JP3485779B2 - 超音波モータの配線構造、及び環状の圧電素子用フレキシブル基板 - Google Patents
超音波モータの配線構造、及び環状の圧電素子用フレキシブル基板Info
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
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- H05K1/0237—High frequency adaptations
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は超音波モータに係
り、詳しくは、例えば圧電素子に高周波電圧を供給する
ための配線構造に関するものである。
り、詳しくは、例えば圧電素子に高周波電圧を供給する
ための配線構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の超音波モータには、例えば、特公
平7−10188号(特開昭63−64581号)公報
に開示されたものがある。該超音波モータのステータに
取着される円環状の圧電素子(電気−機械エネルギー変
換素子)には、該圧電素子に高周波駆動電圧を供給する
ために、フレキシブル基板(フレキシブルプリント回路
板)が接着されている。
平7−10188号(特開昭63−64581号)公報
に開示されたものがある。該超音波モータのステータに
取着される円環状の圧電素子(電気−機械エネルギー変
換素子)には、該圧電素子に高周波駆動電圧を供給する
ために、フレキシブル基板(フレキシブルプリント回路
板)が接着されている。
【0003】前記フレキシブル基板には導体(導体パタ
ーン)が設けられている。この導体には、圧電素子の周
方向に延びる櫛歯連結部が形成され、該櫛歯連結部から
該圧電素子の径方向の内側に向かって延びる櫛歯状の接
触部が形成されている。そして、その櫛歯連結部及び接
触部が前記圧電素子の所定の電極板と接着されることに
なる。
ーン)が設けられている。この導体には、圧電素子の周
方向に延びる櫛歯連結部が形成され、該櫛歯連結部から
該圧電素子の径方向の内側に向かって延びる櫛歯状の接
触部が形成されている。そして、その櫛歯連結部及び接
触部が前記圧電素子の所定の電極板と接着されることに
なる。
【0004】このような超音波モータでは、導体の櫛歯
連結部及び櫛歯状の接触部を介して圧電素子に高周波駆
動電圧が供給される。すると、その圧電素子が振動し、
該圧電素子の振動に基づいてステータのロータとの接触
面に進行波振動が生じる。そして、その進行波振動に基
づいてロータが回転するようになっている。
連結部及び櫛歯状の接触部を介して圧電素子に高周波駆
動電圧が供給される。すると、その圧電素子が振動し、
該圧電素子の振動に基づいてステータのロータとの接触
面に進行波振動が生じる。そして、その進行波振動に基
づいてロータが回転するようになっている。
【0005】ここで、前記圧電素子の電極板に接着され
る位置の導体は櫛歯連結部及び接触部であり、該接触部
は周方向に複数に分割された櫛歯状である。よって、こ
の櫛歯状の導体が圧電素子の振動をそれほど抑制しない
ようになっている。
る位置の導体は櫛歯連結部及び接触部であり、該接触部
は周方向に複数に分割された櫛歯状である。よって、こ
の櫛歯状の導体が圧電素子の振動をそれほど抑制しない
ようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記超音波
モータの圧電素子の振動、及びステータのロータとの接
触面における進行波振動は、径方向の外側ほど振動が強
くなる。しかしながら、前記圧電素子に固着された電極
に接着される位置の導体は、圧電素子の周方向に延びる
櫛歯連結部が櫛歯状の接触部より外側に形成されている
ため、該櫛歯連結部が、圧電素子の強い振動及びステー
タの強い進行波振動を抑制してしまうという問題があ
る。このことは、超音波モータの最大出力を抑制してし
まう原因となる。
モータの圧電素子の振動、及びステータのロータとの接
触面における進行波振動は、径方向の外側ほど振動が強
くなる。しかしながら、前記圧電素子に固着された電極
に接着される位置の導体は、圧電素子の周方向に延びる
櫛歯連結部が櫛歯状の接触部より外側に形成されている
ため、該櫛歯連結部が、圧電素子の強い振動及びステー
タの強い進行波振動を抑制してしまうという問題があ
る。このことは、超音波モータの最大出力を抑制してし
まう原因となる。
【0007】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的は、圧電素子の振動の抑
制を低減し、超音波モータの最大出力を向上することが
できる超音波モータの配線構造、及び環状の圧電素子用
フレキシブル基板を提供することにある。
されたものであって、その目的は、圧電素子の振動の抑
制を低減し、超音波モータの最大出力を向上することが
できる超音波モータの配線構造、及び環状の圧電素子用
フレキシブル基板を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、ステータに設けられ、ロータを回転させるための振
動を発生する円環状の圧電素子に所定の電極板を固着
し、その電極板にフレキシブル基板を固着して、そのフ
レキシブル基板に設けられる導体にて該圧電素子に対し
て電気的に配線する超音波モータの配線構造において、
前記導体の前記電極板に固着される部分は、前記圧電素
子の内周と外周との中間円より内側に形成されると共に
圧電素子の周方向に延びる櫛歯連結部と、該櫛歯連結部
から該圧電素子の径方向の外側に延びて周方向に複数に
分割された櫛歯状の接触部とを有したことを要旨として
いる。
は、ステータに設けられ、ロータを回転させるための振
動を発生する円環状の圧電素子に所定の電極板を固着
し、その電極板にフレキシブル基板を固着して、そのフ
レキシブル基板に設けられる導体にて該圧電素子に対し
て電気的に配線する超音波モータの配線構造において、
前記導体の前記電極板に固着される部分は、前記圧電素
子の内周と外周との中間円より内側に形成されると共に
圧電素子の周方向に延びる櫛歯連結部と、該櫛歯連結部
から該圧電素子の径方向の外側に延びて周方向に複数に
分割された櫛歯状の接触部とを有したことを要旨として
いる。
【0009】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の超音波モータの配線構造において、前記導体が固着さ
れる電極板は、駆動用電極板であることを要旨としてい
る。請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の
超音波モータの配線構造において、前記櫛歯連結部を、
前記圧電素子の内周と外周との中間円より内側に形成す
ることを要旨としている。
の超音波モータの配線構造において、前記導体が固着さ
れる電極板は、駆動用電極板であることを要旨としてい
る。請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の
