JP3824061B2 - リニアモータ - Google Patents
リニアモータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3824061B2 JP3824061B2 JP2001317679A JP2001317679A JP3824061B2 JP 3824061 B2 JP3824061 B2 JP 3824061B2 JP 2001317679 A JP2001317679 A JP 2001317679A JP 2001317679 A JP2001317679 A JP 2001317679A JP 3824061 B2 JP3824061 B2 JP 3824061B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inductor
- linear motor
- armature
- permanent magnets
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造装置やFA機器などの分野で小形・高推力が要求されるリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば半導体製造装置やFA機器などの分野に多く供給されて小形・高推力が要求されるリニアモータとしては図8、図9のようになっている。
図8は従来技術を示すリニアモータの側断面図、図9は図8における磁極の拡大図である。
図において、1は固定子、2は誘導子、3は誘導子歯、10は可動子、11は電機子、12は電機子コア、13はティース、14は継鉄、15は電機子巻線、16は磁極である。
リニアモータの固定子1は長手方向に誘導子歯3(誘導子歯ピッチ:λ)を有すると共に、磁性材料から成る誘導子2によって構成されている。また、可動子10は3つのティース13およびそれらをつなぐ継鉄14を一体に形成した、磁性材料からなる電機子コア12と、ティース13に集中巻された3相(U、V、W)の電機子巻線15と、ティース13先端に配置された複数の磁極16(磁極ピッチ:Pm)を備えた電機子11によって構成されている。この電機子11は誘導子歯3と磁気的空隙gを介して対向するように設けられている。なお、誘導子2および電機子コア12は例えば積層された電磁鋼板が用いられる。
それから、1つのティース13先端に設けた磁極16は6極から成り、その磁極ピッチPmがλ/2となるように隣接するものどうしが互いに異極になるように永久磁石17aを6個配置したものとなっている。具体的には、隣り合った永久磁石17aの磁化方向間の角度θは180度で、1極当たりの磁極に使われる永久磁石数nは1である。また、隣接するティース13間の間隔は、ティース13の幅3×λとティース13間の幅λ+λ/3を足し合わせた4×λ+λ/3である。
【0003】
次に動作原理について説明する。
永久磁石17aの磁束は、ティース13、継鉄14、磁気的空隙g、誘導子歯3によって構成される磁気回路を流れる。各相のティース13の位相差が電気角で120度なので、可動子10を動かすと互いに電気角120度差の磁束が各相電機子巻線15に鎖交し、電機子巻線15には3相の誘起電圧が発生する。逆に各相の電機子巻線15に3相の正弦波電流を通電すると3相同期モータとして推力を発生し、可動子10が図示しないリニアガイド等によって移動自在に支持された状態で、固定子1の長手方向を移動方向(矢視A)として直線移動する(例えば、特公平5−34901号公報)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来技術のような電機子11と誘導子2によって構成されるリニアモータは、誘導子歯3のピッチλを小さくし、1ティース当たりの誘導子歯数を多くするほど発生推力が大きくなる。これは発生推力箇所がティース13に対向した誘導子歯3であるためである。また、このリニアモータを小型化しようとする場合、1ティース当たりの誘導子歯数を確保するには、λを小さくしなければならない。
しかしながら、従来技術ではλを小さくしようとした場合、磁極ピッチPmも小さくしなければならず、その結果、以下のような問題が生じた。
(1)永久磁石17aの磁極ピッチPmが小さくなるほど、磁極ピッチPm寸法誤差が磁極ピッチの精度に影響を及ぼし、コギング力の変動あるいは推力変動を生じた。
(2)永久磁石17aの磁極ピッチPm寸法に対し、可動子の移動方向Aおよび磁気的空隙方向Gと直交する方向B(紙面と垂直方向)の寸法が大きくなり、永久磁石自身の強度が劣化し、永久磁石17aをティース13先端へ貼り付ける際や運搬する際に永久磁石が折損する事故などがあった。
(3)上記(1)の問題を回避するため、個々の永久磁石17aの寸法管理を厳しくすると、検査時間が増えるだけでなく歩留まりが低下し、コスト高を招いた。
(4)上記(2)の問題を回避するため、永久磁石17aを磁極ピッチPm寸法に対して可動子の移動方向Aおよび磁気的空隙方向Gと直交する方向Bに複数に分割し、磁極ピッチPm寸法に対して図示B方向における寸法の小さい永久磁石を複数使用すると、永久磁石の貼り付け作業に時間がかかり、コスト高を招いた。
【0005】
また、上記に示したリニアモータでは、電機子側の問題を挙げたが、長ストローク化する際に誘導子側にも課題がある。
