JP3908751B2 - 音響電気変換素子 - Google Patents
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Description
半導体基板の領域を除去して形成された空洞部を有する枠体と、
前記半導体基板上に形成された光導波路層をエッチングして前記枠体上に形成された第1の光導波路と、
前記半導体基板上に形成された前記光導波路層をエッチングして前記空洞部内に残すように形成された第2の光導波路と、
前記第2の光導波路上に形成された回折格子と、
前記第1及び第2の光導波路を連結し、前記第2の光導波路及び前記回折格子を音響波に対して振動可能に支持する支持部であって、前記半導体基板上に形成された前記光導波路層をエッチングして前記空洞部内に残して光導波路に形成される支持部と、
前記第1の光導波路、前記支持部及び前記第2の光導波路を介して前記回折格子に導かれる光波を照射する光源と、及び
前記回折格子で回折された回折光を検出する光検出器と、
を具備することを特徴とする音響電気変換素子が提供される。
半導体基板の領域を除去して形成された空洞部を有する枠体と、
前記半導体基板上に形成された光導波路層をエッチングして前記枠体上に形成された第1の光導波路と、
前記半導体基板上に形成された前記光導波路層をエッチングして前記空洞部内に残すように形成された第2の光導波路と、
前記第2の光導波路上に形成された回折格子と、
前記第1及び第2の光導波路を連結し、前記第2の光導波路及び前記回折格子を音響波に対して振動可能に支持する支持部であって、前記半導体基板上に形成された前記光導波路層をエッチングして前記空洞部内に残して光導波路に形成される支持部と、
前記回折格子に導かれる光波を照射する光源と、及び
前記第1の光導波路、前記支持部及び前記第2の光導波路を介して導かれる前記回折格子で回折された回折光を検出する光検出器と、
を具備することを特徴とする音響電気変換素子が提供される。
4...導波層
6...積層構造
8...空洞部
10...FGC
12...導波路部
14...レーザーダイオード
18...光検出素子
22...増幅器
24...信号処理部
32...バッファ層
52...埋め込み絶縁層
53...単結晶Si層
Claims (7)
- 半導体基板の領域を除去して形成された空洞部を有する枠体と、
前記半導体基板上に形成された光導波路層をエッチングして前記枠体上に形成された第1の光導波路と、
前記半導体基板上に形成された前記光導波路層をエッチングして前記空洞部内に残すように形成された第2の光導波路と、
前記第2の光導波路上に形成された回折格子と、
前記第1及び第2の光導波路を連結し、前記第2の光導波路及び前記回折格子を音響波に対して振動可能に支持する支持部であって、前記半導体基板上に形成された前記光導波路層をエッチングして前記空洞部内に残して光導波路に形成される支持部と、
前記第1の光導波路、前記支持部及び前記第2の光導波路を介して前記回折格子に導かれる光波を照射する光源と、及び
前記回折格子で回折された回折光を検出する光検出器と、
を具備することを特徴とする音響電気変換素子。 - 前記光源は、レーザーダイオードであって、前記枠体の前記半導体基板に設けられることを特徴とする請求項1の音響電気変換素子。
- 前記光検出器は、前記枠体の前記半導体基板に形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2の音響電気変換素子。
- 前記光検出器は、前記枠体外に設けられることを特徴とする請求項1又は請求項2の音響電気変換素子。
- 半導体基板の領域を除去して形成された空洞部を有する枠体と、
前記半導体基板上に形成された光導波路層をエッチングして前記枠体上に形成された第1の光導波路と、
前記半導体基板上に形成された前記光導波路層をエッチングして前記空洞部内に残すように形成された第2の光導波路と、
前記第2の光導波路上に形成された回折格子と、
前記第1及び第2の光導波路を連結し、前記第2の光導波路及び前記回折格子を音響波に対して振動可能に支持する支持部であって、前記半導体基板上に形成された前記光導波路層をエッチングして前記空洞部内に残して光導波路に形成される支持部と、
前記回折格子に導かれる光波を照射する光源と、及び
前記第1の光導波路、前記支持部及び前記第2の光導波路を介して導かれる前記回折格子で回折された回折光を検出する光検出器と、
を具備することを特徴とする音響電気変換素子。 - 前記光源は、レーザーダイオードであって、前記枠体外に設けられることを特徴とする請求項5の音響電気変換素子。
- 前記光検出器は、前記枠体の前記半導体基板に形成されることを特徴とする請求項5又は請求項6の音響電気変換素子。
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