JP3460421B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JP3460421B2 JP3460421B2 JP33859595A JP33859595A JP3460421B2 JP 3460421 B2 JP3460421 B2 JP 3460421B2 JP 33859595 A JP33859595 A JP 33859595A JP 33859595 A JP33859595 A JP 33859595A JP 3460421 B2 JP3460421 B2 JP 3460421B2
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- ink
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、インクを吐出する
ことによって印字を行うインクジェットヘッドの製造方
法に関するものである。
ことによって印字を行うインクジェットヘッドの製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種事務機器の出力用印刷機器と
して、高印字品質、高解像度、低騒音、安価であって、
しかもインクの印字媒体への定着などの工程が必要な
く、またライン化、カラー出力化が容易に可能である点
などからプリンタにおいてインクジェットヘッドを用い
たインクジェットプリンタが主流となっている。
して、高印字品質、高解像度、低騒音、安価であって、
しかもインクの印字媒体への定着などの工程が必要な
く、またライン化、カラー出力化が容易に可能である点
などからプリンタにおいてインクジェットヘッドを用い
たインクジェットプリンタが主流となっている。
【０００３】以下に、従来のインクジェットヘッドの製
造方法について説明する。図８は従来のインクジェット
ヘッドの断面図、図９は従来のインクジェットヘッドの
ノズルプレートの平面図、図１０は従来のインクジェッ
トヘッドのノズルプレートの断面図である。図８から図
１０において、１はノズルプレートで樹脂等のレーザ加
工可能な材質でできている。２はインク、３はインク２
を吐出させるためのオリフィス、４は流路でエキシマレ
ーザー光を流路４の形状のマスクに透過させるハーフ堀
加工によって成形されている。またオリフィス３は流路
４の加工の後に流路４に対して正確に位置決めされるよ
うに測定装置等を用いて流路４の加工面に対してオリフ
ィス３の形状のマスクを合わせてエキシマレーザ光をマ
スクに透過させ照射し貫通孔加工が行われる。この加工
されたノズルプレート１を基板５と組み合わせることで
インク２の通る空間が形成されている。基板５にはオリ
フィス３や流路４にインク２を供給するためのインク供
給孔６が開けられている。また基板５はインク２の収容
部であるインクタンク７と接合され、インク供給孔６を
通してインク２がインクタンク７よりオリフィス３へ供
給されるように構成されている。
造方法について説明する。図８は従来のインクジェット
ヘッドの断面図、図９は従来のインクジェットヘッドの
ノズルプレートの平面図、図１０は従来のインクジェッ
トヘッドのノズルプレートの断面図である。図８から図
１０において、１はノズルプレートで樹脂等のレーザ加
工可能な材質でできている。２はインク、３はインク２
を吐出させるためのオリフィス、４は流路でエキシマレ
ーザー光を流路４の形状のマスクに透過させるハーフ堀
加工によって成形されている。またオリフィス３は流路
４の加工の後に流路４に対して正確に位置決めされるよ
うに測定装置等を用いて流路４の加工面に対してオリフ
ィス３の形状のマスクを合わせてエキシマレーザ光をマ
スクに透過させ照射し貫通孔加工が行われる。この加工
されたノズルプレート１を基板５と組み合わせることで
インク２の通る空間が形成されている。基板５にはオリ
フィス３や流路４にインク２を供給するためのインク供
給孔６が開けられている。また基板５はインク２の収容
部であるインクタンク７と接合され、インク供給孔６を
通してインク２がインクタンク７よりオリフィス３へ供
給されるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインクジェットヘッドの製造方法では、インクジェ
ットヘッドのオリフィス３や流路４は高精度な位置決め
精度を要求されるため、わずかなずれが発生しても印字
性能が大幅に低下するという問題点を有していた。ま
た、オリフィス３の加工の際にレーザー光が流路４の非
加工部にかかった場合オリフィス３の形状が変形し、イ