リニアモータには一般に高価な永久磁石が使用されているが、永久磁石17aは固定子1となる誘導子2には取り付けておらず、可動子10となる電機子11側のみにあるため、ストロークが長い用途に適している。しかし、長ストローク化する際に誘導子2の全長を長くしすぎると、誘導子2を運搬ずる際に労力がかかったり、誘導子の材料となる電磁鋼鈑をプレス機械により打ち抜く際にワンスタンプで抜くことができず生産性が悪い。また、加工による反りが生じて誘導子歯7のピッチ精度が悪くなり、コギング力が大きくなるなどの問題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その第1の目的は、発生推力が大きくかつ小形化に適した磁極ピッチの磁極構造を有すると共に、永久磁石の製造・組立コストが安価であり、コギング力の変動あるいは推力変動を低減することができるリニアモータを提供することにある。
また、第2の目的はリニアモータを長ストローク化する際に誘導子の生産性を良好にし、誘導子歯のピッチ精度低下を防止できるリニアモータを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項1の本発明は、電機子コアのティースに巻装された電機子巻線と前記ティース先端に配置された複数の磁極とより構成される電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向するように設けられた誘導子歯(誘導子歯ピッチ:λ)を有する誘導子とを備え、前記電機子と前記誘導子の何れか一方を相対移動する可動子に、他方を固定子とするリニアモータにおいて、前記磁極は凹凸状に形成してなる永久磁石で構成するとともに、当該永久磁石の凸部のピッチを前記誘導子歯ピッチλに等しくなるように設定してあり、前記永久磁石は、前記ティースの各々の先端に磁化方向の異なる当該永久磁石を少なくとも2個1組として組み合わせたものを配置しであることを特徴とするものである。
請求項2の本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、磁化方向の異なる前記永久磁石を、可動子の移動方向に並べて配置したものである。
請求項3の本発明は、請求項1または2に記載のリニアモータにおいて、磁化方向の異なる前記永久磁石を、可動子の移動方向および磁気的空隙方向と直交する方向に並べて配置したものである。
請求項4の本発明は、請求項1〜3の何れか1項に記載のリニアモータにおいて、前記永久磁石をボンド磁石で構成したものである。
請求項5の本発明は、請求項1〜4の何れか1項に記載のリニアモータにおいて、前記誘導子を移動方向に分割する構成とするとともに、分割する部位となる接合面に凹凸状の係合部を設けたものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
[第1の実施例]
図1は本発明の第1の実施例を示すリニアモータの側断面図、図2は図1の磁極を可動子の下方から見た平面図である。図3は図1の磁極の拡大図であり、永久磁石の磁化方向を表したものである。なお、本発明の構成要素が従来技術と同じものについてはその説明を省略し、異なるものについて説明する。また、本発明の実施例では、従来技術同様、電機子を可動子、誘導子を固定子とした例を示している。
本発明が従来技術と異なる点は、以下のとおりである。
磁極16は凹凸状に形成してなる永久磁石17b、17cで構成するとともに、当該永久磁石の凸部のピッチを誘導子歯ピッチλに等しくなるように設定した点である。また、凹凸状の永久磁石17b、17cは、ティース13の各々の先端に磁化方向の異なる当該永久磁石を2個1組組み合わせて配置してあり、それぞれの凸部が電気的に180度の位相差になるように、可動子の移動方向に並べて配置してある。
なお、本実施例では従来技術に対して、リニアモータの発生推力を上げるための1ティース当たりの誘導子歯数を多くする条件として、隣接するティース13間の間隔を、ティース13の幅6×λとティース13間の幅2λ+2λ/3を足し合わせた8×λ+2λ/3として設定してある。
【0008】
次に動作原理について、図4を用いて説明する。
図4は、第1の実施例における電機子起磁力による磁束の流れを示した模式図である。なお、本実施例による磁極構造は従来技術のものと違いはあるものの、動作原理の基本的な部分は同じであるため、重複する動作内容については省略し、その動作内容を補足する形で説明する。
すなわち、U相の電機子巻線15に+方向の電流、V相とW相に−方向の電流を印可した場合の電機子起磁力による磁束の流れを示している。図示したように、電機子起磁力による磁束は、磁化方向と一致する凹凸状永久磁石17b中または凹凸状永久磁石17c中を流れる。その結果、誘導子歯3と電機子起磁力による磁束が通過する凹凸状永久磁石17bまたは凹凸状永久磁石17cとの磁気吸引作用によって、可動子は移動方向(矢視A方向)に移動する。
【0009】
このように、第1の実施例は、誘導子歯ピッチλを従来技術の1/2の長さ(1ティース当たりの誘導子歯数を2倍)に設定した条件のもとで、磁極16を凹凸状に形成された永久磁石17b、17cで構成するとともに、当該永久磁石の凸部のピッチを誘導子歯ピッチλに等しくなるように設定した構成、永久磁石17b、17cは、ティース13の各々の先端に磁化方向の異なる当該永久磁石を少なくとも2個1組として組み合わせたものを配置した構成、そして、凹凸状の永久磁石17b、17cを、それぞれの凸部が電気的に180度の位相差になるように、可動子の移動方向に並べて配置した構成にしたので、複数の磁極が一体で構成されることから、従来技術よりも永久磁石の磁極ピッチPmに対して紙面と垂直方向の寸法を大きくすることなく、機械加工によって磁極ピッチPmを小さくすることができ、磁極ピッチPm寸法誤差も小さくできることできる。その結果、従来技術で問題となった製造にかかるコストを低減するとともに、コギング力、推力変動を低減しつつ発生推力の大きなリニアモータを提供することができる。