超音波モータの配線構造において、前記櫛歯連結部を、
前記圧電素子の内周と外周との中間円より内側に形成す
ることを要旨としている。
【0010】請求項4に記載の発明は、請求項1又は2
に記載の超音波モータの配線構造において、前記櫛歯連
結部及び前記櫛歯状の接触部を、前記圧電素子の内周と
外周との中間円より内側に形成することを要旨としてい
る。
に記載の超音波モータの配線構造において、前記櫛歯連
結部及び前記櫛歯状の接触部を、前記圧電素子の内周と
外周との中間円より内側に形成することを要旨としてい
る。
【0011】請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4
のいずれか1項に記載の超音波モータの配線構造におい
て、前記櫛歯連結部及び前記櫛歯状の接触部を、所定の
長さで周方向に延びる前記電極板の一部と接触するよう
に形成することを要旨としている。
のいずれか1項に記載の超音波モータの配線構造におい
て、前記櫛歯連結部及び前記櫛歯状の接触部を、所定の
長さで周方向に延びる前記電極板の一部と接触するよう
に形成することを要旨としている。
【0012】 請求項6に記載の発明は、円環状の圧電
素子に固着される所定の電極板に固着され、その固着さ
れる面に設けられる導体にて前記圧電素子に対して電気
的に接続する環状の圧電素子用フレキシブル基板におい
て、前記導体の前記電極板に固着される部分は、前記圧
電素子の内周と外周との中間円より内側に形成されると
共に圧電素子の周方向に延びる櫛歯連結部と、該櫛歯連
結部から該圧電素子の径方向の外側に延びて周方向に複
数に分割された櫛歯状の接触部とを有したことを要旨と
している。
素子に固着される所定の電極板に固着され、その固着さ
れる面に設けられる導体にて前記圧電素子に対して電気
的に接続する環状の圧電素子用フレキシブル基板におい
て、前記導体の前記電極板に固着される部分は、前記圧
電素子の内周と外周との中間円より内側に形成されると
共に圧電素子の周方向に延びる櫛歯連結部と、該櫛歯連
結部から該圧電素子の径方向の外側に延びて周方向に複
数に分割された櫛歯状の接触部とを有したことを要旨と
している。
【0013】請求項1に記載の発明によれば、導体の前
記電極板に固着される部分には、櫛歯連結部と接触部が
形成され、接触部は圧電素子の周方向に複数に分割され
た櫛歯状であるため、該接触部が圧電素子の振動を抑制
してしまうことが低減される。さらに、櫛歯連結部は櫛
歯状の接触部より径方向の内側に形成されている。従っ
て、接触部の外側の端部は自由端となり、該櫛歯連結部
が圧電素子の径方向の外側に発生される強い振動を抑制
してしまうことが低減される。
記電極板に固着される部分には、櫛歯連結部と接触部が
形成され、接触部は圧電素子の周方向に複数に分割され
た櫛歯状であるため、該接触部が圧電素子の振動を抑制
してしまうことが低減される。さらに、櫛歯連結部は櫛
歯状の接触部より径方向の内側に形成されている。従っ
て、接触部の外側の端部は自由端となり、該櫛歯連結部
が圧電素子の径方向の外側に発生される強い振動を抑制
してしまうことが低減される。
【0014】請求項2に記載の発明によれば、導体が固
着される電極板は、駆動用電極板である。従って、高周
波電圧を印加するためにその電極板と接触する接触面積
を広くする必要がある導体が圧電素子の振動を抑制して
しまうことが低減される。
着される電極板は、駆動用電極板である。従って、高周
波電圧を印加するためにその電極板と接触する接触面積
を広くする必要がある導体が圧電素子の振動を抑制して
しまうことが低減される。
【0015】請求項3に記載の発明によれば、前記櫛歯
連結部を前記圧電素子の内周と外周との中間円より内側
に形成するため、電極板に固着される部分の導体が圧電
素子の径方向の外側に発生される強い振動を抑制してし
まうことがさらに低減される。
連結部を前記圧電素子の内周と外周との中間円より内側
に形成するため、電極板に固着される部分の導体が圧電
素子の径方向の外側に発生される強い振動を抑制してし
まうことがさらに低減される。
【0016】請求項4に記載の発明によれば、前記櫛歯
連結部及び前記櫛歯状の接触部を前記圧電素子の内周と
外周との中間円より内側に形成するため、電極板に固着
される部分の導体が圧電素子の径方向の外側に発生され
る強い振動を抑制してしまうことがさらに低減される。
連結部及び前記櫛歯状の接触部を前記圧電素子の内周と
外周との中間円より内側に形成するため、電極板に固着
される部分の導体が圧電素子の径方向の外側に発生され
る強い振動を抑制してしまうことがさらに低減される。
【0017】請求項5に記載の発明によれば、前記櫛歯
連結部及び前記櫛歯状の接触部を、所定の長さで周方向
に延びる前記電極板の一部と接触するように形成するた
め、該櫛歯連結部及び櫛歯状の接触部が圧電素子の振動
を抑制してしまう部分が小さくなる。従って、電極板に
固着される部分の導体が圧電素子の振動を抑制してしま
うことがさらに低減される。
連結部及び前記櫛歯状の接触部を、所定の長さで周方向
に延びる前記電極板の一部と接触するように形成するた
め、該櫛歯連結部及び櫛歯状の接触部が圧電素子の振動
を抑制してしまう部分が小さくなる。従って、電極板に
固着される部分の導体が圧電素子の振動を抑制してしま
うことがさらに低減される。
【0018】請求項6に記載の発明によれば、導体の電
極板に固着される部分には、櫛歯連結部と接触部が形成
され、接触部は圧電素子の周方向に複数に分割された櫛
歯状であるため、該接触部が圧電素子にて発生される振
動を抑制してしまうことが低減される。さらに、櫛歯連
結部は櫛歯状の接触部より径方向の内側に形成されてい
る。従って、接触部の外側の端部は自由端となり、該櫛
歯連結部が圧電素子の径方向の外側に発生される強い振
動を抑制してしまうことが低減される。
極板に固着される部分には、櫛歯連結部と接触部が形成
され、接触部は圧電素子の周方向に複数に分割された櫛
歯状であるため、該接触部が圧電素子にて発生される振
動を抑制してしまうことが低減される。さらに、櫛歯連
結部は櫛歯状の接触部より径方向の内側に形成されてい
る。従って、接触部の外側の端部は自由端となり、該櫛
歯連結部が圧電素子の径方向の外側に発生される強い振
動を抑制してしまうことが低減される。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明を進行波型の超音波
モータに具体化した一実施の形態を図1〜図5に従って
説明する。
モータに具体化した一実施の形態を図1〜図5に従って
説明する。
【0020】図1は、超音波モータの断面図を示す。超
音波モータ1のハウジング2は基台3とカバー4とから
構成されている。前記基台3は、ボールベアリング5を
保持するための軸受保持部3aと、その軸受保持部3a
の内側開口端から内側に延出形成された膨出部3bと、
回転軸6を挿通するための貫通孔3cとを備えている。
前記膨出部3bには、後記するステータ10を固定する
ためにネジ孔3dが設けられている。
音波モータ1のハウジング2は基台3とカバー4とから
構成されている。前記基台3は、ボールベアリング5を
