JP3681547B2 - 走査光学系の走査位置測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザプリンタ、デジタル複写機等の画像形成装置に使用される走査光学系の走査位置測定装置に関するものであり、特に、回転多面鏡の各偏向反射面ごとに対する副走査方向の走査位置を測定することができる走査光学系の走査位置測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
レーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、被走査面を走査する走査光学系は、レーザプリンタやデジタル複写機等の画像形成装置に用いられ、広く知られている。近来では、走査光学系による光走査の高速化、高密度化の要求に対応するために、マルチビーム化が図られ、回転多面鏡の各偏向反射面における複数の光スポットによる走査位置精度が重要な要素となってきている。
【0003】
走査光学系において、光スポットは、被走査面上で移動して被走査面を走査する。被走査面上における光スポットの理想的な移動方向を主走査方向と呼び、被走査面上で主走査方向に対して直交する方向を副走査方向と呼ぶことは周知の通りである。ここで言う被走査面は仮想的な平面であり、実体的には光導電性感光体の感光面である。
【0004】
被走査面における光スポットの移動軌跡は主走査ラインと呼ばれ、この主走査ラインは正確な直線であることが理想であるが、実際には種々の要因で厳密な直線にはならず、僅かな曲がりが生じる。また、レーザ光束を偏向させる回転多面鏡の各偏向反射面ごとの偏向による主走査ラインは、偏向反射面の面倒れの影響で副走査方向に微小距離だけ変動する場合がある。主走査ラインに生じる曲がりや変動は、所定の許容範囲内に収められる必要があり、走査を高密度化する場合やマルチビームで走査を行う場合の許容範囲はかなり狭い。
【0005】
そこで、従来では、走査光学系を実際に組み立てる際や組み立てた後、光学素子の位置や角度を調整して上記主走査ラインに生じる曲がりや変動を調整したり、これらが設計値通りの許容範囲内に収まっているかを検査するため、被走査面上の主走査方向所望位置における副走査方向の走査位置を測定している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の測定方法では、回転多面鏡が高速回転し、偏向光が高速で移動するため、上記主走査ラインに生じる曲がりや変動が回転多面鏡のどの偏向反射面で生じているかまでは測定することができず、的確な測定結果を得ることができなかった。また、走査光学系評価装置として特開平9−33390号公報記載のものがあるが、これは、光ビームが異常であるかどうかを検知して走査光学系を評価するだけのものであって、やはり、どの偏向反射面で主走査ラインに曲がりや変動を生じているのかまでは測定できないし、曲がりや変動を定量的に測定できるものでもない。
【0007】
本発明は以上のような従来技術の問題点を解消するためになされたものであり、回転多面鏡の各偏向反射面ごとに対する走査位置を定量的に測定することができる走査光学系の走査位置測定装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、レーザ光源からのレーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、回転多面鏡によって上記被走査面を走査する走査光学系を有し、上記回転多面鏡の特定面に対応する上記被走査面上の主走査方向所望位置における副走査方向の走査位置を測定する装置であって、上記光スポットの走査による受光情報信号を得る測定用のCCDセンサと、上記CCDセンサを、その受光面が上記被走査面に等価な測定面に沿って主走査方向へ変位させるセンサ変位手段と、有効走査範囲の走査に先立ってレーザ光束を検知する同期検知手段と、上記レーザ光源のオン・オフを制御するレーザ発光変調手段と、上記回転多面鏡の特定回転角で信号を発生する特定面検知手段と、上記レーザ発光変調手段に命令を与える機能および上記CCDセンサに情報読み出し信号を送る機能を有する制御手段と、上記受光情報信号に基づき、上記光スポットの副走査方向の中心位置を演算する演算手段と、を有し、上記受光情報信号は、上記光スポットの光強度分布から演算され、上記特定面検知手段からの信号を基準とした上記同期検知手段の検知信号で、上記回転多面鏡のどの偏向反射面で反射された光スポット位置かを特定し、上記演算手段は上記制御手段と信号の授受を行い、上記光スポット位置と上記光スポットの副走査方向の中心位置とを対応させることを特徴とする。