また、上記構成により個々の永久磁石の寸法管理を厳しくする必要が無く、永久磁石の組み付け時の検査時間も短縮できるため、組立コストの安価なリニアモータを提供することができる。
さらに、磁化方向の異なる永久磁石17b、17cを、可動子10の移動方向Aに並べて配置したので、磁極ピッチPm寸法に対し可動子10の移動方向Aに多数並べることができるため、個々の凹凸状の永久磁石17b、17cを強度上問題無い縦横寸法形状に設定することができ、永久磁石17b、17cをティース13先端へ貼り付けたり、運搬する時に折損を生じる等の問題を回避することができる。
【0010】
[第2の実施例]
次に本発明の第2の実施例について説明する。
図5は本発明の第2実施例を示すリニアモータの側断面図、図6は図5の磁極を可動子の下方から見た平面図である。。
第2の実施例が第1の実施例と異なる点は、磁化方向の異なる永久磁石17b、17cを、当該磁石の凸部が電気的に180度の位相差になるように、可動子10の移動方向Aおよび磁気的空隙方向Gと直交する方向Bに並べて配置した点である。なお、動作原理については第1の実施例と同じであるため、その説明を省略する。
【0011】
このように第2の実施例は、磁化方向の異なる永久磁石17b、17cを、当該磁石の凸部が電気的に180度の位相差になるように、可動子10の移動方向Aおよび磁気的空隙方向Gと直交する方向Bに並べて配置したので、第1の実施例同様の効果を得ることができる。
また、上記効果に加えて、磁極ピッチPm寸法に対し可動子10の移動方向Aおよび磁気的空隙方向Gと直交する方向Bの寸法が大きい場合でも、可動子10の移動方向Aおよび磁気的空隙方向Gと直交する方向Bに短い形状をした磁化方向の異なる凹凸状の永久磁石を複数個並べることができるため、強度劣化の無い永久磁石を使用することができ、ティース13先端への貼り付け時や運搬時に永久磁石が折損を生じる等の問題を回避することができる。
また、従来技術に比べても、永久磁石の貼り付け作業を大幅に短縮でき、安価なリニアモータを提供することができる。
【0012】
[第3の実施例]
次に、本発明の第3の実施例について説明する。
図7は本発明の第3実施例を示すリニアモータであって、(a)は誘導子の側断面図、(b)は係合部の拡大図である。
第3の実施例が第1、第2の実施例と異なる点は、誘導子2を移動方向Aに分割する構成とするとともに、分割する部位となる接合面に凹凸状の係合部2a、2bを設けた点である。なお、誘導子歯3は電機子11との磁気的空隙gの寸法精度が要求されるため、分割位置は歯と歯の中間部としている。
このように第3の実施例は誘導子2を分割構造にしたので、リニアモータを長ストローク化する際に持ち運びが容易に行うことができる。また、誘導子2のコア形状もプレス機械によりワンスタンプで抜くことができるため生産性が向上し、加工による反りも少ないため誘導子歯3のピッチ精度が良く、コギング力を低減することができる。
【0013】
なお、上記の実施例で示した永久磁石17b、17cを、例えばボンド磁石を用いると良い。すなわち、永久磁石17b、17cのような凹凸に形成しようとした場合、従来から使用される燒結磁石では加工が困難で、形状が複雑なものには不向きであるため、ボンド磁石によって金型で成形することにより、永久磁石17b、17cを安価にすることができる。
また、誘導子2を分割構成にしたが、これは場合によっては誘導子2の加工による寸法誤差を生じ、それに伴って連結部での誘導子歯3のピッチ精度や電機子11とのギャップ精度が悪くなるという問題を生じる恐れがある。すなわち、分割した誘導子2の係合部が大きいために、ベース18と誘導子2の間の直角精度をクリアすることが難しく、各々の誘導子2を連結した時に部分的な接触となってしまい、誘導子歯3のピッチ精度が悪くなることや、ベース18の上面から誘導子歯3の先端面までの高さ寸法が長いために、各々の誘導子2で高さ寸法に誤差を生じることが考えられる。このような問題を回避するには、誘導子2を分割する部位となる接合面に設けた凹凸状の係合部2a、2bにおいて、当該係合部を連結したときに、図7(b)に示すように微小の隙間2cを設けて凹凸状の係合部の寸法を調節すると、加工による寸法誤差を逃がすことができ、寸法精度の必要な面を小さくできたり、連結部の誘導子歯7のピッチを精度良くできる。また、ベース18の上面と誘導子2の間に微小の隙間2dを設けると、各々の誘導子2で高さ寸法に誤差を生じることはない。
また、本実施例では電機子を可動子に、誘導子を固定子とした構造としたが、電機子を固定子に、誘導子を可動子とした構造としても、本発明の効果を同じく発揮できることは言うまでもない。
また、3つのティースで構成される電機子を示したが、それらを複数個連結して同一のテーブルに固定する構成、1個の電機子において複数個のティースを持つものであっても同様の効果を得ることができる。
また、本実施例では凹凸状の永久磁石の凸部を単に矩形状としたが、永久磁石を、可動子の移動方向Aおよび磁気的空隙方向Gと直交する方向Bにスキューを設けたり、凸部先端を円弧状に形成するようにしても良い。
【0014】
【発明の効果】
以上のような構成により、以下の効果を得ることができる。