保持するための軸受保持部3aと、その軸受保持部3a
の内側開口端から内側に延出形成された膨出部3bと、
回転軸6を挿通するための貫通孔3cとを備えている。
前記膨出部3bには、後記するステータ10を固定する
ためにネジ孔3dが設けられている。
【0021】前記カバー4の上部には、すべり軸受7を
保持するための軸受保持部4aが形成され、更にその中
央部分には前記回転軸6を挿通する貫通孔4bが形成さ
れている。そして、回転軸6は、前記軸受保持部3a,
4aによりそれぞれ保持されたラジアルボールベアリン
グ5とすべり軸受7を介してハウジング2に対して回転
可能に支持されている。
保持するための軸受保持部4aが形成され、更にその中
央部分には前記回転軸6を挿通する貫通孔4bが形成さ
れている。そして、回転軸6は、前記軸受保持部3a,
4aによりそれぞれ保持されたラジアルボールベアリン
グ5とすべり軸受7を介してハウジング2に対して回転
可能に支持されている。
【0022】又、前記基台3の膨出部3bの上面には回
転軸6を挿通する円環状の絶縁プレート8が載置され、
更にその上面には円環状の金属基板9をロウ付けしたス
テータ10が載置されている。
転軸6を挿通する円環状の絶縁プレート8が載置され、
更にその上面には円環状の金属基板9をロウ付けしたス
テータ10が載置されている。
【0023】前記ステータ10は、圧延鋼板例えば冷間
圧延鋼板(SPCC)よりなり、その中央には前記回転
軸6を挿通するための貫通孔10aが形成されている。
ステータ10において、前記基台3の膨出部3bと対応
する部分を固定部10bとし、その固定部10bにおけ
る前記膨出部3bのネジ孔3dと対応する位置にはネジ
貫通孔10cが設けられている。又、ステータ10の外
周部の断面はクランク状に屈曲形成され、上方に屈曲し
た部分を延出部10dとし、該延出部10dの先端から
外側に水平に延びた部分を振動板部10eとしている。
さらに、ステータ10において、前記延出部10dを介
してその振動板部10eと前記固定部10bとを連結す
る水平部分を振動減衰部10fとしている。前記延出部
10dにおけるステータ10の外周部下面には円環状の
ベースリング11がロウ付けにて接合されている。そし
て、ベースリング11の下面には後述する圧電素子12
等が接着剤にて接着されている。
圧延鋼板(SPCC)よりなり、その中央には前記回転
軸6を挿通するための貫通孔10aが形成されている。
ステータ10において、前記基台3の膨出部3bと対応
する部分を固定部10bとし、その固定部10bにおけ
る前記膨出部3bのネジ孔3dと対応する位置にはネジ
貫通孔10cが設けられている。又、ステータ10の外
周部の断面はクランク状に屈曲形成され、上方に屈曲し
た部分を延出部10dとし、該延出部10dの先端から
外側に水平に延びた部分を振動板部10eとしている。
さらに、ステータ10において、前記延出部10dを介
してその振動板部10eと前記固定部10bとを連結す
る水平部分を振動減衰部10fとしている。前記延出部
10dにおけるステータ10の外周部下面には円環状の
ベースリング11がロウ付けにて接合されている。そし
て、ベースリング11の下面には後述する圧電素子12
等が接着剤にて接着されている。
【0024】前記ステータ10は、前記ネジ貫通孔10
cにネジ13が嵌挿され、該ネジ13の先端が前記基台
3の膨出部3bに設けられたネジ孔3dに螺合されるこ
とにより基台3に固定される。尚、前記ネジ貫通孔10
cと前記ネジ13は絶縁ワッシャ14を介して連結さ
れ、前記ステータ10と前記基台3の膨出部3bとは、
絶縁プレート8及び絶縁ワッシャ14によって電気的に
絶縁状態となっている。
cにネジ13が嵌挿され、該ネジ13の先端が前記基台
3の膨出部3bに設けられたネジ孔3dに螺合されるこ
とにより基台3に固定される。尚、前記ネジ貫通孔10
cと前記ネジ13は絶縁ワッシャ14を介して連結さ
れ、前記ステータ10と前記基台3の膨出部3bとは、
絶縁プレート8及び絶縁ワッシャ14によって電気的に
絶縁状態となっている。
【0025】前記ステータ10の上面には、ライニング
材15を設けたステンレス又はアルミニウム合金よりな
るロータ16が配置され、前記振動板部10eの上面に
当接するようになっている。
材15を設けたステンレス又はアルミニウム合金よりな
るロータ16が配置され、前記振動板部10eの上面に
当接するようになっている。
【0026】前記ロータ16は、その中央に嵌合孔16
aが形成されている。該嵌合孔16aには、絶縁カラー
17が嵌着されている。そして、絶縁カラー17とロー
タ16とは、相対回転不能に組付けられている。又、絶
縁カラー17は、その中央に嵌合孔17aが形成されて
いる。該嵌合孔17aには前記回転軸6が相対回転不能
に嵌合連結されている。即ち、ロータ16は、絶縁カラ
ー17を介して前記回転軸6に対して回転不能に組付け
られている。
aが形成されている。該嵌合孔16aには、絶縁カラー
17が嵌着されている。そして、絶縁カラー17とロー
タ16とは、相対回転不能に組付けられている。又、絶
縁カラー17は、その中央に嵌合孔17aが形成されて
いる。該嵌合孔17aには前記回転軸6が相対回転不能
に嵌合連結されている。即ち、ロータ16は、絶縁カラ
ー17を介して前記回転軸6に対して回転不能に組付け
られている。
【0027】又、前記絶縁カラー17の上面は、皿バネ
18aとプレート18bとからなる加圧弾性部材18に
より圧接されている。加圧弾性部材18は、前記回転軸
6に対して回転不能に、かつサークリップ19によりそ
れ以上上動不能に連結されている。そして、加圧弾性部
材18の弾性力によって、前記ロータ16はステータ1
0に対して圧接される。
18aとプレート18bとからなる加圧弾性部材18に
より圧接されている。加圧弾性部材18は、前記回転軸
6に対して回転不能に、かつサークリップ19によりそ
れ以上上動不能に連結されている。そして、加圧弾性部
材18の弾性力によって、前記ロータ16はステータ1
0に対して圧接される。
【0028】図2に示すように、前記圧電素子12は周
方向に隣り合う極性が逆となるように20個に分割して
分極処理が施されている。詳述すると、圧電素子12に
は等間隔で8個に分極処理された第1分極領域群A1〜
A8と、等間隔で8個に分極処理された第2分極領域群
B1〜B8とが形成され、第1分極領域群A1〜A8と
第2分極領域群B1〜B8は、それぞれの群に90°位
相のずれた電圧が印加されたときに進行波振動を発生す
るように所定の間隔を有して配置されている。
方向に隣り合う極性が逆となるように20個に分割して
分極処理が施されている。詳述すると、圧電素子12に
は等間隔で8個に分極処理された第1分極領域群A1〜
A8と、等間隔で8個に分極処理された第2分極領域群
B1〜B8とが形成され、第1分極領域群A1〜A8と
第2分極領域群B1〜B8は、それぞれの群に90°位
相のずれた電圧が印加されたときに進行波振動を発生す
るように所定の間隔を有して配置されている。
【0029】そして、第1分極領域群A1〜A8の一端
である第1分極領域A1と第2分極領域群B1〜B8の
