画像）から所定の検出アルゴリズムを用いて前記パターン上の断線や短絡等の欠陥を検出するようにしている。そして、その際における検出アルゴリズムには、従来から、特徴抽出アルゴリズム（デザインルールチェック（ＤＲＣ）法ともいう。）とパターンマッチング（完全比較法ともいう。）とが用いられている。
【０００３】
特徴抽出アルゴリズムは、被検査パターンの濃淡画像について所定の処理領域内で局所的なウィンドウ処理を行うことで被検査パターンにおける欠陥部分を特異点として抽出するものである。また、パターンの配線幅や間隔等の測定結果を基準となる対象と比較し、当該基準対象と相違していれば、その相違部分は欠陥であると判定するものである。一方、パターンマッチングは基準となる良品パターンと被検査パターンとの形状を直接比較するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、近年プリント基板等における配線パターン等は、複雑かつ高密度化の傾向にあり、特に、配線パターンや、配線パターン間の間隔等の幅が場所により変化するように形成されるものも少なくない。そして、このような配線パターンを有するプリント基板を検査する際、特徴抽出アルゴリズムを用いたパターン検査の場合には次のような問題があった。
【０００５】
即ち、このように線幅が変化するパターンについて線幅検査する場合、画一的なパターン幅に基づく手法では本来欠陥でない部分も欠陥と認識してしまい、適切な検査を実施することができなかった。つまり、検査対象であるプリント基板上に細い配線パターンと太い配線パターンとが混在している場合、それぞれのパターンにおける許容差を独立に設定することができず、配線パターンの太さに応じた最適なパターン検査が困難であった。パターン検査における一般の線幅については、例えば基準線幅の２／３以上４／３以下であれば許容するようにしている。しかしながら、特徴抽出を用いた最小線幅のみのパターン検査では線幅によって許容差が変化するような比率による比較は困難であり、また、パターンマッチングを用いたパターン検査ではアルゴリズムの性格上、配線形状のみの比較しかできず線幅そのものの検査ができなかった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであって、その目的は、高密度で場所によって線幅やパターン間隔の異なる複雑な形状を有するパターンであっても、誤検出が発生しにくく、比較的容易な欠陥検査を可能とするパターン検査装置及びパターン検査方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、被検査パターンが設けられた検査対象物を所定の撮像範囲で撮影して得た撮像データの濃淡画像に基づき前記被検査パターンの欠陥を検出するパターン検査装置において、前記濃淡画像における一つの被検査パターンについて、認識する画素数が互いに異なる複数の特徴抽出フィルタごとに、パターン寸法を同一の測定位置において回転角度を変更させて複数測定し、それらすべてのパターン寸法のうち、最も狭いパターン寸法が前記測定位置におけるパターン寸法とする幅測定手段と、比較基準となる良品パターンの濃淡画像における前記測定位置のパターン寸法と対応する基準位置でのパターン寸法に係る基準データを記憶した基準データ記憶手段と、前記被検査パターンに関して前記幅測定手段の測定結果から得られた測定データと前記基準データ記憶手段に記憶された基準データとを比較する比較手段と、当該比較手段の比較結果に基づいて前記被検査パターンにおける欠陥の有無を判定する欠陥判定手段とを具えたことを要旨とした。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のパターン検査装置において、前記基準データ記憶手段は、前記基準データを前記良品パターンが被検査パターンとされた場合の測定結果に基づいて自動生成する基準データ生成手段を具えたことを要旨とした。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のパターン検査装置において、前記基準データ記憶手段は、前記良品パターンの濃淡画像における所定領域中の一つの位置での所定方向寸法に係る基準データと共に、当該基準データとデータ値が同一となる複数の基準データを、前記所定領域中で前記一つの位置の付近に位置する他の複数位置での各基準データとして記憶することを要旨とした。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載のパターン検査装置において、前記欠陥判定手段は、前記比較手段の比較結果が、前記被検査パターンについて欠陥無しと判定するために予め設定された所定の許容条件範囲を外れた場合に欠陥有りと判定することを要旨とした。
【００１１】
一方、パターン検査方法に係る請求項５に記載の発明は、被検査パターンが設けられた検査対象物を所定の撮像範囲で撮影して得た撮像データの濃淡画像における一つの被検査パターンについて、認識する画素数が互いに異なる複数の特徴抽出フィルタごとに、パターン寸法を同一の測定位置において回転角度を変更させて複数測定し、それらすべてのパターン寸法のうち、最も狭いパターン寸法が前記測定位置におけるパターン寸法とした後、当該パターン寸法に係る測定データと、比較基準となる良品パターンの濃淡画像における前記測定位置と対応する基準位置でのパターン寸法に係る基準データとを比較し、その後、比較した結果に基づいて前記被検査パターンにおける欠陥の有無を判定することを要旨とした。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をプリント基板のパターン検査装置に具体化した一実施形態を図１〜図１０に従って説明する。
【００１３】
図１に示すように本実施形態に係るパターン検査装置１は、ＣＣＤ２、前処理回路３、幅測定回路４、切替回路５、膨張処理回路６、基準画像メモリ７、比較回路８、許容誤差メモリ９、判定回路１０を備えている。
【００１４】
ＣＣＤ２では、検査対象物であるプリント基板上に形成された被検査パターンとしての配線パターンが所定形状（本実施形態では矩形状）の撮像範囲で撮影される。撮影して得られた撮像データは、前処理回路３に送られる。前処理回路３は、図示しないＡ／Ｄ変換器及び２値化回路を含んで構成されている。Ａ／Ｄ変換器では、ＣＣＤ２から出力された撮像データがディジタル信号に変換される。そして、ディジタル変換された撮像データは２値化回路により所定の閾値で２値化処理が行われ、各画素の設定値（画素値）が０と１とからなる濃淡画像の一種である２値化画像データが生成される。
【００１５】
幅測定手段及び基準データ生成手段としての幅測定回路４では、２値化画像データの全領域において特徴抽出フィルタを用いてパターン寸法としての配線幅が測定される。切替回路５では、基準配線幅生成時と配線幅検査実行時とで配線幅測定データを送信する回路が切替えられる。即ち、配線幅測定データは、基準配線幅生成時には基準データ生成手段としての膨張処理回路６へ送信され、配線幅検査実行時には比較手段としての比較回路８へ送信される。膨張処理回路６では、基準配線幅生成時において、前記幅測定回路４から出力された配線幅測定データが所定領域まで膨張される。
【００１６】
基準データ記憶手段としての基準画像メモリ７には、膨張された配線幅測定データが基準データとして記憶される。比較回路８では、配線幅検査実行時に、前記基準データと２値化画像データの配線パターンにおける当該基準データに対応する位置の配線幅とが比較される。比較される際には、予め許容誤差メモリ９に設定されている許容誤差情報が参照される。欠陥判定手段としての判定回路１０では、前記比較回路８において比較された結果に基づいて欠陥の有無が判定される。
【００１７】
次に、以上のように構成された本実施形態におけるパターン検査装置を使用してパターン検査を実施する方法を説明する。パターン検査は、基準データを自動生成する行程と、配線パターンの線幅検査を実施する行程とからなる。まず、基準データを自動生成する行程について説明する。
【００１８】
ＣＣＤ２により撮像された、比較基準となる良品パターンのプリント基板上の配線パターンに関する撮像データは前処理回路３に送られ、図示しない前記Ａ／Ｄ変換器によって多値８ビット（２５６階調）にディジタル変換される。そして、このディジタル変換された撮像データから、２値化回路において所定の閾値（本実施形態では１２８）によって、配線パターン領域とその他の領域とに分離された２値化画像データが生成される。図２は良品パターンを撮像して得られた２値化画像データの一部であって配線パターン２１〜２３が配置されている領域を拡大した２値化画像Ｂである。なお本実施形態では、配線パターン２１〜２３における配線パターン領域２１ａ〜２３ａの画素値は１であり、その他の領域２４の画素値は０となっている。そして生成された２値化画像データは、幅測定回路４に送られる。
【００１９】
幅測定回路４では、特徴抽出フィルタを用いて前記配線パターン２１〜２３の配線幅が測定される。以下に、幅測定回路４における特徴抽出フィルタを用いた配線幅の測定方法について説明する。図３は本実施形態における３種類の特徴抽出フィルタ（第１〜第３の特徴抽出フィルタ３１〜３３）の形状を示したものである。各特徴抽出フィルタ３１〜３３は前記２値化画像Ｂにおける配線パターン領域２１ａ〜２３ａを検出するための配線検出部３１ａ〜３３ａとその他の領域２４を検出するための非配線検出部３１ｂ〜３３ｂとをそれぞれ備えている。
【００２０】
第１の特徴抽出フィルタ３１は３〜５画素の配線幅を認識するためのフィルタであり、第１配線検出部３１ａと、一対の第１非配線検出部３１ｂとから構成されている。第１配線検出部３１ａは、２値化画像Ｂにおける単位画素３０が特定方向（図３では上下方向）に３画素分連続配置された形状であり、第１非配線検出部３１ｂは単位画素３０が前記特定方向と直交する方向（図３では左右方向）に３画素分連続配置された形状となっている。また、前記第１配線検出部３１ａの長手方向両端部と前記一対の第１非配線検出部３１ｂの各中央部とは同一直線上に位置するよう形成されており、更に両者の間は認識させる配線幅に幅を持たせる（３〜５画素）ため１画素分だけ離れた配置構成となるように形成されている。
【００２１】
そして、前記第１の特徴抽出フィルタ３１は、前記第１配線検出部３１ａと対応する位置における２値化画像データの画素値が１（配線パターン領域２１ａ〜２３ａ）の場合に出力コードとして１を出力し、画素値が０（その他の領域２４）の場合に出力コードとして０を出力する。また、前記一対の第１非配線検出部３１ｂと対応する位置における２値化画像データの画素値が０（その他の領域２４）の場合に出力コードとして１を出力し、画素値が１（配線パターン領域２１ａ〜２３ａ）の場合に出力コードとして０を出力する。そして、前記第１配線検出部３１ａの出力コード及び一対の第１非配線検出部３１ｂの出力コードの全ての出力コードが１になったときのみ、当該第１の特徴抽出フィルタ３１の出力結果が１となる。
【００２２】
また、第２の特徴抽出フィルタ３２は５〜７画素の配線幅を認識するためのフィルタで、第２配線検出部３２ａと、一対の第２非配線検出部３２ｂとから構成されている。第２配線検出部３２ａは、２値化画像Ｂにおける単位画素３０が特定方向（図３では上下方向）に５画素分連続配置された形状であり、また、第２非配線検出部３２ｂは単位画素３０が前記特定方向と直交する方向（図３では左右方向）に３画素分連続配置された形状となっている。また、前記第２配線検出部３２ａの長手方向両端部と前記一対の第２非配線検出部３２ｂの各中央部とは同一直線上に位置するよう形成されており、更に両者の間は認識させる配線幅に幅を持たせる（５〜７画素）ため１画素分だけ離れた配置構成となるように形成されている。
【００２３】
また、第３の特徴抽出フィルタ３３は７〜９画素の配線幅を認識するためのフィルタで、第３配線検出部３３ａと、一対の第３非配線検出部３３ｂとから構成されている。第３配線検出部３３ａは、２値化画像Ｂにおける単位画素３０が特定方向（図３では上下方向）に７画素分連続配置された形状であり、第３非配線検出部３３ｂは単位画素３０が前記特定方向と直交する方向（図３では左右方向）に３画素分連続配置された形状となっている。また、前記第３配線検出部３３ａの長手方向両端部と前記一対の第３非配線検出部３３ｂの各中央部とは同一直線上に位置するよう形成されており、更に両者の間は認識させる配線幅に幅を持たせる（７〜９画素）ため１画素分だけ離れた配置構成となるように形成されている。なお、前記第２の特徴抽出フィルタ３２及び第３の特徴抽出フィルタ３３からの各出力結果の条件は、第１の特徴抽出フィルタ３１と同じである。
【００２４】
更に、これらの特徴抽出フィルタ３１〜３３を所定角度回転（例えば、図３に示す特徴抽出フィルタ３１〜３３を基準（０度）として、２２．５度，４５度，６７．５度，９０度，１１２．５度，１３５度，１５７．５度）させたものを用意し、これらの特徴抽出フィルタを用いた幅測定についても同時に実施される。これにより、様々な方向に向かって配置された配線パターンの線幅を測定することが可能となる。従って、２値化画像Ｂの各画素毎に、３種類の特徴抽出フィルタ３１〜３３のそれぞれについて２２．５度刻みで回転したフィルタが８パターン用意され、計２４通りのフィルタリングが実施されることになる。