(1)第1の実施例は、誘導子歯ピッチλを従来技術の1/2の長さ(1ティース当たりの誘導子歯数を2倍)に設定した条件のもとで、磁極を凹凸状に形成された永久磁石で構成するとともに、当該永久磁石の凸部のピッチを誘導子歯ピッチλに等しくなるように設定した構成、永久磁石は、ティースの各々の先端に磁化方向の異なる当該永久磁石を少なくとも2個1組として組み合わせたものを配置した構成、そして、凹凸状の永久磁石を、それぞれの凸部が電気的に180度の位相差になるように、可動子の移動方向に並べて配置した構成にしたため、複数の磁極が一体で構成されることから、従来技術よりも永久磁石の磁極ピッチPmに対して紙面と垂直方向の寸法を大きくすることなく、機械加工によって磁極ピッチPmを小さくすることができ、磁極ピッチPm寸法誤差も小さくできることできる。その結果、従来技術で問題となった製造にかかるコストを低減するとともに、コギング力、推力変動を低減しつつ発生推力の大きなリニアモータを提供することができる。
また、上記構成により個々の永久磁石の寸法管理を厳しくする必要が無く、永久磁石の組み付け時の検査時間も短縮できるため、組立コストの安価なリニアモータを提供することができる。
さらに、磁化方向の異なる永久磁石を、可動子の移動方向および磁気的空隙と直交する方向に並べて配置したので、磁極ピッチPm寸法に対し可動子の移動方向および磁気的空隙と直交する方向に多数並べることができるため、個々の凹凸状の永久磁石を強度上問題無い縦横寸法形状に設定することができ、永久磁石をティース先端へ貼り付けたり、運搬する時に折損を生じる等の問題を回避することができる。
(2)第2の実施例は、磁化方向の異なる永久磁石を、当該磁石の凸部が電気的に180度の位相差になるように、可動子の移動方向および磁気的空隙と直交する方向に並べて配置したため、第1の実施例同様の効果を得ることができる。
また、上記効果に加えて、磁極ピッチPm寸法に対し可動子の移動方向および磁気的空隙と直交する方向の寸法が大きい場合でも、可動子の移動方向および磁気的空隙と直交する方向に短い形状をした磁化方向の異なる凹凸状の永久磁石を複数個並べることができるため、強度劣化の無い永久磁石を使用することができ、ティース先端への貼り付け時や運搬時に永久磁石が折損を生じる等の問題を回避することができる。
また、従来技術に比べても、永久磁石の貼り付け作業を大幅に短縮でき、安価なリニアモータを提供することができる。
(3)第3の実施例は、誘導子を移動方向に分割する構成とするとともに、分割する部位となる接合面に凹凸状の係合部を設けたため、リニアモータを長ストローク化する際に持ち運びが容易に行うことができる。また、誘導子のコア形状もプレス機械によりワンスタンプで抜くことができるため生産性が向上し、加工による反りも少ないため誘導子歯のピッチ精度が良く、コギング力を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すリニアモータの側断面図である。
【図2】図1の磁極を可動子の下方から見た平面図である。
【図3】図1の磁極の拡大図であり、永久磁石の磁化方向を表したものである。
【図4】第1の実施例における電機子起磁力による磁束の流れを示した模式図である。
【図5】本発明の第2実施例を示すリニアモータの側断面図である。
【図6】図5の磁極を可動子の下方から見た平面図である。
【図7】本発明の第3実施例を示すリニアモータであって、(a)は誘導子の側断面図、(b)は係合部の拡大図である。
【図8】従来技術を示すリニアモータの側断面図である。
【図9】図8における磁極の拡大図であり、永久磁石の磁化方向を表したものである。
【符号の説明】
1 固定子
2 誘導子
2a 係合部
2b 係合部
2c 隙間
2d 隙間
3 誘導子歯
10 可動子
11 電機子
12 電機子コア
13 ティース
14 継鉄
15 電機子巻線
16 磁極
17a 永久磁石(従来技術)
17b、17c 永久磁石(本発明)
Claims (5)
- 電機子コアのティースに巻装された電機子巻線と前記ティース先端に配置された複数の磁極とより構成される電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向するように設けられた誘導子歯(誘導子歯ピッチ:λ)を有する誘導子とを備え、前記電機子と前記誘導子の何れか一方を相対移動する可動子に、他方を固定子とするリニアモータにおいて、
前記磁極は凹凸状に形成してなる永久磁石で構成するとともに、当該永久磁石の凸部のピッチを前記誘導子歯ピッチλに等しくなるように設定してあり、
前記永久磁石は、前記ティースの各々の先端に磁化方向の異なる当該永久磁石を少なくとも2個1組として組み合わせたものを配置しであることを特徴とするリニアモータ。 - 磁化方向の異なる前記永久磁石を、可動子の移動方向に並べて配置したことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
- 磁化方向の異なる前記永久磁石を、可動子の移動方向および磁気的空隙方向と直交する方向に並べて配置したことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。
- 前記永久磁石をボンド磁石で構成したことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のリニアモータ。
