JP3850064B2 - クリーンルーム内における機器の設置構造 - Google Patents
クリーンルーム内における機器の設置構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3850064B2 JP3850064B2 JP08921196A JP8921196A JP3850064B2 JP 3850064 B2 JP3850064 B2 JP 3850064B2 JP 08921196 A JP08921196 A JP 08921196A JP 8921196 A JP8921196 A JP 8921196A JP 3850064 B2 JP3850064 B2 JP 3850064B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- clean room
- plate portion
- floor surface
- installation structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02G—INSTALLATION OF ELECTRIC CABLES OR LINES, OR OF COMBINED OPTICAL AND ELECTRIC CABLES OR LINES
- H02G3/00—Installations of electric cables or lines or protective tubing therefor in or on buildings, equivalent structures or vehicles
- H02G3/28—Installations of cables, lines, or separate protective tubing therefor in conduits or ducts pre-established in walls, ceilings or floors
- H02G3/283—Installations of cables, lines, or separate protective tubing therefor in conduits or ducts pre-established in walls, ceilings or floors in floors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Architecture (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Floor Finish (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、近年その必要性が顕著でしかも盛んに建設されているクリーンルーム内に設置される機器の設置構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、半導体プロセスにおいて用いられるクリーンルームは広く知られている。ここで、クリーンルームとは、空気中の塵埃,微粒子が規定されたレベル以下に管理され、圧力,温度,湿度,気流分布などの環境条件も管理されている部屋のことである。このクリーンルーム内には、加工装置,処理装置,評価・分析装置,検査装置,包装装置,ロボット,工具,運搬具,器具備品(以下、本明細書においては、単に「機器」と称する)などが設置される。
【0003】
図8は、従来のクリーンルームの概略構成の一例を示す図である。図8を参照して、建屋本体4は、天井部5と、天井フィルタ部6と、クリーンルーム7と、床構造8と、ユーティリティ部9とを備える。また、建屋本体4に隣接して空気調和器10が設置されている。天井フィルタ部6は、HEPAフィルタあるいはULPAフィルタなどからなるフィルタ14と、フィルタ取付フレーム15とを含む。フィルタ14は、フィルタ取付フレーム15間に隙間なく所要数設置され、空気中の塵埃,微粒子などを除去する機能を有する。
【0004】
図8に示されるように、空気調和器10から供給された空気は、矢印11に従って天井部5の空間13内に送り込まれる。そして、その空気は、天井フィルタ部6のフィルタ14を通過してクリーンルーム7内に送り込まれ、クリーンルーム7および床構造8を通過してクリーンルーム下のユーティリティ部9の空間12内に送り込まれる。その後、上記の空気は、再び空気調和器10内に送り込まれる。
【0005】
次に、図9および図10を用いて、クリーンルーム7内における機器16の従来の設置構造について説明する。図9は、クリーンルーム7内における機器16の従来の設置構造の一例を示す斜視図である。図10は、図9に示される機器16の設置構造の拡大断面図である。
【0006】
まず図9を参照して、上記の床構造8は、ベースとなる格子状の梁20と、この梁20上に載置される調整板22と、この調整板22上に載置される防止網23と、防止網23上に載置されるグレーチングパネル24とで構成される。この床構造8上に、支持ボルト18を介して機器16が設置される。
【0007】
図10に示されるように、床構造8下にはユーティリティ部9が設けられ、このユーティリティ部9内には、水,空気,薬品,ガス,光,信号などの動力を供給/排出するためのメイン動力系28a,28bが設置される。そして、このメイン動力系28a,28bと機器16とが、接続部材26a,26b,27a,27bによって接続される。接続部材26a,26bは、図9に示されるように、接続締結手段30a,30bによって接続部材27a,27bにそれぞれ接続される。また、接続部材27a,27bには、図10に示されるように、制御手段29a,29bがそれぞれ取付けられる。
【0008】
上記の接続部材26a,26bは、図9および図10に示されるように、機器16の側底部から水平方向に張出すように設けられている。このように接続部材26a,26bが水平方向に張出すように設けられるのは、接続部材26a,26bの設置作業が容易に行なえるからである。その結果、図9および図10に示されるように、機器16の周囲に位置するグレーチングパネル24に、接続部材26a,26bに接続される接続部材27a,27bを受入れる貫通空間31を形成する必要があった。
【0009】
ここで、図11を用いて、上記の貫通空間31および床構造8の構造についてより詳しく説明する。図11を参照して、梁20上に載置される調整板22には、所定の大きさの調整穴21が複数個設けられている。この調整穴21によって、クリーンルーム7を通過する空気の流量を調整する。そして、上記の貫通空間31下に位置する調整板22には、貫通空間31の形状に応じた切欠が設けられる。防止網23は、クリーンルーム7内から治具などが落下するのを防止するとともに、クリーンルーム7を通過した空気を抵抗なく通過させる隙間を有する。この防止網23にも、貫通空間31の形状に応じた切欠が設けられている。
【0010】