ンク２の吐出方向がずれる，吐出量が変化する等、印字
性能を大きく損なうという問題点を有していた。さら
に、オリフィス３が流路４の加工面内で加工が可能な場
合でもオリフィス３と流路４の間に段差８が発生するた
め段差８でインク２の流れが乱れたり、ゴミや泡だまり
の原因となり吐出を阻害する原因となるという問題点を
有していた。
来のインクジェットヘッドの製造方法では、インクジェ
ットヘッドのオリフィス３や流路４は高精度な位置決め
精度を要求されるため、わずかなずれが発生しても印字
性能が大幅に低下するという問題点を有していた。ま
た、オリフィス３の加工の際にレーザー光が流路４の非
加工部にかかった場合オリフィス３の形状が変形し、イ
ンク２の吐出方向がずれる，吐出量が変化する等、印字
性能を大きく損なうという問題点を有していた。さら
に、オリフィス３が流路４の加工面内で加工が可能な場
合でもオリフィス３と流路４の間に段差８が発生するた
め段差８でインク２の流れが乱れたり、ゴミや泡だまり
の原因となり吐出を阻害する原因となるという問題点を
有していた。
【０００５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、安定したインクのオリフィスからの吐出が可能なイ
ンクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的と
している。
で、安定したインクのオリフィスからの吐出が可能なイ
ンクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的と
している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、ノズル板に溝を形成し、このノズル板に形
成された溝をレーザ加工可能な材料で埋めた後、ノズル
板に形成された溝と一部が重なる位置にレーザ加工によ
り孔を形成し、ノズル板に形成された溝を埋めた材料を
除去して、基板と合わせるもの、また、ノズル板に孔を
形成し、このノズル板に形成された孔をレーザ加工可能
な材料で埋めた後、ノズル板に形成された孔と一部が重
なる位置にレーザ加工により溝を形成し、ノズル板に形
成された孔を埋めた材料を除去して、基板と合わせるも
ので、この製造方法により、安定したインクの孔からの
吐出が可能なインクジェットヘッドが得られる。
に本発明は、ノズル板に溝を形成し、このノズル板に形
成された溝をレーザ加工可能な材料で埋めた後、ノズル
板に形成された溝と一部が重なる位置にレーザ加工によ
り孔を形成し、ノズル板に形成された溝を埋めた材料を
除去して、基板と合わせるもの、また、ノズル板に孔を
形成し、このノズル板に形成された孔をレーザ加工可能
な材料で埋めた後、ノズル板に形成された孔と一部が重
なる位置にレーザ加工により溝を形成し、ノズル板に形
成された孔を埋めた材料を除去して、基板と合わせるも
ので、この製造方法により、安定したインクの孔からの
吐出が可能なインクジェットヘッドが得られる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、互いにつながった溝と孔とを有するノズル板と、こ
のノズル板の溝が形成された面に接する基板とを有し、
インクがノズル板の溝を通りこのノズル板の孔より吐出
されるインクジェットヘッドの製造方法であって、ノズ
ル板に溝を形成し、このノズル板に形成された溝をレー
ザ加工可能な材料で埋めた後、ノズル板に形成された溝
と一部が重なる位置にレーザ加工により孔を形成し、ノ
ズル板に形成された溝を埋めた材料を除去して、基板と
合わせるものであり、溝をレーザ加工可能な材料で埋め
た後、孔をレーザ加工するので、孔を形成する際にレー
ザ光が溝形状の影響を受けず、孔の変形がなく、インク
の吐出が安定するとともに、溝と孔の段差をなくすこと
ができ、ゴミや泡が段差に溜まることを防止できるとい
う作用を有する。
は、互いにつながった溝と孔とを有するノズル板と、こ
のノズル板の溝が形成された面に接する基板とを有し、
インクがノズル板の溝を通りこのノズル板の孔より吐出
されるインクジェットヘッドの製造方法であって、ノズ
ル板に溝を形成し、このノズル板に形成された溝をレー
ザ加工可能な材料で埋めた後、ノズル板に形成された溝
と一部が重なる位置にレーザ加工により孔を形成し、ノ
ズル板に形成された溝を埋めた材料を除去して、基板と
合わせるものであり、溝をレーザ加工可能な材料で埋め
た後、孔をレーザ加工するので、孔を形成する際にレー
ザ光が溝形状の影響を受けず、孔の変形がなく、インク