【0009】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、同期検知手段がレーザ光束を検知するごとに偏向反射面番号をカウントアップするカウンタを有し、特定面検知手段の出力により立ち上がる信号とこの信号の立ち下がりで立ち上がる別の信号を生成し、この別の信号の立ち上がりにより上記カウンタの偏向反射面番号をリセットすることを特徴とする。
【0010】
請求項3記載の発明は、請求項1または2記載の発明において、特定面検知手段が信号を発生してから上記同期検知手段がレーザ光束を検知するまでを上記回転多面鏡の偏向反射面の第1面とし、以後、上記同期検知手段がレーザ光束を検知するごとにカウンタが偏向反射面番号をカウントアップすることを特徴とすることを特徴とする。
【0011】
請求項4記載の発明は、レーザ光源からのレーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、回転多面鏡によって上記被走査面を走査する走査光学系を有し、上記回転多面鏡の特定面に対応する上記被走査面上の主走査方向所望位置における副走査方向の走査位置を測定する装置であって、上記光スポットの走査による受光情報信号を得る測定用のCCDセンサと、上記CCDセンサを、その受光面が上記被走査面に等価な測定面に沿って主走査方向へ変位させるセンサ変位手段と、有効走査範囲の走査に先立ってレーザ光束を検知する同期検知手段と、上記レーザ光源のオン・オフを制御するレーザ発光変調手段と、上記回転多面鏡の特定回転角で信号を発生する特定面検知手段と、上記レーザ発光変調手段に命令を与える機能および上記CCDセンサに情報読み出し信号を送る機能を有する制御手段と、上記受光情報信号に基づき、上記光スポットの副走査方向の中心位置を演算する演算手段と、を有し、上記特定面検知手段からの信号を1/2分周し、上記1/2分周信号の立ち上がりにより立ち上がる別の信号を生成し、上記1/2分周信号の立ち上がりから上記同期検知信号がレーザ光束を検知するまでを上記回転多面鏡の偏向反射面の第1面とし、以後、上記同期検知手段がレーザ光束を検知するごとに偏向反射面番号をカウントアップするとともに、上記別の信号の立ち上がりにより偏向反射面番号をリセットすることを特徴とする。
【0012】
請求項5記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、回転多面鏡の回転軸に垂直な面上の一部に、この面の他の部分とは異なる反射率の印を設け、この印を反射率の違いにより検知することを特徴とする。
【0013】
請求項6記載の発明は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明において、特定面検知手段が信号を発生している間に、上記同期検知手段がレーザ光束を検知するように上記特定面検知手段が配置されていることを特徴とする。
【0014】
請求項7記載の発明は、請求項1〜6のいずれかに記載の発明において、同期検知手段による同期検知後一定時間経過してから次の同期検知までおよび測定したい偏向反射面を走査中に、上記レーザ光源をオンにし、特定面検知信号発生時に上記CCDセンサに情報読み出し信号を送ることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明にかかる走査光学系の走査位置測定装置の実施の形態について説明する。
図1において、符号1は、レーザ光束を出射するレーザ光源としての半導体レーザを示している。半導体レーザ1の出射方向には、カップリングレンズ2a、シリンドリカルレンズ2bおよびが回転多面鏡3この順に配置されている。回転多面鏡の偏向反射面によるレーザ光束の反射光路上にはfθレンズ4が配置されている。上記偏向反射面による反射光路上にはまた、各偏向反射面による偏向開始当初のレーザ光束を受光して同期信号を出力する同期検知手段としてのフォトダイオード(以下「PD」という)13が配置されている。