グレーチングパネル24は、格子状の形状を有し、機器16を保持固定するとともにクリーンルーム7を通過した空気を抵抗なく通過させ得る機能をも有するものである。梁20には、所定位置にねじ穴36が設けられ、ねじなどの固定部材25をねじ穴36に螺着することによりグレーチングパネル24,防止網23および調整板22が梁20に固定される。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の構造を有するクリーンルーム7には次に説明するような種々の問題点があった。図9および図10に示されるように、接続部材26a,26bは、機器16の側底部から水平方向に張出すようにクリーンルーム7内に設置される。そのため、接続部材26a,26bや接続部材27a,27bの取換やメンテナンスが必要な場合、クリーンルーム7内に入って作業をしなければならない。それにより、クリーンルーム7内において行なわれる工程に支障を来すばかりでなく、クリーンルーム7内の清浄度などの性能をも低下させるという問題が生じる。
【0012】
また、上記のように接続部材26a,26bが機器16から張出すように設置されることにより、機器16の周囲に位置するグレーチングパネル24には、接続部材26a,26bに接続される接続部材27a,27bの設置のための貫通空間31を設ける必要があった。そのため、機器16の周囲に位置する床面17の有効利用に支障をきたすという問題もあった。
【0013】
さらに、上記の貫通空間31は、接続部材27a,27bの設置等のため、接続部材27a,27bの断面積よりもかなり大きい開口面積を有することが要求される。貫通空間31と接続部材27a,27bとの隙間は周囲の床面17と同様の状態となるように何らかの手段で塞がれる必要があるが、貫通空間31と接続部材27a,27bとの隙間は複雑な形状となりがちなので、上記のようにその隙間を塞ぐことは困難である。
【0014】
それにより、図10において矢印11で示されるように、上記の隙間に、貫通空間31の周囲から空気が流れ込むという現象が生じ得る。その結果、貫通空間31の周囲で気流に乱れが生じることとなる。それにより、空気中の塵埃や微粒子がクリーンルーム7内に拡散しやすくなるという問題も生じる。
【0015】
また、貫通空間31内へ空気が流れ込みやすくなることにより、それ以外の部分における床構造8を通過する空気の流量が相対的に減少することが考えられる。この場合には、塵埃や微粒子などがクリーンルーム7内に拡散しやすくなるばかりでなく、空気の流量不足の原因ともなり得る。そして、クリーンルーム7内における空気の流量不足が深刻となった場合には、その流量不足を補うためのさらなる投資が必要となる。
【0016】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。この発明の目的は、クリーンルーム内に設置される機器の周囲の床面を有効に利用でき、クリーンルーム内における気流の乱れや空気の流量不足をも抑制でき、さらにクリーンルームの性能を低下させることなく機器と動力系とを接続する接続部材の取換などの作業が行なえる、クリーンルーム内における機器の設置構造を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るクリーンルーム内における機器の設置構造では、機器の周囲に位置する床面にクリーンルーム内に送り込まれた空気を該床面下の空間へ排出するための複数の第1の貫通穴が設けられ、機器の直下に位置する床面には第1の貫通穴の開口面積よりも大きい開口面積を有する第2の貫通穴が設けられる。そして、機器の底部から第2の貫通穴の周囲に位置する床面上に延在するように、床面に向かって流れる空気が第2の貫通穴内に流れ込むのを阻止するための遮蔽部材が設けられる。
【0018】
上記のように、本発明に係るクリーンルーム内における機器の設置構造では、機器の直下に第2の貫通穴が設けられる。この第2の貫通穴の開口面積は、第2の貫通穴の周囲に位置する床面に設けられる第1の貫通穴の開口面積よりも大きいものであるので、床面下に設置される動力系と機器とを接続するための接続部材を、第2の貫通穴内を通して機器の直下に設置することが可能となる。それにより、機器の周囲に、従来例のように貫通空間31を設ける必要がなくなり、機器の周囲の床面の有効利用が図れる。また、機器の底部から第2の貫通穴の周囲に位置する床面上に延在するように遮蔽部材が設けられる。この遮蔽部材により、機器の底部直下の空間を、クリーンルーム内の空間から気密に仕切ることが可能となる。それにより、上記の接続部材の取換やメンテナンスを、クリーンルーム内の清浄度などの性能を低下させることなく遮蔽部材で取囲まれた空間内において行なうことが可能となる。また、遮蔽部材を設けることにより、機器の上方から床面に設けられた第1の貫通穴に流れ込む空気が、第2の貫通穴内に流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。つまり、開口面積の相対的に大きい第2の貫通穴内に空気が優先的に流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。その結果、クリーンルーム内における気流の乱れや流量不足を効果的に阻止することが可能となる。
【0019】
なお、上記の第2の貫通穴は、人が通り抜けられる程度の大きさを有することが好ましい。それにより、遮蔽部材で取囲まれた空間内に人が床面下から入り込み、接続部材の取換やメンテナンスなどの作業を行なうことが可能となる。
【0020】
また、上記の遮蔽部材は、機器の底部から床面に向かってほぼ真直ぐに下方に延びる側板部と、この側板部の下端から床面に沿って第2の貫通穴に向かって延びる底部とを備えるものであってもよい。このように、側板部が真直ぐに下方に延在することにより、側板部に沿って空気を真直ぐ下方に流すことができる。また、底部を設けることにより、底部によって第2の貫通穴の周囲に位置する第1の貫通穴を覆うことが可能となる。それにより、第2の貫通穴へのクリーンルーム内の空気の流入を効果的に阻止することが可能となる。
【0021】
また、上記の第2の貫通穴の周囲に位置する床面には、この第2の貫通穴を取囲むように複数の第1の貫通穴が設けられ、上記の底板部は、これらの第1の貫通穴上に延在することが好ましい。そして、側板部の下端からの底部の張出し長さ(図4におけるL)は、底板部の直下に位置する上記の第1の貫通穴を少なくとも覆い得るように設定されることが好ましい。それにより、確実に第2の貫通穴への空気の流入を阻止することが可能となる。
【0022】
また、上記の遮蔽部材は、第2の貫通穴を露出させる中空部を有する底板部と、機器の底部から底板部の表面上に達するようにほぼ真直ぐに下方に延在する側板部とを備えるものであってもよい。この場合にも、効果的に第2の貫通穴への空気の流入を阻止することが可能となる。
【0023】
また、上記の底板部上には、底板部の外周縁が側板部の外側面から外方に突出するように側板部が載置され、第2の貫通穴を取囲むように設けられた複数の第1の貫通穴上に底板部が延在することが好ましい。そして、底板部の外周縁から中空部に至る底板部の平面幅は、この底板部の直下に位置する1つの第1の貫通穴を覆い得るように設定されることが好ましい。この場合も、クリーンルーム内の空気が第2の貫通穴内に流れ込むのを確実に阻止することが可能となる。