の吐出が安定するとともに、溝と孔の段差をなくすこと
ができ、ゴミや泡が段差に溜まることを防止できるとい
う作用を有する。
【０００８】請求項２に記載の発明は、互いにつながっ
た溝と孔とを有するノズル板と、このノズル板の溝が形
成された面に接する基板とを有し、インクがノズル板の
溝を通りこのノズル板の孔より吐出されるインクジェッ
トヘッドの製造方法であって、ノズル板に孔を形成し、
このノズル板に形成された孔をレーザ加工可能な材料で
埋めた後、ノズル板に形成された孔と一部が重なる位置
にレーザ加工により溝を形成し、ノズル板に形成された
孔を埋めた材料を除去して、基板と合わせるものであ
り、孔をレーザ加工可能な材料で埋めた後、溝をレーザ
加工するので、溝を形成する際にレーザ光が孔形状に影
響を及ぼすことを防止でき、孔の変形がなく、インクの
吐出が安定するとともに、溝と孔の段差をなくすことが
でき、ゴミや泡が段差に溜まることを防止できるという
作用を有する。
た溝と孔とを有するノズル板と、このノズル板の溝が形
成された面に接する基板とを有し、インクがノズル板の
溝を通りこのノズル板の孔より吐出されるインクジェッ
トヘッドの製造方法であって、ノズル板に孔を形成し、
このノズル板に形成された孔をレーザ加工可能な材料で
埋めた後、ノズル板に形成された孔と一部が重なる位置
にレーザ加工により溝を形成し、ノズル板に形成された
孔を埋めた材料を除去して、基板と合わせるものであ
り、孔をレーザ加工可能な材料で埋めた後、溝をレーザ
加工するので、溝を形成する際にレーザ光が孔形状に影
響を及ぼすことを防止でき、孔の変形がなく、インクの
吐出が安定するとともに、溝と孔の段差をなくすことが
でき、ゴミや泡が段差に溜まることを防止できるという
作用を有する。
【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２に記載の発明において、レーザ加工に用いられ
るレーザがエキシマレーザであり、請求項１，請求項２
と同様の作用を有する。
請求項２に記載の発明において、レーザ加工に用いられ
るレーザがエキシマレーザであり、請求項１，請求項２
と同様の作用を有する。
【００１０】以下、本発明の実施の形態について説明す
る。図１は本発明の一実施の形態によるインクジェット
ヘッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘ
ッドの断面図である。ここで従来例と同じ構成部につい
ては同一符号を付して説明を省略する。
る。図１は本発明の一実施の形態によるインクジェット
ヘッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘ
ッドの断面図である。ここで従来例と同じ構成部につい
ては同一符号を付して説明を省略する。
【００１１】図１において、３３はインク１１を吐出さ
せる印字ヘッドである。３４はノズルプレートで樹脂
（例えばポリイミド，ポリエステル，エポキシ，ポリカ
ーボネート，ポリウレタン，ポリサルフォン，アクリル
等）やセラミックスやガラス等のエキシマレーザ加工可
能な材質でできている。３５はインク１１を吐出させる
ためのオリフィス、３６は流路、２５はインク１１をオ
リフィス３５から吐出させる吐出エネルギ発生手段であ
る。
せる印字ヘッドである。３４はノズルプレートで樹脂
（例えばポリイミド，ポリエステル，エポキシ，ポリカ
ーボネート，ポリウレタン，ポリサルフォン，アクリル
等）やセラミックスやガラス等のエキシマレーザ加工可
能な材質でできている。３５はインク１１を吐出させる
ためのオリフィス、３６は流路、２５はインク１１をオ
リフィス３５から吐出させる吐出エネルギ発生手段であ
る。
【００１２】ここでオリフィス３５および流路３６の製
造方法について説明する。まず、図２に示すようにノズ
ルプレート部材３８に流路溝３７が射出成形、レーザ加
工等によって形成される。
造方法について説明する。まず、図２に示すようにノズ
ルプレート部材３８に流路溝３７が射出成形、レーザ加
工等によって形成される。
【００１３】次に、図３に示すように樹脂（例えばポリ
イミド，ポリエステル，エポキシ，ポリカーボネート，
ポリウレタン，ポリサルフォン，アクリル等）やセラミ
ックスやガラス等のエキシマレーザ加工可能な材料３９
を熱や溶媒で溶融させて流路溝３７にスピンコートやデ
ィップ等の方法で流し込む。
イミド，ポリエステル，エポキシ，ポリカーボネート，
ポリウレタン，ポリサルフォン，アクリル等）やセラミ
ックスやガラス等のエキシマレーザ加工可能な材料３９