【0016】
上記fθレンズ4を透過した偏向光の進路上には、測定用CCDセンサとしてのCCDカメラ6が配置されている。CCDカメラ6は、その受光面12が被走査面に等価な測定面に沿って、主走査方向である矢印B方向に変位することができる。より具体的に説明すると、CCDカメラ6は、センサ変位手段としてのYステージ9上に設けられ、主走査方向である矢印B方向にスライド移動可能であるとともに、Xステージ11上に設けられることによって、矢印Cで示すように、主走査方向に対し直交する方向でありかつ回転多面鏡3による偏向光の進行方向前後方向に移動可能となっている。従って、CCDカメラ6は、Yステージ9によってレーザ光束の主走査領域で任意の像高に移動することができるとともに、Xステージ11によって仮想的な平面である被走査面に設定することができる。CCDカメラ6の受光面12はラインセンサからなっていて、複数の受光エレメントが上記測定面において副走査方向に、従って、図1において紙面に直交する方向に、図2において上下方向に沿って配列されている。
【0017】
上記回転多面鏡3の回転軸に垂直な面上の一部には、この面の部分とは異なる反射率の印16が付せられている。図1に示す例では、上記回転多面鏡3の回転軸に垂直な面上であって、回転多面鏡3の半径方向に沿い黒インクによってライン状の印16が付せられている。この印16の回転移動軌跡に対向させて光センサ15が配置されている。光センサ15は、対象物を照らす光源部と、対象物からの反射光を受光する受光部とから構成されていて、回転多面鏡3の上記印16形成面自体の光反射率と印16の光反射率の違いにより、印16が光センサ15に対向したとき信号を検知する。光センサ15は回転多面鏡3が1回転するごとに回転多面鏡3の一定の回転角で検知信号を出力し、そのときレーザ光を偏向している、あるいは偏向しようとしている偏向反射面は特定の偏向反射面であるため、光センサ15の検知信号によって回転多面鏡3の偏向反射面はどの反射面であるかを特定することができる。従って、光センサ15は、回転多面鏡3の特定面検知手段としての機能を有している。
【0018】
光センサ15の検知信号、前記PD13の検知信号は制御回路14に入力され、半導体レーザ1は制御回路14によって制御されるようになっている。また、CCDカメラ6による受光情報信号は画像入力ボード7に入力され、画像入力ボード7は演算手段としてのパソコン8に接続され、パソコン8と上記制御回路14との間で信号が授受されるようになっている。
【0019】
次に、上記実施の形態の動作を説明する。図1に示すように、半導体レーザ1は、制御手段としての制御回路14に含まれるレーザ発光変調手段によってオン、オフが制御される。また、上記制御手段は、上記レーザ発光変調手段に命令を与える機能を有していると共に、パソコン8を通じてCCDカメラ6に情報読み出し信号を送信する機能を有している。
【0020】
上記上記半導体レーザ1から出射された拡散光であるレーザ光束は、上記カップリングレンズ2aによって平行光束、緩やかな拡散光あるいは収束光に変換され、さらにシリンドリカルレンズ2bによって副走査対応方向にのみ収束されて回転多面鏡3の偏向反射面付近に主走査方向に長い線像として集光される。上記回転多面鏡3は、モータによって図1に矢印Aで示すように反時計方向に高速で回転駆動される。回転多面鏡3の偏向反射面付近に集光されたレーザ光束は、回転多面鏡3の回転によって偏向反射され、fθレンズ4を透過し、被走査面に等価な面をレーザ光のスポットが走査する。被走査面に等価な面にはXステージ11の調整によってCCDカメラ6の受光面12が配置されている。上記光スポットの走査が主走査であり、1回の主走査ごとに光スポットがCCDカメラ6の受光面12を横切る。そこで、ラインセンサを構成する複数の受光エレメントの信号を順に読み出すことにより、光スポットが横切った位置の受光エレメントの信号が突出してなる受光情報信号を得ることができ、突出した信号を出力している受光エレメントを特定することによって、光スポットの副走査方向の走査位置を測定することができる。
【0021】