一端である第2分極領域B1の間にはフィードバック用
分極領域Fが2つの連結分極領域R1,R2に挟まれて
形成されている。また、前記第1分極領域群A1〜A8
の他端である第1分極領域A8と第2分極領域群B1〜
B8の他端である第2分極領域B8の間には連結分極領
域R3が形成されている。尚、フィードバック用分極領
域Fは、前記第1及び第2分極領域群A1〜A8,B1
〜B8にて発生される振動に基づいた検出電圧を生成す
る。
である第1分極領域A1と第2分極領域群B1〜B8の
一端である第2分極領域B1の間にはフィードバック用
分極領域Fが2つの連結分極領域R1,R2に挟まれて
形成されている。また、前記第1分極領域群A1〜A8
の他端である第1分極領域A8と第2分極領域群B1〜
B8の他端である第2分極領域B8の間には連結分極領
域R3が形成されている。尚、フィードバック用分極領
域Fは、前記第1及び第2分極領域群A1〜A8,B1
〜B8にて発生される振動に基づいた検出電圧を生成す
る。
【0030】前記圧電素子12の下面には電極板20が
設けられる。この電極板20は印刷、焼付けにより圧電
素子12に固着されている。電極板20は、前記第1分
極領域群A1〜A8の位置に対応した駆動用電極板とし
ての第1電極板20aと、第2分極領域群B1〜B8の
位置に対応した同駆動用電極板としての第2電極板20
bと、各連結分極領域R1〜R3の位置にそれぞれ対応
した連結電極板20r1〜20r3と、フィードバック用分
極領域Fの位置に対応したフィードバック用電極板20
fとがある。
設けられる。この電極板20は印刷、焼付けにより圧電
素子12に固着されている。電極板20は、前記第1分
極領域群A1〜A8の位置に対応した駆動用電極板とし
ての第1電極板20aと、第2分極領域群B1〜B8の
位置に対応した同駆動用電極板としての第2電極板20
bと、各連結分極領域R1〜R3の位置にそれぞれ対応
した連結電極板20r1〜20r3と、フィードバック用分
極領域Fの位置に対応したフィードバック用電極板20
fとがある。
【0031】前記電極板20の下面にはフレキシブル基
板21が固着される。フレキシブル基板21は、ポリイ
ミド樹脂から成るフレキシブル板22と、フレキシブル
板22の上面に固着される導体23と、前記導体23が
固着されたフレキシブル板22の上面に接着されるポリ
イミド樹脂から成るカバーレイ24とから構成されてい
る。
板21が固着される。フレキシブル基板21は、ポリイ
ミド樹脂から成るフレキシブル板22と、フレキシブル
板22の上面に固着される導体23と、前記導体23が
固着されたフレキシブル板22の上面に接着されるポリ
イミド樹脂から成るカバーレイ24とから構成されてい
る。
【0032】前記フレキシブル板22は、図3に示すよ
うに、前記電極板20の下面に対応した円環状のリング
部22aと、リング部22aの内周側から前記金属基板
9の下方に対応した位置まで延出した内延出部22b
と、前記内延出部22bが形成されたリング部22aの
外周側から径方向の外側に延出した外延出部22cとか
ら構成されている。
うに、前記電極板20の下面に対応した円環状のリング
部22aと、リング部22aの内周側から前記金属基板
9の下方に対応した位置まで延出した内延出部22b
と、前記内延出部22bが形成されたリング部22aの
外周側から径方向の外側に延出した外延出部22cとか
ら構成されている。
【0033】前記導体23は、図4に示すように、第1
電極用導体25と、第2電極用導体26と、フィードバ
ック用導体27と、グランド用導体28とから構成され
ている。
電極用導体25と、第2電極用導体26と、フィードバ
ック用導体27と、グランド用導体28とから構成され
ている。
【0034】前記フィードバック用導体27は、その先
端部27aが前記フィードバック用電極板20fと対応
したリング部22a上に形成されている。そして、フィ
ードバック用導体27には、その先端部27aから前記
外延出部22c上の中央を通って該外延出部22cの端
部まで延びる連絡部27bが形成されている。尚、前記
フィードバック用導体27の先端部27aには該リング
部22aの周方向に分割された櫛歯状の接触部27cが
形成されている。
端部27aが前記フィードバック用電極板20fと対応
したリング部22a上に形成されている。そして、フィ
ードバック用導体27には、その先端部27aから前記
外延出部22c上の中央を通って該外延出部22cの端
部まで延びる連絡部27bが形成されている。尚、前記
フィードバック用導体27の先端部27aには該リング
部22aの周方向に分割された櫛歯状の接触部27cが
形成されている。
【0035】前記グランド用導体28は、前記フィード
バック用導体27の両側を挟むように形成されている。
詳述すると、グランド用導体28は、その先端部28a
が前記金属基板9の下方に対応した内延出部22b上に
形成されている。そして、グランド用導体28には、前
記先端部28aから前記フィードバック用導体27の方
向に向かって括れ部28bが形成されている。また、グ
ランド用導体28には、前記括れ部28bから前記フィ
ードバック用導体27の両側を挟むように枝分かれして
それぞれが前記外延出部22cの端部まで延びる遮断連
結部28c,28dが形成されている。尚、前記グラン
ド用導体28の先端部28aには周方向に分割された櫛
歯状の接触部28eが形成され、該櫛歯状の接触部28
eを周方向に連結する櫛歯連結部28fから前記括れ部
28bが形成されている。
バック用導体27の両側を挟むように形成されている。
詳述すると、グランド用導体28は、その先端部28a
が前記金属基板9の下方に対応した内延出部22b上に
形成されている。そして、グランド用導体28には、前
記先端部28aから前記フィードバック用導体27の方
向に向かって括れ部28bが形成されている。また、グ
ランド用導体28には、前記括れ部28bから前記フィ
ードバック用導体27の両側を挟むように枝分かれして
それぞれが前記外延出部22cの端部まで延びる遮断連
結部28c,28dが形成されている。尚、前記グラン
ド用導体28の先端部28aには周方向に分割された櫛
歯状の接触部28eが形成され、該櫛歯状の接触部28
eを周方向に連結する櫛歯連結部28fから前記括れ部
28bが形成されている。
【0036】前記第1及び第2電極用導体25,26
は、前記グランド用導体28の両側に形成されている。
詳述すると、第1電極用導体25は、その先端部25a
が前記第1電極板20aの一端部と対応したリング部2
2a上に形成されている。そして、第1電極用導体25
には、その先端部25aから前記グランド用導体28の
遮断連結部28cの一側(図4中、右側)に沿って前記
外延出部22cの端部まで延びる連結部25bが形成さ
れている。又、第2電極用導体26は、その先端部26
aが前記第2電極板20bの一端部と対応したリング部
22a上に形成されている。そして、第2電極用導体2
6には、その先端部26aから前記グランド用導体28
の遮断連結部28dの他側(図4中、左側)に沿って前
記外延出部22cの端部まで延びる連結部26bが形成