を熱や溶媒で溶融させて流路溝３７にスピンコートやデ
ィップ等の方法で流し込む。
【００１４】最後に、図４（ａ）に示すようにレーザ光
をパルス発振可能なエキシマレーザ発振装置４０により
エキシマレーザ光４１を合成石英，無水合成石英，ボロ
シリケートクラウンガラス等の低光吸収性の基板からな
る図５に示す形状のマスク４３に照射する。
をパルス発振可能なエキシマレーザ発振装置４０により
エキシマレーザ光４１を合成石英，無水合成石英，ボロ
シリケートクラウンガラス等の低光吸収性の基板からな
る図５に示す形状のマスク４３に照射する。
【００１５】この時、マスク４３上のアルミニウム，
金，誘電体多層膜等を蒸着等の工法で膜付けされた全反
射コーティング４４に照射されたエキシマレーザ光４１
はマスク４３を透過することはない。
金，誘電体多層膜等を蒸着等の工法で膜付けされた全反
射コーティング４４に照射されたエキシマレーザ光４１
はマスク４３を透過することはない。
【００１６】一方、コーティング無し部４５に照射され
たエキシマレーザ光４１はマスク４３を透過し、エキシ
マレーザ光４２となり流路溝３７と一部が重なるように
位置合わせされ照射される。
たエキシマレーザ光４１はマスク４３を透過し、エキシ
マレーザ光４２となり流路溝３７と一部が重なるように
位置合わせされ照射される。
【００１７】この時の加工の形状は、マスク４３上のコ
ーティング無し部４５の形状となる。エキシマレーザ光
４２の照射パルス数の増加にともないノズルプレート部
材３８上には図４（ｂ）に示すように溝４６が形成され
る。更にエキシマレーザ光４２の照射を続けると溝４６
は更に深くなり図４（ｃ）に示すようにノズルプレート
部材３８を貫通しオリフィス３５となる。この後材料３
９を溶剤、熱等で溶かし除去し、図６に示すノズルプレ
ート３４が得られる。
ーティング無し部４５の形状となる。エキシマレーザ光
４２の照射パルス数の増加にともないノズルプレート部
材３８上には図４（ｂ）に示すように溝４６が形成され
る。更にエキシマレーザ光４２の照射を続けると溝４６
は更に深くなり図４（ｃ）に示すようにノズルプレート
部材３８を貫通しオリフィス３５となる。この後材料３
９を溶剤、熱等で溶かし除去し、図６に示すノズルプレ
ート３４が得られる。
【００１８】この加工されたノズルプレート３４を図１
に示す基板５と組み合わせることでインク１１の通る空
間が形成される。基板５にはオリフィス３５や流路３６
にインク１１を供給するためのインク供給孔６が開けら
れている。また基板５はインク１１の収容部であるイン
クタンク７と接合されている。また基板５のオリフィス
３５と近接した部分には吐出エネルギ発生手段２５が設
けられている。
に示す基板５と組み合わせることでインク１１の通る空
間が形成される。基板５にはオリフィス３５や流路３６
にインク１１を供給するためのインク供給孔６が開けら
れている。また基板５はインク１１の収容部であるイン
クタンク７と接合されている。また基板５のオリフィス
３５と近接した部分には吐出エネルギ発生手段２５が設
けられている。
【００１９】なお、本実施の形態では流路溝３７を形成
した後、オリフィス３５をエキシマレーザ光４２で形成
したが、オリフィス３５を形成した後、流路溝３７をエ
キシマレーザ光４２で形成してもよい。
した後、オリフィス３５をエキシマレーザ光４２で形成
したが、オリフィス３５を形成した後、流路溝３７をエ
キシマレーザ光４２で形成してもよい。
【００２０】次に、図７により印字ヘッド３３を用いて
印字を行うインクジェットプリンタ２６の構成について
説明する。シャーシ２７および、シャーシ２７に保持さ
れたキャリッジシャフト２８とキャリッジ送りベルト２
９に印字ヘッド３３は保持されている。またシャーシ２
７には紙送りシャフト３０および紙送りローラ３１が備
えられている。また紙送りローラ３１には印字媒体３２
が印字ヘッド９に対向するように保持されている。
印字を行うインクジェットプリンタ２６の構成について
説明する。シャーシ２７および、シャーシ２７に保持さ
れたキャリッジシャフト２８とキャリッジ送りベルト２
９に印字ヘッド３３は保持されている。またシャーシ２
７には紙送りシャフト３０および紙送りローラ３１が備
えられている。また紙送りローラ３１には印字媒体３２
が印字ヘッド９に対向するように保持されている。
【００２１】上記の構成においてその動作を説明する。
図１に示す吐出エネルギ発生手段２５が、インク１１が
吐出するためのエネルギをインク１１に与えることでイ
ンク１１のオリフィス３５からの吐出が行われる。
図１に示す吐出エネルギ発生手段２５が、インク１１が