【0024】
上記のクリーンルームの床は、格子状の梁により構成されるベースと、このベース上に載置された格子状のグレーチングパネルとを備えることが好ましい。そして、グレーチングパネルの表面により床面が構成され、グレーチングパネルの格子により第1の貫通穴が規定される。また、機器の直下に位置する上記のグレーチングパネルを選択的に除去することにより上記の第2の貫通穴が形成されることが好ましい。このように、第2の貫通穴は機器の直下に位置するグレーチングパネルを選択的に除去するだけで形成できるので、その形成は容易である。そればかりでなく、クリーンルームの床面を構成するのに必要なグレーチングパネルの数を減少させることにもなるので、コスト低減にも繋がる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図7を用いて、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の説明で用いる図1〜図7において、従来例と同一の構成要素には同一番号を付し、説明は適宜省略する。
【0026】
(実施の形態1)
まず、図1〜図4を用いて、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、この発明の実施の形態1における機器16の設置構造を示す斜視図である。図2は、機器16の設置構造の断面図である。図3は、機器16の平面図である。図4は、図1に示される遮蔽部材1を示す部分断面斜視図である。
【0027】
図1に示されるように、機器16の底面と床構造8との間の空間を取囲むように遮蔽部材1が設けられている。この遮蔽部材1の材質としては、たとえば硬質のプラスチックなどを挙げることができる。
【0028】
次に、図2を参照して、遮蔽部材1によって取囲まれる空間19と連通するように、機器16の直下に開放空間35が設けられる。この開放空間35は、機器16の直下に位置するグレーチングパネル24,調整板22および防止網23を選択的に除去することによって形成されている。
【0029】
遮蔽部材1は、図2に示されるように、L形状断面を有し、ねじなどの固定部材により機器16の外周面に取付けられ、機器16の底部から床面17に向かってほぼ真直ぐに下方に延びる側板部と、この側板部の下端から床面17に沿って開放空間35に向かって延びる底部1aとを備える。このような構造を有する遮蔽部材1と開放空間35との平面的な位置関係が図3に示されている。この図3に示されるように、開放空間35の周囲を取囲むように底部1aが設けられる。このような底部1aを床面17に密着させることにより、クリーンルーム7内の空気が開放空間35内に流れ込むのを効果的に阻止できる。
【0030】
ここで、図4を用いて、遮蔽部材1の構造についてより詳しく説明する。図4に示されるように、開放空間35の周囲には、グレーチングパネル24の格子によって規定される貫通穴33が多数設けられる。この貫通穴33の開口面積は開放空間35の開口面積よりも小さくなるように設定される。底部1aは、開放空間35の周囲に位置する貫通穴33上に延在する。そして、遮蔽部材1の側板部の下端からの底部1aの張出し長さLは、底部1aの直下に位置する1つの貫通穴33の開口幅D1よりも大きくなるように設定される。つまり、底部1aがその直下に位置する1つの貫通穴35を少なくとも覆うことができるように上記の張出し長さLが設定される。それにより、クリーンルーム7内から開放空間35内に空気が流入するのをほぼ確実に阻止することが可能となる。
【0031】
ここで再び図2を参照して、機器16とメイン動力系28a,28bとを接続する接続部材26a,26b,27a,27bは、機器16の直下に設置される。それにより、機器16の周囲に位置する床面17に、図9に示される貫通空間31に相当するものを設ける必要がなくなる。そのため、機器16の周囲の床面17を有効利用できる。
【0032】
また、開放空間35は、人がその内部を通過できる程度の開口面積を有することが好ましい。それにより、開放空間35内を通って人が機器16の直下の空間19内に入り、接続部材26a,26b,27a,27bの取換やメンテナンスなどの作業を行なうことが可能となる。空間19は、機器16の底面34と遮蔽部材1とによってクリーンルーム7内の空間から気密に仕切ることができるため、この空間19内で上記の作業を行なったとしても、クリーンルーム7内の清浄度などの性能を低下させることはほとんどない。したがって、機器16の底面34にも、空間19がクリーンルーム7内の空間から機密に仕切られるような工夫が施されることが好ましい。
【0033】
(実施の形態2)
次に、図5〜図7を用いて、この発明の実施の形態2について説明する。図5は、この発明の実施の形態2におけるクリーンルーム7内の機器16の設置構造を示す断面図である。図6は、図5に示される機器16の平面図である。図7は、図5に示される遮蔽部材1を示す部分断面斜視図である。
【0034】
まず図5を参照して、本実施の形態2における遮蔽部材1は、床面シール材(底板部)2と側板部3とで構成される。床面シール材2は、図6に示されるように、開放空間35を露出させる中空部2aを有する。側板部3は、図7に示されるように、機器16の外周面に取付けられ、機器16の底部から床面シール材2の表面上に達するようにほぼ真直ぐに下方に延在する。この側板部3は、たとえばねじなどによって機器16の外周面に取付けられるものであってもよい。
【0035】
床面シール材2の外周縁から中空部2aに至る平面幅Wは、床面シール材2の直下に位置する1つの貫通穴33を覆い得るように設定されることが好ましい。より具体的には、床面シール材2の平面幅Wが、1つの貫通穴33の開口幅D2よりも大きくなるように設定されることが好ましい。それにより、クリーンルーム7内の空気が機器16直下に位置する開放空間35内に流れ込むのをほぼ確実に阻止することが可能となる。
【0036】
なお、床面シール材2はグレーチングパネル24の表面(床面17)と密着して設置されることが好ましい。また、側板部3の下端は底板部2の表面と密着し、側板部3の上端部は機器16の底部に密着固定されることが好ましい。それにより、上記の効果がより一層顕著なものとなる。
【0037】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、機器の直下に第2の貫通穴を設けるようにしたので、機器の周囲に位置する床面に従来例における貫通空間31に相当する貫通穴を設ける必要がなくなる。それにより、機器の周囲の床面を有効利用することが可能となる。その結果、投資効率を向上させることが可能となる。また、第2の貫通穴を取囲むように遮蔽部材を設けているので、この第2の貫通穴内にクリーンルーム内の空気が流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。それにより、従来例よりも気流の乱れを抑制することが可能となり、塵埃や微粒子などの拡散を効果的に抑制できる。それにより、歩留りや品質を向上させることが可能となる。
【0039】