上記fθレンズ4は、回転多面鏡3によって偏向反射されたレーザ光束をCCDカメラ6の受光面12上に等速走査させる機能と、副走査対応方向において偏向反射面近傍と被走査面とを幾何光学的な共役関係とすることにより、偏向反射面の面倒れの影響を補正する機能を有している。
【0022】
回転多面鏡3によって偏向反射されるレーザ光束は、有効走査範囲に入る直前に、有効走査範囲の走査に先立ってPD13から同期検知信号が出力され制御回路14に入力される。この同期検知信号は、被走査面上での光スポットによる主走査時に、書き込みのタイミングを決めるためのものである。
【0023】
上記CCDカメラ6の受光面12で読み取った光スポットの走査による受光情報信号は、図1に示すように、画像入力ボード7を介してパソコン8に取り込まれるようになっている。パソコン8には、上記受光情報信号に基づき、被走査面上の所望の主走査位置における光スポットの副走査方向の中心位置を演算する演算手段が内蔵されている。光スポットの直径方向における光強度分布は釣鐘型になっているため、この強度分布から上記のように光スポットの中心位置を演算することができる。CCDカメラ6は、これをYステージ9により主走査領域の特定の複数位置に移動させてそれぞれの位置で上記のように光スポットの副走査方向の中心位置を演算すれば、主走査方向の走査線曲がり、走査線相互のピッチムラ、ピッチ偏差などの種々のデータを得ることができる。
【0024】
図示の実施の形態では、このような種々のデータが回転多面鏡3のどの偏向反射面による走査で得られたものであるかを、次のようにして特定することができる。上記制御回路14は、PD13から出力された同期検知信号と、光センサ15から出力された特定面検知信号を基に、光センサ15が特定面検知信号を発生してから、PD13が同期検知信号を出力するまでを第1面として、以後、PD13がレーザ光束を受光検知して同期検知信号を発生するごとに偏向反射面番号をカウントアップする。
【0025】
また、制御回路14は、PD13による同期検知後一定時間経過してから次の同期検知までと、パソコン8によって設定入力されたユーザが測定したい偏向反射面を走査中とに、レーザ発光変調手段を制御して半導体レーザ1をオンにし、光センサ15による特定面検知信号発生時にCCDカメラ6に情報読み出し信号を出力する。CCDカメラ6は、この情報読み出し信号に基づいて受光面12で光スポットを読み取り、受光情報信号を画像入力ボード7を介してパソコン8に出力する。パソコン8では、演算手段がこの受光情報信号に基づいて走査位置を測定する。以上の測定を主走査領域の特定の複数位置で行えば、前述のように、主走査方向の走査線曲がり、副走査方向のピッチムラ、ピッチ偏差などの種々のデータを算出することができる。
【0026】
図3は、上記実施の形態のタイムチャートを示す。図3において「光センサ出力」とは、光センサ15による特定面検知信号のことである。まず、光センサ15が印16を検知すると、偏向反射面カウンタがリセット状態となり、回転多面鏡3の偏向反射面の面番号として「1」を設定する(図3において符号a参照)。次に、PD13がレーザ光束を受光検知すると、符号bで示すように偏向反射面番号を「2」にカウントアップする。「LD変調」とは、同期検知のために半導体レーザ1を光らせる信号であり、PD13の出力の立ち上がりから一定時間後に符号cで示すように「H」とし、次のPD13の出力の立ち上がりで符号dで示すように「L」とする。上記一定時間は、次にレーザ光束がPD13に入る時間の直前になるようにユーザが調整する。
【0027】
半導体レーザ1の発光期間は、LD変調の信号が「H」である時間を包含できる期間または面番号が測定したい面となる期間とする。ただし、第1面を測定するときのみ、面番号「1」の測定データと、面番号「7」の測定データを合わせ、合わせた結果で上記発光期間を決定する。光センサ15の出力が立ち上がるより早くレーザ光束がCCDカメラ6に当たれば、面番号「1」の測定で光スポットが受像され、逆に光センサ15の出力が立ち上がるより遅くレーザ光束がCCDカメラ6に当たれば面番号「7」の測定で光スポットが受像される。
【0028】