吐出するためのエネルギをインク１１に与えることでイ
ンク１１のオリフィス３５からの吐出が行われる。
【００２２】ここで吐出エネルギ発生手段２５は例えば
導電性のインク１１に通電することで生じるジュール熱
により沸騰気泡を発生させ沸騰気泡の圧力によってイン
ク１１を吐出させる物、抵抗体の発熱によりインク１１
に沸騰気泡を発生させ沸騰気泡の圧力によってインク１
１を吐出させる物、圧電素子の変形の圧力でインク１１
を吐出させる物等が使用できる。
導電性のインク１１に通電することで生じるジュール熱
により沸騰気泡を発生させ沸騰気泡の圧力によってイン
ク１１を吐出させる物、抵抗体の発熱によりインク１１
に沸騰気泡を発生させ沸騰気泡の圧力によってインク１
１を吐出させる物、圧電素子の変形の圧力でインク１１
を吐出させる物等が使用できる。
【００２３】オリフィス３５からインク１１を吐出させ
ている間、印字ヘッド３３はキャリッジシャフト２８上
をキャリッジ送りベルト２９に案内されながら移動す
る。更に印字媒体３２も紙送りローラ３１により任意の
方向に移動する。上記動作により印字媒体３２上にイン
ク１１が付着し絵や文字等の印字が可能となる。
ている間、印字ヘッド３３はキャリッジシャフト２８上
をキャリッジ送りベルト２９に案内されながら移動す
る。更に印字媒体３２も紙送りローラ３１により任意の
方向に移動する。上記動作により印字媒体３２上にイン
ク１１が付着し絵や文字等の印字が可能となる。
【００２４】以上のように本発明の一実施の形態におけ
るインクジェットヘッドの製造方法によれば、少なくと
も１つに互いにつながった溝と孔を持つ２枚もしくは複
数のプレートを合わせることでインク１１の通る流路３
６を形成するインクジェットヘッドの製造方法であっ
て、 （１）溝もしくは孔の形成。 （２）形成された溝もしくは孔をレーザ加工可能な材料
で埋める。 （３）（１）で孔を形成した場合には溝を、溝を形成し
た場合には孔を（１）の溝もしくは孔に一部が重なる位
置にレーザ加工。 （４）（２）で埋めた材料を除去。 という工程を用い、孔または溝を加工するレーザは先に
形成された孔または溝を埋めた材料と共にプレートに加
工を施すため、レーザが孔または溝を加工する際に、こ
のレーザが先に形成された孔または溝に影響を与えない
と共に、影響を受けず、孔や溝の変形が生じることを防
止できる。また、先に形成された溝または孔に一部が重
なる位置に孔または溝をレーザ加工するため、溝と孔と
の段差を無くすことができる。
るインクジェットヘッドの製造方法によれば、少なくと
も１つに互いにつながった溝と孔を持つ２枚もしくは複
数のプレートを合わせることでインク１１の通る流路３
６を形成するインクジェットヘッドの製造方法であっ
て、 （１）溝もしくは孔の形成。 （２）形成された溝もしくは孔をレーザ加工可能な材料
で埋める。 （３）（１）で孔を形成した場合には溝を、溝を形成し
た場合には孔を（１）の溝もしくは孔に一部が重なる位
置にレーザ加工。 （４）（２）で埋めた材料を除去。 という工程を用い、孔または溝を加工するレーザは先に
形成された孔または溝を埋めた材料と共にプレートに加
工を施すため、レーザが孔または溝を加工する際に、こ
のレーザが先に形成された孔または溝に影響を与えない
と共に、影響を受けず、孔や溝の変形が生じることを防
止できる。また、先に形成された溝または孔に一部が重
なる位置に孔または溝をレーザ加工するため、溝と孔と
の段差を無くすことができる。
【００２５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明
は、孔の変形がなく、インクの吐出が安定するととも
に、溝と孔の段差をなくすことにより、ゴミや泡が段差
に溜まることを防止でき、長期に渡って安定したインク
の吐出を行うことのできるインクジェットヘッドを製造
することができる。
は、孔の変形がなく、インクの吐出が安定するととも
に、溝と孔の段差をなくすことにより、ゴミや泡が段差
に溜まることを防止でき、長期に渡って安定したインク
の吐出を行うことのできるインクジェットヘッドを製造
することができる。
【図１】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘ
ッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘッ
ドの断面図
ッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘッ
ドの断面図
【図２】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘ
ッドの製造方法の説明図
ッドの製造方法の説明図
【図３】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘ
ッドの製造方法の説明図
ッドの製造方法の説明図
【図４】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘ
ッドの製造方法の説明図
ッドの製造方法の説明図
【図５】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘ
ッドの製造に用いられるマスクの平面図
ッドの製造に用いられるマスクの平面図
【図６】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘ
ッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘッ
ドのノズルプレートの平面図
ッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘッ
ドのノズルプレートの平面図
【図７】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘ
ッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘッ
ドを用いたインクジェットプリンタの平面図
ッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘッ
ドを用いたインクジェットプリンタの平面図
【図８】従来のインクジェットヘッドの断面図
【図９】従来のインクジェットヘッドのノズルプレート
の平面図
の平面図
【図１０】従来のインクジェットヘッドのノズルプレー
トの断面図
トの断面図
５ 基板
６ インク供給孔
７ インクタンク
１１ インク
２５ 吐出エネルギ発生手段
２６ インクジェットプリンタ
２７ シャーシ
２８ キャリッジシャフト
２９ キャリッジ送りベルト
３０ 紙送りシャフト
３１ 紙送りローラ
３２ 印字媒体
３３ 印字ヘッド
３４ ノズルプレート
３５ オリフィス
３６ 流路
３７ 流路溝
３８ ノズルプレート部材
３９ 材料
４０ エキシマレーザ発振装置
４１，４２ エキシマレーザ光
４３ マスク
４４ 全反射コーティング
４５ コーティング無し部
４６ 溝
Claims (3)
- 【請求項１】互いにつながった溝と孔とを有するノズル
板と、このノズル板の溝が形成された面に接する基板と
を有し、インクが前記ノズル板の溝を通り該ノズル板の
孔より吐出されるインクジェットヘッドの製造方法であ
って、前記ノズル板に溝を形成し、前記ノズル板に形成
された溝をレーザ加工可能な材料で埋めた後、前記ノズ
ル板に形成された溝と一部が重なる位置にレーザ加工に
より孔を形成し、前記ノズル板に形成された溝を埋めた
材料を除去して、前記基板と合わせることを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項２】互いにつながった溝と孔とを有するノズル
板と、このノズル板の溝が形成された面に接する基板と
を有し、インクが前記ノズル板の溝を通り該ノズル板の
孔より吐出されるインクジェットヘッドの製造方法であ
って、前記ノズル板に孔を形成し、前記ノズル板に形成
された孔をレーザ加工可能な材料で埋めた後、前記ノズ
ル板に形成された孔と一部が重なる位置にレーザ加工に
より溝を形成し、前記ノズル板に形成された孔を埋めた
材料を除去して、前記基板と合わせることを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項３】前記レーザ加工に用いられるレーザがエキ
シマレーザであることを特徴とする請求項１または請求
項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33859595A JP3460421B2 (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33859595A JP3460421B2 (ja) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09174858A JPH09174858A (ja) | 1997-07-08 |
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