【００２５】
例えば、２値化画像Ｂ上のある測定位置において第２の特徴抽出フィルタ３２の出力結果のみが１となった場合には、その測定位置における配線パターン幅は６であることがわかる。また、ある測定位置において第２の特徴抽出フィルタ３２及び第３の特徴抽出フィルタ３３の出力結果が１となった場合、その測定位置における配線パターン幅は７であることがわかる。なお、全ての特徴抽出フィルタ３１〜３３の出力結果が０、即ち配線幅が検出できなかった場合、その測定位置で検出されたものは、これらの特徴抽出フィルタの測定範囲を超えるか配線パターンでないと判断される。
【００２６】
そして、各特徴抽出フィルタ３１〜３３ごとに、同一の測定位置において回転角度が異なるだけの同一形状・大きさからなる前記各パターンの特徴抽出フィルタにより得られた配線パターンの幅（以下、配線幅ともいう）のうち、最も狭い配線幅が当該測定位置における配線幅となる。なお、全ての特徴抽出フィルタ３１〜３３の、全ての回転角度における出力結果が０、即ち配線幅が検出できなかった場合、その位置で検出されたものは、これらの特徴抽出フィルタの測定範囲を超えるか配線パターンでないと判断される。このようにして特徴抽出フィルタ３１〜３３の出力結果から得られた前記配線幅は、数値化コード２５として、図４に示すように配線パターン２１〜２３の中心部に相当する位置に沿って出力される。図５は図４の点線で囲み表示したＰ部を拡大した図である。配線パターン２３の幅方向中心部に対応する位置に、３〜５の各配線幅を表す各数値化コード２５が出力されている。
【００２７】
基準配線幅生成時には、幅測定回路４で生成された数値化コード２５は切替回路５を介して接続されている膨張処理回路６に送られる。膨張処理回路６では、検査時における位置ずれを想定し、数値化コード２５を周辺位置まで膨張させる処理が実行される。このときの膨張範囲は任意でよく、想定される位置ずれ量に基づいた適当な範囲で拡張される。図６は膨張処理した結果である。そして、図７は図６の点線で囲み表示したＱ部を拡大した図である。本実施形態では、同図に示すように配線パターン２３の左右の幅方向に３画素ずつ膨張させている。そして、このようにして生成された数値化コード２５、及びその周辺領域まで膨張されて当該数値化コード２５とデータ値が同一となる数値化コード２６とが、その位置情報とともに基準データとして基準画像メモリ７に記憶される。
【００２８】
次に、配線パターンの線幅検査を実施する行程について説明する。なお、２値化画像Ｂを生成する方法については上述したものと同一であるため、ここでは省略する。図８は、被検査パターンが設けられた検査対象物であるプリント基板上を撮像し２値化処理することにより生成された２値化画像データの一部を拡大した２値化画像Ｂの図である。同図中の各配線パターン４１〜４３における配線パターン領域４１ａ〜４３ａには点線４４で囲み表示した部分にピンホールが、点線４５で囲み表示した部分に欠けが、そして点線４６で囲み表示した部分に突起が存在している。
【００２９】
幅測定回路４では、各配線パターン４１〜４３における配線幅が２値化画像Ｂにおける全ての配線パターン領域４１ａ〜４３ａの全ての位置について、先に述べた方法により計測される。配線幅検査実行時に幅測定回路４で生成された数値化コード（以下、測定データともいう）は切替回路５を介して接続されている比較回路８に送られる。比較回路８では、基準画像メモリ７に記憶されている基準データと当該基準データに対応する位置の測定データとが比較される。なお、比較される際には許容誤差メモリ９に設定されている許容誤差情報が参照される。即ち、誤差の許容条件範囲を予め設定しておき、当該許容条件範囲を加味した基準データに測定データが一致するか否か判定される。これは、基準データと測定データとを比較する際に、常に同一の配線幅でなければ欠陥であると判断することは誤検出が頻発することになり、実用上好ましくなくいためである。
【００３０】
誤差の許容条件範囲は、想定される基準データの配線幅毎に許容誤差メモリ９内に予め記憶させておく。本実施形態では、基準データの配線幅が３画素以下の場合、２〜４画素を許容範囲とし、配線幅が４〜７画素の場合、３画素以上であってかつ基準データの１／２画素以上を許容範囲とする。また、基準データの配線幅が８画素以上の場合は基準データの２／３画素以上かつ４／３画素以下を許容範囲とする。このように、配線幅毎に適当な許容誤差を与えることで、最適な許容範囲を設定することができる。このようにして得られた比較結果は判定回路１０に送られる。
【００３１】
図９は基準データと測定データとが比較された結果を示すものである。配線パターン４１における点線４４で囲み表示した部分では、ピンホールが存在していることにより測定された配線幅が２箇所存在し、何れの幅も基準データに比べて短くなっている。また、配線パターン４２における点線４５で囲み表示した部分では、欠けが存在していることにより測定された配線幅が基準データより短くなっている。そして、配線パターン４３における点線４６で囲み表示した部分では突起が存在していることにより測定された配線幅が基準データより長くなっている。
【００３２】
判定回路１０では欠陥の有無が判断される。判定回路１０において、測定データが許容誤差の範囲よりも小さい場合（図９における点線４４，４５の部分）にはその位置において欠け若しくはピンホールがあると判定され、また、許容誤差の範囲よりも大きい場合（図９における点線４６の部分）にはその位置に突起があると判定される。一方、許容誤差の範囲内であれば、その位置には欠陥がないと判定される。そして、このようにして得られた判定結果はテレビモニタ等の外部出力装置に出力される。このとき、図１０に示すように、欠陥位置付近に所定形状の目印（図１０では×印）を付加表示することで、容易に欠陥及び欠陥位置を認識することができる。
【００３３】
従って、本実施形態では上記のようにパターン検査装置を構成したことにより次のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、被検査パターンの配線パターン４１〜４３と良品パターンの配線パターン２１〜２３の全ての位置毎に線幅を測定し、逐次比較する方式を採用した。従って、高密度で複雑な形状を有する配線パターンが形成されたプリント基板であっても比較的容易で確実に、誤検出が発生しにくい線幅検査に基づく欠陥検出を行うことができる。
【００３４】
（２）本実施形態では、幅測定回路４において良品パターンの線幅を測定し、当該測定したデータを基準データとして切替回路５及び膨張処理回路６を介して基準画像メモリ７に記憶させておくことができる。即ち、基準データを自動作成することができる。
【００３５】
（３）本実施形態では、膨張処理回路６において良品パターンの基準データをその周辺領域にも膨張させることにより、当該基準データと被検査パターンに係る測定データとを比較する際に若干のずれが生じた場合であっても、正確な線幅検査ができる。
【００３６】
（４）本実施形態では、測定データに対して所定幅若しくは所定比率の許容誤差範囲を設けたことで、判定回路１０における過剰な欠陥検出を抑えることができる。
【００３７】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では２値化画像Ｂを例に説明したが、これに限らず、濃淡画像である多値画像（例えば、８ビット２５６階調の画像）についてもパターン検査を実施してよい。この場合、前処理回路３は２値化回路を含まずに構成される。即ち、前処理回路３は図示しないＡ／Ｄ変換器を備えており、ＣＣＤ２から出力された撮像データが当該Ａ／Ｄ変換器によりディジタル信号に変換され、多値画像データが生成される。
【００３８】
○上記実施形態では被検査パターンとして配線パターン２１〜２３を例に説明したが、これに限らず、配線パターンの端点である所定形状のパッド、及び配線パターン間の間隔を被検査パターンに加えてもよい。
【００３９】
○上記実施形態では２値化画像Ｂにおける配線パターン領域２１ａ〜２３ａ（４１ａ〜４３ａ）の全ての位置（測定位置）において線幅測定を行ったが、パターン形成方向等における所定の範囲を限定して線幅測定してもよい。
【００４０】
○上記実施形態では３種類の特徴抽出フィルタ３１〜３３を用いたが、これに限られることはなく想定される配線パターンの最小幅及び最大幅を検出することができるフィルタを必要な数だけ用いるのが望ましい。また、特徴抽出フィルタ３１〜３３は本実施形態及び図面に記載された形状に限られるものではなく、線幅を測定するために適当な所定形状を採用してよい。
【００４１】
○上記実施形態では膨張処理回路６で良品パターンに係る基準データを自動生成したが、その都度、図示しないキーボード等の入力装置から入力するようにしてもよい。また、予め設定しておいてもよい。
【００４２】
○上記実施形態では良品パターンに係る基準データを生成する場合、比較基準となる良品パターンのプリント基板をＣＣＤ２により撮像したが、ＣＡＤデータを用いて基準データを生成してもよい。
【００４３】
○上記実施形態では、許容誤差メモリ９内に許容誤差を予め記憶させておいたが、演算により許容誤差を算出するようにしてもよい。例えば、基準データから一定画素（例えば２画素）以内のずれを許容誤差とする方法（加算による例）や、測定データと基準データとの比を求め、一定比率（例えば８０％〜１２０％）以内のずれを許容誤差とする方法（比率による例）がある。更には一定画素かつ一定比率（例えば、２画素以内のずれで、かつ基準データの８０％〜１２０％）以内のずれと規定してもよい。
【００４４】
○上記実施形態では膨張処理回路６において数値化コード２５を周辺位置まで膨張させる処理が実行されたが、この処理は省略してもよい。即ち、幅測定回路４で生成された数値化コード２５を直接、基準画像メモリ７に送信してもよい。
【００４５】
○上記実施形態では許容誤差メモリ９に設定されている許容誤差情報に基づいて欠陥の有無が判断されたが、許容誤差を設定することなく欠陥を判断してもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、高密度で場所によって線幅やパターン間隔の異なる複雑な形状を有する配線パターンであっても誤検出が発生しにくく、比較的容易に欠陥検出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施形態におけるパターン検査装置のシステム構成図。
【図２】 基準データの２値化画像の説明図。
【図３】 特徴抽出フィルタの説明図。
【図４】 配線幅測定時の説明図。
【図５】 配線幅測定時の説明図。
【図６】 膨張処理の説明図。
【図７】 膨張処理の説明図。
【図８】 被検査パターンの２値化画像の説明図。
【図９】 欠陥検査時の説明図。
【図１０】 欠陥位置表示例の説明図。
【符号の説明】
４ 幅測定手段及び基準データ生成手段としての幅測定回路
６ 基準データ生成手段としての膨張処理回路
７ 基準データ記憶手段としての基準画像メモリ
８ 比較手段としての比較回路
９ 欠陥判定手段としての判定回路
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばプリント基板、半導体パッケージ、フラットパネルディスプレイ等におけるパターンの欠陥を外観検査するパターン検査装置及びパターン検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、この種のパターン検査装置では、プリント基板等における被検査パターン（例えば、配線パターンやパッド等。）の撮像データに基づき生成した濃淡画像（２値化画像若しくは多値画像）から所定の検出アルゴリズムを用いて前記パターン上の断線や短絡等の欠陥を検出するようにしている。そして、その際における検出アルゴリズムには、従来から、特徴抽出アルゴリズム（デザインルールチェック（ＤＲＣ）法ともいう。）とパターンマッチング（完全比較法ともいう。）とが用いられている。
【０００３】
特徴抽出アルゴリズムは、被検査パターンの濃淡画像について所定の処理領域内で局所的なウィンドウ処理を行うことで被検査パターンにおける欠陥部分を特異点として抽出するものである。また、パターンの配線幅や間隔等の測定結果を基準となる対象と比較し、当該基準対象と相違していれば、その相違部分は欠陥であると判定するものである。一方、パターンマッチングは基準となる良品パターンと被検査パターンとの形状を直接比較するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、近年プリント基板等における配線パターン等は、複雑かつ高密度化の傾向にあり、特に、配線パターンや、配線パターン間の間隔等の幅が場所により変化するように形成されるものも少なくない。そして、このような配線パターンを有するプリント基板を検査する際、特徴抽出アルゴリズムを用いたパターン検査の場合には次のような問題があった。
【０００５】
即ち、このように線幅が変化するパターンについて線幅検査する場合、画一的なパターン幅に基づく手法では本来欠陥でない部分も欠陥と認識してしまい、適切な検査を実施することができなかった。つまり、検査対象であるプリント基板上に細い配線パターンと太い配線パターンとが混在している場合、それぞれのパターンにおける許容差を独立に設定することができず、配線パターンの太さに応じた最適なパターン検査が困難であった。パターン検査における一般の線幅については、例えば基準線幅の２／３以上４／３以下であれば許容するようにしている。しかしながら、特徴抽出を用いた最小線幅のみのパターン検査では線幅によって許容差が変化するような比率による比較は困難であり、また、パターンマッチングを用いたパターン検査ではアルゴリズムの性格上、配線形状のみの比較しかできず線幅そのものの検査ができなかった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであって、その目的は、高密度で場所によって線幅やパターン間隔の異なる複雑な形状を有するパターンであっても、誤検出が発生しにくく、比較的容易な欠陥検査を可能とするパターン検査装置及びパターン検査方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、被検査パターンが設けられた検査対象物を所定の撮像範囲で撮影して得た撮像データの濃淡画像に基づき前記被検査パターンの欠陥を検出するパターン検査装置において、前記濃淡画像における一つの被検査パターンについて、認識する画素数が互いに異なる複数の特徴抽出フィルタごとに、パターン寸法を同一の測定位置において回転角度を変更させて複数測定し、それらすべてのパターン寸法のうち、最も狭いパターン寸法が前記測定位置におけるパターン寸法とする幅測定手段と、比較基準となる良品パターンの濃淡画像における前記測定位置のパターン寸法と対応する基準位置でのパターン寸法に係る基準データを記憶した基準データ記憶手段と、前記被検査パターンに関して前記幅測定手段の測定結果から得られた測定データと前記基準データ記憶手段に記憶された基準データとを比較する比較手段と、当該比較手段の比較結果に基づいて前記被検査パターンにおける欠陥の有無を判定する欠陥判定手段とを具えたことを要旨とした。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のパターン検査装置において、前記基準データ記憶手段は、前記基準データを前記良品パターンが被検査パターンとされた場合の測定結果に基づいて自動生成する基準データ生成手段を具えたことを要旨とした。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のパターン検査装置において、前記基準データ記憶手段は、前記良品パターンの濃淡画像における所定領域中の一つの位置での所定方向寸法に係る基準データと共に、当該基準データとデータ値が同一となる複数の基準データを、前記所定領域中で前記一つの位置の付近に位置する他の複数位置での各基準データとして記憶することを要旨とした。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載のパターン検査装置において、前記欠陥判定手段は、前記比較手段の比較結果が、前記被検査パターンについて欠陥無しと判定するために予め設定された所定の許容条件範囲を外れた場合に欠陥有りと判定することを要旨とした。
【００１１】
一方、パターン検査方法に係る請求項５に記載の発明は、被検査パターンが設けられた検査対象物を所定の撮像範囲で撮影して得た撮像データの濃淡画像における一つの被検査パターンについて、認識する画素数が互いに異なる複数の特徴抽出フィルタごとに、パターン寸法を同一の測定位置において回転角度を変更させて複数測定し、それらすべてのパターン寸法のうち、最も狭いパターン寸法が前記測定位置におけるパターン寸法とした後、当該パターン寸法に係る測定データと、比較基準となる良品パターンの濃淡画像における前記測定位置と対応する基準位置でのパターン寸法に係る基準データとを比較し、その後、比較した結果に基づいて前記被検査パターンにおける欠陥の有無を判定することを要旨とした。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をプリント基板のパターン検査装置に具体化した一実施形態を図１〜図１０に従って説明する。
【００１３】
図１に示すように本実施形態に係るパターン検査装置１は、ＣＣＤ２、前処理回路３、幅測定回路４、切替回路５、膨張処理回路６、基準画像メモリ７、比較回路８、許容誤差メモリ９、判定回路１０を備えている。
【００１４】
ＣＣＤ２では、検査対象物であるプリント基板上に形成された被検査パターンとしての配線パターンが所定形状（本実施形態では矩形状）の撮像範囲で撮影される。撮影して得られた撮像データは、前処理回路３に送られる。前処理回路３は、図示しないＡ／Ｄ変換器及び２値化回路を含んで構成されている。Ａ／Ｄ変換器では、ＣＣＤ２から出力された撮像データがディジタル信号に変換される。そして、ディジタル変換された撮像データは２値化回路により所定の閾値で２値化処理が行われ、各画素の設定値（画素値）が０と１とからなる濃淡画像の一種である２値化画像データが生成される。
【００１５】
幅測定手段及び基準データ生成手段としての幅測定回路４では、２値化画像データの全領域において特徴抽出フィルタを用いてパターン寸法としての配線幅が測定される。切替回路５では、基準配線幅生成時と配線幅検査実行時とで配線幅測定データを送信する回路が切替えられる。即ち、配線幅測定データは、基準配線幅生成時には基準データ生成手段としての膨張処理回路６へ送信され、配線幅検査実行時には比較手段としての比較回路８へ送信される。膨張処理回路６では、基準配線幅生成時において、前記幅測定回路４から出力された配線幅測定データが所定領域まで膨張される。
【００１６】
基準データ記憶手段としての基準画像メモリ７には、膨張された配線幅測定データが基準データとして記憶される。比較回路８では、配線幅検査実行時に、前記基準データと２値化画像データの配線パターンにおける当該基準データに対応する位置の配線幅とが比較される。比較される際には、予め許容誤差メモリ９に設定されている許容誤差情報が参照される。欠陥判定手段としての判定回路１０では、前記比較回路８において比較された結果に基づいて欠陥の有無が判定される。
【００１７】
次に、以上のように構成された本実施形態におけるパターン検査装置を使用してパターン検査を実施する方法を説明する。パターン検査は、基準データを自動生成する行程と、配線パターンの線幅検査を実施する行程とからなる。まず、基準データを自動生成する行程について説明する。
【００１８】
ＣＣＤ２により撮像された、比較基準となる良品パターンのプリント基板上の配線パターンに関する撮像データは前処理回路３に送られ、図示しない前記Ａ／Ｄ変換器によって多値８ビット（２５６階調）にディジタル変換される。そして、このディジタル変換された撮像データから、２値化回路において所定の閾値（本実施形態では１２８）によって、配線パターン領域とその他の領域とに分離された２値化画像データが生成される。図２は良品パターンを撮像して得られた２値化画像データの一部であって配線パターン２１〜２３が配置されている領域を拡大した２値化画像Ｂである。なお本実施形態では、配線パターン２１〜２３における配線パターン領域２１ａ〜２３ａの画素値は１であり、その他の領域２４の画素値は０となっている。そして生成された２値化画像データは、幅測定回路４に送られる。
【００１９】
幅測定回路４では、特徴抽出フィルタを用いて前記配線パターン２１〜２３の配線幅が測定される。以下に、幅測定回路４における特徴抽出フィルタを用いた配線幅の測定方法について説明する。図３は本実施形態における３種類の特徴抽出フィルタ（第１〜第３の特徴抽出フィルタ３１〜３３）の形状を示したものである。各特徴抽出フィルタ３１〜３３は前記２値化画像Ｂにおける配線パターン領域２１ａ〜２３ａを検出するための配線検出部３１ａ〜３３ａとその他の領域２４を検出するための非配線検出部３１ｂ〜３３ｂとをそれぞれ備えている。
【００２０】
第１の特徴抽出フィルタ３１は３〜５画素の配線幅を認識するためのフィルタであり、第１配線検出部３１ａと、一対の第１非配線検出部３１ｂとから構成されている。第１配線検出部３１ａは、２値化画像Ｂにおける単位画素３０が特定方向（図３では上下方向）に３画素分連続配置された形状であり、第１非配線検出部３１ｂは単位画素３０が前記特定方向と直交する方向（図３では左右方向）に３画素分連続配置された形状となっている。また、前記第１配線検出部３１ａの長手方向両端部と前記一対の第１非配線検出部３１ｂの各中央部とは同一直線上に位置するよう形成されており、更に両者の間は認識させる配線幅に幅を持たせる（３〜５画素）ため１画素分だけ離れた配置構成となるように形成されている。
【００２１】
そして、前記第１の特徴抽出フィルタ３１は、前記第１配線検出部３１ａと対応する位置における２値化画像データの画素値が１（配線パターン領域２１ａ〜２３ａ）の場合に出力コードとして１を出力し、画素値が０（その他の領域２４）の場合に出力コードとして０を出力する。また、前記一対の第１非配線検出部３１ｂと対応する位置における２値化画像データの画素値が０（その他の領域２４）の場合に出力コードとして１を出力し、画素値が１（配線パターン領域２１ａ〜２３ａ）の場合に出力コードとして０を出力する。そして、前記第１配線検出部３１ａの出力コード及び一対の第１非配線検出部３１ｂの出力コードの全ての出力コードが１になったときのみ、当該第１の特徴抽出フィルタ３１の出力結果が１となる。
【００２２】
また、第２の特徴抽出フィルタ３２は５〜７画素の配線幅を認識するためのフィルタで、第２配線検出部３２ａと、一対の第２非配線検出部３２ｂとから構成されている。第２配線検出部３２ａは、２値化画像Ｂにおける単位画素３０が特定方向（図３では上下方向）に５画素分連続配置された形状であり、また、第２非配線検出部３２ｂは単位画素３０が前記特定方向と直交する方向（図３では左右方向）に３画素分連続配置された形状となっている。また、前記第２配線検出部３２ａの長手方向両端部と前記一対の第２非配線検出部３２ｂの各中央部とは同一直線上に位置するよう形成されており、更に両者の間は認識させる配線幅に幅を持たせる（５〜７画素）ため１画素分だけ離れた配置構成となるように形成されている。
【００２３】
また、第３の特徴抽出フィルタ３３は７〜９画素の配線幅を認識するためのフィルタで、第３配線検出部３３ａと、一対の第３非配線検出部３３ｂとから構成されている。第３配線検出部３３ａは、２値化画像Ｂにおける単位画素３０が特定方向（図３では上下方向）に７画素分連続配置された形状であり、第３非配線検出部３３ｂは単位画素３０が前記特定方向と直交する方向（図３では左右方向）に３画素分連続配置された形状となっている。また、前記第３配線検出部３３ａの長手方向両端部と前記一対の第３非配線検出部３３ｂの各中央部とは同一直線上に位置するよう形成されており、更に両者の間は認識させる配線幅に幅を持たせる（７〜９画素）ため１画素分だけ離れた配置構成となるように形成されている。なお、前記第２の特徴抽出フィルタ３２及び第３の特徴抽出フィルタ３３からの各出力結果の条件は、第１の特徴抽出フィルタ３１と同じである。
【００２４】
更に、これらの特徴抽出フィルタ３１〜３３を所定角度回転（例えば、図３に示す特徴抽出フィルタ３１〜３３を基準（０度）として、２２．５度，４５度，６７．５度，９０度，１１２．５度，１３５度，１５７．５度）させたものを用意し、これらの特徴抽出フィルタを用いた幅測定についても同時に実施される。これにより、様々な方向に向かって配置された配線パターンの線幅を測定することが可能となる。従って、２値化画像Ｂの各画素毎に、３種類の特徴抽出フィルタ３１〜３３のそれぞれについて２２．５度刻みで回転したフィルタが８パターン用意され、計２４通りのフィルタリングが実施されることになる。
【００２５】
例えば、２値化画像Ｂ上のある測定位置において第２の特徴抽出フィルタ３２の出力結果のみが１となった場合には、その測定位置における配線パターン幅は６であることがわかる。また、ある測定位置において第２の特徴抽出フィルタ３２及び第３の特徴抽出フィルタ３３の出力結果が１となった場合、その測定位置における配線パターン幅は７であることがわかる。なお、全ての特徴抽出フィルタ３１〜３３の出力結果が０、即ち配線幅が検出できなかった場合、その測定位置で検出されたものは、これらの特徴抽出フィルタの測定範囲を超えるか配線パターンでないと判断される。
【００２６】
そして、各特徴抽出フィルタ３１〜３３ごとに、同一の測定位置において回転角度が異なるだけの同一形状・大きさからなる前記各パターンの特徴抽出フィルタにより得られた配線パターンの幅（以下、配線幅ともいう）のうち、最も狭い配線幅が当該測定位置における配線幅となる。なお、全ての特徴抽出フィルタ３１〜３３の、全ての回転角度における出力結果が０、即ち配線幅が検出できなかった場合、その位置で検出されたものは、これらの特徴抽出フィルタの測定範囲を超えるか配線パターンでないと判断される。このようにして特徴抽出フィルタ３１〜３３の出力結果から得られた前記配線幅は、数値化コード２５として、図４に示すように配線パターン２１〜２３の中心部に相当する位置に沿って出力される。図５は図４の点線で囲み表示したＰ部を拡大した図である。配線パターン２３の幅方向中心部に対応する位置に、３〜５の各配線幅を表す各数値化コード２５が出力されている。
【００２７】
基準配線幅生成時には、幅測定回路４で生成された数値化コード２５は切替回路５を介して接続されている膨張処理回路６に送られる。膨張処理回路６では、検査時における位置ずれを想定し、数値化コード２５を周辺位置まで膨張させる処理が実行される。このときの膨張範囲は任意でよく、想定される位置ずれ量に基づいた適当な範囲で拡張される。図６は膨張処理した結果である。そして、図７は図６の点線で囲み表示したＱ部を拡大した図である。本実施形態では、同図に示すように配線パターン２３の左右の幅方向に３画素ずつ膨張させている。そして、このようにして生成された数値化コード２５、及びその周辺領域まで膨張されて当該数値化コード２５とデータ値が同一となる数値化コード２６とが、その位置情報とともに基準データとして基準画像メモリ７に記憶される。
【００２８】
次に、配線パターンの線幅検査を実施する行程について説明する。なお、２値化画像Ｂを生成する方法については上述したものと同一であるため、ここでは省略する。図８は、被検査パターンが設けられた検査対象物であるプリント基板上を撮像し２値化処理することにより生成された２値化画像データの一部を拡大した２値化画像Ｂの図である。同図中の各配線パターン４１〜４３における配線パターン領域４１ａ〜４３ａには点線４４で囲み表示した部分にピンホールが、点線４５で囲み表示した部分に欠けが、そして点線４６で囲み表示した部分に突起が存在している。
【００２９】
幅測定回路４では、各配線パターン４１〜４３における配線幅が２値化画像Ｂにおける全ての配線パターン領域４１ａ〜４３ａの全ての位置について、先に述べた方法により計測される。配線幅検査実行時に幅測定回路４で生成された数値化コード（以下、測定データともいう）は切替回路５を介して接続されている比較回路８に送られる。比較回路８では、基準画像メモリ７に記憶されている基準データと当該基準データに対応する位置の測定データとが比較される。なお、比較される際には許容誤差メモリ９に設定されている許容誤差情報が参照される。即ち、誤差の許容条件範囲を予め設定しておき、当該許容条件範囲を加味した基準データに測定データが一致するか否か判定される。これは、基準データと測定データとを比較する際に、常に同一の配線幅でなければ欠陥であると判断することは誤検出が頻発することになり、実用上好ましくなくいためである。
【００３０】
誤差の許容条件範囲は、想定される基準データの配線幅毎に許容誤差メモリ９内に予め記憶させておく。本実施形態では、基準データの配線幅が３画素以下の場合、２〜４画素を許容範囲とし、配線幅が４〜７画素の場合、３画素以上であってかつ基準データの１／２画素以上を許容範囲とする。また、基準データの配線幅が８画素以上の場合は基準データの２／３画素以上かつ４／３画素以下を許容範囲とする。このように、配線幅毎に適当な許容誤差を与えることで、最適な許容範囲を設定することができる。このようにして得られた比較結果は判定回路１０に送られる。
【００３１】
図９は基準データと測定データとが比較された結果を示すものである。配線パターン４１における点線４４で囲み表示した部分では、ピンホールが存在していることにより測定された配線幅が２箇所存在し、何れの幅も基準データに比べて短くなっている。また、配線パターン４２における点線４５で囲み表示した部分では、欠けが存在していることにより測定された配線幅が基準データより短くなっている。そして、配線パターン４３における点線４６で囲み表示した部分では突起が存在していることにより測定された配線幅が基準データより長くなっている。
【００３２】
判定回路１０では欠陥の有無が判断される。判定回路１０において、測定データが許容誤差の範囲よりも小さい場合（図９における点線４４，４５の部分）にはその位置において欠け若しくはピンホールがあると判定され、また、許容誤差の範囲よりも大きい場合（図９における点線４６の部分）にはその位置に突起があると判定される。一方、許容誤差の範囲内であれば、その位置には欠陥がないと判定される。そして、このようにして得られた判定結果はテレビモニタ等の外部出力装置に出力される。このとき、図１０に示すように、欠陥位置付近に所定形状の目印（図１０では×印）を付加表示することで、容易に欠陥及び欠陥位置を認識することができる。
【００３３】
従って、本実施形態では上記のようにパターン検査装置を構成したことにより次のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、被検査パターンの配線パターン４１〜４３と良品パターンの配線パターン２１〜２３の全ての位置毎に線幅を測定し、逐次比較する方式を採用した。従って、高密度で複雑な形状を有する配線パターンが形成されたプリント基板であっても比較的容易で確実に、誤検出が発生しにくい線幅検査に基づく欠陥検出を行うことができる。
【００３４】
（２）本実施形態では、幅測定回路４において良品パターンの線幅を測定し、当該測定したデータを基準データとして切替回路５及び膨張処理回路６を介して基準画像メモリ７に記憶させておくことができる。即ち、基準データを自動作成することができる。
【００３５】
（３）本実施形態では、膨張処理回路６において良品パターンの基準データをその周辺領域にも膨張させることにより、当該基準データと被検査パターンに係る測定データとを比較する際に若干のずれが生じた場合であっても、正確な線幅検査ができる。
【００３６】
（４）本実施形態では、測定データに対して所定幅若しくは所定比率の許容誤差範囲を設けたことで、判定回路１０における過剰な欠陥検出を抑えることができる。
【００３７】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では２値化画像Ｂを例に説明したが、これに限らず、濃淡画像である多値画像（例えば、８ビット２５６階調の画像）についてもパターン検査を実施してよい。この場合、前処理回路３は２値化回路を含まずに構成される。即ち、前処理回路３は図示しないＡ／Ｄ変換器を備えており、ＣＣＤ２から出力された撮像データが当該Ａ／Ｄ変換器によりディジタル信号に変換され、多値画像データが生成される。
【００３８】
○上記実施形態では被検査パターンとして配線パターン２１〜２３を例に説明したが、これに限らず、配線パターンの端点である所定形状のパッド、及び配線パターン間の間隔を被検査パターンに加えてもよい。
【００３９】
○上記実施形態では２値化画像Ｂにおける配線パターン領域２１ａ〜２３ａ（４１ａ〜４３ａ）の全ての位置（測定位置）において線幅測定を行ったが、パターン形成方向等における所定の範囲を限定して線幅測定してもよい。
【００４０】
○上記実施形態では３種類の特徴抽出フィルタ３１〜３３を用いたが、これに限られることはなく想定される配線パターンの最小幅及び最大幅を検出することができるフィルタを必要な数だけ用いるのが望ましい。また、特徴抽出フィルタ３１〜３３は本実施形態及び図面に記載された形状に限られるものではなく、線幅を測定するために適当な所定形状を採用してよい。
【００４１】
○上記実施形態では膨張処理回路６で良品パターンに係る基準データを自動生成したが、その都度、図示しないキーボード等の入力装置から入力するようにしてもよい。また、予め設定しておいてもよい。
【００４２】
○上記実施形態では良品パターンに係る基準データを生成する場合、比較基準となる良品パターンのプリント基板をＣＣＤ２により撮像したが、ＣＡＤデータを用いて基準データを生成してもよい。
【００４３】
○上記実施形態では、許容誤差メモリ９内に許容誤差を予め記憶させておいたが、演算により許容誤差を算出するようにしてもよい。例えば、基準データから一定画素（例えば２画素）以内のずれを許容誤差とする方法（加算による例）や、測定データと基準データとの比を求め、一定比率（例えば８０％〜１２０％）以内のずれを許容誤差とする方法（比率による例）がある。更には一定画素かつ一定比率（例えば、２画素以内のずれで、かつ基準データの８０％〜１２０％）以内のずれと規定してもよい。
【００４４】
○上記実施形態では膨張処理回路６において数値化コード２５を周辺位置まで膨張させる処理が実行されたが、この処理は省略してもよい。即ち、幅測定回路４で生成された数値化コード２５を直接、基準画像メモリ７に送信してもよい。
【００４５】
○上記実施形態では許容誤差メモリ９に設定されている許容誤差情報に基づいて欠陥の有無が判断されたが、許容誤差を設定することなく欠陥を判断してもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、高密度で場所によって線幅やパターン間隔の異なる複雑な形状を有する配線パターンであっても誤検出が発生しにくく、比較的容易に欠陥検出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施形態におけるパターン検査装置のシステム構成図。
【図２】 基準データの２値化画像の説明図。
【図３】 特徴抽出フィルタの説明図。
【図４】 配線幅測定時の説明図。
【図５】 配線幅測定時の説明図。
【図６】 膨張処理の説明図。
【図７】 膨張処理の説明図。
【図８】 被検査パターンの２値化画像の説明図。
【図９】 欠陥検査時の説明図。
【図１０】 欠陥位置表示例の説明図。
【符号の説明】
４ 幅測定手段及び基準データ生成手段としての幅測定回路
６ 基準データ生成手段としての膨張処理回路
７ 基準データ記憶手段としての基準画像メモリ
８ 比較手段としての比較回路
９ 欠陥判定手段としての判定回路
Claims (5)
- 被検査パターンが設けられた検査対象物を所定の撮像範囲で撮影して得た撮像データの濃淡画像に基づき前記被検査パターンの欠陥を検出するパターン検査装置において、
前記濃淡画像における一つの被検査パターンについて、認識する画素数が互いに異なる複数の特徴抽出フィルタごとに、パターン寸法を同一の測定位置において回転角度を変更させて複数測定し、それらすべてのパターン寸法のうち、最も狭いパターン寸法が前記測定位置におけるパターン寸法とする幅測定手段と、
比較基準となる良品パターンの濃淡画像における前記測定位置のパターン寸法と対応する基準位置でのパターン寸法に係る基準データを記憶した基準データ記憶手段と、
前記被検査パターンに関して前記幅測定手段の測定結果から得られた測定データと前記基準データ記憶手段に記憶された基準データとを比較する比較手段と、
当該比較手段の比較結果に基づいて前記被検査パターンにおける欠陥の有無を判定する欠陥判定手段と
を具えたことを特徴とするパターン検査装置。 - 前記基準データ記憶手段は、前記基準データを前記良品パターンが被検査パターンとされた場合の測定結果に基づいて自動生成する基準データ生成手段を具えたことを特徴とする請求項１に記載のパターン検査装置。
- 前記基準データ記憶手段は、前記良品パターンの濃淡画像における所定領域中の一つの位置での所定方向寸法に係る基準データと共に、当該基準データとデータ値が同一となる複数の基準データを、前記所定領域中で前記一つの位置の付近に位置する他の複数位置での各基準データとして記憶することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のパターン検査装置。
- 前記欠陥判定手段は、前記比較手段の比較結果が、前記被検査パターンについて欠陥無しと判定するために予め設定された所定の許容条件範囲を外れた場合に欠陥有りと判定することを特徴とする請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載のパターン検査装置。
- 被検査パターンが設けられた検査対象物を所定の撮像範囲で撮影して得た撮像データの濃淡画像における一つの被検査パターンについて、認識する画素数が互いに異なる複数の特徴抽出フィルタごとに、パターン寸法を同一の測定位置において回転角度を変更させて複数測定し、それらすべてのパターン寸法のうち、最も狭いパターン寸法が前記測定位置におけるパターン寸法とした後、
当該パターン寸法に係る測定データと、比較基準となる良品パターンの濃淡画像における前記測定位置と対応する基準位置でのパターン寸法に係る基準データとを比較し、
その後、比較した結果に基づいて前記被検査パターンにおける欠陥の有無を判定するパターン検査方法。
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