また、床面下に設置される動力系と機器とを接続するための接続手段を、第2の貫通穴内を通して機器の直下に設置することが可能となる。それにより、遮蔽部材によってクリーンルーム内の空間から密閉された空間内で、接続手段の取換やメンテナンスを行なうことが可能となる。そのため、このような接続手段の取換作業やメンテナンスのためにクリーンルーム内に入る頻度を著しく低減でき、クリーンルーム内の清浄度などの性能が低下するのを効果的に抑制することが可能となる。その結果、生産性を向上させることが可能となる。また、接続手段を機器の直下に設置することにより、クリーンルーム内を美観にできる。
【0040】
さらに、人が第2の貫通穴内を通り抜けられる程度に第2の貫通穴の大きさを調整することにより、遮蔽部材によって密閉された空間内へ人が容易に入り込むことが可能となる。それにより、上記の接続手段の取換作業やメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
【0041】
さらに、遮蔽部材が側板部および底部を備える構造、あるいは側板部と底板部とを備える構造とすることにより、クリーンルーム内の空気が第2の貫通穴内に流れ込むのをほぼ確実に阻止することが可能となる。それにより、空気流量ロスや流量不足を効果的に阻止することが可能となる。その結果、動力費や設備投資額を低減することが可能となる。
【0042】
さらに、第2の貫通穴は、グレーチングパネルを選択的に除去することにより形成できる。それにより、機器の直下における床構造を簡素化することが可能となる。それにより、設備投資額を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す斜視図である。
【図2】 この発明の実施の形態1におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す断面図である。
【図3】 図1に示される機器の平面図である。
【図4】 図1に示される遮蔽部材を示す部分断面斜視図である。
【図5】 この発明の実施の形態2におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す断面図である。
【図6】 図5に示される機器の平面図である。
【図7】 図5に示される遮蔽部材の部分断面斜視図である。
【図8】 クリーンルームの概略構成を示す模式図である。
【図9】 従来のクリーンルーム内の機器の設置構造の一例を示す斜視図である。
【図10】 従来のクリーンルーム内の機器の設置構造の一例を示す断面図である。
【図11】 従来の床構造の分解斜視図である。
【符号の説明】
1 遮蔽部材、1a 底部、2 床面シール材(底板部)、2a 中空部、3側板部、4 建屋本体、5 天井部、6 天井フィルタ部、7 クリーンルーム、8 床構造、9 ユーティリティ部、10 空気調和器、14 フィルタ、15 フィルタ取付フレーム、16 機器、17 床面、18 支持ボルト、20 梁、21 調整穴、22 調整板、23 防止網、24 グレーチングパネル、25 固定部材、26a,26b,27a,27b 接続部材、28a,28b メイン動力系、29a,29b 制御手段、30a,30b 接続締結手段、31 貫通空間、33 貫通穴、34 底面、35 開放空間、36 ねじ穴。
【発明の属する技術分野】
この発明は、近年その必要性が顕著でしかも盛んに建設されているクリーンルーム内に設置される機器の設置構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、半導体プロセスにおいて用いられるクリーンルームは広く知られている。ここで、クリーンルームとは、空気中の塵埃,微粒子が規定されたレベル以下に管理され、圧力,温度,湿度,気流分布などの環境条件も管理されている部屋のことである。このクリーンルーム内には、加工装置,処理装置,評価・分析装置,検査装置,包装装置,ロボット,工具,運搬具,器具備品(以下、本明細書においては、単に「機器」と称する)などが設置される。
【0003】
図8は、従来のクリーンルームの概略構成の一例を示す図である。図8を参照して、建屋本体4は、天井部5と、天井フィルタ部6と、クリーンルーム7と、床構造8と、ユーティリティ部9とを備える。また、建屋本体4に隣接して空気調和器10が設置されている。天井フィルタ部6は、HEPAフィルタあるいはULPAフィルタなどからなるフィルタ14と、フィルタ取付フレーム15とを含む。フィルタ14は、フィルタ取付フレーム15間に隙間なく所要数設置され、空気中の塵埃,微粒子などを除去する機能を有する。
【0004】
図8に示されるように、空気調和器10から供給された空気は、矢印11に従って天井部5の空間13内に送り込まれる。そして、その空気は、天井フィルタ部6のフィルタ14を通過してクリーンルーム7内に送り込まれ、クリーンルーム7および床構造8を通過してクリーンルーム下のユーティリティ部9の空間12内に送り込まれる。その後、上記の空気は、再び空気調和器10内に送り込まれる。
【0005】
次に、図9および図10を用いて、クリーンルーム7内における機器16の従来の設置構造について説明する。図9は、クリーンルーム7内における機器16の従来の設置構造の一例を示す斜視図である。図10は、図9に示される機器16の設置構造の拡大断面図である。
【0006】
まず図9を参照して、上記の床構造8は、ベースとなる格子状の梁20と、この梁20上に載置される調整板22と、この調整板22上に載置される防止網23と、防止網23上に載置されるグレーチングパネル24とで構成される。この床構造8上に、支持ボルト18を介して機器16が設置される。
【0007】
図10に示されるように、床構造8下にはユーティリティ部9が設けられ、このユーティリティ部9内には、水,空気,薬品,ガス,光,信号などの動力を供給/排出するためのメイン動力系28a,28bが設置される。そして、このメイン動力系28a,28bと機器16とが、接続部材26a,26b,27a,27bによって接続される。接続部材26a,26bは、図9に示されるように、接続締結手段30a,30bによって接続部材27a,27bにそれぞれ接続される。また、接続部材27a,27bには、図10に示されるように、制御手段29a,29bがそれぞれ取付けられる。
【0008】
上記の接続部材26a,26bは、図9および図10に示されるように、機器16の側底部から水平方向に張出すように設けられている。このように接続部材26a,26bが水平方向に張出すように設けられるのは、接続部材26a,26bの設置作業が容易に行なえるからである。その結果、図9および図10に示されるように、機器16の周囲に位置するグレーチングパネル24に、接続部材26a,26bに接続される接続部材27a,27bを受入れる貫通空間31を形成する必要があった。
【0009】
ここで、図11を用いて、上記の貫通空間31および床構造8の構造についてより詳しく説明する。図11を参照して、梁20上に載置される調整板22には、所定の大きさの調整穴21が複数個設けられている。この調整穴21によって、クリーンルーム7を通過する空気の流量を調整する。そして、上記の貫通空間31下に位置する調整板22には、貫通空間31の形状に応じた切欠が設けられる。防止網23は、クリーンルーム7内から治具などが落下するのを防止するとともに、クリーンルーム7を通過した空気を抵抗なく通過させる隙間を有する。この防止網23にも、貫通空間31の形状に応じた切欠が設けられている。
【0010】
グレーチングパネル24は、格子状の形状を有し、機器16を保持固定するとともにクリーンルーム7を通過した空気を抵抗なく通過させ得る機能をも有するものである。梁20には、所定位置にねじ穴36が設けられ、ねじなどの固定部材25をねじ穴36に螺着することによりグレーチングパネル24,防止網23および調整板22が梁20に固定される。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の構造を有するクリーンルーム7には次に説明するような種々の問題点があった。図9および図10に示されるように、接続部材26a,26bは、機器16の側底部から水平方向に張出すようにクリーンルーム7内に設置される。そのため、接続部材26a,26bや接続部材27a,27bの取換やメンテナンスが必要な場合、クリーンルーム7内に入って作業をしなければならない。それにより、クリーンルーム7内において行なわれる工程に支障を来すばかりでなく、クリーンルーム7内の清浄度などの性能をも低下させるという問題が生じる。
【0012】
また、上記のように接続部材26a,26bが機器16から張出すように設置されることにより、機器16の周囲に位置するグレーチングパネル24には、接続部材26a,26bに接続される接続部材27a,27bの設置のための貫通空間31を設ける必要があった。そのため、機器16の周囲に位置する床面17の有効利用に支障をきたすという問題もあった。
【0013】
さらに、上記の貫通空間31は、接続部材27a,27bの設置等のため、接続部材27a,27bの断面積よりもかなり大きい開口面積を有することが要求される。貫通空間31と接続部材27a,27bとの隙間は周囲の床面17と同様の状態となるように何らかの手段で塞がれる必要があるが、貫通空間31と接続部材27a,27bとの隙間は複雑な形状となりがちなので、上記のようにその隙間を塞ぐことは困難である。
【0014】
それにより、図10において矢印11で示されるように、上記の隙間に、貫通空間31の周囲から空気が流れ込むという現象が生じ得る。その結果、貫通空間31の周囲で気流に乱れが生じることとなる。それにより、空気中の塵埃や微粒子がクリーンルーム7内に拡散しやすくなるという問題も生じる。
【0015】
また、貫通空間31内へ空気が流れ込みやすくなることにより、それ以外の部分における床構造8を通過する空気の流量が相対的に減少することが考えられる。この場合には、塵埃や微粒子などがクリーンルーム7内に拡散しやすくなるばかりでなく、空気の流量不足の原因ともなり得る。そして、クリーンルーム7内における空気の流量不足が深刻となった場合には、その流量不足を補うためのさらなる投資が必要となる。
【0016】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。この発明の目的は、クリーンルーム内に設置される機器の周囲の床面を有効に利用でき、クリーンルーム内における気流の乱れや空気の流量不足をも抑制でき、さらにクリーンルームの性能を低下させることなく機器と動力系とを接続する接続部材の取換などの作業が行なえる、クリーンルーム内における機器の設置構造を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るクリーンルーム内における機器の設置構造では、機器の周囲に位置する床面にクリーンルーム内に送り込まれた空気を該床面下の空間へ排出するための複数の第1の貫通穴が設けられ、機器の直下に位置する床面には第1の貫通穴の開口面積よりも大きい開口面積を有する第2の貫通穴が設けられる。そして、機器の底部から第2の貫通穴の周囲に位置する床面上に延在するように、床面に向かって流れる空気が第2の貫通穴内に流れ込むのを阻止するための遮蔽部材が設けられる。
【0018】
上記のように、本発明に係るクリーンルーム内における機器の設置構造では、機器の直下に第2の貫通穴が設けられる。この第2の貫通穴の開口面積は、第2の貫通穴の周囲に位置する床面に設けられる第1の貫通穴の開口面積よりも大きいものであるので、床面下に設置される動力系と機器とを接続するための接続部材を、第2の貫通穴内を通して機器の直下に設置することが可能となる。それにより、機器の周囲に、従来例のように貫通空間31を設ける必要がなくなり、機器の周囲の床面の有効利用が図れる。また、機器の底部から第2の貫通穴の周囲に位置する床面上に延在するように遮蔽部材が設けられる。この遮蔽部材により、機器の底部直下の空間を、クリーンルーム内の空間から気密に仕切ることが可能となる。それにより、上記の接続部材の取換やメンテナンスを、クリーンルーム内の清浄度などの性能を低下させることなく遮蔽部材で取囲まれた空間内において行なうことが可能となる。また、遮蔽部材を設けることにより、機器の上方から床面に設けられた第1の貫通穴に流れ込む空気が、第2の貫通穴内に流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。つまり、開口面積の相対的に大きい第2の貫通穴内に空気が優先的に流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。その結果、クリーンルーム内における気流の乱れや流量不足を効果的に阻止することが可能となる。
【0019】
なお、上記の第2の貫通穴は、人が通り抜けられる程度の大きさを有することが好ましい。それにより、遮蔽部材で取囲まれた空間内に人が床面下から入り込み、接続部材の取換やメンテナンスなどの作業を行なうことが可能となる。
【0020】
また、上記の遮蔽部材は、機器の底部から床面に向かってほぼ真直ぐに下方に延びる側板部と、この側板部の下端から床面に沿って第2の貫通穴に向かって延びる底部とを備えるものであってもよい。このように、側板部が真直ぐに下方に延在することにより、側板部に沿って空気を真直ぐ下方に流すことができる。また、底部を設けることにより、底部によって第2の貫通穴の周囲に位置する第1の貫通穴を覆うことが可能となる。それにより、第2の貫通穴へのクリーンルーム内の空気の流入を効果的に阻止することが可能となる。
【0021】
また、上記の第2の貫通穴の周囲に位置する床面には、この第2の貫通穴を取囲むように複数の第1の貫通穴が設けられ、上記の底板部は、これらの第1の貫通穴上に延在することが好ましい。そして、側板部の下端からの底部の張出し長さ(図4におけるL)は、底板部の直下に位置する上記の第1の貫通穴を少なくとも覆い得るように設定されることが好ましい。それにより、確実に第2の貫通穴への空気の流入を阻止することが可能となる。
【0022】
また、上記の遮蔽部材は、第2の貫通穴を露出させる中空部を有する底板部と、機器の底部から底板部の表面上に達するようにほぼ真直ぐに下方に延在する側板部とを備えるものであってもよい。この場合にも、効果的に第2の貫通穴への空気の流入を阻止することが可能となる。