されている。
は、前記グランド用導体28の両側に形成されている。
詳述すると、第1電極用導体25は、その先端部25a
が前記第1電極板20aの一端部と対応したリング部2
2a上に形成されている。そして、第1電極用導体25
には、その先端部25aから前記グランド用導体28の
遮断連結部28cの一側(図4中、右側)に沿って前記
外延出部22cの端部まで延びる連結部25bが形成さ
れている。又、第2電極用導体26は、その先端部26
aが前記第2電極板20bの一端部と対応したリング部
22a上に形成されている。そして、第2電極用導体2
6には、その先端部26aから前記グランド用導体28
の遮断連結部28dの他側(図4中、左側)に沿って前
記外延出部22cの端部まで延びる連結部26bが形成
されている。
【0037】前記第1及び第2電極用導体25,26の
各先端部25a,26aには、前記リング部22aの周
方向に分割された櫛歯状の接触部25c,26cが形成
されている。詳述すると、各先端部25a,26aに
は、前記リング部22aの内周側に沿って所定の位置ま
で延びる櫛歯連結部25d,26dが形成されている。
そして、該櫛歯連結部25d,26dから前記リング部
22aの径方向の外側に向かって延びる周方向に分割さ
れた櫛歯状の接触部25c,26cが形成されている。
尚、本実施の形態では、櫛歯連結部25d,26dは、
前記リング部22aの内周と外周との中間円より内側に
形成されている。
各先端部25a,26aには、前記リング部22aの周
方向に分割された櫛歯状の接触部25c,26cが形成
されている。詳述すると、各先端部25a,26aに
は、前記リング部22aの内周側に沿って所定の位置ま
で延びる櫛歯連結部25d,26dが形成されている。
そして、該櫛歯連結部25d,26dから前記リング部
22aの径方向の外側に向かって延びる周方向に分割さ
れた櫛歯状の接触部25c,26cが形成されている。
尚、本実施の形態では、櫛歯連結部25d,26dは、
前記リング部22aの内周と外周との中間円より内側に
形成されている。
【0038】前記カバーレイ24は、図3及び図5に示
すように、円環状を一部切り欠いた形状で前記導体23
と重ならないように形成される補強部24aと、その一
部切り欠いた箇所で前記導体23を略覆うように形成さ
れるカバー部24bとから構成されている。
すように、円環状を一部切り欠いた形状で前記導体23
と重ならないように形成される補強部24aと、その一
部切り欠いた箇所で前記導体23を略覆うように形成さ
れるカバー部24bとから構成されている。
【0039】前記カバー部24bは、図4に一点鎖線で
示すように、前記第1及び第2電極用導体25,26、
前記フィードバック用導体27及び前記グランド用導体
28の各先端部25a〜28a以外の部分を保護するよ
うに形成されている。即ち、カバー部24bは各先端部
25a〜28aが該フレキシブル基板21の上面に露出
するように形成されている。尚、前記フィードバック用
導体27の先端部27aは、カバー部24bに貫通形成
された窓部24cより、フレキシブル基板21の上面に
露出される。又、窓部24cは、前記連結電極板20r
1,20r2と対応した位置のグランド用導体28の一部
がフレキシブル基板21の上面に露出するように形成さ
れている。さらに、カバー部24bは、前記外延出部2
2cの端部における導体23(25〜28)の端部がフ
レキシブル基板21の上面に露出するように形成されて
いる。
示すように、前記第1及び第2電極用導体25,26、
前記フィードバック用導体27及び前記グランド用導体
28の各先端部25a〜28a以外の部分を保護するよ
うに形成されている。即ち、カバー部24bは各先端部
25a〜28aが該フレキシブル基板21の上面に露出
するように形成されている。尚、前記フィードバック用
導体27の先端部27aは、カバー部24bに貫通形成
された窓部24cより、フレキシブル基板21の上面に
露出される。又、窓部24cは、前記連結電極板20r
1,20r2と対応した位置のグランド用導体28の一部
がフレキシブル基板21の上面に露出するように形成さ
れている。さらに、カバー部24bは、前記外延出部2
2cの端部における導体23(25〜28)の端部がフ
レキシブル基板21の上面に露出するように形成されて
いる。
【0040】前記補強部24aには、前記リング部22
aの内周から外周までの幅を有する複数のバランス維持
部24dと、該複数のバランス維持部24dを前記リン
グ部22a上でそれぞれ周方向に連結する連結細部24
eとが形成されている。
aの内周から外周までの幅を有する複数のバランス維持
部24dと、該複数のバランス維持部24dを前記リン
グ部22a上でそれぞれ周方向に連結する連結細部24
eとが形成されている。
【0041】前記複数のバランス維持部24dは、図5
に示すように、前記圧電素子12の第1及び第2分極領
域群A1〜A8,B1〜B8の領域にてそれぞれ発生さ
れる振動の1波長間隔、即ち前記第1及び第2分極領域
群A1〜A8,B1〜B8における分極処理された領域
の2個分間隔でそれぞれ形成されている。そして、各バ
ランス維持部24dは、前記第1及び第2分極領域群A
1〜A8,B1〜B8にて発生される進行波振動を比較
的に妨げにくい位置に配置されている。尚、本実施の形
態では、バランス維持部24dは7個形成され、それぞ
れが前記連結分極領域R3の周方向の幅と略同様の幅に
形成されている。そして、その一つが同連結分極領域R
3と対応した位置に配置され、他のバランス維持部24
dは該連結分極領域R3を中心として3個ずつ対称に配
置されている。
に示すように、前記圧電素子12の第1及び第2分極領
域群A1〜A8,B1〜B8の領域にてそれぞれ発生さ
れる振動の1波長間隔、即ち前記第1及び第2分極領域
群A1〜A8,B1〜B8における分極処理された領域
の2個分間隔でそれぞれ形成されている。そして、各バ
ランス維持部24dは、前記第1及び第2分極領域群A
1〜A8,B1〜B8にて発生される進行波振動を比較
的に妨げにくい位置に配置されている。尚、本実施の形
態では、バランス維持部24dは7個形成され、それぞ
れが前記連結分極領域R3の周方向の幅と略同様の幅に
形成されている。そして、その一つが同連結分極領域R
3と対応した位置に配置され、他のバランス維持部24
dは該連結分極領域R3を中心として3個ずつ対称に配
置されている。
【0042】尚、このように構成されたフレキシブル基
板21は、前記各導体25〜27の先端部25a〜27
aがそれぞれ対応した電極板20a,20b,20fと
固着されるように、前記電極板20の下面に固着され
る。又、このとき、前記内延出部22bが、図1に示す
ように、斜め上方向に撓められ、前記内延出部22b上
におけるグランド用導体28の接触部28eが前記金属
基板9の下面に固着される。即ち、前記内延出部22b
の先端部は、組み付けられた状態で前記金属基板9と前
記絶縁プレート8との間に介在される。
板21は、前記各導体25〜27の先端部25a〜27
aがそれぞれ対応した電極板20a,20b,20fと
固着されるように、前記電極板20の下面に固着され
る。又、このとき、前記内延出部22bが、図1に示す
ように、斜め上方向に撓められ、前記内延出部22b上
におけるグランド用導体28の接触部28eが前記金属
基板9の下面に固着される。即ち、前記内延出部22b
の先端部は、組み付けられた状態で前記金属基板9と前
記絶縁プレート8との間に介在される。
【0043】そして、前記フレキシブル基板21の外延
出部22cの端部における露出した導体23(25〜2
8)の端部は、前記カバー4に取着されたコネクタ29
にリード線30を介してそれぞれ接続されている。そし
て、前記コネクタ29は超音波モータ1を駆動制御する
高周波駆動電圧を供給するための図示しないコントロー
ラに接続されている。
出部22cの端部における露出した導体23(25〜2
8)の端部は、前記カバー4に取着されたコネクタ29
にリード線30を介してそれぞれ接続されている。そし
て、前記コネクタ29は超音波モータ1を駆動制御する
高周波駆動電圧を供給するための図示しないコントロー
ラに接続されている。
【0044】このように構成された超音波モータ1で
は、コントローラから所定の高周波駆動電圧が印加され
ると、第1及び第2電極用導体25,26、さらに第1
及び第2電極板20a,20bを介して圧電素子12の
それぞれの分極領域群A1〜A8,B1〜B8に90°
位相のずれた電圧が供給される。すると、該圧電素子1
2は振動して、ベースリング11及びステータ10の延
出部10dを介してロータ16との接触面である振動板
部10eに進行波振動を発生させる。そして、振動板部
10eに圧接されたロータ16はその進行波振動に基づ
いて回転し、回転軸6を回転させる。
は、コントローラから所定の高周波駆動電圧が印加され
ると、第1及び第2電極用導体25,26、さらに第1
及び第2電極板20a,20bを介して圧電素子12の
それぞれの分極領域群A1〜A8,B1〜B8に90°
位相のずれた電圧が供給される。すると、該圧電素子1
2は振動して、ベースリング11及びステータ10の延
出部10dを介してロータ16との接触面である振動板
部10eに進行波振動を発生させる。そして、振動板部
10eに圧接されたロータ16はその進行波振動に基づ
いて回転し、回転軸6を回転させる。
【0045】次に、上記のように構成した超音波モータ
の特徴的な効果を以下に記載する。 (1)本実施の形態では、第1及び第2電極板20a,
20bに固着される第1及び第2電極用導体25,26
の先端部25a,26aには、それぞれ櫛歯連結部25
d,26d及び櫛歯状の接触部25c,26cが形成さ
れている。そして、櫛歯状の接触部25c,26cは、
周方向に複数に分割された櫛歯状であるため、該接触部
25c,26cが圧電素子12の振動を抑制してしまう
ことは低減される。
の特徴的な効果を以下に記載する。 (1)本実施の形態では、第1及び第2電極板20a,
20bに固着される第1及び第2電極用導体25,26
の先端部25a,26aには、それぞれ櫛歯連結部25
d,26d及び櫛歯状の接触部25c,26cが形成さ
れている。そして、櫛歯状の接触部25c,26cは、
周方向に複数に分割された櫛歯状であるため、該接触部
25c,26cが圧電素子12の振動を抑制してしまう
ことは低減される。
【0046】さらに、圧電素子12の周方向に延びる櫛
歯連結部25d,26dは櫛歯状の接触部25c,26
cより径方向の内側に形成されている。つまり、各櫛歯
状の接触部25c,26cの外側端部は自由端となって
いる。従って、該櫛歯連結部25d,26dが圧電素子
12の径方向の外側に発生される振動である強い振動を
抑制してしまうことは低減される。その結果、この超音
波モータの最大出力を向上させることができる。
歯連結部25d,26dは櫛歯状の接触部25c,26
cより径方向の内側に形成されている。つまり、各櫛歯
状の接触部25c,26cの外側端部は自由端となって
いる。従って、該櫛歯連結部25d,26dが圧電素子
12の径方向の外側に発生される振動である強い振動を
抑制してしまうことは低減される。その結果、この超音
波モータの最大出力を向上させることができる。
【0047】(2)又、本実施の形態では、高周波電圧
が印加され、接触面積を広くする必要がある第1及び第
2電極用導体25,26の先端部25a,26aが圧電
素子12の振動を抑制しにくくなるため、圧電素子12
の振動を抑制する部分が大幅に減少される。
が印加され、接触面積を広くする必要がある第1及び第
2電極用導体25,26の先端部25a,26aが圧電
素子12の振動を抑制しにくくなるため、圧電素子12
の振動を抑制する部分が大幅に減少される。
【0048】(3)さらに、櫛歯連結部25d,26d
は圧電素子12の内周と外周との中間円より内側に形成
されているため、該櫛歯連結部25d,26d及び櫛歯
状の接触部25c,26cが圧電素子12の径方向の外
側に発生される振動である強い振動を抑制してしまうこ
とがさらに低減される。
は圧電素子12の内周と外周との中間円より内側に形成
されているため、該櫛歯連結部25d,26d及び櫛歯
状の接触部25c,26cが圧電素子12の径方向の外
側に発生される振動である強い振動を抑制してしまうこ
とがさらに低減される。
【0049】(4)さらにまた、本実施の形態では、櫛
歯連結部25d,26d及び櫛歯状の接触部25c,2
6cは第1及び第2電極板20a,20bの一端部に対
応して形成されている。従って、櫛歯連結部25d,2
6d及び櫛歯状の接触部25c,26cが第1及び第2
電極板20a,20bの全体に渡って形成されているの
に比べて、圧電素子12の振動を抑制してしまう部分が
小さくなる。従って、櫛歯連結部25d,26d及び櫛
歯状の接触部25c,26cが圧電素子12の振動を抑
制してしまうことが低減される。また、櫛歯連結部25
d,26d及び櫛歯状の接触部25c,26cが第1及
び第2電極板20a,20bの全体に渡って形成されて
いるのに比べて、導体23の材料費を低減することがで
きる。
歯連結部25d,26d及び櫛歯状の接触部25c,2
6cは第1及び第2電極板20a,20bの一端部に対
応して形成されている。従って、櫛歯連結部25d,2
6d及び櫛歯状の接触部25c,26cが第1及び第2
電極板20a,20bの全体に渡って形成されているの
に比べて、圧電素子12の振動を抑制してしまう部分が
小さくなる。従って、櫛歯連結部25d,26d及び櫛
歯状の接触部25c,26cが圧電素子12の振動を抑
制してしまうことが低減される。また、櫛歯連結部25
d,26d及び櫛歯状の接触部25c,26cが第1及
び第2電極板20a,20bの全体に渡って形成されて
いるのに比べて、導体23の材料費を低減することがで
きる。
【0050】(5)本実施の形態では、フレキシブル基
板21の導体23が形成されていない部分には補強部2
4aが形成されている。補強部24aには、導体23が
前述したように周方向の振動の一部を僅かに抑制してし
まうのに対して、周方向の振動のバランスを保つように
他の部分の振動を僅かに抑制する複数のバランス維持部
24dが形成されている。又、補強部24aには、前記
複数のバランス維持部24dを周方向に連結する連結細
部24eが、振動を抑制しないように細く形成されてい
る。従って、導体23が前述したように周方向の振動の
一部を僅かに抑制してしまうが、バランス維持部24d
が周方向の振動のバランスを良好とし、連結細部24e
がフレキシブル基板21の取り扱いを容易とするように
その剛性を確保する。その結果、この超音波モータの最
大出力をむらなく向上させながら、フレキシブル基板2
1の剛性を確保しその取り扱いを容易とすることができ
る。
板21の導体23が形成されていない部分には補強部2
4aが形成されている。補強部24aには、導体23が
前述したように周方向の振動の一部を僅かに抑制してし
まうのに対して、周方向の振動のバランスを保つように
他の部分の振動を僅かに抑制する複数のバランス維持部
24dが形成されている。又、補強部24aには、前記
複数のバランス維持部24dを周方向に連結する連結細
部24eが、振動を抑制しないように細く形成されてい
る。従って、導体23が前述したように周方向の振動の
一部を僅かに抑制してしまうが、バランス維持部24d
が周方向の振動のバランスを良好とし、連結細部24e
がフレキシブル基板21の取り扱いを容易とするように
その剛性を確保する。その結果、この超音波モータの最
大出力をむらなく向上させながら、フレキシブル基板2
1の剛性を確保しその取り扱いを容易とすることができ
る。
【0051】(6)本実施の形態では、グランド用導体
28の遮断連結部28c,28dがフィードバック用導
体27の両側を挟むように形成されている。従って、フ
ィードバック用分極領域Fにて生成される振動の検出電
圧は、第1及び第2電極用導体から発生する高周波駆動
電圧に基づくノイズに影響されにくい。その結果、この
超音波モータ1では、前記検出電圧にて正確なフィード
バック制御を行なうことができる。
28の遮断連結部28c,28dがフィードバック用導
体27の両側を挟むように形成されている。従って、フ
ィードバック用分極領域Fにて生成される振動の検出電
圧は、第1及び第2電極用導体から発生する高周波駆動
電圧に基づくノイズに影響されにくい。その結果、この
超音波モータ1では、前記検出電圧にて正確なフィード
バック制御を行なうことができる。
【0052】上記実施の形態は、以下のように変更して
実施してもよい。 ○上記実施の形態のフレキシブル基板21は、例えば図
6に示すようなフレキシブル基板31に変更してもよ
い。フレキシブル基板31は、第1及び第2電極用導体
32,33の櫛歯連結部32a,33a及び櫛歯状の接
触部32b,33bが前記第1及び第2電極板20a,
20bの周方向の長さに対応して形成されている。尚、
この場合、前記実施の形態におけるカバーレイ24の補
強部24aは不要となる。このようにしても、上記実施
の形態の効果の(1)〜(3),(6)と同様の効果を
得ることができる。
実施してもよい。 ○上記実施の形態のフレキシブル基板21は、例えば図
6に示すようなフレキシブル基板31に変更してもよ
い。フレキシブル基板31は、第1及び第2電極用導体
32,33の櫛歯連結部32a,33a及び櫛歯状の接
触部32b,33bが前記第1及び第2電極板20a,
20bの周方向の長さに対応して形成されている。尚、
この場合、前記実施の形態におけるカバーレイ24の補
強部24aは不要となる。このようにしても、上記実施
の形態の効果の(1)〜(3),(6)と同様の効果を
得ることができる。
【0053】○上記実施の形態では、櫛歯状の接触部2
5c,26cは、図4に示すように、前記リング部22
aの内周と外周との中間円より外側まで延びるように形
成したが、櫛歯状の接触部25c,26cを前記中間円
より内側に形成してもよい。このようにすると、櫛歯連
結部25d,26d及び櫛歯状の接触部25c,26c
が圧電素子12の径方向の外側に発生される振動である
強い振動を抑制してしまうことがさらに低減される。
5c,26cは、図4に示すように、前記リング部22
aの内周と外周との中間円より外側まで延びるように形
成したが、櫛歯状の接触部25c,26cを前記中間円
より内側に形成してもよい。このようにすると、櫛歯連
結部25d,26d及び櫛歯状の接触部25c,26c
が圧電素子12の径方向の外側に発生される振動である
強い振動を抑制してしまうことがさらに低減される。
【0054】○上記実施の形態では、フィードバック用
導体27に形成される櫛歯状の接触部27cは、図4に
示すように、径方向の内側に延びるように形成したが、
該櫛歯状の接触部を連結している櫛歯連結部を径方向の
内側に配置し、櫛歯状の接触部27cを径方向の外側に
延びるように形成してもよい。このようにすると、その
櫛歯連結部が圧電素子12の径方向の外側に発生される
振動である強い振動を抑制してしまうことは低減され
る。
導体27に形成される櫛歯状の接触部27cは、図4に
示すように、径方向の内側に延びるように形成したが、
該櫛歯状の接触部を連結している櫛歯連結部を径方向の
内側に配置し、櫛歯状の接触部27cを径方向の外側に
延びるように形成してもよい。このようにすると、その
櫛歯連結部が圧電素子12の径方向の外側に発生される
振動である強い振動を抑制してしまうことは低減され
る。
【0055】○上記実施の形態では、進行波型の超音波
モータに具体化したが、定在波型の超音波モータに具体
化してもよい。尚、この場合、圧電素子12の分極処理
のパターン及び電極板のパターン等が変更され、導体2
3の位置等も変更する必要がある。
モータに具体化したが、定在波型の超音波モータに具体
化してもよい。尚、この場合、圧電素子12の分極処理
のパターン及び電極板のパターン等が変更され、導体2
3の位置等も変更する必要がある。
【0056】次に、上記実施の各形態から把握できる請
求項以外の技術思想について、以下にその効果とともに
記載する。 ○請求項1に記載の超音波モータの配線構造において、
前記導体(23)が固着される電極板(20)は、フィ
ードバック用電極板(20f)であることを特徴とした
超音波モータの配線構造。このようにすると、フィード
バック用電極板20fに固着される導体23が圧電素子
12の振動を抑制してしまうことが低減される。
求項以外の技術思想について、以下にその効果とともに
記載する。 ○請求項1に記載の超音波モータの配線構造において、
前記導体(23)が固着される電極板(20)は、フィ
ードバック用電極板(20f)であることを特徴とした
超音波モータの配線構造。このようにすると、フィード
バック用電極板20fに固着される導体23が圧電素子
12の振動を抑制してしまうことが低減される。
【0057】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
圧電素子の振動の抑制を低減し、超音波モータの最大出
力を向上することができる超音波モータの配線構造を提
供することができる。
圧電素子の振動の抑制を低減し、超音波モータの最大出
力を向上することができる超音波モータの配線構造を提
供することができる。
【図1】本実施の形態の超音波モータを説明するための
説明図。
説明図。
【図2】本実施の形態のフレキシブル基板を説明するた
めの分解斜視図。
めの分解斜視図。
【図3】本実施の形態のフレキシブル基板を説明するた
めの上面図。
めの上面図。
【図4】本実施の形態の導体を説明するための説明図。
【図5】本実施の形態のカバーレイを説明するための説
明図。
明図。
【図6】別例のフレキシブル基板を説明するための上面
図。
図。
10…ステータ、12…圧電素子、16…ロータ、20
…電極板、21,31…フレキシブル基板、23,3
2,33…導体、20a,20b…第1及び第2電極
板、25a,26a…導体の先端部、25c,26c,
32b,33b…櫛歯状の接触部、25d,26d,3
2a,33a…櫛歯連結部。
…電極板、21,31…フレキシブル基板、23,3
2,33…導体、20a,20b…第1及び第2電極
板、25a,26a…導体の先端部、25c,26c,
32b,33b…櫛歯状の接触部、25d,26d,3
2a,33a…櫛歯連結部。
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭63−64581(JP,A)
特開 平6−54556(JP,A)
特開 平6−90574(JP,A)
特開 平3−164079(JP,A)
特開 昭59−204476(JP,A)
特開 昭60−210175(JP,A)
特開 昭60−210177(JP,A)
特公 平7−44850(JP,B2)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
H02N 2/00
H01L 41/09
Claims (6)
- 【請求項1】 ステータ(10)に設けられ、ロータ
(16)を回転させるための振動を発生する円環状の圧
電素子(12)に所定の電極板(20)を固着し、その
電極板(20)にフレキシブル基板(21,31)を固
着して、そのフレキシブル基板(21,31)に設けら
れる導体(23,32,33)にて該圧電素子(12)
に対して電気的に配線する超音波モータの配線構造にお
いて、 前記導体(23,32,33)の前記電極板(20)に
固着される部分(25a,26a)は、前記圧電素子
(12)の内周と外周との中間円より内側に形成される
と共に圧電素子(12)の周方向に延びる櫛歯連結部
(25d,26d,32a,33a)と、該櫛歯連結部
(25d,26d,32a,33a)から該圧電素子
(12)の径方向の外側に延びて周方向に複数に分割さ
れた櫛歯状の接触部(25c,26c,32b,33
b)とを有したことを特徴とする超音波モータの配線構
造。 - 【請求項2】 請求項1に記載の超音波モータの配線構
造において、 前記導体(23,32,33)が固着される電極板(2
0)は、駆動用電極板(20a,20b)であることを
特徴とする超音波モータの配線構造。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載の超音波モータの
配線構造において、 前記櫛歯連結部(25d,26d,32a,33a)
を、前記圧電素子(12)の内周と外周との中間円より
内側に形成することを特徴とする超音波モータの配線構
造。 - 【請求項4】 請求項1又は2に記載の超音波モータの
配線構造において、 前記櫛歯連結部(25d,26d,32a,33a)及
び前記櫛歯状の接触部(25c,26c,32b,33
b)を、前記圧電素子(12)の内周と外周との中間円
より内側に形成することを特徴とする超音波モータの配
線構造。 - 【請求項5】 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の
超音波モータの配線構造において、 前記櫛歯連結部(25d,26d)及び前記櫛歯状の接
触部(25c,26c)を、所定の長さで周方向に延び
る前記電極板(20a,20b)の一部と接触するよう
に形成することを特徴とする超音波モータの配線構造。 - 【請求項6】 円環状の圧電素子(12)に固着される
所定の電極板(20)に固着され、その固着される面に
設けられる導体(23,32,33)にて前記圧電素子
(12)に対して電気的に接続する環状の圧電素子用フ
レキシブル基板において、 前記導体(23,32,33)の前記電極板(20)に
固着される部分(25a,26a)は、前記圧電素子
(12)の内周と外周との中間円より内側に形成される
と共に圧電素子(12)の周方向に延びる櫛歯連結部
(25d,26d,32a,33a)と、該櫛歯連結部
(25d,26d,32a,33a)から該圧電素子
(12)の径方向の外側に延びて周方向に複数に分割さ
れた櫛歯状の接触部(25c,26c,32b,33
b)とを有したことを特徴とする環状の圧電素子用フレ
キシブル基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35777997A JP3485779B2 (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 超音波モータの配線構造、及び環状の圧電素子用フレキシブル基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35777997A JP3485779B2 (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 超音波モータの配線構造、及び環状の圧電素子用フレキシブル基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11191974A JPH11191974A (ja) | 1999-07-13 |
JP3485779B2 true JP3485779B2 (ja) | 2004-01-13 |
Family
ID=18455881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35777997A Expired - Fee Related JP3485779B2 (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 超音波モータの配線構造、及び環状の圧電素子用フレキシブル基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3485779B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6602054B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2019-11-06 | キヤノン株式会社 | 圧電体、振動子、及び、振動波モータ |
-
1997
- 1997-12-25 JP JP35777997A patent/JP3485779B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11191974A (ja) | 1999-07-13 |
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