以上のように、光センサ15からの特定面検知信号を基準としてPD13の受光検知信号をカウントし、CCDカメラ6で光スポット位置が検知されたとき、この検知信号を上記カウント値と対応させることにより、回転多面鏡3のどの偏向反射面で反射された光スポット位置かを特定することができる。上記カウント値と光スポット位置のデータは相互の対応関係を持たせてメモリに記録することができ、これによって、回転多面鏡3の各偏向反射面ごとに対する光スポットの副走査方向の走査位置を連続的にかつ自動的に測定することができる。また、以上の測定を主走査方向の複数箇所で行うことにより、各偏向反射面ごとに、主走査方向の走査線曲がり、副走査方向のピッチムラ、ピッチ偏差などの種々のデータを得ることができる。
【0029】
次に、別の実施の形態について説明する。上記光センサ15が特定面検知信号を出力している間に、上記PD13がレーザ光束を検知することができるように、光センサ15を配置することができる。図4には、この実施の形態によるタイムチャートを示している。図4に示すように、まず、光センサ15が印16を検知すると、カウンタがリセット状態となり、回転多面鏡3の偏向反射面の面番号として「1」を設定する(図4において符号a参照)。この光センサ15が特定面検知信号出力中に、PD13がレーザ光束を受光し検知信号を出力するが、上記特定面検知信号によってカウンタはリセットされ続けている状態となっているため、偏向反射面の面番号は変わらない。次に、PD13がレーザ光束を受光検知すると、偏向反射面番号をカウントアップする(図4において符号b参照)。LD変調については、図4には示していないが、前述の実施の形態と同様である。また、半導体レーザ1の発光期間についても、前述の実施の形態と同様であり、LD変調の信号が「H」である期間を包含することができる期間または面番号が測定したい面となる期間とする。
【0030】
次に、さらに別の実施の形態について説明する。上記光センサ15からの特定面検知信号を1/2分周し、この分周信号の立ち上がりから上記PD13がレーザ光束を検知するまでを第1面として、以後、PD13がレーザ光束を検知するごとに偏向反射面番号をカウントアップするようにすることができる。図5には、この実施の形態によるタイムチャートを示している。図5に符号a、bで示すように、まず、光センサ15の特定面検知信号をその立ち上がりで分周することにより1/2分周する。この分周信号を(A)信号とする。符号cで示すように(A)信号の立ち上がりによって立ち上がる(B)信号を生成する。(B)信号は、符号dで示すように(A)信号の立ち上がりから一定時間後(例えば、20μs程度)に「L」となる信号である。また、(B)信号の立ち上がりでカウンタをリセット状態にして回転多面鏡3の偏向反射面の面番号を「1」に設定する(図5において符号e参照)。そして、PD13の出力の立ち上がりで偏向反射面番号をカウントアップする(図5において符号f参照)。LD変調については、図5には示していないが、図3に示す実施の形態と同様である。また、半導体レーザ1の発光期間についても、図3に示す実施の形態と同様であり、LD変調の信号が「H」である期間を包含する期間または面番号が測定したい面となる期間とする。ただし、第1面を測定するときのみ、面番号「1」の測定データではなく、面番号「7」の測定データとする。
【0031】
次に、さらに別の実施の形態について説明する。上記光センサ15が特定面検知信号を発生して、上記PD13が最初にレーザ光束を検知してから次にPD13がレーザ光束を検知するまでを第1面として、以後、PD13がレーザ光束を検知するごとに偏向反射面番号をカウントアップするようにすることができる。図6には、この実施の形態によるタイムチャートを示している。図6に示すように、まず、光センサ15の出力で「H」となる(C)信号を生成する(図6において符号a参照)。(C)信号はPD13の立ち上がりで「L」にする(符号b参照)。この(C)信号の立ち下がりによって立ち上がる別の信号(D)を生成する(符号c参照)。また、(C)信号の立ち下がりから一定時間後(例えば、20μs程度)に(D)信号を「L」にする(符号d参照)。(D)信号の立ち上がりでカウンタをリセット状態にして回転多面鏡3の偏向反射面の面番号を「1」とする(符号e参照)。そして、PD13の出力の立ち上がりで偏向反射面番号をカウントアップする(符号f参照)。LD変調については、図6には示していないが、図3に示す実施の形態と同様である。また、半導体レーザ1の発光期間についても、図3に示す実施の形態と同様である。
【0032】
図4〜図6に示す実施例においても、図3に示す実施例について説明してように、偏向反射面を特定するカウント値と光スポット位置のデータを相互の対応関係を持たせてメモリに記録することができ、これによって、回転多面鏡3の各偏向反射面ごとに対する光スポットの副走査方向の走査位置を連続的にかつ自動的に測定することができる。また、以上の測定を主走査方向の複数箇所で行うことにより、各偏向反射面ごとに、主走査方向の走査線曲がり、副走査方向のピッチムラ、ピッチ偏差などの種々のデータを得ることができる。
【0033】
主走査方向の複数箇所で測定を行うためのYステージ9に沿ったCCDカメラ6の移動は、手動操作によって行うようにしてもよいし、モータ駆動によって行うようにしてもよい。また、モータ駆動による場合、CCDカメラ6を連続的にまたは間欠的に移動させながらそれぞれの移動位置で各偏向反射面につき副走査方向の走査位置を測定して記録するようにすれば、各偏向反射面につき主走査方向の走査線曲がり、副走査方向のピッチムラ、ピッチ偏差などの種々のデータを得ることができ、大量の測定データを効率よく処理することができる。
【0034】
【発明の効果】
本発明によれば、レーザ光源からのレーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、回転多面鏡によって上記被走査面を走査する走査光学系の、上記被走査面上の主走査方向所望位置における副走査方向の走査位置を測定する装置であって、測定用のCCDセンサと、上記CCDセンサを、その受光面が上記被走査面に等価な測定面に沿って主走査方向へ変位させるセンサ変位手段と、有効走査範囲の走査に先立ってレーザ光束を検知する同期検知手段と、上記レーザ光源のオン・オフを制御するレーザ発光変調手段と、上記回転多面鏡の特定回転角で信号を発生する特定面検知手段と、上記レーザ発光変調手段に命令を与える機能および上記CCDセンサに情報読み出し信号を送る機能を有する制御手段と、上記CCDセンサの、上記光スポットの走査による受光情報信号に基づき、上記光スポットの副走査方向の中心位置を演算する演算手段とを有し、上記特定面検知手段からの信号を基準とした上記同期検知手段の検知信号で、上記回転多面鏡のどの偏向反射面で反射された光スポット位置かを特定するようにしたため、回転多面鏡の各偏向反射面ごとに対する副走査方向の走査位置を測定することができ、センサ変位手段によりCCDセンサを主走査方向に変位させながら複数位置で副走査方向の走査位置を測定することにより、走査線曲がり、ピッチムラ、ピッチ偏差などを測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる走査光学系の走査位置測定装置の実施の形態を示す光学配置図である。
【図2】上記実施の形態を示す側面図である。
【図3】上記実施の形態を示すタイムチャートである。
【図4】本発明の別の実施の形態を示すタイムチャートである。
【図5】本発明のさらに別の実施の形態を示すタイムチャートである。
【図6】本発明のさらに別の実施の形態を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
1 半導体レーザ
3 回転多面鏡
6 CCDセンサ
8 パソコン
9 Yステージ
12 受光部
13 PD
14 制御回路
15 光センサ
16 印
Claims (7)
- レーザ光源からのレーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、回転多面鏡によって上記被走査面を走査する走査光学系を有し、上記回転多面鏡の特定面に対応する上記被走査面上の主走査方向所望位置における副走査方向の走査位置を測定する装置であって、
上記光スポットの走査による受光情報信号を得る測定用のCCDセンサと、
上記CCDセンサを、その受光面が上記被走査面に等価な測定面に沿って主走査方向へ変位させるセンサ変位手段と、
有効走査範囲の走査に先立ってレーザ光束を検知する同期検知手段と、
上記レーザ光源のオン・オフを制御するレーザ発光変調手段と、
上記回転多面鏡の特定回転角で信号を発生する特定面検知手段と、
上記レーザ発光変調手段に命令を与える機能および上記CCDセンサに情報読み出し信号を送る機能を有する制御手段と、