【0023】
また、上記の底板部上には、底板部の外周縁が側板部の外側面から外方に突出するように側板部が載置され、第2の貫通穴を取囲むように設けられた複数の第1の貫通穴上に底板部が延在することが好ましい。そして、底板部の外周縁から中空部に至る底板部の平面幅は、この底板部の直下に位置する1つの第1の貫通穴を覆い得るように設定されることが好ましい。この場合も、クリーンルーム内の空気が第2の貫通穴内に流れ込むのを確実に阻止することが可能となる。
【0024】
上記のクリーンルームの床は、格子状の梁により構成されるベースと、このベース上に載置された格子状のグレーチングパネルとを備えることが好ましい。そして、グレーチングパネルの表面により床面が構成され、グレーチングパネルの格子により第1の貫通穴が規定される。また、機器の直下に位置する上記のグレーチングパネルを選択的に除去することにより上記の第2の貫通穴が形成されることが好ましい。このように、第2の貫通穴は機器の直下に位置するグレーチングパネルを選択的に除去するだけで形成できるので、その形成は容易である。そればかりでなく、クリーンルームの床面を構成するのに必要なグレーチングパネルの数を減少させることにもなるので、コスト低減にも繋がる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図7を用いて、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の説明で用いる図1〜図7において、従来例と同一の構成要素には同一番号を付し、説明は適宜省略する。
【0026】
(実施の形態1)
まず、図1〜図4を用いて、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、この発明の実施の形態1における機器16の設置構造を示す斜視図である。図2は、機器16の設置構造の断面図である。図3は、機器16の平面図である。図4は、図1に示される遮蔽部材1を示す部分断面斜視図である。
【0027】
図1に示されるように、機器16の底面と床構造8との間の空間を取囲むように遮蔽部材1が設けられている。この遮蔽部材1の材質としては、たとえば硬質のプラスチックなどを挙げることができる。
【0028】
次に、図2を参照して、遮蔽部材1によって取囲まれる空間19と連通するように、機器16の直下に開放空間35が設けられる。この開放空間35は、機器16の直下に位置するグレーチングパネル24,調整板22および防止網23を選択的に除去することによって形成されている。
【0029】
遮蔽部材1は、図2に示されるように、L形状断面を有し、ねじなどの固定部材により機器16の外周面に取付けられ、機器16の底部から床面17に向かってほぼ真直ぐに下方に延びる側板部と、この側板部の下端から床面17に沿って開放空間35に向かって延びる底部1aとを備える。このような構造を有する遮蔽部材1と開放空間35との平面的な位置関係が図3に示されている。この図3に示されるように、開放空間35の周囲を取囲むように底部1aが設けられる。このような底部1aを床面17に密着させることにより、クリーンルーム7内の空気が開放空間35内に流れ込むのを効果的に阻止できる。
【0030】
ここで、図4を用いて、遮蔽部材1の構造についてより詳しく説明する。図4に示されるように、開放空間35の周囲には、グレーチングパネル24の格子によって規定される貫通穴33が多数設けられる。この貫通穴33の開口面積は開放空間35の開口面積よりも小さくなるように設定される。底部1aは、開放空間35の周囲に位置する貫通穴33上に延在する。そして、遮蔽部材1の側板部の下端からの底部1aの張出し長さLは、底部1aの直下に位置する1つの貫通穴33の開口幅D1よりも大きくなるように設定される。つまり、底部1aがその直下に位置する1つの貫通穴35を少なくとも覆うことができるように上記の張出し長さLが設定される。それにより、クリーンルーム7内から開放空間35内に空気が流入するのをほぼ確実に阻止することが可能となる。
【0031】
ここで再び図2を参照して、機器16とメイン動力系28a,28bとを接続する接続部材26a,26b,27a,27bは、機器16の直下に設置される。それにより、機器16の周囲に位置する床面17に、図9に示される貫通空間31に相当するものを設ける必要がなくなる。そのため、機器16の周囲の床面17を有効利用できる。
【0032】
また、開放空間35は、人がその内部を通過できる程度の開口面積を有することが好ましい。それにより、開放空間35内を通って人が機器16の直下の空間19内に入り、接続部材26a,26b,27a,27bの取換やメンテナンスなどの作業を行なうことが可能となる。空間19は、機器16の底面34と遮蔽部材1とによってクリーンルーム7内の空間から気密に仕切ることができるため、この空間19内で上記の作業を行なったとしても、クリーンルーム7内の清浄度などの性能を低下させることはほとんどない。したがって、機器16の底面34にも、空間19がクリーンルーム7内の空間から機密に仕切られるような工夫が施されることが好ましい。
【0033】
(実施の形態2)
次に、図5〜図7を用いて、この発明の実施の形態2について説明する。図5は、この発明の実施の形態2におけるクリーンルーム7内の機器16の設置構造を示す断面図である。図6は、図5に示される機器16の平面図である。図7は、図5に示される遮蔽部材1を示す部分断面斜視図である。
【0034】
まず図5を参照して、本実施の形態2における遮蔽部材1は、床面シール材(底板部)2と側板部3とで構成される。床面シール材2は、図6に示されるように、開放空間35を露出させる中空部2aを有する。側板部3は、図7に示されるように、機器16の外周面に取付けられ、機器16の底部から床面シール材2の表面上に達するようにほぼ真直ぐに下方に延在する。この側板部3は、たとえばねじなどによって機器16の外周面に取付けられるものであってもよい。
【0035】
床面シール材2の外周縁から中空部2aに至る平面幅Wは、床面シール材2の直下に位置する1つの貫通穴33を覆い得るように設定されることが好ましい。より具体的には、床面シール材2の平面幅Wが、1つの貫通穴33の開口幅D2よりも大きくなるように設定されることが好ましい。それにより、クリーンルーム7内の空気が機器16直下に位置する開放空間35内に流れ込むのをほぼ確実に阻止することが可能となる。
【0036】
なお、床面シール材2はグレーチングパネル24の表面(床面17)と密着して設置されることが好ましい。また、側板部3の下端は底板部2の表面と密着し、側板部3の上端部は機器16の底部に密着固定されることが好ましい。それにより、上記の効果がより一層顕著なものとなる。
【0037】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、機器の直下に第2の貫通穴を設けるようにしたので、機器の周囲に位置する床面に従来例における貫通空間31に相当する貫通穴を設ける必要がなくなる。それにより、機器の周囲の床面を有効利用することが可能となる。その結果、投資効率を向上させることが可能となる。また、第2の貫通穴を取囲むように遮蔽部材を設けているので、この第2の貫通穴内にクリーンルーム内の空気が流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。それにより、従来例よりも気流の乱れを抑制することが可能となり、塵埃や微粒子などの拡散を効果的に抑制できる。それにより、歩留りや品質を向上させることが可能となる。
【0039】
また、床面下に設置される動力系と機器とを接続するための接続手段を、第2の貫通穴内を通して機器の直下に設置することが可能となる。それにより、遮蔽部材によってクリーンルーム内の空間から密閉された空間内で、接続手段の取換やメンテナンスを行なうことが可能となる。そのため、このような接続手段の取換作業やメンテナンスのためにクリーンルーム内に入る頻度を著しく低減でき、クリーンルーム内の清浄度などの性能が低下するのを効果的に抑制することが可能となる。その結果、生産性を向上させることが可能となる。また、接続手段を機器の直下に設置することにより、クリーンルーム内を美観にできる。
【0040】
さらに、人が第2の貫通穴内を通り抜けられる程度に第2の貫通穴の大きさを調整することにより、遮蔽部材によって密閉された空間内へ人が容易に入り込むことが可能となる。それにより、上記の接続手段の取換作業やメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
【0041】
さらに、遮蔽部材が側板部および底部を備える構造、あるいは側板部と底板部とを備える構造とすることにより、クリーンルーム内の空気が第2の貫通穴内に流れ込むのをほぼ確実に阻止することが可能となる。それにより、空気流量ロスや流量不足を効果的に阻止することが可能となる。その結果、動力費や設備投資額を低減することが可能となる。
【0042】
さらに、第2の貫通穴は、グレーチングパネルを選択的に除去することにより形成できる。それにより、機器の直下における床構造を簡素化することが可能となる。それにより、設備投資額を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す斜視図である。
【図2】 この発明の実施の形態1におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す断面図である。
【図3】 図1に示される機器の平面図である。
【図4】 図1に示される遮蔽部材を示す部分断面斜視図である。
【図5】 この発明の実施の形態2におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す断面図である。
【図6】 図5に示される機器の平面図である。
【図7】 図5に示される遮蔽部材の部分断面斜視図である。
【図8】 クリーンルームの概略構成を示す模式図である。
【図9】 従来のクリーンルーム内の機器の設置構造の一例を示す斜視図である。
【図10】 従来のクリーンルーム内の機器の設置構造の一例を示す断面図である。
【図11】 従来の床構造の分解斜視図である。
【符号の説明】
1 遮蔽部材、1a 底部、2 床面シール材(底板部)、2a 中空部、3側板部、4 建屋本体、5 天井部、6 天井フィルタ部、7 クリーンルーム、8 床構造、9 ユーティリティ部、10 空気調和器、14 フィルタ、15 フィルタ取付フレーム、16 機器、17 床面、18 支持ボルト、20 梁、21 調整穴、22 調整板、23 防止網、24 グレーチングパネル、25 固定部材、26a,26b,27a,27b 接続部材、28a,28b メイン動力系、29a,29b 制御手段、30a,30b 接続締結手段、31 貫通空間、33 貫通穴、34 底面、35 開放空間、36 ねじ穴。
Claims (8)
- クリーンルームの床面上に設置される機器の設置構造であって、
前記機器の周囲に位置する前記床面には前記クリーンルーム内に送り込まれた空気を前記床面下の空間へ排出するための複数の第1の貫通穴が設けられ、
前記機器の直下に位置する前記床面には、前記第1の貫通穴の開口面積よりも大きい開口面積を有する第2の貫通穴が設けられ、
前記機器の底部から前記第2の貫通穴の周囲に位置する前記床面上に延在し、前記床面に向かって流れる空気が前記第2の貫通穴内に流れ込むのを阻止するための遮蔽部材が設けられた、クリーンルーム内における機器の設置構造。 - 前記床面下には、前記機器に動力を供給/排出するための動力系が設置され、
前記動力系は、前記第2の貫通穴内を通して前記機器下に設置された接続手段を介して前記機器と接続される、請求項1に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。 - 前記第2の貫通穴は、人が通り抜けることができる程度の大きさを有する、請求項2に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
- 前記遮蔽部材は、前記機器の底部から前記床面に向かってほぼ真直ぐに下方に延びる側板部と、前記側板部の下端から前記床面に沿って前記第2の貫通穴に向かって延びる底部とを備える、請求項1に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
- 前記第2の貫通穴の周囲に位置する前記床面には、前記第2の貫通穴を取囲むように複数の前記第1の貫通穴が設けられ、
前記底部は前記第2の貫通穴の周囲の前記第1の貫通穴上に延在し、
前記側板部の下端からの前記底部の張出し長さは、前記底部の直下に位置する1つの前記第1の貫通穴を覆い得るように設定される、請求項4に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。 - 前記遮蔽部材は、前記第2の貫通穴を露出させる中空部を有する底板部と、前記機器の底部から前記底板部の表面上に達するようにほぼ真直ぐに下方に延在する側板部とを備える、請求項1に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
- 前記底板部上には、前記底板部の外周縁が前記側板部の外周面から外方に突出するように前記側板部が載置され、
前記第2の貫通穴の周囲に位置する前記床面には、前記第2の貫通穴を取囲むように複数の前記第1の貫通穴が設けられ、
前記底板部は、前記第2の貫通穴の周囲の前記第1の貫通穴上に延在し、
前記外周縁から前記中空部に至る前記底板部の平面幅は、前記底板部の直下に位置する1つの前記第1の貫通穴を覆い得るように設定される、請求項6に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。 - 前記クリーンルームの床は、格子状の梁により構成されるベースと、前記ベース上に載置された格子状のグレーチングパネルとを備え、
前記グレーチングパネルの表面により前記床面が構成され、
前記グレーチングパネルの格子により前記第1の貫通穴が規定され、
前記機器の直下に位置する前記グレーチングパネルを選択的に除去することにより前記第2の貫通穴が形成される、請求項1に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08921196A JP3850064B2 (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | クリーンルーム内における機器の設置構造 |
US08/688,041 US5669814A (en) | 1996-04-11 | 1996-07-29 | Facility installation structure in clean room |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08921196A JP3850064B2 (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | クリーンルーム内における機器の設置構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09283394A JPH09283394A (ja) | 1997-10-31 |
JP3850064B2 true JP3850064B2 (ja) | 2006-11-29 |
Family
ID=13964393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08921196A Expired - Fee Related JP3850064B2 (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | クリーンルーム内における機器の設置構造 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5669814A (ja) |
JP (1) | JP3850064B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2839331B1 (fr) * | 2002-05-02 | 2004-07-16 | Cit Alcatel | Installation de fabrication de composants semi-conducteurs a faux-plancher ventile |
FR2839335B1 (fr) * | 2002-05-02 | 2004-07-16 | Cit Alcatel | Dispositif d'integration de systeme de pompage a vide dans un faux-plancher de salle blanche d'une usine de fabrication de composants semi-conducteurs |
JP2005103702A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | Cmp用研磨パッド及びその梱包方法 |
JP5343714B2 (ja) | 2009-06-05 | 2013-11-13 | ソニー株式会社 | 映像処理装置、表示装置および表示システム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61186747A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-20 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
JPS62147248A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-01 | Hitachi Ltd | 清浄作業室 |
US5431599A (en) * | 1990-08-29 | 1995-07-11 | Intelligent Enclosures Corporation | Environmental control system |
JPH06193243A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造クリーンルーム床材 |
-
1996
- 1996-04-11 JP JP08921196A patent/JP3850064B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-29 US US08/688,041 patent/US5669814A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5669814A (en) | 1997-09-23 |
JPH09283394A (ja) | 1997-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4549472A (en) | Rearrangeable partial environmental control device | |
JPS58127033A (ja) | 清浄室装置 | |
JP3380663B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3850064B2 (ja) | クリーンルーム内における機器の設置構造 | |
JP4832106B2 (ja) | 車両用空調装置 | |
JP4286944B2 (ja) | フィルタユニット用の気流制御板 | |
JP4088809B2 (ja) | ファン付きフィルタユニットの取付構造 | |
JPH0611064Y2 (ja) | クリーンルーム用ファンフィルタユニット | |
JPH09159239A (ja) | クリーンルーム | |
JP2536957B2 (ja) | クリ―ンル―ム | |
JPH10300146A (ja) | クリーンルーム | |
JP4105074B2 (ja) | 空気清浄機および天井取付型空気調和機 | |
JPH10197042A (ja) | 空気調和設備 | |
JPH09206527A (ja) | ファンフィルタユニット | |
JPH09217951A (ja) | クリーンルームの空調システム | |
JPH0645676Y2 (ja) | 送風機 | |
JP3458641B2 (ja) | クリーンルームの天井構造 | |
JPH0686951B2 (ja) | 清浄室装置 | |
JPH031738Y2 (ja) | ||
JP2000039205A (ja) | 空気吹出口 | |
JPH0515933B2 (ja) | ||
JPH0721209Y2 (ja) | クリーンルーム用フィルタダクトユニット | |
JP2003114047A (ja) | 空調用天井点検吸込口 | |
JP3445711B2 (ja) | フィルターユニットの筺体構造 | |
JPH0332917Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |