JP3950089B2 - 電子衝撃加熱装置 - Google Patents
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Description
ステージ部6の壁には、冷却液通路7が形成され、この冷却液通路7に水等の冷却液を通すことにより、ステージ部6が冷却される。
ステージ部6には、排気通路4が形成され、この排気通路4に接続された真空ポンプ5により、加熱物支持部材1の内部の空間が排気され、真空にされる。
リフレクタ3の少なくともフィラメント9と対向した最も上のものは、フィラメント9と同電位にされているため、電子は飛来せず、従って電子衝撃を受けない。
以下、このような本発明の実施例について、図面を参照しながら具体例を挙げて詳細に説明する。
ステージ部6の上の部分は真空容器の中にあり、加熱プレート2の部分は真空雰囲気におかれることは、図5により説明した従来例と同様である。
このステージ部6の上には、シリコンウエハ等の薄形板状の加熱物を載せる平坦な加熱プレート2を有する耐熱性の加熱物支持部材1が設置され、その内部は同加熱物支持部材1により、その外側の空間と気密に仕切られる空間を有する。より具体的には、加熱物支持部材1は、上面側が加熱プレート2により閉じられ、下面側が開口した円筒形状を有しており、加熱プレート2の平坦な上面は、シリコンウエハ等の薄形板状の加熱物より広くなっている。加熱物支持部材1の下端部にはフランジが設けられ、このフランジ部分がステージ部6の上面に当てられて固定されると共に、真空シール材8により気密にシールされている。
さらに、この加熱物支持部材1の内部には、フィラメント9とリフレクタ3が設置されている。
図3と図4に示した実施例が前記の実施例と相違しているのは、接続部材18が電極15にではなく、フィラメント9を保持するサポート部材13に取り付けられ、リフレクタ3が接続部材18とサポート部材13とを介してフィラメント9に接続されている点である。それ以外は、図1に示した電子衝撃加熱装置の実施例と全ての部分が共通している。
3 リフレクタ
9 フィラメント
11 電子加速電源
13 サポート部材
14 温度測定器
15 電極
18 接続部材
21 ナット
Claims (3)
- 熱電子を発生するフィラメント(9)と、このフィラメント(9)で発生した熱電子を加速して加熱プレート(2)に衝突させる電子加速電源(11)と、加熱プレート(2)に対してフィラメント(9)の背後側に設けられ、加熱プレート(2)の電子衝撃で発生する熱を反射するリフレクタ(3)とを有する電子衝撃加熱装置であって、フィラメント(9)とリフレクタ(3)とを同電位にするため、リフレクタ(3)をフィラメント(9)に接続する接続部材(18)がリフレクタ(3)に固定されていると共に、前記フィラメント(9)と導通する部材の長手方向にスライド自在に設けたことを特徴とする電子衝撃加熱装置。
- 前記フィラメント(9)と導通する部材がフィラメント(9)に電源を接続する電極(15)であり、リフレクタ(3)が同電極(15)の長手方向にスライド自在な接続部材(18)を介してフィラメント(9)に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子衝撃加熱装置。
- 前記フィラメント(9)と導通する部材がフィラメント(9)を保持するサポート部材(13)であり、リフレクタ(3)が同サポート部材(13)の長手方向にスライド自在な接続部材(18)とを介してフィラメント(9)に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の電子衝撃加熱装置。
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