上記受光情報信号に基づき、上記光スポットの副走査方向の中心位置を演算する演算手段と、を有し、
上記受光情報信号は、上記光スポットの光強度分布から演算され、
上記特定面検知手段からの信号を基準とした上記同期検知手段の検知信号で、上記回転多面鏡のどの偏向反射面で反射された光スポット位置かを特定し、
上記演算手段は上記制御手段と信号の授受を行い、上記光スポット位置と上記光スポットの副走査方向の中心位置とを対応させることを特徴とする走査光学系の走査位置測定装置。 - 同期検知手段がレーザ光束を検知するごとに偏向反射面番号をカウントアップするカウンタを有し、特定面検知手段の出力により立ち上がる信号とこの信号の立ち下がりで立ち上がる別の信号を生成し、この別の信号の立ち上がりにより上記カウンタの偏向反射面番号をリセットすることを特徴とする請求項1記載の走査光学系の走査位置測定装置。
- 上記特定面検知手段が信号を発生してから上記同期検知手段がレーザ光束を検知するまでを上記回転多面鏡の偏向反射面の第1面とし、以後、上記同期検知手段がレーザ光束を検知するごとにカウンタが偏向反射面番号をカウントアップすることを特徴とする請求項1または2記載の走査光学系の走査位置測定装置。
- レーザ光源からのレーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、回転多面鏡によって上記被走査面を走査する走査光学系を有し、上記回転多面鏡の特定面に対応する上記被走査面上の主走査方向所望位置における副走査方向の走査位置を測定する装置であって、
上記光スポットの走査による受光情報信号を得る測定用のCCDセンサと、
上記CCDセンサを、その受光面が上記被走査面に等価な測定面に沿って主走査方向へ変位させるセンサ変位手段と、
有効走査範囲の走査に先立ってレーザ光束を検知する同期検知手段と、
上記レーザ光源のオン・オフを制御するレーザ発光変調手段と、
上記回転多面鏡の特定回転角で信号を発生する特定面検知手段と、
上記レーザ発光変調手段に命令を与える機能および上記CCDセンサに情報読み出し信号を送る機能を有する制御手段と、
上記受光情報信号に基づき、上記光スポットの副走査方向の中心位置を演算する演算手段と、を有し、
上記特定面検知手段からの信号を1/2分周し、上記1/2分周信号の立ち上がりにより立ち上がる別の信号を生成し、
上記1/2分周信号の立ち上がりから上記同期検知信号がレーザ光束を検知するまでを上記回転多面鏡の偏向反射面の第1面とし、以後、上記同期検知手段がレーザ光束を検知するごとに偏向反射面番号をカウントアップするとともに、上記別の信号の立ち上がりにより偏向反射面番号をリセットすることを特徴とする走査光学系の走査位置測定装置。 - 上記回転多面鏡の回転軸に垂直な面上の一部に、この面の他の部分とは異なる反射率の印を設け、この印を反射率の違いにより検知することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の走査光学系の走査位置測定装置。
- 上記特定面検知手段が信号を発生している間に、上記同期検知手段がレーザ光束を検知するように上記特定面検知手段が配置されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の走査光学系の走査位置測定装置。
- 上記同期検知手段による同期検知後一定時間経過してから次の同期検知までおよび測定したい偏向反射面を走査中に、上記レーザ光源をオンにし、特定面検知信号発生時に上記CCDセンサに情報読み出し信号を送ることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の走査光学系の走査位置測定装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000039573A JP2000039573A (ja) | 2000-02-08 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3681547B2 (ja) |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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