- 前記誘導子を移動方向に分割する構成とするとともに、分割する部位となる接合面に凹凸状の係合部を設けたことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のリニアモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001317679A JP3824061B2 (ja) | 2001-10-16 | 2001-10-16 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001317679A JP3824061B2 (ja) | 2001-10-16 | 2001-10-16 | リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003134793A JP2003134793A (ja) | 2003-05-09 |
JP3824061B2 true JP3824061B2 (ja) | 2006-09-20 |
Family
ID=19135510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001317679A Expired - Fee Related JP3824061B2 (ja) | 2001-10-16 | 2001-10-16 | リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3824061B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004045992A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Siemens Ag | Elektrische Maschine |
CN104935148A (zh) * | 2015-07-06 | 2015-09-23 | 东南大学 | 一种磁通反向式永磁直线电机及由其构成的电机模组 |
-
2001
- 2001-10-16 JP JP2001317679A patent/JP3824061B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003134793A (ja) | 2003-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3360606B2 (ja) | リニアモータ | |
US20180069464A1 (en) | Linear Motor | |
TWI338431B (ja) | ||
JP4600712B2 (ja) | リニアモータ | |
JP2004364374A (ja) | リニアモータ | |
JP2002209371A (ja) | リニアモータ | |
JP4434383B2 (ja) | リニアモータ | |
JP3744437B2 (ja) | 駆動装置 | |
JP2004297977A (ja) | リニアモータ | |
JP3941314B2 (ja) | コアレスリニアモータ | |
JP3944799B2 (ja) | リニアモータ | |
JP3824061B2 (ja) | リニアモータ | |
JP2018050430A (ja) | リニアモータ | |
US11955864B2 (en) | Linear motor | |
JP2002186244A (ja) | 永久磁石型リニアモータ | |
JP2002101636A (ja) | リニアモータ | |
JP4110335B2 (ja) | リニアモータ | |
JP4433523B2 (ja) | コアレスリニアモータ | |
JP3817967B2 (ja) | リニアモータ | |
JPWO2018167970A1 (ja) | リニアモータ | |
JP2001008432A (ja) | リニアモータ | |
JP3699079B2 (ja) | リニアモータ | |
JP2002034229A (ja) | コアレスリニアモータ | |
JP4175076B2 (ja) | コアレス形リニアモータ | |
JP3786150B2 (ja) | リニアモータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040913 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060602 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060620 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090707 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100707 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100707 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110707 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120707 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130707 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140707 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |